JPH10174826A - エアーフィルタのリーク試験用パーティクルカウンタ - Google Patents
エアーフィルタのリーク試験用パーティクルカウンタInfo
- Publication number
- JPH10174826A JPH10174826A JP33829496A JP33829496A JPH10174826A JP H10174826 A JPH10174826 A JP H10174826A JP 33829496 A JP33829496 A JP 33829496A JP 33829496 A JP33829496 A JP 33829496A JP H10174826 A JPH10174826 A JP H10174826A
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- Japan
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- time
- particle
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- particle counter
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 リーク試験後に悪影響が出ず、高精度の
リーク判定を確実に行うことができるエアーフィルタの
リーク試験用パーティクルカウンタを提供すること。 【解決手段】 エアーフィルタの濾材の下流側面に沿っ
てプローブ１を走査させて濾材のリークの有無を検知す
る形式のリーク試験用パーティクルカウンタにおいて、
プローブ１に繋がる粒子検出部２によって最新の粒子が
検出される毎にこれの検出時間とこれよりもＮ−１（Ｎ
は２，３，４，・・・）個前の粒子の検出時間との間の
時間を時間測定部３により測定するものとしている。
リーク判定を確実に行うことができるエアーフィルタの
リーク試験用パーティクルカウンタを提供すること。 【解決手段】 エアーフィルタの濾材の下流側面に沿っ
てプローブ１を走査させて濾材のリークの有無を検知す
る形式のリーク試験用パーティクルカウンタにおいて、
プローブ１に繋がる粒子検出部２によって最新の粒子が
検出される毎にこれの検出時間とこれよりもＮ−１（Ｎ
は２，３，４，・・・）個前の粒子の検出時間との間の
時間を時間測定部３により測定するものとしている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、エアーフィルタ
のリーク試験用パーティクルカウンタに関するものであ
る。
のリーク試験用パーティクルカウンタに関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】エアーフィルタのリーク試験には、通
常、フォトメータによるものやパーティクルカウンタに
よるものが使用される。（フォトメータによるもの） フォトメータは、資料空気
を吸引しながらエアロゾル系の全散乱光を測定し、基準
となるエアロゾルとの相対的な濃度比較を行うものであ
る。これによりフィルタのリーク試験を行う場合は以下
に示すようにする。
常、フォトメータによるものやパーティクルカウンタに
よるものが使用される。（フォトメータによるもの） フォトメータは、資料空気
を吸引しながらエアロゾル系の全散乱光を測定し、基準
となるエアロゾルとの相対的な濃度比較を行うものであ
る。これによりフィルタのリーク試験を行う場合は以下
に示すようにする。
【０００３】すなわち、エアーフィルタ上流側に高濃度
のエアロゾルを投入すると共にそれをフォトメータで測
定して基準の濃度とし、フィルタ下流側では試料吸引口
（サンプリングプローブ）をフィルタ下流面で走査する
ことで上流側との比較を行いリーク率を判定する。
のエアロゾルを投入すると共にそれをフォトメータで測
定して基準の濃度とし、フィルタ下流側では試料吸引口
（サンプリングプローブ）をフィルタ下流面で走査する
ことで上流側との比較を行いリーク率を判定する。
【０００４】しかしながら、この方式では低濃度エアロ
ゾルに対する感度が低いため、ＨＥＰＡやＵＬＰＡと呼
ばれる高性能のエアーフィルタの測定には上流側に非常
に高い濃度のエアロゾルを投入する必要となるが、これ
により、フィルタの寿命を短くすることになってしま
う。また、ＤＯＰ（フタル酸ジオクチル）等の液状試験
粒子を使用した場合、上流側に付着したそれが長期間に
わたって気化し、下流側に出てくるという問題がある。（従来のパーティクルカウンタによるもの） パーティク
ルカウンタは、通常、与えられた時間で吸引した試料空
気中に含まれる粒子の計数を行うものである。これによ
りフィルタのリーク試験を行う場合は以下に示すように
する。
ゾルに対する感度が低いため、ＨＥＰＡやＵＬＰＡと呼
ばれる高性能のエアーフィルタの測定には上流側に非常
に高い濃度のエアロゾルを投入する必要となるが、これ
により、フィルタの寿命を短くすることになってしま
う。また、ＤＯＰ（フタル酸ジオクチル）等の液状試験
粒子を使用した場合、上流側に付着したそれが長期間に
わたって気化し、下流側に出てくるという問題がある。（従来のパーティクルカウンタによるもの） パーティク
ルカウンタは、通常、与えられた時間で吸引した試料空
気中に含まれる粒子の計数を行うものである。これによ
りフィルタのリーク試験を行う場合は以下に示すように
する。
【０００５】すなわち、フィルタ上流側にある程度の高
濃度のエアロゾルを投入すると共にそれをパーティクル
カウンタで測定し、単位時間当たりの粒子数を得る。フ
ィルタ下流側ではサンプリングプローブをフィルタ下流
面で走査することで単位時間当たりの粒子数を上流側と
のそれと比較を行いリーク率を判定する。
濃度のエアロゾルを投入すると共にそれをパーティクル
カウンタで測定し、単位時間当たりの粒子数を得る。フ
ィルタ下流側ではサンプリングプローブをフィルタ下流
面で走査することで単位時間当たりの粒子数を上流側と
のそれと比較を行いリーク率を判定する。
【０００６】この方式を採用した場合、パーティクルカ
ウンタは粒子を一つづつ計数するため低濃度エアロゾル
に対して大変有効であるが、フィルタでの特定のリーク
箇所がサンプリングプローブの走査中前後する二つの測
定間隔（図４に示す測定間隔Ａ，Ｂ）に跨がった場合、
リーク箇所を通過した粒子はその二つの測定に分割さ
れ、リーク率を過小評価してしまう。（この種の業界で開発が期待されているエアーフィルタ
のリーク試験用機器） 上述のように各方式により様々な
問題を有しているが、この種の業界では、リーク試験後
に悪影響が出ず、高精度のリーク判定を行うことがで
きるエアーフィルタのリーク試験用パーティクルカウン
タの開発が望まれている。
ウンタは粒子を一つづつ計数するため低濃度エアロゾル
に対して大変有効であるが、フィルタでの特定のリーク
箇所がサンプリングプローブの走査中前後する二つの測
定間隔（図４に示す測定間隔Ａ，Ｂ）に跨がった場合、
リーク箇所を通過した粒子はその二つの測定に分割さ
れ、リーク率を過小評価してしまう。（この種の業界で開発が期待されているエアーフィルタ
のリーク試験用機器） 上述のように各方式により様々な
問題を有しているが、この種の業界では、リーク試験後
に悪影響が出ず、高精度のリーク判定を行うことがで
きるエアーフィルタのリーク試験用パーティクルカウン
タの開発が望まれている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】そこで、この発明で
は、リーク試験後に悪影響が出ず、高精度のリーク
判定を確実に行うことができるエアーフィルタのリーク
試験用パーティクルカウンタを提供することを課題とす
る。
は、リーク試験後に悪影響が出ず、高精度のリーク
判定を確実に行うことができるエアーフィルタのリーク
試験用パーティクルカウンタを提供することを課題とす
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この発明は、エアーフィ
ルタの濾材の下流側面に沿ってプローブ１を走査させて
濾材のリークの有無を検知する形式のリーク試験用パー
ティクルカウンタにおいて、プローブ１に繋がる粒子検
出部２によって最新の粒子が検出される毎にこれの検出
時間とこれよりもＮ−１（Ｎは２，３，４，・・・）個
前の粒子の検出時間との間の時間を時間測定部３により
測定するものとしている。
ルタの濾材の下流側面に沿ってプローブ１を走査させて
濾材のリークの有無を検知する形式のリーク試験用パー
ティクルカウンタにおいて、プローブ１に繋がる粒子検
出部２によって最新の粒子が検出される毎にこれの検出
時間とこれよりもＮ−１（Ｎは２，３，４，・・・）個
前の粒子の検出時間との間の時間を時間測定部３により
測定するものとしている。
【０００９】なお、上記パーティクルカウンタに関し
て、Ｎ個の粒子が検出されたときにリークと判断される
基準時間と、粒子検出部２によって最新の粒子が検出さ
れる毎にこれの検出時間とこれよりもＮ−１個前の粒子
の検出時間との間の実時間とを時間比較部４で比較し、
基準時間≧実時間のときには判定結果表示部５が表示状
態となるようにすることが好ましい。
て、Ｎ個の粒子が検出されたときにリークと判断される
基準時間と、粒子検出部２によって最新の粒子が検出さ
れる毎にこれの検出時間とこれよりもＮ−１個前の粒子
の検出時間との間の実時間とを時間比較部４で比較し、
基準時間≧実時間のときには判定結果表示部５が表示状
態となるようにすることが好ましい。
【００１０】このパーティクルカウンターを使用してフ
ィルタのリークの有無を判断する場合、これにより計測
された実時間と、許容リーク率等から算出した時間、即
ちＮ個の粒子が検出されたときにリークと判断される基
準時間とを比較することによりなされるものであるが、
このパーティクルカウンターは以下に示す機能を有す
る。 ．粒子を一個ずつ計数するものであるから低濃度の測
定が行える。 ．リーク箇所の検出は、最新の粒子が検出される毎に
これの検出時間とこれよりもＮ−１（Ｎは２，３，４，
・・・）個前の粒子の検出時間との間の時間で判断する
ことになるので、プローブの走査と測定間隔のタイミン
グに関係なく、その箇所の走査中最大の計数が得られる
ことになる。よって、高精度のリーク判定を確実に行う
ことができる。 ．基本的にはパーティクルカウンターであるので、従
来の技術の欄に示したフォトメータ方式のような問題、
即ち、リーク試験後に悪影響が出るようなことはない。
ィルタのリークの有無を判断する場合、これにより計測
された実時間と、許容リーク率等から算出した時間、即
ちＮ個の粒子が検出されたときにリークと判断される基
準時間とを比較することによりなされるものであるが、
このパーティクルカウンターは以下に示す機能を有す
る。 ．粒子を一個ずつ計数するものであるから低濃度の測
定が行える。 ．リーク箇所の検出は、最新の粒子が検出される毎に
これの検出時間とこれよりもＮ−１（Ｎは２，３，４，
・・・）個前の粒子の検出時間との間の時間で判断する
ことになるので、プローブの走査と測定間隔のタイミン
グに関係なく、その箇所の走査中最大の計数が得られる
ことになる。よって、高精度のリーク判定を確実に行う
ことができる。 ．基本的にはパーティクルカウンターであるので、従
来の技術の欄に示したフォトメータ方式のような問題、
即ち、リーク試験後に悪影響が出るようなことはない。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図
面に従って説明する。
面に従って説明する。
【００１２】この実施形態におけるエアーフィルタのリ
ーク試験用パーティクルカウンタは、エアーフィルタの
濾材の下流側面に沿ってプローブ１を走査させて濾材の
リークの有無を検知する形式のものであり、基本的に
は、図１のブロック図に示されるように構成され、粒子
検出部２によって最新の粒子が検出される毎にこれの検
出時間とこれよりもＮ−１個前の粒子の検出時間との間
の実時間と、Ｎ個の粒子が検出されたときにリークと判
断する算出された基準時間とを比較することによりフィ
ルタのリークの有無を判断するものとしている。すなわ
ち、基準時間≧実時間のときにはリークと判断してい
る。
ーク試験用パーティクルカウンタは、エアーフィルタの
濾材の下流側面に沿ってプローブ１を走査させて濾材の
リークの有無を検知する形式のものであり、基本的に
は、図１のブロック図に示されるように構成され、粒子
検出部２によって最新の粒子が検出される毎にこれの検
出時間とこれよりもＮ−１個前の粒子の検出時間との間
の実時間と、Ｎ個の粒子が検出されたときにリークと判
断する算出された基準時間とを比較することによりフィ
ルタのリークの有無を判断するものとしている。すなわ
ち、基準時間≧実時間のときにはリークと判断してい
る。
【００１３】ここで、このパーティクルカウンタでは、
Ｎ個の粒子を検出するに要する時間を時間測定部３で測
定するため、粒子数設定部６をＮ個に設定するようにし
ている。 〔具体的例〕粒子数Ｎ＝６個とした場合の基準時間＝
３．６秒以下（この基準時間の算出については許容リー
ク率等から算出するが、この計算法については公知であ
るので省略する）とする。なお、粒子検出部２による粒
子の検出は粒子パルスの立ち上がり部で行われるものと
する。
Ｎ個の粒子を検出するに要する時間を時間測定部３で測
定するため、粒子数設定部６をＮ個に設定するようにし
ている。 〔具体的例〕粒子数Ｎ＝６個とした場合の基準時間＝
３．６秒以下（この基準時間の算出については許容リー
ク率等から算出するが、この計算法については公知であ
るので省略する）とする。なお、粒子検出部２による粒
子の検出は粒子パルスの立ち上がり部で行われるものと
する。
【００１４】図２に及び以下の表１に、最新の粒子Ｐ0,
Ｐ1,・・・Ｐ7 が検出される毎にこれの検出時間とこれ
よりも５個前の粒子の検出時間との間の実時間を示す。
Ｐ1,・・・Ｐ7 が検出される毎にこれの検出時間とこれ
よりも５個前の粒子の検出時間との間の実時間を示す。
【００１５】
【表１】
【００１６】図２に及び以下の表１に示すように、粒子
Ｐ3 〜Ｐ-2でフィルタのリークが存在していることが判
断できる。このように、このパーティクルカウンタで
は、リーク箇所の検出は 最新の粒子が検出される毎に
これの検出時間とこれよりも５個前の粒子の検出時間と
の間の時間で判断することになるので、プローブの走査
と測定間隔のタイミングに関係なく、その箇所の走査中
最大の計数が得られることになる。よって、高精度のリ
ーク判定を確実に行うことができる。また、低濃度の測
定が行えること、リーク試験後に悪影響が出ないことに
ついては上記課題を解決する手段の欄に記載した通りで
ある。
Ｐ3 〜Ｐ-2でフィルタのリークが存在していることが判
断できる。このように、このパーティクルカウンタで
は、リーク箇所の検出は 最新の粒子が検出される毎に
これの検出時間とこれよりも５個前の粒子の検出時間と
の間の時間で判断することになるので、プローブの走査
と測定間隔のタイミングに関係なく、その箇所の走査中
最大の計数が得られることになる。よって、高精度のリ
ーク判定を確実に行うことができる。また、低濃度の測
定が行えること、リーク試験後に悪影響が出ないことに
ついては上記課題を解決する手段の欄に記載した通りで
ある。
【００１７】なお、上記パーティクルカウンタは図１の
ブロック図に示したものとしてあるが、これに換えて時
間比較部４、判定結果表示部５、及び基準時間設定部７
を付加した図３のブロックを採用するようにしてもよ
い。この場合、リークと判断される基準時間（３．６
秒）と、６個の粒子を計数するに要する実時間とを時間
比較部４で比較し、基準時間≧実時間のときには判定結
果表示部７が表示状態となるものとすればよい。
ブロック図に示したものとしてあるが、これに換えて時
間比較部４、判定結果表示部５、及び基準時間設定部７
を付加した図３のブロックを採用するようにしてもよ
い。この場合、リークと判断される基準時間（３．６
秒）と、６個の粒子を計数するに要する実時間とを時間
比較部４で比較し、基準時間≧実時間のときには判定結
果表示部７が表示状態となるものとすればよい。
【００１８】
【発明の効果】この発明は上記のような構成であるか
ら、次の効果を有する。
ら、次の効果を有する。
【００１９】課題を解決する手段の欄及び発明の実施の
形態の欄に記載した内容から、リーク試験後に悪影響
が出ず、高精度のリーク判定を確実に行うことができ
るエアーフィルタのリーク試験用パーティクルカウンタ
を提供できた。
形態の欄に記載した内容から、リーク試験後に悪影響
が出ず、高精度のリーク判定を確実に行うことができ
るエアーフィルタのリーク試験用パーティクルカウンタ
を提供できた。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施形態であるパーティクルカウン
タに採用されているブロック回路図。
タに採用されているブロック回路図。
【図２】前記パーティクルカウンタにより試験した場合
の説明図。
の説明図。
【図３】他の実施形態のパーティクルカウンタに採用さ
れているブロック回路図。
れているブロック回路図。
【図４】従来の技術の欄に記載したパーティクルカウン
タにより試験した場合の説明図。
タにより試験した場合の説明図。
１ プローブ ２ 粒子検出部 ３ 時間測定部 ４ 時間比較部 ５ 判定結果表示部
Claims (2)
- 【請求項１】 エアーフィルタの濾材の下流側面に沿っ
てプローブ（１）を走査させて濾材のリークの有無を検
知する形式のリーク試験用パーティクルカウンタにおい
て、プローブ（１）に繋がる粒子検出部（２）によって
最新の粒子が検出される毎にこれの検出時間とこれより
もＮ−１（Ｎは２，３，４，・・・）個前の粒子の検出
時間との間の時間を時間測定部（３）により測定するこ
とを特徴とするパーティクルカウンタ。 - 【請求項２】 Ｎ個の粒子が検出されたときにリークと
判断される基準時間と、粒子検出部（２）によって最新
の粒子が検出される毎にこれの検出時間とこれよりもＮ
−１個前の粒子の検出時間との間の実時間とを時間比較
部（４）で比較し、基準時間≧実時間のときには判定結
果表示部（５）が表示状態となるようにしたことを特徴
とする請求項１記載のパーティクルカウンタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08338294A JP3120328B2 (ja) | 1996-12-18 | 1996-12-18 | エアーフィルタのリーク試験用パーティクルカウンタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08338294A JP3120328B2 (ja) | 1996-12-18 | 1996-12-18 | エアーフィルタのリーク試験用パーティクルカウンタ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10174826A true JPH10174826A (ja) | 1998-06-30 |
| JP3120328B2 JP3120328B2 (ja) | 2000-12-25 |
Family
ID=18316789
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP08338294A Expired - Fee Related JP3120328B2 (ja) | 1996-12-18 | 1996-12-18 | エアーフィルタのリーク試験用パーティクルカウンタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3120328B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014500139A (ja) * | 2010-11-08 | 2014-01-09 | エーエーエフ−マックウェイ インコーポレイテッド ディー／ビー／エー エーエーエフ インターナショナル | 無菌薬学用ｅＰＴＦＥフィルタおよび使用方法 |
-
1996
- 1996-12-18 JP JP08338294A patent/JP3120328B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014500139A (ja) * | 2010-11-08 | 2014-01-09 | エーエーエフ−マックウェイ インコーポレイテッド ディー／ビー／エー エーエーエフ インターナショナル | 無菌薬学用ｅＰＴＦＥフィルタおよび使用方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3120328B2 (ja) | 2000-12-25 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |