JPH10166601A - 液体噴射記録ヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 板ばね部材のばね端部で天板の溝部と素子基
板のヒータが接合している位置を安定して精度良く押し
付け、接合部分での密着性の安定化さらにインク吐出性
能の信頼性を向上させる液体噴射記録ヘッドの製造方
法。 【解決手段】 固定治具１７にセットされた液体噴射記
録ヘッドを構成する天板３と素子基板２に対してばね掛
けする板ばね部材１を、ばね組付け治具１９に固定した
状態でＺ軸方向に移動させて、近接センサ９によって、
板ばね部材１の板ばね片７の先端部等の押し付け部の位
置を検知して予め設定されている位置に規制し、位置出
し補正を行なう。そして、この状態で板ばね部材１を天
板３にばね掛けすることによって、板ばね部材１の寸法
精度にバラツキがあっても、天板３の溝部４と素子基板
２のヒータ５の接合部分を精度良く正確に押圧し、接合
部分の密着性を安定化し、インク吐出性能の信頼性を向
上させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液体噴射記録装置
等に使用される液体噴射記録ヘッドの製造方法に関し、
特に、板ばね等の弾性部材により天板と素子基板を圧着
接合して構成する液体噴射記録ヘッドの製造方法に関す
るものである。

【０００２】

【従来の技術】液体噴射記録装置等に使用される液体噴
射記録ヘッドは、複数の吐出エネルギー発生素子（例え
ば、電気熱変換素子）を所定の間隔をおいて形成した素
子基板（ヒータボード）と、インクを吐出する複数のイ
ンク吐出口および各インク吐出口にそれぞれ連通する複
数のインク流路溝が形成された天板とからなり、吐出エ
ネルギー発生素子とインク流路溝とを対応するように正
確に位置合わせした状態で、素子基板と天板を組み付け
て、板ばね等の弾性部材により両者を圧着接合し、吐出
エネルギー発生素子によりインク流路溝内のインクに吐
出エネルギーを付与することによってインク吐出口から
インクを液滴として噴射させて印字記録を行なうように
構成されている。

【０００３】この種の液体噴射記録ヘッドの製造に際し
ては、天板における複数の溝やノズル等が形成された箇
所に素子基板の吐出エネルギー発生素子を、画像処理や
機械的な突当て位置決め等によって精密な位置合わせを
した後に、板ばね等の弾性部材の付勢手段によって、天
板と素子基板とを圧着し接合させている。このとき、板
ばね等の弾性部材で、素子基板の吐出エネルギー発生素
子と天板の溝部が接合している位置を、素子基板の裏面
から正確に押し付け押圧するようにばね掛けすることが
必要があった。

【０００４】これは、素子基板と天板の接合において、
天板における複数の溝部と素子基板上の吐出エネルギー
発生素子のパターン部分の密着性が、液体噴射記録ヘッ
ドのインク吐出能力を決める重要な要因となるからであ
る。なお、素子基板上の吐出エネルギー発生素子のパタ
ーンは全長が略１００μｍ程度であるので、板ばね等の
弾性部材の端部での押圧位置は±５０μｍ程度の精度が
要求されている。

【０００５】上記のような条件において、素子基板また
は天板に対する板ばね等の弾性部材端部の位置出しは、
従来においては、板ばね等のばね掛け治具あるいはばね
組付け治具に設けてある機械的な突当て基準に、板ばね
等に設けられた位置出し用の基準部を突き当てる方法で
行なっていた。

【０００６】このようなばね掛けに関する従来技術を図
４ないし図６に基づいてさらに詳細に説明すると、液体
噴射記録ヘッドは、図４および図５に示すように、溝部
４および吐出口（図示しない）が形成された天板３と吐
出エネルギー発生素子５（以下、ヒータという）が形成
された素子基板２と板ばね部材１を備え、天板３の溝部
４に素子基板２上に形成されたヒータ５を、画像処理や
機械的な突当て位置決め等によって、精密に位置決めし
て、この状態で板ばね部材１をばね掛けし、天板３と素
子基板２を接合して密着させる構成としている。

【０００７】ところで、板ばね部材１は、天板３にばね
掛けされた状態で、板ばね片７の端部８が素子基板２の
裏面に当接して素子基板２を天板３に押圧して密着させ
るように構成され（図５参照）、両側枠の下部に突当て
用の基準片１３、１３が設けられ、両側枠には天板３に
係合する係合突片１５、１５が設けられている（図４参
照）。

【０００８】そして、板ばねのばね掛けにおいては、図
６に示すように、板ばね部材１の突当て基準片１３がば
ね組付け治具の固定治具１１に設けられた突当て基準部
１２に突き当てられた状態で、ばねチャージ用ピン１０
を板ばね片７のチャージ用部片１４に引っ掛けて後退さ
せることによって、板ばね部材１をばね組付け治具の固
定治具１１にセットし、板ばね部材１とばね組付け治具
を、予め精密な位置決めがなされて仮クランプされてい
る天板３と素子基板２のばね掛け位置に移動させること
によって、板ばね部材１のばね掛けを行ない、天板３と
素子基板２とを圧着して接合している。

【０００９】このようにばね掛けされた板ばね部材１
は、図５に示すように、その板ばね片７の端部８によっ
て、天板３の溝部４と素子基板２のヒータ５が接合して
いる位置を素子基板２の裏面の押し付け位置６から押圧
するようにばね掛けされ、このような状態のときに、天
板３の溝部４と素子基板２のヒータ５のパターン部が密
着した状態にあり、インク吐出性能も安定している。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような従来の技術においては、板ばね部材の製作上の問
題から、板ばね部材の位置出し用の基準片と素子基板を
押圧する板ばね片の端部との間の寸法ｈ（図３における
突当て基準片１３と板ばね片７の端部８の間の寸法）の
精度は、±０．２程度しか出すことができず、そのため
に、板ばねの位置出し用の基準片をばね掛け治具（また
はばね組付け治具）の突当て基準部に突き当てて精度を
出す方法では、その板ばね部材の寸法精度のバラツキに
より、板ばね片の端部で素子基板のヒータのパターン部
の位置を常に正確に押圧することは困難であり、さらに
板ばね部材はその製作上の問題からロット間の寸法差も
大きい。それ故に、板ばね部材の突当て用の基準片の位
置のみを基準にして、天板または素子基板に対する位置
出しおよびばね掛けをすると、板ばね部材の寸法ｈのバ
ラツキによって、板ばね部材の端部の位置は個々に上下
にバラツキのある状態で素子基板を押し付けることにな
り、天板の溝部と素子基板のヒータのパターン部におけ
る密着性が悪くなる場合があり、また、ロット間の寸法
差をなくすように精度の良い板ばね部材を製作するには
製作コストが大となり、生産性にも影響を与えていた。

【００１１】そこで、本発明は、上記従来技術の有する
未解決な課題に鑑みてなされたものであって、製作コス
トをかけて精度の良い板ばね部材を製作することなし
に、ある程度ラフな精度の板ばね部材を使用しても、ま
たロット間に寸法差があったとしても、板ばね片の端部
等の押し付け部で素子基板のヒータのパターン部と天板
の溝部が接合している位置を±５０μｍ程度の精度をも
って正確に押し付け押圧することができるようにし、前
記接合部分での密着性の安定化、さらにインク吐出性能
の信頼性の向上を可能とする液体噴射記録ヘッドの製造
方法を提供することを目的とするものである。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の液体噴射記録ヘッドの製造方法は、複数の
吐出エネルギー発生素子が形成された素子基板と前記吐
出エネルギー発生素子にそれぞれ対応する複数の流路溝
および該流路溝の各々に連通した複数の吐出口を有する
天板とを、板ばね等の弾性部材により圧着接合して構成
する液体噴射記録ヘッドの製造方法において、前記板ば
ね等の弾性部材における天板または素子基板に対する押
し付け部の位置について各弾性部材毎に位置出し補正を
行なった後に、前記弾性部材をばね掛けして、前記天板
と前記素子基板を圧着して接合することを特徴とする。

【００１３】また、本発明の液体噴射記録ヘッドの製造
方法において、板ばね等の弾性部材における押し付け部
の位置出し補正は、近接センサ等の検知器によって、前
記弾性部材の押し付け部または押し付け部より精度の出
ている部分の位置を検知することによって行なうことが
好ましく、さらに、板ばね等の弾性部材における天板ま
たは素子基板に対する押し付け部は、天板の溝部と素子
基板の吐出エネルギー発生素子のパターン部が接合する
部分を押圧するように設定されていることが好ましい。

【００１４】

【作用】複数の吐出エネルギー発生素子が形成された素
子基板と前記吐出エネルギー発生素子にそれぞれ対応す
る複数の流路溝および該流路溝の各々に連通した複数の
吐出口を有する天板を板ばね等の弾性部材により圧着接
合する工程において、板ばね等の弾性部材を天板および
素子基板にばね掛けする前に、弾性部材の押し付け部の
位置について、近接センサ等の検知器による弾性部材の
押し付け部または押し付け部より精度の出ている部分の
検知によって位置出し補正を毎回行ない、その状態で弾
性部材をばね掛けすることにより、弾性部材の押し付け
部によって天板の溝部と素子基板の吐出エネルギー発生
素子のパターン部を常に安定して精度良く押圧して接合
することができ、前記接合部分の密着性を良好なものと
し、インク吐出性能の信頼性を向上させることができ
る。

【００１５】そして、板ばね等の弾性部材の押し付け部
の位置出し補正を、弾性部材のばね掛けの度に行なうこ
とによって、寸法精度にバラツキのある弾性部材を用い
ても精度良く安定して押圧することができ、コストをか
けて精度を良くした弾性部材を製作する必要がなく、板
ばね等の弾性部材は従来の板ばね製造工程によって作成
されるラフな精度の弾性部材が使用可能である。

【００１６】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面に基づ
いて説明する。

【００１７】図１は本発明の液体噴射記録ヘッドの製造
方法を実施するための装置の概略的な構成図であり、図
２はその一部を拡大して示す構成図である。なお、従来
技術に関連して説明した部材と同様の部材には同じ符号
を用いる。

【００１８】図１において、定盤２６上には、天板３お
よび素子基板２をセットするステージ２７と、ステージ
２７上の天板３および素子基板２に対向して板ばね部材
１を保持し、板ばね部材１を天板３および素子基板２の
方に移動させるためのステージ２８が設けられており、
ステージ２８は、板ばね部材１をセットするばね組付け
治具１９を上下方向（Ｚ軸方向）に移動させるＺ軸ステ
ージ２４と、ばね組付け治具１９やＺ軸ステージ２４を
定盤２６に沿ってＸ軸方向に移動させるＸ軸ステージ２
５とを備えている。

【００１９】天板３は天板用の固定治具１７によってス
テージ２７上にセットされ、この天板３に対して精密に
位置合せされた素子基板２はクランプ治具１６によって
天板３に接合されて仮クランプされる。そして天板３お
よび素子基板２に対してばね掛けする板ばね部材１は、
ステージ２８のばね組付け治具１９の固定治具１１に設
けられた突当て基準部１２に板ばね部材１の突当て基準
片１３を突き当てた状態で、ばねチャージ用ピン１０を
板ばね部材１のチャージ用部片１４に引っ掛け、ばねチ
ャージ用シリンダ１８によってばねチャージ用ピン１０
を後退させることによって、板ばね用の固定治具１１に
セットされる。

【００２０】９は、定盤２６上に位置調整可能に配設さ
れた近接センサ等の検知器であり、板ばね部材１がばね
組付け治具１９の固定治具１１にセットされた状態でＺ
軸方向（上下方向）に移動され、板ばね部材１における
板ばね片７の押し付け部（例えば端部８）あるいは押し
付け部よりも精度の出ている部分等の部位がＺ軸方向の
所定の位置に達したときに、その部位を検知し、そのＺ
軸方向の移動を停止するように設定されている。なお、
前記の所定の位置は、ばね組付け治具１９にセットされ
た板ばね部材１における板ばね片７の押し付け部として
の端部８あるいは押し付け部よりも精度の出ている部分
等の部位が検知された状態において、板ばね部材１をＸ
軸方向に移動させて天板３にばね掛けしたときに、その
板ばね片７の端部８等の押し付け部が、素子基板２のヒ
ータ５と天板３の溝部４が接合している位置を正確に押
圧できるように予め設定された位置である。

【００２１】次に、本発明の製造方法について、板ばね
部材１のばね掛け工程の詳細を説明する。

【００２２】１）天板３を固定治具１７を介してステー
ジ２７にセットする。

【００２３】２）近接センサ９を、板ばね部材１の板ば
ね片７の端部８等の押し付け部または押し付け部よりも
精度の出ている部分などの被検知部位が所定の位置にく
るとＯＮするように設定する。ここで、所定の位置は、
前記したように、板ばね部材１の端部８等の押し付け部
が、Ｘ軸方向に移動されてばね掛けされたときに、素子
基板２のヒータ５と天板３の溝部４が接合している位置
を正確に押し付け押圧することができるように予め設定
された位置である。

【００２４】３）素子基板２を天板３の溝部４に対して
精密な位置合わせをして、クランプ治具１６によって精
密に位置決めされた状態に保持する。

【００２５】４）板ばね部材１の突当て基準片１３を、
ばね組付け治具１９の固定治具１１の突当て基準部１２
に突き当てた状態において、ばねチャージ用ピン１０を
板ばね部材１のチャージ用部片１４に引っ掛け、ばねチ
ャージ用シリンダ１８によりばねチャージ用ピン１０を
後退させることによって、板ばね部材１を固定治具１１
にセットする。

【００２６】５）板ばね部材１を固定治具１１にセット
した状態で、Ｚ軸ステージ２４を近接センサ９がＯＮに
なるまで上昇させる。

【００２７】６）近接センサ９がＯＮとなったときにＺ
軸ステージ２４の上昇移動を止め、この状態でＸ軸ステ
ージ２５によって、板ばね部材１をばね組付け治具１９
とともに天板３のばね掛け位置に移動させる。

【００２８】７）ばね掛けを行ない、板ばね部材１によ
り天板３と素子基板２を接合し密着させる。この際に、
板ばね部材１の板ばね片７は、ばねチャージ用ピン１０
によりチャージされた状態（図２に示した状態、および
図５において符号２０で示す破線で図示した状態）から
徐々に解放され、板ばね片７の押し付け部が素子基板２
の裏面を押し付け押圧する。

【００２９】上記のように、本発明の製造方法によっ
て、天板３と素子基板２の圧着接合を板ばね部材１によ
り行なう際に、近接センサ９によって、各板ばね部材１
の板ばね片７の端部８等の押し付け部の位置を常に一定
に維持することができ、この状態でばね掛けを行なうよ
うにしたので、板ばね片７の端部８等の押し付け部は、
天板３の溝部４と素子基板２上のヒータ５のパターン部
が接合している位置を常に正確に押圧することとなる。
したがって、板ばね部材１においてその寸法ｈに種々の
バラツキがあっても、板ばね部材１の板ばね片７の端部
８等の押し付け部の位置を常に一定に補正し維持するこ
とができる。それ故に、コストをかけて精度の良い板ば
ね部材を作成することなくある程度ラフな精度の板ばね
部材を使用しても、また、ロット間の寸法差があったと
しても、板ばね片７の端部８等の押し付け部により、天
板３の溝部４と素子基板２上のヒータ５のパターン部が
接合している位置を安定して精度良く正確に押圧するこ
とが可能となり、その接合部分での密着性の安定化、さ
らにインク吐出性能の信頼性を向上させることができ
る。

【００３０】なお、本発明は、特に液体噴射記録方式の
中で熱エネルギーを利用して飛翔液滴を形成し、記録を
行なう、いわゆるインクジェット記録方式の記録ヘッ
ド、記録装置において、優れた効果をもたらすものであ
る。

【００３１】その代表的な構成や原理については、例え
ば、米国特許第４７２３１２９号明細書、同第４７４０
７９６号明細書に開示されており、本発明はこれらの基
本的な原理を用いて行なうものが好ましい。この記録方
式はいわゆるオンデマンド型、コンティニュアス型のい
ずれにも適用可能である。

【００３２】この記録方式を簡単に説明すると、記録液
（インク）が保持されているシートや液流路に対応して
配置されている吐出エネルギー発生素子である電気熱変
換体に駆動回路より吐出信号を供給する、つまり、記録
情報に対応して記録液（インク）に核沸騰現象を越え、
膜沸騰現象を生じるような急速な温度上昇を与えるため
の少なくとも一つの駆動信号を印加することによって、
熱エネルギーを発生せしめ、記録ヘッドの熱作用面に膜
沸騰を生じさせる。このように記録液（インク）から電
気熱変換体に付与する駆動信号に一対一に対応した気泡
を形成できるため、特にオンデマンド型の記録法には有
効である。この気泡の成長、収縮により吐出口を介して
記録液（インク）を吐出させて、少なくとも一つの滴を
形成する。この駆動信号をパルス形状とすると、即時適
切に気泡の成長収縮が行なわれるので、特に応答性に優
れた記録液（インク）の吐出が達成でき、より好まし
い。このパルス形状の駆動信号としては、米国特許第４
４６３３５９号明細書、同第４３４５２６２号明細書に
記載されているようなものが適している。なお、上記熱
作用面の温度上昇率に関する発明の米国特許第４３１３
１２４号明細書に記載されている条件を採用すると、さ
らに優れた記録を行なうことができる。

【００３３】記録ヘッドの構成としては、上述の各明細
書に開示されているような吐出口、液流路、電気熱変換
体を組み合わせた構成（直線状液流路又は直角液流路）
の他に、米国特許第４５５８３３３号明細書、米国特許
第４４５９６００号明細書に開示されているように、熱
作用部が屈曲する領域に配置された構成を持つものにも
本発明は有効である。

【００３４】加えて、複数の電気熱変換体に対して、共
通するスリットを電気熱変換体の吐出口とする構成を開
示する特開昭５９−１２３６７０号公報や熱エネルギー
の圧力波を吸収する開孔を吐出部に対応させる構成を開
示する特開昭５９−１３８４６１号公報に基づいた構成
を有するものにおいても本発明は有効である。

【００３５】さらに、本発明が有効に利用される記録ヘ
ッドとしては、記録装置が記録可能である被記録媒体の
最大幅に対応した長さのフルラインタイプの記録ヘッド
がある。このフルラインヘッドは、上述した明細書に開
示されているような記録ヘッドを複数組み合わせること
によってフルライン構成にしたものや、一体的に形成さ
れた一個のフルライン記録ヘッドであってもよい。

【００３６】加えて、装置本体に装着されることで、装
置本体との電気的な接続や装置本体からのインクの供給
が可能になる交換自在のチップタイプの記録ヘッド、あ
るいは記録ヘッド自体に一体的に設けられたカートリッ
ジタイプの記録ヘッドを用いた場合にも本発明は有効で
ある。

【００３７】また、記録ヘッドに対する回復手段や予備
的な補助手段を付加することは、記録装置を一層安定に
することができるので好ましいものである。これらを具
体的に挙げれば、記録ヘッドに対しての、キャッピング
手段、クリーニング手段、加圧または吸引手段、電気熱
変換体あるいはこれとは別の加熱素子、あるいはこれら
の組み合わせによる予備加熱手段、記録とは別の吐出を
行なう予備吐出モード手段を付加することも安定した記
録を行なうために有効である。

【００３８】さらに、記録装置の記録モードとしては黒
色等の主流色のみを記録するモードだけではなく、記録
ヘッドを一体的に構成したものか、複数個の組み合わせ
で構成したものかのいずれでもよいが、異なる色の複色
カラーまたは、混色によるフルカラーの少なくとも一つ
を備えた装置にも本発明は極めて有効である。

【００３９】以上の説明においては、インクを液体とし
て説明しているが、室温やそれ以下で固化するインクで
あって、室温で軟化もしくは液体となるもの、あるい
は、インクジェットにおいて一般的に行なわれている温
度調整の温度範囲である３０℃以上７０℃以下の温度範
囲で軟化もしくは液体となるものでもよい。すなわち、
使用記録信号付与時にインクが液状をなすものであれば
よい。加えて、積極的に熱エネルギーによる昇温をイン
クの固形状態から液体状態への態変化のエネルギーとし
て使用せしめることで防止するか、または、インクの蒸
発防止を目的として放置状態で固化するインクを用いる
かして、いずれにしても熱エネルギーの記録信号に応じ
た付与によってインクが液化してインク液状として吐出
するものや記録媒体に到達する時点ではすでに固化し始
めるもの等のような、熱エネルギーによって初めて液化
する性質のインクの使用も可能である。このような場合
インクは、特開昭５４−５６８４７号公報あるいは特開
昭６０−７１２６０号公報に記載されるような、多孔質
シート凹部または貫通孔に液状または固形物として保持
された状態で、電気熱変換体に対して対向するような形
態としてもよい。上述した各インクに対して最も有効な
ものは、上述した膜沸騰方式を実行するものである。

【００４０】さらに加えて、インクジェット記録装置の
形態としては、コンピュータ等の情報処理機器の画像出
力端末として用いられるものの他、リーダ等と組み合わ
せた複写装置、さらには送受信機能を有するファクシミ
リ装置の形態を採るものであってもよい。

【００４１】

【発明の効果】本発明は、上述したように構成されてい
るので、寸法精度にバラツキのあるラフな精度の板ばね
部材を使用しても、天板の溝部と素子基板のヒータのパ
ターン部が接合している位置を±５０μｍ程度の精度で
板ばね片の端部等の押し付け部により精度良く安定して
押圧することができ、天板における複数の溝部と素子基
板のヒータのパターン部の密着性が安定し、その結果、
インク吐出性能を安定させることが可能となる。そし
て、従来の板ばね製造工程によって作成されるラフな精
度の板ばね部材が使用可能であって、コストをかけて精
度を良くした板ばね部材を作成することを必要とせず、
部品コストを低減させることができる。さらに、板ばね
製造のロット間の差があったとしても、その影響を受け
ることなく、天板の溝部と素子基板のヒータ部が接合し
ている位置を精度良く板ばねの端部等の押し付け部によ
り押圧することができ、ロット間での再調整や位置出し
等の作業も不要であり、液体噴射記録ヘッド製造工程の
稼働率の向上にもつながる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の液体噴射記録ヘッドの製造方法を実施
するための装置の概略的な構成図である。

【図２】図１に示す装置の一部を拡大して示す構成図で
ある。

【図３】液体噴射記録ヘッドに用いられる板ばね部材の
側面図である。

【図４】液体噴射記録ヘッドの構成を分解した状態で示
す模式的な斜視図である。

【図５】液体噴射記録ヘッドにおいて、天板および素子
基板に対してばね掛けされた板ばね部材の状態を示す模
式図である。

【図６】ばね組付け治具にセットされた板ばね部材の状
態を示す模式図である。

【符号の説明】 １ 板ばね部材 ２ 素子基板 ３ 天板 ４ 溝部 ５ 吐出エネルギー発生素子（ヒータ） ７ 板ばね片 ８ （ばね）端部 ９ 近接センサ １０ ばねチャージ用ピン １１ （板ばね部材用）固定治具 １２ 突当て基準部 １３ 突当て基準片 １４ チャージ用部片 １５ 係合突片 １７ （天板用）固定治具 １９ ばね組付け治具 ２４ Ｚ軸ステージ ２５ Ｘ軸ステージ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 深井 恒 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 小野 敬之 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 大川 雅由 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の吐出エネルギー発生素子が形成さ
   れた素子基板と前記吐出エネルギー発生素子にそれぞれ
   対応する複数の流路溝および該流路溝の各々に連通した
   複数の吐出口を有する天板とを、板ばね等の弾性部材に
   より圧着接合して構成する液体噴射記録ヘッドの製造方
   法において、 前記板ばね等の弾性部材における天板または素子基板に
   対する押し付け部の位置について各弾性部材毎に位置出
   し補正を行なった後に、前記弾性部材をばね掛けして、
   前記天板と前記素子基板を圧着して接合することを特徴
   とする液体噴射記録ヘッドの製造方法。
2. 【請求項２】 板ばね等の弾性部材における押し付け部
   の位置出し補正は、近接センサ等の検知器によって、前
   記弾性部材の押し付け部または押し付け部より精度の出
   ている部分の位置を検知することによって行なうことを
   特徴とする請求項１記載の液体噴射記録ヘッドの製造方
   法。
3. 【請求項３】 板ばね等の弾性部材における天板または
   素子基板に対する押し付け部は、天板の溝部と素子基板
   の吐出エネルギー発生素子のパターン部が接合する部分
   を押圧するように設定されていることを特徴とする請求
   項１または２記載の液体噴射記録ヘッドの製造方法。