JPH10162730A - 高精細度テレビジョンの陰極線管の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 パネルガラスの熱膨張等による変形に対応し
た紫外線照射を行って、適正な位置に蛍光面を作製し、
微細ピッチで形成される蛍光体ストライプの剥離不良を
生じさせない高精細度テレビジョンの陰極線管の製造方
法を提供する 【解決手段】 カーボンストライプＣＳ形成の露光時と
蛍光体ストライプＲＳ、ＧＳ、ＢＳ形成の露光時とにお
いて、それぞれの工程におけるパネルガラス３の熱膨張
等による変形に対応した補正レンズ系１２、１３を通し
て露光を行うことにより、パネルガラス３内面の適正な
位置に微細ピッチのカーボンストライプＣＳ及び微細ピ
ッチの蛍光体ストライプＲＳ、ＧＳ、ＢＳ、を形成する
ようにした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、高精細度テレビジ
ョンの陰極線管の製造方法に関し、詳しくは、パネルガ
ラスの熱膨張による変形に対応して紫外線の照射位置を
決定する補正レンズを用いて蛍光面を形成し、蛍光体ス
トライプの剥離不良を抑制する高精細度テレビジョンの
陰極線管の製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来から単銃３ビーム方式の陰極線管が
提案されている。そしてまた、高い精細度と大画面によ
る臨場感を目標として、高精細度テレビジョン（High D
efinition Television：以下、ハイビジョンという。）
が提案されている。このハイビジョンの陰極線管は、例
えば電子銃より出射された電子ビームがパネルの内側に
配設される複数列の縦縞状のスリットが微細ピッチで開
口されたアパーチャーグリル（色選別機構）を透過し、
蛍光面に照射され、所定の蛍光体が発光されることによ
り映像が映し出される。そして、この陰極線管の蛍光面
は、スクリーン面の外光からの反射率をさげコントラス
トを向上させる微細ピッチのカーボンストライプと、こ
のカーボンストライプを介し、隣り合ってストライプ状
に形成される微細ピッチの赤，緑，青の蛍光体ストライ
プとから構成される。

【０００３】そして、このように構成される陰極線管
は、テレビジョン受像機に電源が投入されると、色信号
入力回路より出力された色信号が電子銃に入力され、電
子ビームが蛍光面へと出射される。そして、電子銃より
出射された電子ビームは、偏向コイルの磁界により偏向
され、アパーチャーグリルの微細なスリットを透過し、
蛍光面に照射されることにより、蛍光体ストライプが発
光し、フェース部に高画質の映像が映し出される。

【０００４】ところで、この陰極線管の蛍光面を構成す
るカーボンストライプは以下のように形成される。

【０００５】先ず、蛍光面形成面となるパネルガラス１
４内面には、フォトレジストが塗布され熱乾燥される。
そして、図７に示すように、光源１５より紫外線が、微
細ピッチで形成されたアパーチャーグリル１６の縦縞状
スリット１６ａを透過してフォトレジストに照射され
る。そして、紫外線が照射された部分のフォトレジスト
がパネルガラス１４内面に焼き付けるられる。一方、紫
外線が照射されない部分のフォトレジストは洗い落とさ
れる。このようにして、ストライプ状のフォトレジスト
膜が形成される。このとき、光源１５より照射される紫
外線が、複数枚のレンズから構成される補正レンズ系１
７を透過することにより、紫外線の照射位置が決定され
る。

【０００６】そして、このフォトレジスト膜が形成され
たパネルガラス１４内面に、カーボンスラリーが均一に
塗布され、熱乾燥された後に反転現像されることによ
り、フォトレジストストライプの形成されない位置、即
ち、紫外線の照射されない位置に微細ピッチのカーボン
ストライプが形成される。

【０００７】そして次に、陰極線管の蛍光面を構成する
蛍光体ストライプは以下のように形成される。

【０００８】先ず、カーボンストライプを形成したパネ
ルガラス１４内面に、赤，緑，青の何れかの蛍光体スラ
リーが塗布され、熱乾燥される。そして、この熱乾燥し
た蛍光体スラリーに、光源１５より紫外線が、微細ピッ
チで形成されたアパーチャーグリル１６の縦縞状スリッ
ト１６ａを透過して照射される。この紫外線の照射は、
カーボンストライプ形成工程において用いられた補正レ
ンズ系１７を用いて行われる。そして、紫外線が照射さ
れた位置における蛍光体スラリーが露光現像されて、
赤，緑，青の何れかの蛍光体ストライプが微細ピッチで
形成される。そして、このような工程が３回繰り返され
ることによって、赤，緑，青の各色の蛍光体ストライプ
が微細ピッチで形成される。

【０００９】このようにして、微細ピッチの黒色のカー
ボンストライプと、このカーボンストライプを介し、隣
り合って形成される微細ピッチの蛍光体ストライプとか
らなる蛍光面が形成される。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】上述したように、カー
ボンストライプは紫外線の照射されない位置に形成さ
れ、蛍光体ストライプは紫外線の照射される位置に形成
される。そこで、カーボンストライプ形成の露光時に用
いた補正レンズ系１７を、蛍光体ストライプ形成の露光
時においても用いることにより、微細ピッチのカーボン
ストライプのストライプ間に、各色の蛍光体ストライプ
が隣り合って形成されるようにしている。

【００１１】しかしながら、カーボンストライプや蛍光
体ストライプが形成されるパネルガラス１４は、フォト
レジストや蛍光体スラリーを熱乾燥させる工程におい
て、熱膨張等により微妙に変形する。そして、フォトレ
ジスト熱乾燥工程においてフォトレジストを熱乾燥させ
るのに必要な熱量と、蛍光体スラリー熱乾燥工程におい
て蛍光体スラリーを熱乾燥させるのに必要な熱量とが異
なるため、フォトレジスト熱乾燥工程におけるパネルガ
ラス１４の変形量と、蛍光体スラリー熱乾燥工程におけ
るパネルガラス１４の変形量とに差が生じる。このた
め、カーボンストライプ形成の露光時に用いた補正レン
ズ系１７を、蛍光体ストライプ形成の露光時においても
用いると、蛍光体ストライプＲＳ，ＧＳ，ＢＳは、図８
に示すように、所定の位置からずれた位置に形成されて
しまう。

【００１２】カーボンストライプＣＳの表面は、パネル
ガラス１４の表面よりも粗くなっている。したがって、
例えば図９に示すように、蛍光体ストライプＲＳ，Ｇ
Ｓ，ＢＳが所定の位置から右側にずれた位置に形成され
ると、蛍光体ストライプＲＳ，ＧＳ，ＢＳの右側半分
は、カーボンストライプＣＳの表面に接着される面積が
大となり、接着強度が低下し剥離し易くなる。

【００１３】特に、ハイビジョンの陰極線管において
は、カーボンストライプＣＳ及び蛍光体ストライプＲ
Ｓ，ＧＳ，ＢＳは微細ピッチで形成されるので、蛍光体
ストライプＲＳ，ＧＳ，ＢＳの形成位置の位置ずれが生
じてしまうと、蛍光体ストライプＲＳ，ＧＳ，ＢＳの剥
離不良を招いてしまうことが多い。

【００１４】陰極線管は、蛍光体ストライプＲＳ，Ｇ
Ｓ，ＢＳの剥離不良が発生すると、蛍光面作製工程にお
ける歩留まりが低下し、生産性が悪化する。また、陰極
線管は、蛍光体ストライプＲＳ，ＧＳ，ＢＳの剥離不良
が発生すると、ホワイトユニフォミティー（白均一性）
が劣化し、画質を低下させてしまう。

【００１５】そこで本発明は、カーボンストライプ形成
の露光時と蛍光体ストライプ形成の露光時において、構
成を異にする補正レンズ系を用いて、それぞれのパネル
ガラスの変形量に対応して紫外線の照射位置を補正し、
微細ピッチで形成される蛍光体ストライプの剥離不良を
生じさせない高精細度テレビジョンの陰極線管の製造方
法を提供することを目的とする。

【００１６】

【課題を解決するための手段】本発明に係る高精細度テ
レビジョンの陰極線管の製造方法は、上記目的を達成す
るために、パネルガラスの内面にフォトレジストを塗布
し熱乾燥させる工程と、複数本のスリットが微細ピッチ
で形成された色選別機構と照射位置を決定する第１の補
正レンズ系とを介して露光を行う工程と、露光の後パネ
ルガラス内面にカーボン膜を形成する工程と、カーボン
膜を剥離し反転現像する工程とを有するカーボンストラ
イプ形成工程と、カーボンストライプを形成した後、パ
ネルガラスの内面に蛍光体スラリーを塗布し熱乾燥させ
る工程と、複数本のスリットが微細ピッチで形成された
色選別機構と熱乾燥の際のパネルガラスの変形に対応し
て照射位置を決定する第２の補正レンズ系とを介して露
光を行う工程と、蛍光体スラリーを現像する工程とを有
する蛍光体ストライプ形成工程とにより構成される。

【００１７】そして、この高精細度テレビジョンの陰極
線管の製造方法は、第１の補正レンズ系及び第２の補正
レンズ系により、カーボンストライプ形成工程及び蛍光
体ストライプ形成工程における露光位置を補正し、蛍光
体ストライプの剥離不良を抑制することを特徴としてい
る。

【００１８】以上のように構成された本発明に係る高精
細度テレビジョンの陰極線管の製造方法は、第１の補正
レンズ系がカーボンストライプ形成工程におけるパネル
ガラスの変形量に応じて紫外線の照射位置を補正し、第
２の補正レンズ系が蛍光体ストライプ形成工程におえる
パネルガラスの変形量に応じて紫外線の照射位置を補正
する。したがってこの製造方法により製造される高精細
度テレビジョンは、カーボンストライプと蛍光体ストラ
イプとがそれぞれ適正な位置に形成されるので、蛍光体
ストライプの剥離不良が抑制される。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図面を参照して詳細に説明する。

【００２０】ハイビジョンの陰極線管１は、例えば図１
に示すように、筒状に形成された一端部から他端部に向
け、偏向ヨークによる偏向角に合わせて略フラスコ状に
成形されたファンネル部２と、このファンネル部２の他
端部に接合されるパネル部３とから構成されるバルブ４
と、ファンネル部２の一端部に配設される電子銃５と、
パネル部３の内部に取り付けられる色選別機構であるア
パーチャーグリル６とを有している。

【００２１】バルブ４は、全体として略フラスコ状を呈
して形成され、高電圧の加速による電子ビームの衝突に
対しても茶褐色とならないようにＸ線の遮断性に優れた
ガラスが用いられる。そして、ファンネル部２は、一端
部が筒状に形成され、この一端部側に電子銃５が配設さ
れ、筒状の一端部からパネル部３が接合される他端部に
向け、偏向ヨークによる偏向角に合わせて広口となるよ
うに形成されている。

【００２２】また、パネル部（パネルガラス）３は、そ
の主面が、スクリーン面となるフェース部３ａとして構
成される。フェース部３ａの内面には、電子銃５から出
射される電子ビーム７の照射により発光する蛍光面８が
形成される。

【００２３】蛍光面８は、フェース部３ａの内面に微細
ピッチで形成される黒色のカーボンストライプＣＳと、
このカーボンストライプＣＳを介して隣り合うように微
細ピッチで形成される赤色，緑色，青色の蛍光体ストラ
イプＲＳ，ＧＳ，ＢＳとからなる。ここで、カーボンス
トライプＣＳは、パネル部３における外光からの反射率
を下げ、各色の蛍光体ストライプＲＳ，ＧＳ，ＢＳが発
光する際のコントラストを向上させるものである。

【００２４】パネル部３の内部に取り付けられるアパー
チャグリル６は、電子銃５より出射された赤，緑，青に
対応する電子ビーム７を透過させ、この電子ビーム７
を、それぞれに対応する発光色の蛍光体ストライプに照
射させ、色選別を行うものである。アパーチャグリル６
は、厚さ寸法が０．１ｍｍ程度の軟鋼板により構成さ
れ、その主面に、複数列のストライプ状のスリット６ａ
が微細ピッチで形成されている。すなわち、アパーチャ
グリル６は、この微細ピッチで形成された複数列のスリ
ット６ａより電子ビーム７を透過させることにより色選
別を行う。そして、このアパーチャーグリル６は、一対
の縦枠と一対の横枠とからなる枠体に支持されて、フェ
ース部３ａの内面と平行となるようにパネル部３の内部
に取り付けられる。

【００２５】また、ファンネル部２に配設される電子銃
５は、その構造が単電子銃となっており、インラインに
配置された３個のカソードから放出される赤，緑，青に
対応する電子ビーム７を１個の主レンズ中心で交差する
ようにし、その後、３方向に離散する電子ビーム７が静
電偏光板で屈折し、蛍光面８上でコンバーゼンスするよ
うに構成されている。

【００２６】陰極線管１は、上記アパーチャーグリル６
が取り付けられたパネル部３と、電子銃５が配設された
ファンネル部２とが接合されて、完成される。

【００２７】このように構成されたハイビジョンの陰極
線管１は、テレビジョン受像機に電源が投入されると、
色信号入力回路より出力された色信号が電子銃５に入力
され、電子ビーム７が、偏向コイルの磁界により偏向さ
れて、電子銃５から蛍光面２へと出射される。そして、
電子銃５より出射された電子ビーム７は、アパーチャー
グリル６を透過し、蛍光面８に照射されることにより、
蛍光面８を構成する蛍光体ストライプＲＳ，ＧＳ，ＢＳ
が発光し、パネル部３に映像が映し出される。

【００２８】ところで、上記電子ビーム７が照射される
蛍光面８は、カーボンストライプＣＳの形成工程と、赤
色，緑色，青色の各蛍光体ストライプＲＳ，ＧＳ，ＢＳ
の形成工程とからなる蛍光面形成工程を経てパネル部３
の内面に形成される。

【００２９】カーボンストライプＣＳは、図２に示すよ
うに、フォトレジスト塗布工程と、フォトレジスト熱乾
燥工程と、フォトレジスト露光工程と、フォトレジスト
現像工程と、カーボンスラリー塗布乾燥・反転現像工程
とを経て形成される。

【００３０】フォトレジスト塗布工程では、カーボンス
トライプＣＳの形成工程内に搬送されたパネル部３のフ
ェース部３ａの内面に、光に反応して溶剤に対する不溶
性が付与されるフォトレジストが均等に塗布される。フ
ォトレジストは、次のフォトレジスト熱乾燥工程によ
り、熱乾燥され、水分が除去される。このとき、フェー
ス部３ａは、フォトレジストの熱乾燥に伴う熱膨張等に
より微妙に変形する。

【００３１】フォトレジスト熱乾燥工程を経たパネル部
３には、アパーチャーグリル６が、フォトレジストから
離間された位置に、フェース部３ａ内面に対し平行にな
るように装着される。アパーチャーグリル６が装着され
たパネル部３は、例えば図３に示すように、露光装置９
に位置決めされた状態で載置されて、フォトレジスト露
光工程が行われる。

【００３２】露光装置９は、パネル部３を位置決め載置
するフレーム１０と、パネル部３のフェース部３ａの内
面に紫外線を照射する紫外線ランプ１１と、紫外線ラン
プ１１から照射される紫外線の照射位置を決定する為の
補正レンズ系１２（１３）とにより構成される。この補
正レンズ系１２（１３）は、図４，図５に示すように、
紫外線の照射位置の決定を適切に行う為に、複数枚の補
正レンズ１２ａ，１２ｂ（１３ｂ），１２ｃ，１２ｄを
組み合わせて構成される。ここで、レンズ１２ａは、電
子ビーム７の入射角に対応して紫外線の照射位置を設定
するレンズである。レンズ１２ｂ（１３ｂ）は、各色の
電子ビーム７の照射位置に対応して露光位置を補正する
レンズである。レンズ１２ｃは、紫外線の照度を補正す
るレンズである。レンズ１２ｄは、レンズ１２ａの予備
の働きをするレンズである。この補正レンズ系１２（１
３）は、カーボンストライプ形成の露光時には第１の補
正レンズ系１２が用いられ、蛍光体ストライプ形成の露
光時には第２の補正レンズ系１３が用いられる。

【００３３】アパーチャーグリル６が装着されたパネル
部３は、この露光装置９のフレーム１０に位置決め載置
される。そして、フォトレジスト露光工程では、図４に
示すように、露光装置９の紫外線ランプ１１から発せら
れる紫外線が、第１の補正レンズ系１２を透過して、フ
ェース部３ａの内面に塗布されたフォトレジストの所定
の位置を露光する。そして、この露光されたフォトレジ
ストがフェース部３ａの内面に焼き付けられる。

【００３４】各色の電子ビーム７に対応した紫外線照射
を行うには、上記第１の補正レンズ系１２を構成するレ
ンズ１２ｂを変更して各色の電子ビーム７に合わせた第
１の補正レンズ系１２がそれぞれ構成される。そして、
それぞれの第１の補正レンズ系１２を透過して３回の露
光が行われるようにする。例えば、緑色電子ビームに対
応したレンズ１２ｂを使用した第１の補正レンズ系１２
を透過して１回目の露光が行われ、レンズ１２ｂを青色
電子ビーム，赤色電子ビームにそれぞれ対応させて変更
した第１の補正レンズ系１２を透過して２回目，３回目
の露光が行われる。

【００３５】この露光は、パネル部３に装着されたアパ
ーチャーグリル６を介して行われる。従って、紫外線ラ
ンプ１１から照射される紫外線は、微細ピッチで形成さ
れたアパーチャーグリル６のストライプ状スリット６ａ
に対応してフォトレジストを微細ピッチのストライプ状
に露光し、フェース部３ａの内面にフォトレジストを微
細ピッチのストライプ状に焼き付ける。

【００３６】フォトレジスト露光工程を経たパネル部３
は、露光装置９のフレーム１０上から降ろされ、アパー
チャーグリル６が取り外される。そして、フォトレジス
ト現像工程において、露光されたフォトレジストが現像
される。一方、露光されていない部分のフォトレジスト
は洗い落とされる。これにより、フェース部３ａの内面
には、ストライプ状に現像された微細ピッチのフォトレ
ジストストライプが形成される。

【００３７】次に、カーボンスラリー塗布乾燥・反転現
像工程により、そのフォトレジストストライプが形成さ
れたフェース部３ａの内面に、カーボンスラリーが均一
に塗布される。そして、フォトレジストストライプを分
解させることにより、フォトレジストストライプ上のカ
ーボンスラリーがフォトレジストと共に剥離される。そ
の結果、フォトレジストストライプが形成されていない
位置に塗布されたカーボンスラリーが残ることになる。
カーボンストライプＣＳは、この残ったカーボンスラリ
ーが現像されることによって、フェース部３ａの内面に
微細ピッチに形成される。

【００３８】上記フォトレジスト露光工程における紫外
線の照射位置は、第１の補正レンズ系１２を用いて電子
ビーム７の照射位置と一致するようになされている。従
って、電子ビーム７の照射されない位置にカーボンスト
ライプＣＳが形成されることになる。一方、電子ビーム
７が照射される位置、即ち、カーボンストライプＣＳが
形成されない位置には、後の蛍光体ストライプ形成工程
により、各色の蛍光体ストライプＲＳ，ＧＳ，ＢＳが形
成される。

【００３９】次に各色の蛍光体ストライプＲＳ，ＧＳ，
ＢＳを形成する工程について説明する。尚、本実施例に
おいては、緑色蛍光体ストライプＧＳ，青色蛍光体スト
ライプＢ，赤色蛍光体ストライプＲＳの順に形成する例
を示すが、各色の蛍光体ストライプＧＳ，ＢＳ，ＲＳの
形成順序は、この例に限定されないことは勿論である。

【００４０】緑色蛍光体ストライプＧＳは、緑色蛍光体
スラリー塗布工程と、緑色蛍光体スラリー熱乾燥工程
と、緑色蛍光体スラリー露光工程と、緑色蛍光体スラリ
ー現像工程とを経て形成される。

【００４１】カーボンストライプＣＳが形成されたフェ
ース部３ａの内面には、緑色蛍光体スラリー塗布工程Ｓ
６により、緑色蛍光体と感光剤を混合した緑色蛍光体ス
ラリーが均等に塗布される。そして、この緑色蛍光体ス
ラリーは、緑色蛍光体スラリー熱乾燥工程により、熱乾
燥され、水分が除去される。この緑色蛍光体スラリーの
熱乾燥に必要な熱量は、上記フォトレジストの熱乾燥に
必要な熱量と異なる。このため、緑色蛍光体スラリー熱
乾燥工程におけるパネル部３の変形量は、上記フォトレ
ジスト熱乾燥工程におけるパネル部３の変形量と異なる
ことになる。

【００４２】緑色蛍光体スラリー熱乾燥工程を経たパネ
ル部３には、上記カーボンストライプＣＳの形成工程に
おいてアパーチャーグリル６が装着された位置と同じ位
置に、アパーチャーグリル６が装着される。そして、こ
のアパーチャーグリル６が装着されたパネル部３は、フ
ォトレジスト露光工程において使用された露光装置９に
位置決め載置されて、緑色蛍光体スラリー露光工程が行
われる。

【００４３】緑色蛍光体スラリー露光工程では、紫外線
を、露光装置９の紫外線ランプ１１からフェース部３ａ
の内面に塗布された緑色蛍光体スラリーの所定の位置に
照射させる。そして、紫外線が照射された位置における
緑色蛍光体スラリーがフェース部３ａの内面に焼き付け
られる。

【００４４】この緑色蛍光体スラリー露光工程におい
て、紫外線ランプ１１から照射される紫外線の照射位置
は、第２の補正レンズ系１３により決定される。そして
この紫外線は、アパーチャーグリル６を透過して照射さ
れる。これにより、カーボンストライプＣＳが形成され
ない位置における緑色蛍光体スラリーがストライプ状に
露光される。

【００４５】第２の補正レンズ系１３は、第１の補正レ
ンズ系１２を構成する複数枚のレンズのうち、各色の電
子ビームに対応して紫外線の照射位置を補正するレンズ
１２ｂを、パネル部３の変形に対応したレンズ１３ｂに
変更して構成する。

【００４６】上述したように、フォトレジストの熱乾燥
に必要な熱量と、緑色蛍光体スラリーの熱乾燥に必要な
熱量とが異なるため、それぞれの熱乾燥により生じるパ
ネル部３の変形量は異なる。このため、第１の補正レン
ズ系１２を緑色蛍光体スラリー露光工程においてそのま
ま使用すると、露光位置に部分的なずれが生じてしま
う。このように露光位置がずれると、形成される緑色蛍
光体ストライプＧＳは、カーボンストライプＣＳの表面
に接着される面積が大となる箇所ができ、この箇所の接
着強度が低下し剥離し易くなる。

【００４７】特に、ハイビジョンの陰極線管において
は、カーボンストライプＣＳ及び蛍光体ストライプＲ
Ｓ，ＧＳ，ＢＳは微細ピッチで形成されるので、蛍光体
ストライプＲＳ，ＧＳ，ＢＳの形成位置の位置ずれが生
じてしまうと、蛍光体ストライプＲＳ，ＧＳ，ＢＳの剥
離不良を招いてしまうことが多い。

【００４８】そこで、本実施例においては、パネル部３
の表面温度の差からパネル部３の変形量の差を算出し、
この変形量の差に対応した第２の補正レンズ系１３を通
して露光を行うことにより、適切な位置に蛍光体ストラ
イプＧＳ，ＢＳ，ＲＳが形成されるようにしている。

【００４９】例えば、蛍光面２のサイズが（Ｘ×Ｙ）＝
（１９４ｍｍ×１４５ｍｍ）のパネル部３を用いた場合
は、（Ｘ、Ｙ）＝（１９０ｍｍ、１３５ｍｍ）の座標に
おいて、パネル部３の表面温度が１℃変化することによ
り、紫外線の照射位置に約１μｍの差をもたらすだけの
パネル部３の変形量の差を生じさせるが、上記のように
構成した第２の補正レンズ系１３を通して露光を行うこ
とにより、この差が解消されることが確認された。

【００５０】尚、この第２の補正レンズ系１３は、熱膨
張等によるパネル部３の変形に対応して紫外線の照射位
置を補正できれば、カーボンストライプ形成工程で用い
た第１の補正レンズ系１２を構成するレンズのうち、何
れを変更して構成するものであってもよい。また、第２
の補正レンズ系１３は、上述の補正レンズ１２ａ，１２
ｂ，１２ｃ，１２ｄに加え、新たなレンズを加えて照射
位置を決定するようにしてもよい。

【００５１】また、この緑色蛍光体ストライプ形成工程
においては、第２の補正レンズ系１３を構成するレンズ
のうち、各色の電子ビーム７の照射位置に対応して露光
位置を補正するレンズ１３ｂは、緑色電子ビーム７に対
応したレンズが用いられ、緑色電子ビーム７が照射され
る位置に対応して、紫外線の照射位置が決定される。

【００５２】緑色蛍光体スラリー露光工程を経たパネル
部３は、露光装置９のフレーム１０上から降ろされ、ア
パーチャーグリル６が取り外される。そして、緑色蛍光
体スラリー現像工程において、露光された緑色蛍光体ス
ラリーが現像される。これにより、微細ピッチの緑色蛍
光体ストライプＧＳが、フェース部３ａ内面のカーボン
ストライプＣＳの各ストライプ間に形成される。

【００５３】次に、緑色蛍光体ストライプ形成工程と同
様の工程（青色蛍光体スラリー塗布・熱乾燥・露光・現
像工程）により、微細ピッチの青色蛍光体ストライプＢ
Ｓが、カーボンストライプＣＳを介して緑色蛍光体スト
ライプＧＳの右または左に位置して、フェース部３ａの
内面に形成される。

【００５４】この青色蛍光体ストライプ形成工程におい
ても、露光時には、第２の補正レンズ系１３が用いら
れ、熱量の違いによるパネル部３の変形量の差に対応し
て、紫外線の照射位置が補正されるようにしている。

【００５５】また、この青色蛍光体ストライプ形成工程
においては、第２の補正レンズ系１３を構成するレンズ
のうち、各色の電子ビーム７の照射位置に対応して露光
位置を補正するレンズ１３ｂは、青色電子ビーム７に対
応したレンズが用いられ、青色電子ビーム７が照射され
る位置に対応して、紫外線の照射位置が決定される。

【００５６】次に、緑色蛍光体ストライプ形成工程及び
青色蛍光体ストライプ形成工程と同様の工程（赤色蛍光
体スラリー塗布・熱乾燥・露光・現像工程）により、微
細ピッチの赤色蛍光体ストライプＲＳＳが、カーボンス
トライプＣＳを介して緑色蛍光体ストライプＧＳの左ま
たは右に位置して、フェース部３ａの内面に形成され
る。

【００５７】この赤色蛍光体ストライプ形成工程におい
ても、露光時には、第２の補正レンズ系１３が用いら
れ、熱量の違いによるパネル部３の変形量の差に対応し
て紫外線の照射位置が補正されるようにしている。

【００５８】また、この赤色蛍光体ストライプ形成工程
においては、第２の補正レンズ系１３を構成するレンズ
のうち、各色の電子ビーム７の照射位置に対応して露光
位置を補正するレンズ１３ｂは、赤色電子ビーム７に対
応したレンズが用いられ、赤色電子ビーム７が照射され
る位置に対応して、紫外線の照射位置が決定される。以
上のようにして、図６に示すように、パネル部３のフェ
ース部３ａの内面に、微細ピッチのカーボンストライプ
ＣＳを介して微細ピッチの緑色蛍光体ストライプＧＳ，
青色蛍光体ストライプＢＳ，赤色蛍光体ストライプＲＳ
がそれぞれ隣接して形成され、蛍光面８が形成される。
そして、本例においては、カーボンストライプ形成工程
と、蛍光体ストライプ形成工程において、それぞれの工
程におけるパネル部３の変形量に応じた補正レンズ系１
２，１３を使用して紫外線の照射位置を補正するように
していることから、各色の蛍光体ストライプＲＳ，Ｇ
Ｓ，ＢＳは、図６に示すように、適正な位置に形成され
る。その結果、製造される陰極線管１は、蛍光体ストラ
イプＲＳ，ＧＳ，ＢＳの剥離不良を生じることがなく、
蛍光面作製工程における歩留まりが向上する。また、製
造される陰極線管１は、ホワイトユニフォミティー（白
均一性）が劣化することもなく、高画質の映像を映し出
すことができる。

【００５９】

【発明の効果】本発明は、以上説明したように、パネル
ガラスの熱膨張等による変形に対応した補正レンズ系を
通して紫外線を照射させることにより、適切な位置にカ
ーボンストライプ及び各色の蛍光体ストライプが形成さ
れる。従って、製造される陰極線管は、各色の蛍光体ス
トライプの剥離不良が抑制されるので、蛍光面作製工程
における歩留まりが向上するとともに、ホワイトユニフ
ォミティー（白均一性）の劣化させることなく、高画質
の映像を映し出すことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】陰極線管の内部構造を説明する概略斜視図であ
る。

【図２】蛍光面を形成する工程を説明する工程説明図で
ある。

【図３】露光装置の概略縦断面図である。

【図４】フォトレジスト露光工程における露光システム
を模式的に示す模式図である。

【図５】蛍光体スラリー露光工程における露光システム
を模式的に示す模式図である。

【図６】本発明に係る高精細度テレビジョンの陰極線管
の製造方法により形成される蛍光面の要部拡大断面図で
ある。

【図７】従来の陰極線管の製造方法における露光システ
ムを模式的に表した模式図である。

【図８】従来の陰極線管の製造方法により形成される蛍
光面の要部拡大断面図である。

【図９】従来の陰極線管の製造方法により形成される蛍
光面をさらに拡大して示す要部拡大断面図である。

【符号の説明】

１ 陰極線管、３ パネル部（パネルガラス）、６ ア
パーチャーグリル（色選別機構）、８ 蛍光面、９ 露
光装置、１２ 第１の補正レンズ系、１３ 第２の補正
レンズ系、ＣＳ カーボンストライプ、ＲＳ 赤色蛍光
体ストライプ、ＧＳ 緑色蛍光体ストライプ、ＢＳ 青
色蛍光体ストライプ、

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 パネルガラスの内面に蛍光体ストライプ
   とカーボンストライプが微細ピッチで隣り合って形成さ
   れた蛍光面を有する高精細度テレビジョンの陰極線管の
   製造方法において、 上記パネルガラスの内面にフォトレジストを塗布し熱乾
   燥させる工程と、複数本のスリットが微細ピッチで形成
   された色選別機構と照射位置を決定する第１の補正レン
   ズ系とを介して露光を行う工程と、パネルガラス内面に
   カーボン膜を形成する工程と、カーボン膜を剥離し反転
   現像する工程とを有するカーボンストライプ形成工程
   と、 上記カーボンストライプを形成した後、パネルガラスの
   内面に蛍光体スラリーを塗布し熱乾燥させる工程と、複
   数本のスリットが微細ピッチで形成された色選別機構と
   熱乾燥の際のパネルガラスの変形に対応して照射位置を
   決定する第２の補正レンズ系とを介して露光を行う工程
   と、蛍光体スラリーを現像する工程とを有する蛍光体ス
   トライプ形成工程とを有し、 上記第１の補正レンズ系及び第２の補正レンズ系により
   上記カーボンストライプ形成工程及び蛍光体ストライプ
   形成工程における露光位置を補正し、蛍光体ストライプ
   の剥離不良を抑制することを特徴とする高精細度テレビ
   ジョンの陰極線管の製造方法。
2. 【請求項２】 上記第１及び第２の補正レンズ系は、共
   に複数枚のレンズから構成され、 第２の補正レンズ系は、第１の補正レンズ系を構成する
   レンズのうち何れか１枚が異なることを特徴とする請求
   項１記載の高精細度テレビジョンの陰極線管の製造方
   法。
3. 【請求項３】 上記第１及び第２の補正レンズ系は、共
   に複数枚のレンズから構成され、 第２の補正レンズ系は、第１の補正レンズ系に他の１枚
   のレンズを加えたことを特徴とする請求項１記載の高精
   細度テレビジョンの陰極線管の製造方法。