JPH10171024A - 露光光学装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】露光光学装置の変倍制御精度を向上させる。 【解決手段】複写機で前側のみのステップモータで結像
レンズを光軸方向に移動させるものにおいて、目標停止
位置と現在位置との偏差に相当するパルス数Ｘを求め、
Ｘ＝０のときは現状維持し、Ｘ＞０のときは、基準の向
きにＸ分又は基準位置センサで検出された基準位置に停
止させ、Ｘ＜０のときは、逆向きに移動させ、一旦目標
停止位置を通り越して更に所定パルス分１０又は２０
（基準位置の場合) だけ移動させた後、基準の向きに戻
し移動し、１０パルス分又は基準位置センサで検出され
た基準位置停止させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、複写機などの画像形成
装置に使用される露光光学装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】複写機においては、原稿載置台に載置さ
れた原稿（記録物) を露光ランプにより露光し、ミラー
及び結像レンズを介して感光体面に像露光して静電潜像
を形成する露光光学装置を備えている。この種の露光光
学装置では、結像レンズの位置を変更することによって
結像倍率を変更（以下変倍という) できるようになって
いる。

【０００３】従来、前記変倍時の結像レンズ位置の変更
は、前記結合レンズを保持する保持部材の移動方向を挟
んで両側にガイドレールを設置し、該両側に駆動伝達
部、例えばステップモータを駆動源としてベルトを介し
て駆動力を伝達するような駆動伝達部を設置し、レンズ
保持部材を両側から移動を制御して変倍制御を行ってい
た。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うにレンズ保持部材の両側にガイドレール及び駆動伝達
部を設置する構成では、高価につき、かつ、装置全体が
大型となるという問題があった。一方、変倍制御を行う
場合に、同じ目標停止位置まで移動させて停止させる場
合でも、移動方向が異なる場合には、駆動系のガタによ
って停止位置にずれを生じ、そのために同じ倍率に設定
しても異なる倍率の画像となることがあった。

【０００５】本発明は、このような従来の問題点に鑑み
なされたもので、露光光学装置における結像レンズの駆
動系を安価で設置スペースも少なく、装置の大型化を抑
制できるようにすることを目的とする。また、前記駆動
系の制御方式の工夫により、結像レンズの位置制御つま
り変倍制御を高精度に行えるようにすることを第２の目
的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】このため、請求項１に係
る発明の露光光学装置は、記録物を露光ランプで露光
し、結像レンズを介して感光面上に結像する装置であっ
て、かつ、前記結像レンズがその光軸方向に移動可能に
支持され、該光軸上の位置を変更することによって感光
面への結像倍率を変更可能な露光光学装置において、前
記結像レンズを保持するレンズ保持部材の結像レンズの
光軸を挟んで一方の部分を、装置本体に固定したガイド
部材と前記光軸と平行にと摺動自由に係合させると共
に、該一方の側にレンズ保持部材を光軸方向に移動させ
る駆動機構を設け、かつ、レンズ保持部材の他方の側を
装置本体の支持面上に略点接触状態で支持する構成とし
たことを特徴とする。 （作用・効果)このようにすれば、レンズ保持部材の駆
動機構を片側だけに設ければよく、ガイド部材とレンズ
保持部材とを安定した状態で係合でき、かつ、他方の側
は略点接触状態でレンズ保持部材を支持する構成とした
ため、摺動時の接触抵抗を小さくすることができ、レン
ズ保持部材を安定に駆動することができる。

【０００７】そして、駆動源とその伝達機構からなる駆
動系をレンズ保持部材の片側だけに設ければ済むため、
安価に構成できる。また、請求項２に係る発明は、前記
装置本体の支持面を、枠部材の底板表面である構成とし
た。 （作用・効果)これにより、レンズ保持部材が、前記枠
部材の底板表面上に点接触状態に安定して支持される。

【０００８】また、請求項３に係る発明は、前記装置本
体に略点接触状態に支持されるレンズ保持部材の他方の
側の被支持部分が、突起部材で形成されている構成とし
た。 （作用・効果)これにより、前記突起部材の先端が、略
点接触状態で装置本体に支持される。

【０００９】また、請求項４に係る発明は、前記突起部
材は、樹脂で形成されている構成とした。 （作用・効果)これにより、摺動抵抗の小さい適正な樹
脂材料を選択することにより、レンズ保持部材の駆動抵
抗を小さくすることができる。

【００１０】また、請求項５に係る発明は、記録物を露
光ランプで露光し、結像レンズを介して感光面上に結像
する装置であって、かつ、前記結像レンズがその光軸方
向に移動可能に支持され、該光軸上の位置を変更するこ
とによって感光面への結像倍率を変更可能な露光光学装
置において、前記レンズ保持部材を、結像倍率変更時に
移動するときに、目標停止位置が現在位置から基準の向
きにあるときには、該基準の向きのみに移動させて目標
停止位置で停止させ、目標停止位置が現在位置から前記
基準の向きと反対の向きにあるときには、該反対の向き
に目標停止位置を超える位置まで移動させた後、基準の
向きに移動させて目標停止位置で停止させるように制御
する変倍制御手段を備えている構成とした。 （作用・効果)上記のように、レンズ保持部材の現在位
置から目標停止位置への向きが基準の向きとは反対の向
きである場合には、レンズ保持部材を該反対の向きに移
動させ、一旦目標停止位置を通り越した後に、基準の向
きに変更して移動させ目標停止位置で停止するという制
御方式とすることにより、常に基準の向きから移動して
停止させることができ、以て、レンズ保持部材の停止位
置を安定させることができ、高精度な変倍制御を行うこ
とができる。

【００１１】また、請求項６に係る発明は、請求項１〜
請求項４のいずれか１つに記載の露光光学装置であっ
て、かつ、請求項５に係る変倍制御手段を備えている構
成とした。 （作用・効果)請求項１〜請求項４のいずれか１つに記
載の露光光学装置では、レンズ部材を片側だけで駆動す
る方式であるため、片側の摺動係合部分の長さを確保
し、反対側を略点接触支持する等の工夫によって、構造
的にはガタを十分小さく設定できるが、ガタを小さくし
過ぎることは、摩擦抵抗の増大につながるため、限界が
ある。

【００１２】また、片側駆動方式ではレンズユニットの
重心から離れた部分を駆動するため、該重心近傍の結像
レンズ部分を中心としてレンズ保持部材を回転させよう
とするモーメントが発生する。このため、前記係合部分
のガタによって、レンズ保持部材の移動方向が異なる
と、前記モーメントの方向が反転するため、結像レンズ
の光軸の向きが変化し、画像に歪みを生じる。

【００１３】したがって、かかる片側駆動方式の露光光
学装置に、前記請求項６に係る変倍制御手段を設けるこ
とにより、レンズ保持部材の移動の向きを一定にして停
止させるようにすれば、前記移動の向きが異なることに
よる変倍率の変動を防止できると共に、結像レンズの停
止時の光軸の向きを一定にすることができるため、画像
の歪みの発生を防止することができ、特に、効果的であ
る。

【００１４】また、請求項７に係る発明は、前記レンズ
保持部材の駆動源として、ステップモータを使用すると
共に、レンズ保持部材の基準位置を検出する基準位置セ
ンサを設け、レンズ保持部材の移動量を該基準位置に対
する移動量としてステップモータのパルス値を設定して
制御する構成とした。 （作用・効果)ステップモータを用い、基準位置に対す
る移動量を制御することにより、信頼性の高い、高精度
な変倍制御を行える。

【００１５】また、請求項８に係る発明は、前記レンズ
保持部材を前記基準位置に戻すときには、基準位置が現
在位置から基準の向きにあるときには、基準の向きに移
動させて前記基準位置センサによって基準位置が検出さ
れたときに停止させ、基準位置が現在位置から基準の向
きとは反対の向きにあるときには、該反対方向に移動さ
せて基準位置を通り越してさらに所定のパルス数移動さ
せた後、基準の向きに移動させ、基準位置を検出したと
きに停止させ、前記レンズ保持部材を該基準位置以外の
前記目標停止位置に戻すときには、目標停止位置が現在
位置から基準の向きにあるときには、現在位置から該目
標停止位置までのパルス数分基準の向きに移動させて停
止させ、目標停止位置が現在位置から基準の向きとは反
対の向きにあるときには、該反対方向に現在位置から該
目標位置までのパルス数にさらに所定パルス数を加えた
分該反対の向きに移動させた後、前記所定のパルス数分
基準の向きに戻して停止させる変倍制御手段を備えてい
る構成とした。 （作用・効果)このようにすれば、レンズ保持部材を基
準位置に停止させる場合も、それ以外の目標停止位置に
停止させる場合も、現在位置からの方向が基準の向きで
ある場合は基準の方向に移動させて停止させるが、基準
位置で停止させる場合は、ステップモータの脱調防止の
ため、該基準位置にきたときにパルス値を基準値にリセ
ットするべく、基準位置センサで基準位置を検出して停
止させ、他の目標停止位置の場合は、基準位置に対する
移動量をパルス数で制御することにより停止させる。

【００１６】一方、レンズ保持部材の現状の位置から基
準位置又は他の目標停止位置への向きが基準の向きと逆
向きである場合は、該逆向きに移動した後、一旦基準位
置又は他の目標停止位置を通り越してから、基準の向き
に移動して検出された基準位置又はパルス数で制御され
る他の目標停止位置に停止させる。これにより、常に基
準の向きから移動して停止させることができ、以て、レ
ンズ保持部材の停止位置を安定させることができ、ま
た、片側駆動方式の場合は、画像の歪みも防止でき、高
精度な変倍制御を行うことができ、良好な画質が得られ
る。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施例を図に基
づいて説明する。図１は、本発明に係る露光光学装置を
備えた画像形成装置（複写機) の全体構成を示す。ま
ず、基本的な構成及び動作を説明すると、通常複写モー
ドでは原稿Ｐはプラテンガラス１上に置かれ、自動原稿
送り機構 (ＡＤＦ) を内蔵した原稿カバー２を閉じ、複
写開始スイッチ３を押すと、露光ユニット４が主走査方
向に移動する。露光ユニット４にはランプ５及び第１ミ
ラー６が一体に装着されており、主走査方向の移動によ
り原稿Ｐの記録面がプラテンガラス１を介して照明さ
れ、その反射光が走査方向に直交する副走査方向に長い
スリットを介して第１ミラー６に導かれ、該第１ミラー
６により主走査方向に向けて反射される。

【００１８】露光ユニット４の主走査方向には、可動ミ
ラーユニット７が備えられる。該可動ミラーユニット７
は上下に第２ミラー８及び第３ミラー９が線対称状に装
着されており、露光ユニット４と同一方向で１／２の速
度で移動しつつ、前記露光ユニット４の第１ミラー６か
らの反射光を第２ミラー８，第３ミラー９が順次反射し
てレンズユニット10へ導く。

【００１９】レンズユニット10で集光された原稿Ｐの光
像は、レンズユニット10後方に配設された第４ミラー1
1，第５ミラー12，第６ミラー13に順次反射した後、回
転する感光体ドラム14に導かれる。該感光体ドラム14の
外周面には光導電層が設けられ、前記光学系からの像が
導かれる前に、直流高電圧が印加されて例えば正に一様
に帯電されており、この状態から前記光学系の露光走査
により光像を受けると、受光された部分の帯電電荷はド
ラムの金属面に放出され、受光されない残りの部分が正
に帯電されたままとなる。これにより、光導電層の面に
原稿の画像に対応した静電画像が形成される。

【００２０】感光体ドラム14が更に回転すると、前記正
の電荷が帯電している部分に現像装置15から負電荷を有
するトナーが静電力で吸引され、トナー像が形成され
る。複写紙は、給紙ユニット16内の選択された給紙カセ
ットから給紙ローラ17を介して供給され、該複写紙に直
流高圧が印加された転写極18によって前記トナー像が転
写される。トナー像を転写された転写紙は交流電圧が印
加された分離極19により感光体ドラム14から分離され、
更に定着器20へ搬送されトナー像が定着され、その後排
紙ローラ21によって所定の受皿22に送り出される。

【００２１】次に、本発明に係る露光光学装置部分につ
いて、図２〜図４に基づいて詳細に説明する。該露光光
学装置は、図１で示されるように、画像形成装置の上端
部に配置され、装置本体に固定された枠部材30の内部
に、各構成部材が取り付けられている。前記レンズユニ
ット10は、複数枚の組み合わせレンズで構成される結像
レンズ100 と、該結像レンズ100 を保持するレンズ保持
部材101 とで構成され、後述する構造によって、前記枠
部材30上を結像レンズ100 の光軸方向移動自由に取り付
けられる。

【００２２】即ち、レンズ保持部材101 は、結像レンズ
100 の光軸を挟んで一方の側が、装置本体の前側端部近
傍まで延伸して形成され、該延伸された端部には、結像
レンズ100 の光軸と平行な中心軸を所定の長さ有した円
形断面の孔100 ａが形成された円筒部100 Ａが形成さ
れ、該円筒部100 Ａの孔100 ａを、枠部材100 に固定さ
れた円柱形状のガイドレール102 に摺動自由に嵌挿させ
て、レンズ保持部材101を結像レンズ100 の光軸方向移
動自由に案内させる。

【００２３】一方、レンズ保持部材101 の結像レンズ10
0 の光軸を挟んで反対側部分は、前記一方の側に比較し
て十分短く、装置の前後幅方向の中央部近傍まで延伸し
て形成され、該延伸された端部の下端面に単一又は複数
個の突起101 Ｂを設け、枠部材100 の底面に対して略点
接触状態に支持させる。該突起101 Ｂは、例えば樹脂材
で形成され、特に枠部材30底面との摺動部分はテフロン
等摩擦抵抗の小さい材料で形成することにより、レンズ
ユニット10移動時の駆動抵抗を減少できる。

【００２４】また、前記レンズ保持部材101 の前記円筒
部101 Ａより、更に前側に延伸された先端部には、ピニ
オンギア103 をが回転自由に支持する。一方、図３で枠
部材30の前側右端部に設置されたステップモータ31を駆
動源とし、該モータ31の駆動軸と、図で左端部付近に回
転自由に支持された従動軸とにそれぞれ固定されたプー
リ間に、歯付の駆動ベルト32を掛け渡し、前記ピニオン
ギア103 を、前記駆動ベルト32の途中の上下の片側に係
合させる。

【００２５】さらに、レンズ保持部材101 の円筒部101
Ａに隣接する下部に、光路遮断用の突起101 ｃを設ける
一方、枠部材30底面上の所定の位置に送受光器を有した
光センサ33を設置し、前記突起101 ｃが該光センサ33の
送受光器間の光を遮るときのレンズユニット10の位置
を、基準位置として検出する。そして、前記ステップモ
ータ31の駆動を制御回路33によって制御することによ
り、レンズユニット10を所望の位置まで移動させて停止
させ、変倍制御を行うようになっている。ここで、ステ
ップモータ31は、前記基準位置が検出されたときには、
常に前記ステップモータ31のパルス値を基準値にリセッ
トする。また、該基準値を使用頻度も最も高い等倍（10
0 ％) に設定し、かつ、ユーザーのオートリセット操作
や、複写動作終了して所定時間後に自動的にオートリセ
ット操作がされて、レンズユニット10が基準位置に戻る
ようにすることにより、ステップモータ31が脱調した場
合でも、脱調パルス分が積算されることがなく、常時高
精度なパルス制御を行える。

【００２６】さらに、本実施の形態では、レンズユニッ
ト10が正確に所望の位置に停止して、変倍制御を高精度
に実施できるように、常に最後は一定の方向に移動して
から停止するように制御する。以下に、上記ステップモ
ータによるレンズユニット10位置（結像レンズ位置)の
制御（変倍制御) を、図２に示したフローチャート及び
図５の各変倍率に対応するパルス値（番地) との関係を
示す図６とに従って説明する。

【００２７】ステップ１では、ユーザーによって操作さ
れた変倍率に対応するステップモータ31の目標パルス数
が入力される。ステップ２では、レンズ保持部材（結像
レンズ)10 の現在位置に対応するステップモータ31のの
パルス値から目標位置のパルス値を引いた値Ｘを算出す
る。ここで、図６の（変倍率とパルス値との関係) に示
すように、例えば、各変倍率に対応するパルス値は、変
倍率が200 ％と最大のときがパルス値が9000と最大で、
等倍の100 ％ではパルス値が7000，変倍率50％と最小の
ときはパルス値が０となるように設定してある。

【００２８】ステップ２でＸ＝０と算出されたときに
は、現在位置が目標位置と一致しているわけであるか
ら、当該ルーチンを終了して現状を維持する。ステップ
２でＸ≠０と算出されたときには、ステップ３に進んで
Ｘ＞０であるか否かを判別する。ステップ３でＸ＞０と
判定されたときはステップ４へ進んで目標位置が基準位
置（ホームポジション) であるか否かを判別する。

【００２９】そして、目標位置が基準位置でないと判定
されたときは、ステップ６へ進んでパルス値を前記Ｘ値
だけ減少させ、レンズユニット10を該Ｘ値相当分だけ基
準方向に移動させて停止する（図３：順方向移動での停
止, 参照) 。また、ステップ２でＸ＜０と判定さたとき
は、ステップ４へ進んで同様に目標位置が基準位置であ
るか否かを判別する。

【００３０】そして、目標位置が基準位置でないと判定
されたときは、ステップ８へ進んでパルス値を前記（｜
Ｘ｜＋１０) だけ増大させ、レンズユニット10を該（｜
Ｘ｜＋１０) 値相当分だけ基準方向とは逆の方向に移動
させた後、パルス値を１０減少させて、レンズユニット
10を基準方向に１０パルス分戻した位置で停止する（図
３：逆方向移動での停止, 参照) 。即ち、パルス値を｜
Ｘ｜だけ減少させてレンズユニット10を逆方向に移動し
た位置で停止させさば、一応、パルス値としては目標停
止位置に対応する位置に制御されたことになる。しか
し、目標停止位置は同一であってもレンズユニット10を
基準方向に移動して停止するときと、逆方向から移動し
て停止するときとでは、ピニオンギア103 のバックラッ
シュや駆動ベルト32の伸び縮み等により、ある程度以上
のずれの発生は避けられない。特に、本実施の形態では
レンズユニット10を片側だけで駆動する方式であるた
め、レンズユニット10の軽量化や、点接触状態での支
持、円筒部101 Ａを所定長さ確保する等の工夫により、
構造的にはガタを出来る限り小さく設定してあるが、ガ
タを小さくし過ぎることは、摩擦抵抗の増大につながる
という矛盾した関係があり、また、重心から離れた部分
を駆動するため、片側を支持モーメントを生じるため、
両持支持構造に比較して、移動方向が相違して停止する
場合のずれが大きくなりやすく、また、モーメントの発
生により光軸の方向のずれを発生する。

【００３１】したがって、上記のように、一旦目標停止
位置を通り越してから、基準方向に向きを代えて目標停
止位置で停止するという制御方式とすることにより、常
に基準方向から移動して停止させることができ、以て、
変倍率が安定し、画像の歪みも発生したりすることがな
く、高精度な変倍制御を行うことができる。また、ステ
ップ５で目標位置が基準位置と判定されたときにはステ
ップ９へ進んで、Ｘ＞０であるのでパルス値を減少させ
てレンズユニット10を基準方向に移動させながら、ステ
ップ10へ進んで前記基準位置センサ33により、レンズユ
ニット10が基準位置に達したか否かを判別し、基準位置
に達したことが検出されたときにステップ11へ進んで、
ステップモータ31の駆動を停止して、レンズユニット10
を基準位置で停止させる（図３：ホームポジションへの
戻りの停止(1) 参照)。そして、このときのパルス値を
基準値にリセットする。前記した理由で基準位置を等倍
の位置に設定した場合には、パルス値は例えば7000にリ
セットされる。このようにすれば、ステップモータ31の
動作中に脱調があった場合でも、確実にパルス値を基準
値にリセットできる。

【００３２】また、ステップ７で目標位置が基準位置で
あると判定された場合は、ステップ12へ進み、Ｘ＜０で
あるのでパルス値を増大させてレンズユニット10を基準
方向とは逆の方向に移動させながら、ステップ13へ進ん
で前記基準位置センサ33により、レンズユニット10が基
準位置に達したか否かを判別する。そして、基準位置に
達したことが検出されたときにステップ14へ進んでパル
ス値を２０だけ更に増大させた後、パルス値を減少させ
てレンズユニット10を基準方向に移動させる。このよう
に基準方向に移動を開始してから、ステップ10へ進んで
再度基準位置センサ33によりレンズユニット10が基準位
置に達したか否かを判定し、基準位置に達したことが検
出されたときにステップ11へ進んで、ステップモータ31
の駆動を停止して、レンズユニット10を基準位置で停止
させ、このときのパルス値を基準値にリセットする（図
３：ホームポジションへの戻りの停止(2) 参照) 。

【００３３】このように、目標位置が基準位置である場
合も、基準位置でない場合と同様に、逆方向に移動する
場合は、目標位置である基準位置を通り越してから基準
方向に移動しなおして基準位置で停止させるが、基準位
置の場合は前記ステップモータの脱調の積算を防止する
目的で、基準位置に達する毎にその位置検出を行ってリ
セット操作を行うようにしている。但し、逆向きの移動
を行う場合も最終的にステップ10,11 で基準方向移動で
基準位置検出とリセットを行うため、ステップ12〜ステ
ップ14を、簡易的には逆向きに（｜Ｘ｜＋２０) パルス
分だけ逆向きに移動した後、基準方向に移動させる構成
としてもよい。また、基準位置を通り越してからのパル
ス増大分を２０パルスとして、基準位置が目標位置でな
い場合の１０パルスより大きくしているのは、基準位置
センサ33による検出精度を高めるためには、レンズユニ
ット10の移動方向が反転してからの移動距離をある程度
以上確保して、安定した移動速度となった状態で検出を
行うことが好ましいためである。一方、目標位置が基準
位置以外の場合は、目標位置への移動時間が長引かない
ように増大分は１０パルス程度で十分である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態に係る露光光学装置を備え
た複写機の全体構成を示す図。

【図２】同上露光光学装置の正面断面図。

【図３】同上露光光学装置の平面断面図。

【図４】同上露光光学装置の左側面断面図。

【図５】同上実施の形態の変倍制御ルーチンを示すフロ
ーチャート。

【図６】同上の変倍制御の方式を説明するための図。

【符号の説明】

４ 露光ユニット ７ 可動ミラーユニット 10 レンズユニット 31 ステップモータ 32 駆動ベルト 33 基準位置センサ 100 結像レンズ 101 レンズ保持部材 101Ａ 円筒部 101ａ 孔 101Ｂ 突起 101ｃ 突起 102 ガイドレール 103 ピニオンギア

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】記録物を露光ランプで露光し、結像レンズ
   を介して感光面上に結像する装置であって、かつ、前記
   結像レンズがその光軸方向に移動可能に支持され、該光
   軸上の位置を変更することによって感光面への結像倍率
   を変更可能な露光光学装置において、 前記結像レンズを保持するレンズ保持部材の結像レンズ
   の光軸を挟んで一方の部分を、装置本体に固定したガイ
   ド部材と前記光軸と平行にと摺動自由に係合させると共
   に、該一方の側にレンズ保持部材を光軸方向に移動させ
   る駆動機構を設け、かつ、レンズ保持部材の他方の側を
   装置本体の支持面上に略点接触状態で支持する構成とし
   たことを特徴とする露光光学装置。
2. 【請求項２】前記装置本体の支持面は、枠部材の底板表
   面である請求項１に記載の露光光学装置。
3. 【請求項３】前記装置本体に略点接触状態に支持される
   レンズ保持部材の他方の側の被支持部分が、突起部材で
   形成されている請求項１又は請求項２に記載の露光光学
   装置。
4. 【請求項４】前記突起部材は、樹脂で形成されている請
   求項３に記載の露光光学装置。
5. 【請求項５】記録物を露光ランプで露光し、結像レンズ
   を介して感光面上に結像する装置であって、かつ、前記
   結像レンズがその光軸方向に移動可能に支持され、該光
   軸上の位置を変更することによって感光面への結像倍率
   を変更可能な露光光学装置において、 前記レンズ保持部材を、結像倍率変更時に移動するとき
   に、目標停止位置が現在位置から基準の向きにあるとき
   には、該基準の向きのみに移動させて目標停止位置で停
   止させ、目標停止位置が現在位置から前記基準の向きと
   反対の向きにあるときには、該反対の向きに目標停止位
   置を超える位置まで移動させた後、基準の向きに移動さ
   せて目標停止位置で停止させるように制御する変倍制御
   手段を備えている露光光学装置。
6. 【請求項６】請求項１〜請求項４のいずれか１つに記載
   の露光光学装置であって、かつ、請求項５に係る変倍制
   御手段を備えている露光光学制御装置。
7. 【請求項７】前記レンズ保持部材の駆動源として、ステ
   ップモータを使用すると共に、レンズ保持部材の基準位
   置を検出する基準位置センサを設け、レンズ保持部材の
   移動量を該基準位置に対する移動量としてステップモー
   タのパルス値を設定して制御する請求項１〜請求項６の
   いずれか１つに記載の露光光学装置。
8. 【請求項８】前記レンズ保持部材を前記基準位置に戻す
   ときには、基準位置が現在位置から基準の向きにあると
   きには、基準の向きに移動させて前記基準位置センサに
   よって基準位置が検出されたときに停止させ、 基準位置が現在位置から基準の向きとは反対の向きにあ
   るときには、該反対方向に移動させて基準位置を通り越
   してさらに所定のパルス数移動させた後、基準の向きに
   移動させ、基準位置を検出したときに停止させ、 前記レンズ保持部材を該基準位置以外の前記目標停止位
   置に戻すときには、目標停止位置が現在位置から基準の
   向きにあるときには、現在位置から該目標停止位置まで
   のパルス数分基準の向きに移動させて停止させ、 目標停止位置が現在位置から基準の向きとは反対の向き
   にあるときには、該反対方向に現在位置から該目標位置
   までのパルス数にさらに所定パルス数を加えた分該反対
   の向きに移動させた後、前記所定のパルス数分基準の向
   きに戻して停止させる変倍制御手段を備えている請求項
   ７に記載の露光光学装置。