JPH10166273A - サンドブラスト装置 - Google Patents
サンドブラスト装置Info
- Publication number
- JPH10166273A JPH10166273A JP8327046A JP32704696A JPH10166273A JP H10166273 A JPH10166273 A JP H10166273A JP 8327046 A JP8327046 A JP 8327046A JP 32704696 A JP32704696 A JP 32704696A JP H10166273 A JPH10166273 A JP H10166273A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- supporting member
- abrasive
- driving
- screw
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
- Gas-Filled Discharge Tubes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 被加工物が大面積になり且つ加工精度が高く
なっても、サンドブラスト加工時における加工ムラを軽
減する。 【解決手段】 被加工物である基板１０を搬送する基板
搬送手段と、研磨材を噴射するための噴射ノズル１３を
有する研磨材噴射部とを備えてなるサンドブラスト装置
において、研磨材噴射部の駆動手段にボールネジを用い
る。駆動時の振動が殆どなくなるので、加工ムラをなく
して加工品質を向上できる。
なっても、サンドブラスト加工時における加工ムラを軽
減する。 【解決手段】 被加工物である基板１０を搬送する基板
搬送手段と、研磨材を噴射するための噴射ノズル１３を
有する研磨材噴射部とを備えてなるサンドブラスト装置
において、研磨材噴射部の駆動手段にボールネジを用い
る。駆動時の振動が殆どなくなるので、加工ムラをなく
して加工品質を向上できる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、気相中に粉体を分
散させた噴流を被加工物に衝突させることにより研削加
工を行うサンドブラスト装置に係り、特にプラズマディ
スプレイパネル（以下、ＰＤＰと記す）における障壁の
形成に好適に用いられるサンドブラスト装置に関するも
のである。
散させた噴流を被加工物に衝突させることにより研削加
工を行うサンドブラスト装置に係り、特にプラズマディ
スプレイパネル（以下、ＰＤＰと記す）における障壁の
形成に好適に用いられるサンドブラスト装置に関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】従来、ＰＤＰにおける障壁の形成方法と
しては、基板上にガラスペーストをスクリーン印刷によ
りパターン状に重ねて印刷を行い、このガラスペースト
を乾燥、焼成して所望の障壁を形成する方法が一般的で
あったが、この方法は工程が複雑であるとともに良好な
線幅精度が得られ難いことから、最近では、基板上にガ
ラスペーストを所定の厚さで塗布して乾燥させることで
障壁形成層を形成し、その上に耐サンドブラスト性を有
するマスクをパターン状に形成してから、このマスクを
介して研磨材による研削を行うことにより所望パターン
の障壁を形成する所謂サンドブラスト法が行われるよう
になってきている。
しては、基板上にガラスペーストをスクリーン印刷によ
りパターン状に重ねて印刷を行い、このガラスペースト
を乾燥、焼成して所望の障壁を形成する方法が一般的で
あったが、この方法は工程が複雑であるとともに良好な
線幅精度が得られ難いことから、最近では、基板上にガ
ラスペーストを所定の厚さで塗布して乾燥させることで
障壁形成層を形成し、その上に耐サンドブラスト性を有
するマスクをパターン状に形成してから、このマスクを
介して研磨材による研削を行うことにより所望パターン
の障壁を形成する所謂サンドブラスト法が行われるよう
になってきている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記のサンドブラスト
法がＰＤＰの障壁形成に有効な手段であることは既に一
般的になっているが、ＰＤＰの大型化、高精細化に伴
い、より安定的な加工が要求されてきている。ところ
で、サンドブラスト装置は、被研削物である基板の上で
研磨材の噴射ノズルを往復動させることで基板全体に均
一な加工を施す仕組みになっているが、既存のサンドブ
ラスト装置では、噴射ノズルを有する研磨材噴射手段
を、ガイドとしてリニアガイドを、駆動方式としてラッ
クアンドピニオンを用いて往復動させている。このため
駆動時の振動に起因する加工ムラがあり、基板が大きく
なればなる程、また加工精度が高くなる程、この加工ム
ラが無視できなくなるという問題がある。
法がＰＤＰの障壁形成に有効な手段であることは既に一
般的になっているが、ＰＤＰの大型化、高精細化に伴
い、より安定的な加工が要求されてきている。ところ
で、サンドブラスト装置は、被研削物である基板の上で
研磨材の噴射ノズルを往復動させることで基板全体に均
一な加工を施す仕組みになっているが、既存のサンドブ
ラスト装置では、噴射ノズルを有する研磨材噴射手段
を、ガイドとしてリニアガイドを、駆動方式としてラッ
クアンドピニオンを用いて往復動させている。このため
駆動時の振動に起因する加工ムラがあり、基板が大きく
なればなる程、また加工精度が高くなる程、この加工ム
ラが無視できなくなるという問題がある。
【０００４】本発明は、このような問題点に鑑みなされ
たものであり、その目的とするところは、被加工物が大
面積になり且つ加工精度が高くなっても、サンドブラス
ト加工時における加工ムラを軽減できるようにしたサン
ドブラスト装置を提供することにある。
たものであり、その目的とするところは、被加工物が大
面積になり且つ加工精度が高くなっても、サンドブラス
ト加工時における加工ムラを軽減できるようにしたサン
ドブラスト装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のサンドブラスト装置は、被加工物である基
板を搬送する基板搬送手段と、研磨材を噴射するための
噴射ノズルを有する研磨材噴射部とを備えてなるサンド
ブラスト装置において、研磨材噴射部の駆動手段にボー
ルネジを用いたことを特徴とするものである。
に、本発明のサンドブラスト装置は、被加工物である基
板を搬送する基板搬送手段と、研磨材を噴射するための
噴射ノズルを有する研磨材噴射部とを備えてなるサンド
ブラスト装置において、研磨材噴射部の駆動手段にボー
ルネジを用いたことを特徴とするものである。
【０００６】
【発明の実施の形態】次に、サンドブラスト装置の具体
的な例を挙げて本発明の実施形態について説明する。図
１は本発明に係るサンドブラスト装置の一例を示す正面
図、図２は同じく側面図である。
的な例を挙げて本発明の実施形態について説明する。図
１は本発明に係るサンドブラスト装置の一例を示す正面
図、図２は同じく側面図である。
【０００７】図示のようにこのサンドブラスト装置で
は、２枚の基板１０を矢印方向に搬送しながらサンドブ
ラスト加工を行うようになっており、装置的には、レー
ル１１とその上を走行する基板加工ステージ１２とから
なる基板搬送手段と、研磨材を噴射するための噴射ノズ
ル１３を有する研磨材噴射部とを備えている。なお、図
示の例では、装置内部を基板が往復動するように記載さ
れているが、装置の両側に基板入口と基板出口を設けて
もよい。
は、２枚の基板１０を矢印方向に搬送しながらサンドブ
ラスト加工を行うようになっており、装置的には、レー
ル１１とその上を走行する基板加工ステージ１２とから
なる基板搬送手段と、研磨材を噴射するための噴射ノズ
ル１３を有する研磨材噴射部とを備えている。なお、図
示の例では、装置内部を基板が往復動するように記載さ
れているが、装置の両側に基板入口と基板出口を設けて
もよい。
【０００８】噴射ノズル１３は支持部材１４を介して駆
動系に接続されており、リニアガイド１５に沿って基板
１０の進行方向と直交する方向に往復動できるようにな
っている。すなわち、支持部材１４には雌ネジを切った
ナット部１４ａが設けられおり、この雌ネジと雄ネジ１
６の間に鋼球が入って転動する構造のボールネジになっ
ており、モーター１７による雄ネジ１６の回転運動を支
持部材１４の直線運動に変換するように構成されてい
る。また、各噴射ノズル１３はエアーホース１８と研磨
材ホース１９に接続されている。なお、図面が見にくく
なるため、図１では支持部材１４を案内するリニアガイ
ドの図示を省略している。また、噴射ノズル１３を有す
る研磨材噴射部の数はこれに限定されるものではなく、
必要に応じて２つでも３つでも構わない。
動系に接続されており、リニアガイド１５に沿って基板
１０の進行方向と直交する方向に往復動できるようにな
っている。すなわち、支持部材１４には雌ネジを切った
ナット部１４ａが設けられおり、この雌ネジと雄ネジ１
６の間に鋼球が入って転動する構造のボールネジになっ
ており、モーター１７による雄ネジ１６の回転運動を支
持部材１４の直線運動に変換するように構成されてい
る。また、各噴射ノズル１３はエアーホース１８と研磨
材ホース１９に接続されている。なお、図面が見にくく
なるため、図１では支持部材１４を案内するリニアガイ
ドの図示を省略している。また、噴射ノズル１３を有す
る研磨材噴射部の数はこれに限定されるものではなく、
必要に応じて２つでも３つでも構わない。
【０００９】基板加工ステージ１２はレール１１上を走
行するが、図示の例ではその駆動手段にボールネジを使
用している。すなわち、ステージ１２の下部に雌ネジを
切ったナット部１２ａが取り付けられており、レール１
１と平行に配設した雄ネジ２０とナット部１２ａの雌ネ
ジとの間に鋼球が入って転動する構造のボールネジにな
っており、図示しないモーターにより雄ネジ２０の回転
運動をステージ１２の直線運動に変換するようになって
いる。
行するが、図示の例ではその駆動手段にボールネジを使
用している。すなわち、ステージ１２の下部に雌ネジを
切ったナット部１２ａが取り付けられており、レール１
１と平行に配設した雄ネジ２０とナット部１２ａの雌ネ
ジとの間に鋼球が入って転動する構造のボールネジにな
っており、図示しないモーターにより雄ネジ２０の回転
運動をステージ１２の直線運動に変換するようになって
いる。
【００１０】そして、噴射ノズル１３が往復動しながら
基板１０が移動することでサンドブラスト加工が行われ
る。なお、研磨材噴射部の駆動手段にボールネジを用い
るとサンドブラスト加工の精度が良好になるが、加工精
度をさらに上げるためには、図示の例のように、基板加
工ステージ１２の駆動手段にもボールネジを用いるとよ
い。
基板１０が移動することでサンドブラスト加工が行われ
る。なお、研磨材噴射部の駆動手段にボールネジを用い
るとサンドブラスト加工の精度が良好になるが、加工精
度をさらに上げるためには、図示の例のように、基板加
工ステージ１２の駆動手段にもボールネジを用いるとよ
い。
【００１１】
【実施例】以下、サンドブラスト法による具体的な障壁
形成を例に挙げて実施例を説明する。
形成を例に挙げて実施例を説明する。
【００１２】まず、図３（ａ）に示すように、電極１を
形成したガラス基板２の上にブレードコーター或いはス
クリーン印刷により膜厚１５０μｍで障壁用のガラスペ
ーストを塗布して乾燥させることで障壁形成層３を形成
し、次いでその上にドライフィルム、例えば東京応化工
業製「ＢＦ−６０５」を加熱圧着してラミネートする。
そして、ライン状のマスクパターンＭを介して図３
（ｂ）に示すように露光を行った。露光条件は、３６５
ｎｍで測定した時に強度５ｍＷ／ｃｍ2 、照射量４００
ｍＪ／ｃｍ2 である。なお、ドライフィルムに代えて、
適当なレジストをスピンナー、ローラーコーター、ブレ
ードコーター等で塗布し、室温で乾燥させてマスク層４
を形成してもよい。露光後、炭酸ナトリウム０．２ｗｔ
％水溶液により液温３０℃でスプレー現像を行った。以
上の工程により、図３（ｃ）に示す如く障壁形成層３上
にライン状マスク４ａが形成される。例えば、ライン状
マスク４ａを２００μｍピッチ（ライン幅９０μｍ、ス
ペース幅１１０μｍ）で設ければよい。
形成したガラス基板２の上にブレードコーター或いはス
クリーン印刷により膜厚１５０μｍで障壁用のガラスペ
ーストを塗布して乾燥させることで障壁形成層３を形成
し、次いでその上にドライフィルム、例えば東京応化工
業製「ＢＦ−６０５」を加熱圧着してラミネートする。
そして、ライン状のマスクパターンＭを介して図３
（ｂ）に示すように露光を行った。露光条件は、３６５
ｎｍで測定した時に強度５ｍＷ／ｃｍ2 、照射量４００
ｍＪ／ｃｍ2 である。なお、ドライフィルムに代えて、
適当なレジストをスピンナー、ローラーコーター、ブレ
ードコーター等で塗布し、室温で乾燥させてマスク層４
を形成してもよい。露光後、炭酸ナトリウム０．２ｗｔ
％水溶液により液温３０℃でスプレー現像を行った。以
上の工程により、図３（ｃ）に示す如く障壁形成層３上
にライン状マスク４ａが形成される。例えば、ライン状
マスク４ａを２００μｍピッチ（ライン幅９０μｍ、ス
ペース幅１１０μｍ）で設ければよい。
【００１３】続いて、乾燥工程を経てから、図４（ａ）
に示すように、サンドブラスト加工を行うことにより障
壁形成層３の不要部分を除去し、図４（ｂ）に示す如く
ライン状マスク４ａの下に障壁３ａのパターンを形成す
る。このサンドブラスト加工を前記のサンドブラスト装
置を用いて行った。本実施例では、研磨材としてアルミ
ナ♯８００を用い、噴射量１００ｇ／ｍｉｎ、噴射圧力
３ｋｇｆ／ｃｍ2 、基板５とノズル７の距離１００ｍ
ｍ、スキャン速度１００ｍｍ／ｓｅｃの条件でサンドブ
ラスト加工を行った。
に示すように、サンドブラスト加工を行うことにより障
壁形成層３の不要部分を除去し、図４（ｂ）に示す如く
ライン状マスク４ａの下に障壁３ａのパターンを形成す
る。このサンドブラスト加工を前記のサンドブラスト装
置を用いて行った。本実施例では、研磨材としてアルミ
ナ♯８００を用い、噴射量１００ｇ／ｍｉｎ、噴射圧力
３ｋｇｆ／ｃｍ2 、基板５とノズル７の距離１００ｍ
ｍ、スキャン速度１００ｍｍ／ｓｅｃの条件でサンドブ
ラスト加工を行った。
【００１４】サンドブラスト加工後、噴出エアーにより
使用後の研磨材を吹き飛ばすブロア工程を行った後、ラ
イン状マスク４ａを剥離材で除去し、焼成工程を経て図
４（ｃ）に示すようにガラス基板２に密着した障壁３ａ
を形成した。以上のようにして形成した背面板に蛍光面
を形成し、これとは別に、例えば維持電極、バス電極、
誘電体層及びＭｇＯ層等を設けた前面板を準備し、両者
を合わせてＰＤＰを作製した。
使用後の研磨材を吹き飛ばすブロア工程を行った後、ラ
イン状マスク４ａを剥離材で除去し、焼成工程を経て図
４（ｃ）に示すようにガラス基板２に密着した障壁３ａ
を形成した。以上のようにして形成した背面板に蛍光面
を形成し、これとは別に、例えば維持電極、バス電極、
誘電体層及びＭｇＯ層等を設けた前面板を準備し、両者
を合わせてＰＤＰを作製した。
【００１５】この実施例とは別に、研磨材噴射部の駆動
手段にガイドとしてリニアガイドを、駆動方式としてラ
ックアンドピニオンを用いたサンドブラスト装置、さら
には駆動方式としてタイミングベルトを用いたサンドブ
ラスト装置により同様な条件でサンドブラスト加工を施
し、ノズル駆動時の振動の状況と研削後の障壁の形状を
比較した。その結果を表１に示す。
手段にガイドとしてリニアガイドを、駆動方式としてラ
ックアンドピニオンを用いたサンドブラスト装置、さら
には駆動方式としてタイミングベルトを用いたサンドブ
ラスト装置により同様な条件でサンドブラスト加工を施
し、ノズル駆動時の振動の状況と研削後の障壁の形状を
比較した。その結果を表１に示す。
【００１６】
【表１】
【００１７】この表１から分かるように、研磨材噴射部
の駆動手段にボールネジを用いたサンドブラスト装置で
は、駆動に伴う振動が激減し品質が向上した。
の駆動手段にボールネジを用いたサンドブラスト装置で
は、駆動に伴う振動が激減し品質が向上した。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、被加工
物である基板を搬送する基板加工ステージと、研磨材を
噴射するための噴射ノズルを有する研磨材噴射部とを備
えてなるサンドブラスト装置において、研磨材噴射部の
駆動手段にボールネジを用いた構成にしたので、駆動時
の振動が殆どなくなることから、サンドブラスト加工時
における加工ムラをなくして加工品質を向上させること
ができる。
物である基板を搬送する基板加工ステージと、研磨材を
噴射するための噴射ノズルを有する研磨材噴射部とを備
えてなるサンドブラスト装置において、研磨材噴射部の
駆動手段にボールネジを用いた構成にしたので、駆動時
の振動が殆どなくなることから、サンドブラスト加工時
における加工ムラをなくして加工品質を向上させること
ができる。
【図１】本発明に係るサンドブラスト装置の一例を示す
正面図である。
正面図である。
【図２】同じく側面図である。
【図３】サンドブラスト法による具体的な障壁形成の例
を説明するための前半の工程図である。
を説明するための前半の工程図である。
【図４】図２に続く後半の工程図である。
【符号の説明】 １ 電極 ２ ガラス基板 ３ 障壁形成層 ３ａ 障壁 ４ マスク層 ４ａ ライン状マスク １０ 基板 １１ レール １２ 基板加工ステージ １２ａ ナット部 １３ 噴射ノズル １４ 支持部材 １４ａ ナット部 １５ リニアガイド １６ 雄ネジ １７ モーター １８ エアーホース １９ 研磨材ホース ２０ 雄ネジ
Claims (1)
- 【請求項１】 被加工物である基板を搬送する基板搬送
手段と、研磨材を噴射するための噴射ノズルを有する研
磨材噴射部とを備えてなるサンドブラスト装置におい
て、研磨材噴射部の駆動手段にボールネジを用いたこと
を特徴とするサンドブラスト装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8327046A JPH10166273A (ja) | 1996-12-06 | 1996-12-06 | サンドブラスト装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8327046A JPH10166273A (ja) | 1996-12-06 | 1996-12-06 | サンドブラスト装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10166273A true JPH10166273A (ja) | 1998-06-23 |
Family
ID=18194712
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8327046A Pending JPH10166273A (ja) | 1996-12-06 | 1996-12-06 | サンドブラスト装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10166273A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20010099018A (ko) * | 2001-08-11 | 2001-11-09 | 김성규 | 에칭기 |
| CN109129210A (zh) * | 2017-06-28 | 2019-01-04 | 玛皓株式会社 | 浆料喷射体和湿喷砂处理方法 |
| CN109227405A (zh) * | 2018-09-26 | 2019-01-18 | 湖南环境生物职业技术学院 | 掩膜辅助高速可溶磨粒电液射流制造表面功能微结构装置 |
| CN114102333A (zh) * | 2021-11-10 | 2022-03-01 | 寿光市煜盛汽车配件有限公司 | 一种汽车座椅配件生产加工用多功能喷砂装置 |
-
1996
- 1996-12-06 JP JP8327046A patent/JPH10166273A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20010099018A (ko) * | 2001-08-11 | 2001-11-09 | 김성규 | 에칭기 |
| CN109129210A (zh) * | 2017-06-28 | 2019-01-04 | 玛皓株式会社 | 浆料喷射体和湿喷砂处理方法 |
| CN109227405A (zh) * | 2018-09-26 | 2019-01-18 | 湖南环境生物职业技术学院 | 掩膜辅助高速可溶磨粒电液射流制造表面功能微结构装置 |
| CN114102333A (zh) * | 2021-11-10 | 2022-03-01 | 寿光市煜盛汽车配件有限公司 | 一种汽车座椅配件生产加工用多功能喷砂装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070109 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20070502 |