KR100278620B1 - 플라즈마디스플레이패널후면판제조장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널 후면판 제조 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 피에칭체에 격벽을 형성하기 위한 에칭액을 분사시키는 노즐 파이프부와 상기 노즐 파이프부를 일괄적으로 요동시키는 요동부를 포함하는 플라즈마 디스플레이 패널 후면판 제조 장치에 있어서, 적어도 다수개의 노즐파이프의 장축이 피에칭체의 이송방향과 평행하게 배치되고 상기 각각의 노즐파이프는 개별적으로 압력 조절이 가능하도록 이루어진 다수개의 노즐파이프부와, 상기 다수개의 노즐파이프부를 일괄적으로 요동시키는 것으로, 회전운동을 일으키는 1차 구동장치와 상기 1차 구동장치부로부터의 동력을 전달받아 직선왕복운동을 하는 2차 구동장치부로 이루어진 요동발생수단을 구비하여 이루어진 것을 특징으로 한다.
따라서 상기와 같이 구성된 본 발명에 따르면 스크린 프린팅과 포토리소그래피 공정을 사용하여 PDP 후면판의 각 기능층을 형성한 피에칭체에 연속 공정으로 에칭액을 분사시켜 격벽층을 형성시키도록 구현함으로써 대량생산을 실현시킬 수 있다.

Description

플라즈마 디스플레이 패널 후면판 제조 장치{PLASMA DISPLAY PANEL REAR PLATE MANUFACTURING APPARATUS}
본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel: 이하 'PDP'라고도 함) 후면판 제조 장치에 관한 것으로, 특히 스크린 프린팅과 포토리소그래피 공정을 사용하여 PDP 후면판의 각 기능층을 형성한 피에칭체에 연속 공정으로 에칭액을 분사시켜 격벽층을 형성시키도록 구현함으로써 대량생산을 실현시킨 플라즈마 디스플레이 패널 후면판 제조 장치에 관한 것이다.
상기 플라즈마 디스플레이 패널(PDP)은 전면 글라스 기판과 후면 글라스 기판 사이에 방전 공간을 형성하고 대향하는 전극 사이에서 플라즈마 방전을 일으켜 주위에 존재하는 형광체로 하여금 여기되도록 발광시킴으로써 화면을 표시하는 장치이다.
일반적으로, 플라즈마 디스플레이 패널(PDP)은 직류형과 교류형으로 나눌수 있으며, 이 중 교류형 PDP가 현재 주류를 이루고 있다.
도 1은 일반적인 교류형 PDP의 1(one) 셀(Cell)을 단면 구성으로 나타낸 것으로, 전면판(40)과 후면판(50) 사이에 실링구조체(36)가 밀봉된 구조이다.
먼저 전면판(40)은, 전면 글라스 기판(10)과, 상기 전면 글라스 기판(10) 하단에 형성된 유지전극(12)과, 상기 유지전극(12)의 저항을 줄이기 위해 상기 유지전극(12) 하단에 형성된 버스(BUS) 전극(14)과, 상기 버스 전극(14) 및 유지전극(12)을 덮는 전면 유전체층(16)과, 상기 전면 유전체층(16)의 스퍼터링을 방지하기 위해 상기 전면 유전체층(16) 하단에 형성된 산화마그네슘(MgO)층(18)으로 구성되어 있다.
상기 후면판(50)의 구성은, 후면 글라스 기판(20)과, 상기 후면 글라스 기판(20) 위에 형성되며 어드레스 전극의 색번짐 등을 방지하기 위한 하지층(22)과, 상기 하지층(22) 위에 일정한 간격으로 형성된 어드레스 전극(24)과, 상기 어드레스 전극(24)을 덮는 후면 유전체층(26)과, 상기 어드레스 전극(24) 사이의 상기 유전체층(26) 상단에 형성된 격벽(28)과, 상기 격벽(28) 면을 따라 각각 코팅·소성된 적색(R), 녹색(G), 청색(B) 형광체(30,32,34)로 되어 있다.
상기 전면판(40)과 후면판(50) 사이에는 플라즈마 방전을 일으키는 가스가 봉입되어 있으며, 이것의 밀폐를 위해 상기 전면판(40)과 후면판(50) 사이를 실링구조체(36)로 밀봉되어 있다.
본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널(PDP)의 후면판(50)을 제조하기 위한 것으로, 특히 후면판(50) 격벽층(28)을 형성하기 위한 것이다.
상기 후면판(50)의 격벽층(28)을 형성하기 위한 제조방법으로는 스크린 프린트(screen print)법, 샌드블라스트(Sand Blast)법 등이 널리 사용되고 있다.
상기 스크린 프린트법은, 후면 글라스기판(20)에 하지제판을 올려놓은 다음 하지용 페이스트를 하지제판 위에 올려놓고 스퀴지로 밀어서 상기 하지제판의 개구부를 통해 상기 페이스트를 통과시켜 스크린 인쇄한다. 이때 인쇄된 하지층(22)은 120∼150℃의 온도로 5∼10분정도 건조시킨후 550∼580℃로 10분정도 소성을 행한다. 그후, 상기 피에칭체에 전극용 페이스트를 전극제판 위에 올려놓고 스퀴지로 전극패턴인쇄를 실시하여 전극층(24)을 형성하고, 이를 120∼150℃의 온도로 5∼10분정도 건조시킨후 500∼600℃로 10분정도 소성을 행한다. 이어, 상기 피에칭체에 유전체용 페이스트를 유전체제판 위에 올려놓고 스퀴지로 유전체 전면인쇄를 실시하여 유전체(26)를 형성하고, 이를 120∼150℃의 온도로 5∼10분정도 건조시킨후 550∼580℃로 10분정도 소성을 행한다. 그후, 상기 피에칭체에 격벽용 페이스트를 격벽제판 위에 올려놓고 스퀴지로 격벽 패턴인쇄를 실시하여 격벽층(28)을 형성하고 이를 120∼150℃의 온도로 5∼10분정도 건조시킨후, 다시 상기 격벽층(28) 위에 격벽 패턴인쇄 공정과 건조 공정을 8∼20회정도 실시한후 550∼600℃로 10분정도 소성을 행한다. 그후, 상기 피에칭체에 적색 형광체용 페이스트를 적색 형광체 제판위에 올려놓고 스퀴지로 적색형광체 패턴인쇄를 실시하여 적색형광체층(30)을 형성하고, 이를 120∼150℃의 온도로 5∼10분정도 건조시킨후 녹색 형광체용 페이스트를 녹색 형광체 제판위에 올려놓고 상기와 동일한 방법으로 녹색형광체층(32)을 형성한다. 그리고, 청색 형광체용 페이스트를 청색형광체제판 위에 올려놓고 상기와 동일한 방법으로 청색 형광체층(34)을 형성하고 난 뒤 450∼490℃로 30∼60분정도로 소성을 행하여 PDP 후면판을 완성한다.
상기 샌드블라스터법에 의한 PDP 후면판(50)의 격벽(28) 제조방법은 다음과 같다.
후면기판(20) 위에 하지층(22)에서 유전체층(26) 까지를 형성하는 방법은 상기 스크린 프린트법과 동일하며 이후 격벽(28)을 형성하는 방법은 다음과 같다.
유전체(26)의 피에칭체 위에 격벽용 페이스트를 격벽제판 위에 올려놓고 스퀴지로 격벽 전면인쇄를 실시하여 격벽층을 형성하고, 이를 120∼150℃의 온도로 5∼10분정도 건조시킨후 다시 형성된 격벽층 위에 격벽 전면인쇄 공정과 건조 공정을 8∼10회 정도 실시한후 포토레지스트를 상기 건조체 위에 코팅하여 노광 현상을 실시한 뒤 샌드로 샌드블라스팅하여 격벽층을 형성하고, 이어 550∼600℃로 10분정도 소성을 행하여 격벽(28)을 완성한다. 그후 적색(R), 녹색(G), 청색(B) 형광체(30,32,34)층을 상기 스크린 프린트법과 동일하게 형성한다.
그런데, 상기 스크린 프린트법의 경우, 1회 인쇄에 따른 높이가 10μm내외로 통상의 격벽높이 100∼150μm을 형성하기 위해서 10회 이상의 반복 인쇄를 필요로해 공정수가 늘어나며, 동시에 페이스트의 요변성 및 스퀴즈의 압입량 차에 따라 각 격벽의 높이가 틀려지게 되고 반복 인쇄에 따른 얼라인먼트의 맞춤이 어려워 격벽 패턴의 정도(精度)가 떨어지는 문제점이 있었다.
이러한 문제점들로 인하여 많은 업체들에서는 플라즈마 디스플레이 패널(PDP) 후면판의 격벽층을 만드는 방법으로 샌드블라스트법을 사용하고 있다.
그러나, 상기 종래의 샌드블라스트법을 이용한 샌드블라스트 장치에 있어서는, 연삭제에 의한 후면판 구조체의 손상을 일으키는 문제가 있었으며, 이를 방지하기 위해 보호층을 만들 경우 이에 따른 공정수가 늘어나게 되는 문제점이 있었다. 또한 샌드블라스트 공정완료 후 격벽내 샌드가 잔존하는 문제가 있었으며, 샌드 재사용을 위한 회수처리문제 등이 있었다.
또한, 레지스트 박막공정이나 소성공정 도중 격벽의 형상 변형이 발생하게 되며, 상기 연마제의 가격이 고가이므로 제조비용이 많이 들고, 연마제 분사시 인체에 유해한 납을 주성분으로 하는 분진이 발생하므로 대규모 라인 구성이 어려운 문제점이 있었다.
따라서, 본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명에서는 스크린 프린팅과 포토리소그래피 공정을 사용하여 PDP 후면판의 각 기능층을 형성한 피에칭체에 연속 공정으로 에칭액을 분사시켜 격벽층을 형성시키도록 구현함으로써 대량생산을 실현시킨 플라즈마 디스플레이 패널 후면판 제조 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
도 1은 일반적인 교류형 PDP의 1셀의 단면 구성도
도 2는 에칭에 의한 PDP 후면판 제조 장치의 블록구성도
도 3은 본 발명에 의한 단위격벽가공부의 사시도
도 4는 본 발명에 의한 노즐파이프의 노즐분사 단면도
도 5a 및 도 5b는 본 발명에 의한 노즐파이프의 노즐 배치를 나타낸 구성도
도 6은 본 발명에 의한 노즐파이프부와 요동부의 제 1실시예의 구성도
도 7은 본 발명에 의한 노즐파이프부와 요동부의 제 2실시예의 구성도
도 8은 본 발명에 의한 노즐파이프부와 요동부의 제 3실시예의 구성도
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *
10 : 전면 글라스 기판 12 : 유지전극
14 : 버스전극 16 : 전면 유전체
18 : 산화마그네슘(MgO)층 20 : 후면 글라스 기판
22 : 하지층 24 : 어드레스 전극층
26 : 후면 유전체층 28 : 격벽층
30 : 적색 형광체 32 : 녹색 형광체
34 : 청색 형광체 36 : 실링 구조체
40 : 전면판 50 : 후면판
100 : 이송장치부 110 : 반입부
120 : 단위 이송부 130 : 반출부
140 : 1차 구동장치부 142 : 2차 구동장치부
144 : 3차 구동장치부 200 : 격벽 가공부
210 : 단위 격벽가공부 212 : 노즐 파이프부
214 : 노즐부 216 : 요동부
218 : 에칭액 용집부 300 : 에칭액 제거부
400 : 에칭액 공급부 410 : 에칭액 조절부
420 : 에칭액 저장조 430 : 에칭액 히팅부
440 : 에칭액 공급부 500 : 제 1제어부
520 : 센서부 540 : 제어부
600 : 제 2제어부 620 : 센서부
640 : 제어부 700 : 피에칭체
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 플라즈마 디스플레이 패널 후면판 제조 장치는,
피에칭체에 격벽을 형성하기 위한 에칭액을 분사시키는 노즐 파이브부와 상기 노즐 파이프부를 일괄적으로 요동시키는 요동부를 포함하는 플라즈마 디스플레이 패널 후면판 제조 장치에 있어서,
적어도 다수개의 노즐파이프의 장축이 피에칭체의 이송방향과 평행하게 배치되고 상기 각각의 노즐파이프는 개별적으로 압력 조절이 가능하도록 이루어진 다수개의 노즐파이프부와,
상기 다수개의 노즐파이프부를 일괄적으로 요동시키는 것으로, 회전운동을 일으키는 1차 구동장치부와 상기 1차 구동장치부로 부터의 동력을 전달받아 직선왕복운동을 하는 2차 구동장치부로 이루어진 요동발생수단을 구비하여 이루어진 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 요동발생수단은, 상기 2차 구동장치부로 부터의 동력을 전달받아 직선왕복운동을 하는 3차 구동장치부를 추가로 구비하거나, 또는 상기 2차 구동장치부로 부터의 동력을 전달받아 각운동을 하는 4차 구동장치부를 추가로 구비할 수 있다.
그리고, 상기 노즐파이프 각각의 압력 범위는 0≤P≤10Kgf/cm2이다.
상기 노즐파이프의 피치는 상기 노즐에서 피에칭체에 분사되는 분사면 길이의 반(1/2)을 r이라 할 때, 상기 노즐파이프의 피치는 r∼3r 사이의 길이로 구성된 다.
또한, 상기 노즐파이프에 설치된 노즐의 배치는 상기 노즐로 만들 수 있는 최소 직사각형의 단위셀을 볼 때, 모서리 부분은 1/4개, 사각형 내의 것은 1개로 계산하여 노즐의 개수가 1∼2개의 비율로 구성된 것이 바람직하다.
상기 노즐파이프부가 요동하는 방향이 상기 피에칭체가 이송되는 방향과 직각으로 직선왕복운동하는 것을 특징으로 하며, 또한 상기 노즐파이프부는 에칭액과 레지듀제거액을 동시에 사용하는 것이 바람직하다.
이하, 본 발명의 일실시예에 관하여 첨부도면을 참조하면서 상세히 설명한다.
또, 실시예를 설명하기 위한 모든 도면에서 동일한 기능을 갖는 것은 동일한 부호를 사용하고 그 반복적인 설명은 생략한다.
도 2는 에칭에 의한 플라즈마 디스플레이 패널 후면판 격벽 형성용 에칭장치의 블록구성도로서, 피에칭체(도시하지 않음)를 이송하는 이송장치부(100)와, 상기 피에칭체를 가공하여 격벽을 형성시키는 격벽가공부(200)와, 상기 격벽가공부(200)로 에칭액을 공급하는 에칭액공급부(400)와, 상기 피에칭체에 형성된 격벽의 크기를 측정하여 상기 이송부(100)와 격벽가공부(200) 및 에칭액공급부(400)의 동작을 각각 제어하는 제 1, 제 2제어부(500,600)로 구성된다.
상기 격벽가공부(200)는 상기 피에칭체에 에칭액을 분사시켜 격벽층(28)을 형성하는 곳으로, 동일한 구성과 기능을 갖는 다수개의 단위격벽가공부(210)를 구비하고 있다.
상기 단위격벽가공부(210)는 다수개의 노즐로 구성된 노즐파이프부(212)와 상기 노즐파이프부(212)를 요동시키는 요동부(216)로 구성된다.
상기 요동부(216)는 상기 노즐파이프부(212)의 중심에서 각 운동을 하거나 캠 운동 또는 피스톤 운동을 하여 상기 피에칭체가 이송되는 방향의 직각 방향으로 상기 노즐파이프를 직선왕복운동시키게 된다. 이러한 작용은 에칭액이 피에칭체에 골고루 뿌려져 에칭 효과를 향상시키게 된다.
상기 노즐파이프부(212)는 여러개의 노즐파이프가 일정한 간격의 피치(pitch)로 구성되어 있는데, 상기 단위격벽가공장치부(210) 내에서 노즐파이프부(212)로 이루어지는 면적은 상기 피에칭체의 면적보다 크게 설정하여야 한다.
상기 피에칭체에서 노즐까지의 거리를 선단거리라고 하고, 일정한 선단거리를 기준으로 노즐에서 에칭액이 분사되어 피에칭체에 형성되는 분사면 길이의 반(1/2)을 r로 칭했을 때, 상기 노즐파이프의 피치는 r∼3r 사이의 길이로 구성하여야 한다.
또한, 상기 노즐파이프부(212)의 n개의 파이프는 각기 압력을 0∼10kgf/㎠ 까지 제어가 가능하다.
상기 노즐파이프부(212)에서 노즐파이프 피치의 결정과 상기 노즐파이프부(212)가 이루는 면적과 각각의 파이프 압력 조절은 피에칭체의 국부적으로 에칭되는 양을 조절하기 위한 것으로서 에칭유니포머티(Etching uniformity)를 조절하는데 상당한 영향을 주는 인자들이다.
다음 표 1은 노즐파이프 피치의 변화와 에칭량의 상관관계를 나타낸 도표이다. 상기 테스트의 조건으로는 일정한 선단거리에서 일정한 압력으로 분사를 하였고, 이때 피에칭체면에 형성되는 분사면 길이의 반(1/2)을 r로 하였을때의 데이타이다.
노즐파이프피치항목 r/2 r 2r 3r 4r
에칭 유니포머티(Etching uniformity) △ ○ ○ ×
에칭 레이트(Etching Rate) ○ △ △ ×
상기 실험의 결과에서, 노즐피치 r/2 에서는 분사간섭이 너무 심하게 일어나서 결과가 상당히 나쁜 결과를 초래하였고, 노즐피치 4r에서는 에칭액이 피에칭체에 맞는 부분과 맞지 않는 부분이 확연하게 드러날 정도로 차이를 보였다. 상기 결과는 또한 요동부의 요동속도와 이송부의 피에칭체 이송속도에 상당한 영향을 받고 있지만 그 인자에 대해서는 같은 조건이어서 그 인자에 대한 영향을 제외하였다.
다음 표 2는 노즐파이프부의 모든파이프를 동일한 압력을 한 경우와 다르게 압력 배치를 한 경우에 대한 에칭유니포머티에 대한 실험 데이터이다. 조건은 1번 파이프부터 5번 파이프까지 입력분포를 5,5,5,5,5 kgf/㎠로 한 경우와 압력분포를 1,3,2,3,1 kgf/㎠의 경우로 달리하였다. 나머지 인자들의 대한 조건으로는 동일한 조건에서 실험하였다.
압력분포항목 1번 ∼ 5번 파이프까지의 압력분포
5,5,5,5,5 kgf/㎠ 1,3,2,3,1 kgf/㎠
에칭 유니포머티(Etching uniformity) △ ◎
또한, 단위 노즐파이프에 일정한 간격으로 배치되어 있는 노즐은 에칭액의 분사를 전담하게 되는데, 노즐에 따라서 유량, 분사액입적크기, 분사형태등을 좌우하여 에칭에 상당히 큰 영향을 주는 직접적인 인자로서, 노즐배치가 에칭에 상당한 역할을 한다. 노즐파이프부를 보았을 때 배치되어 있는 노즐로 만들 수 있는 최소의 직사각형의 단위셀을 볼 때 직사각형의 모서리 부분에 있는 노즐을 1/4개로, 직사각형의 내부에 있는 노즐을 1개로 계산하여 노즐 갯수가 1∼2 개로 구성되어 있다. 이렇게 규칙적으로 노즐을 배치함으로서 피에칭체의 에칭 유니포머티를 향상시킬 수 있다.
다음 표 3은 노즐이 단위 셀(cell)당 1개로 배열된 노즐파이프와 2개로 배열된 노즐파이프와 노즐이 불규칙적으로 배열된 노즐파이프부의 에칭유니포머티의 실험결과를 나타낸 것이다.
노즐배열항목 단위 셀당 1개 단위 셀당 2개 불규칙 노즐
에칭 유니포머티(Etching uniformity) ○ ○ ×
상기 실험에서, 노즐이 단위 셀 당 1개로 배열된 노즐파이프와 2개로 배열된 노즐파이프의 경우에는 모두 에칭유니포머티가 양호하였으며, 노즐이 불규칙적으로 배열된 노즐파이프부의 에칭유니포머티는 불량한 것으로 실험되었다.
한편, 상기 단위격벽가공부(210)에 에칭액을 공급하느냐 또는 레지듀 제거액을 공급하느냐에 따라서 에칭역할과 레지듀(regidue) 제거역할을 병행할 수 있다. 여기서 에칭액 대신 레지듀 제거액이 들어간 단위격벽가공부(210)는 레지듀 제거부라 칭한다.
원재료와 에칭액의 차이에 따라 레지듀의 발생이 없거나 생기게 되는데, 만약 피에칭체를 에칭하는 도중에 레지듀라는 에칭 부산물이 생기게 되면 상기 레지듀는 에칭액에 대하여 에칭 억제 효과를 가져오기 때문에 그 레지듀를 제거함으로서 상당한 에칭 효과를 볼 수 있다.
상기 격벽가공부(200) 사이에 에칭액 대신 레지듀 제거액을 공급하여 레지듀제거역할을 하는 단위격벽가공부(210)를 둠으로써 레지듀 제거효과를 가져올 수 있으며 고른 에칭성 및 에칭의 성능 향상을 위하여 일정한 단위격벽가공부(210) 사이에 일정한 레지듀제거액을 공급할 수 있다.
도 3은 본 발명에 의한 단위격벽가공부(210)의 사시도를 나타낸 것으로, 피에칭체(700)의 상부에 노즐파이프부(212)가 설치된 구조이다.
상기 도면에서는 상기 노즐파이프(212)의 장축이 상기 피에칭체(700)의 이송방향과 평행하게 배치되어 있으나, 본 발명의 다른 실시예로서 상기 노즐파이프(212)의 장축을 상기 피에칭체의 이송방향과 직각방향으로 배치할 수도 있다.
상기 도면에서, 부호 a 및 b는 상기 노즐파이프(212)가 요동하는 방향을 표시한 것으로, 상기 피에칭체(212)가 이송되는 방향(c)과 직각으로 직선왕복운동하는 것을 표시하였다.
도 4는 본 발명에 의한 노즐파이프(212)의 노즐분사 단면도이다.
여기서, 부호 K는 노즐파이프 피치로서 상기 노즐파이프(212)에 설치된 노즐(214) 사이의 간격을 표시한다. 그리고, 부호 r은 피에칭체에 분사되어 형성되는 분사면의 반값(1/2)을 나타낸 것으로, 상기 노즐파이프의 피치는 r∼3r 사이의 길이로 구성된다.
도 5a 및 도 5b는 본 발명에 의한 노즐파이프(212)의 노즐(214) 배치를 나타낸 구성도이다.
상기 노즐의 배치는 노즐로 만들 수 있는 최소 직사각형의 단위셀을 기준으로 할 때 모서리 부분은 1/4개, 사각형 내의 것은 1개로 계산해서 노즐의 개수가 1∼2개로 구성된다.
도 6 내지 도 8은 본 발명에 의한 노즐파이프부와 요동부의 실시예를 도시한 것이다.
먼저, 도 6 및 도 7은 구동모타(또는 1차 구동장치)(140)의 회전운동을 직선왕복운동으로 바꿔주어 상기 노즐파이프부(212)를 일괄적으로 요동시키도록 구성된 구조이다.
도시된 바와 같이, 상기 1차 구동장치(140)의 회전반경을 R로 보았을 때 직선왕복운동을 하는 요동거리는 2R로 움직이게 된다.
도 8은 구동모타(또는 1차 구동장치)(140)의 회전운동을 각운동으로 바꿔주어 상기 노즐파이프부(212)가 일정각도로 요동하도록 구성된 구조이다.
상기에서, 1차 구동장치(140)와, 상기 1차 구동장치(140)에 연결된 2차 구동장치(142)와, 고정된 상부 고정래크(또는 상부 3차 구동장치)(144)와, 상기 2차 구동장치(142)와 연결된 하부 래크(또는 하부 3차 구동장치)(144)와, 상기 상부 고정래크(144)와 하부 래크(144) 사이에 맞물려 있는 다수개의 노즐파이프(212)로 구성되어 있다.
상기 1차 및 2차 구동장치(140/142)에 의해 회전운동이 직선왕복운동으로 바뀌게 되며, 다시 직선왕복운동이 상기 상부 고정래크(144) 및 하부 래크(142)에 의해 각운동으로 바꿔서 노즐파이프부(212)을 일정 각으로 요동시키게 된다.
그러면, 상기 구성에 의한 본 발명의 플라즈마 디스플레이 패널(PDP) 후면판 격벽 형성용 에칭 장치의 동작에 대해 살펴보기로 한다.
상기 이송부(100)의 반입부(110)에 피에칭체를 장착한 후 상기 격벽가공부(200)로 투입되게 되고, 전체 격벽가공부(200)의 길이와 피에칭체에서 정해진 에칭시간을 산출해 격벽가공부(200) 내의 이송부(100)에 장착되어 있는 센서에 의해 피에칭체의 이송속도가 제어된다. 상기 단위 격벽가공부(210)의 노즐파이프부(212)는 피에칭체의 진행 방향에 직각으로 요동을 하면서 에칭액을 상기 피에칭체에 분사시켜 격벽 형상을 가공한다. 이때, 상기 피에칭체의 이송속도와 상기 노즐파이프부(212)의 요동 속도에 따라 격벽 가공의 균일성이 좌우된다.
상기 격벽가공부(200)를 통과한 피에칭체는 반출부(130) 쪽에 설치된 에칭액제거부(300)에서 상기 피에칭체에 잔류된 에칭액을 제거하여 격벽 형상 가공을 완료한다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명의 플라즈마 디스플레이 패널 후면판 격벽 형성용 에칭 장치에 의하면, 플라즈마 디스플레이 패널에서 방전 공간의 형태를 격벽층의 인쇄, 건조, 소성, 포토리소그래피를 이용한 패터닝 후 습식 에칭을 통하여 이후 형광체 도포를 용이하게 하며, 격벽 형성 후 소성 공정이 없음에 따라 격벽 및 방전 공간의 변형이 없고, 격벽의 강도를 높여 방전 공간 및 방전 공간을 구성하는 격벽의 무너짐, 꾸불거림 등의 문제가 발생하지 않고 정밀하고 고정세의 고휘도 고효율의 플라즈마 디스플레이 후면판을 형성할 수 있으며, 또한 공정의 자동화로 대량생산을 실현시킬 수 있는 매우 뛰어난 효과가 있다.
아울러 본 발명의 바람직한 실시예들은 예시의 목적을 위해 개시된 것이며, 당업자라면 본 발명의 사상과 범위 안에서 다양한 수정, 변경, 부가등이 가능할 것이며, 이러한 수정 변경등은 이하의 특허청구범위에 속하는 것으로 보아야 할 것이다.

Claims (8)

  1. 피에칭체에 격벽을 형성하기 위한 에칭액을 분사시키는 노즐 파이프부와 상기 노즐 파이프부를 일괄적으로 요동시키는 요동부를 포함하는 플라즈마 디스플레이 패널 후면판 제조 장치에 있어서,
    적어도 다수개의 노즐파이프의 장축이 피에칭체의 이송방향과 평행하게 배치되고 상기 각각의 노즐파이프는 개별적으로 압력 조절이 가능하도록 이루어진 다수개의 노즐파이프부와,
    상기 다수개의 노즐파이프부를 일괄적으로 요동시키는 것으로, 회전운동을 일으키는 1차 구동장치와 상기 1차 구동장치부로부터의 동력을 전달받아 직선왕복운동을 하는 2차 구동장치부로 이루어진 요동발생수단을 구비하여 이루어진 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널 후면판 제조 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 요동발생수단은, 상기 2차 구동장치부로 부터의 동력을 전달받아 직선왕복운동을 하는 3차 구동장치부를 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널 후면판 제조 장치.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 요동발생수단은, 상기 2차 구동장치부로 부터의 동력을 전달받아 각운동을 하는 3차 구동장치부를 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널 후면판 제조 장치.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 노즐파이프 각각의 압력 범위는 0≤P≤10Kgf/cm2인 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널 후면판 제조 장치.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 노즐파이프의 피치는,
    상기 노즐에서 피에칭체에 분사되는 분사면 길이의 반(1/2)을 r이라 할 때, 상기 노즐파이프의 피치는 r∼3r 사이의 길이로 구성된 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널 후면판 제조 장치.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 노즐파이프에 설치된 노즐의 배치는,
    상기 노즐로 만들 수 있는 최소 직사각형의 단위셀을 볼 때, 모서리 부분은 1/4개, 사각형 내의 것은 1개로 계산하여 노즐의 개수가 1∼2개의 비율로 구성된 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널 후면판 제조 장치.
  7. 제 1항에 있어서,
    상기 노즐파이프부가 요동하는 방향이 상기 피에칭체가 이송되는 방향과 직각으로 직선왕복운동하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널 후면판 제조 장치.
  8. 제 1항에 있어서,
    상기 노즐파이프부는 에칭액과 레지듀제거액을 동시에 사용하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널 후면판 제조 장치.
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