JPH10160627A - 光学ガラスの内部不均質の検査方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 光学ガラスの内部不均質のより確実な検査方
法の提供。 【解決手段】 検査試料１２に第１の方向からの光を照
射して、スクリーン１４上に投影される観察像を観察す
る。観察像が観察された場合には、検査試料１２の入射
面３４上であって、当該印の像が観察像と実質的に重な
る位置に、マジックで印を付ける。次に、入射面３４に
対して第１の方向とは異なる第２の方向から光学ガラス
に光を照射するために、検査試料１２をスクリーン１４
に平行な面内で平行移動させる。そして、第２の方向か
ら検査試料１２に光を照射してスクリーン１４に投影さ
れた観察像と印の像とが実質的に重なった場合は、観察
像が光学ガラスの内部不均質に由来するものではなく、
印を付けた表面に由来するものと判断する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、光学ガラスの内
部不均質の検査方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】光学ガラスを製造する際には、製造過程
における溶融時の諸条件の揺らぎ等によって、インゴッ
トの内部に、脈理、泡、微小泡および微結晶といった内
部不均質が発生することがある。そのため、製造された
インゴットは、品質保証のためにその内部不均質の検査
を行う必要がある。内部不均質の検査にあたって、従来
は通常、インゴットを適当な間隔で輪切りにして円筒形
の光学ガラス部材（以下、単に部材とも称する）を切り
出す。そして、切り出された各部材毎に、目視またはピ
ンホール法といった方法を用いて内部不均質の検査を行
っていた。目視による検査とは、例えば、部材を光にか
ざして内部不均質を肉眼で見つける方法である。また、
ピンホール法を用いた方法では、例えば、日本光学硝子
工業会規格の「光学ガラスの脈理の測定方法（ＪＯＧＩ
Ｓ１１−１９７５）」が用いられている。また、泡の検
査方法としては、例えば、日本光学硝子工業会規格の
「光学ガラスの泡の測定方法（ＪＯＧＩＳ１２−１９９
４）」が用いられている。また、微結晶および微小泡の
検査方法としては、例えば、日本光学硝子工業会規格の
「光学ガラスの異物の測定方法（ＪＯＧＩＳ１３−１９
９４）」が用いられている。そして、これらの検査の方
法においては、いずれも内部不均質の像（観察像）を得
ることによって、内部不均質の検査を行っていた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
内部不均質の検査においては、内部不均質の像として検
出された観察像が、実際に部材の内部不均質に起因する
ものなのか、それとも、部材の表面の傷や汚れに起因す
るものかの判別が困難である場合があった。その結果、
内部不均質の検査が不確実なものとなる場合があった。

【０００４】このため、光学ガラスの内部不均質のより
確実な検査方法の実現が望まれていた。

【０００５】

【課題を解決するための手段】この出願に係る発明の内
部不均質の検査方法によれば、光学ガラスを含む検査試
料に光を照射して得られる観察像によってこの光学ガラ
スの内部不均質を検査するにあたり、第１の方向から光
学ガラスに光を照射して観察像が得られた場合に、検査
試料の光の入射面および出射面の少なくとも一方の表面
上であって、当該印の像が観察像と実質的に重なる位置
に、印を付け、入射面に対して第１の方向とは異なる第
２の方向から光学ガラスに光を照射したときに、観察像
と印の像とが実質的に重なった場合に、観察像が、光学
ガラスの内部不均質に由来するものではなく、印を付け
た表面に由来するものと判断することを特徴とする。

【０００６】このように、この発明の内部不均質の検査
方法によれば、第１の方向とは異なる第２の方向から光
学ガラスに光を照射したときに、観察像と印の像とが実
質的に重なった場合に、その観察像が光学ガラスの内部
不均質に由来するものではなく、印を付けた表面に由来
するものと判断する。また、観察像が内部不均質に由来
する場合は、観察像と印の像とが重ならない。従って、
観察像と印の像との重なり方によって、その観察像が光
学ガラスの内部不均質に由来するものか、印を付けた表
面に由来するものかを容易に判断することができる。従
って、光学ガラスの内部不均質に起因する光学ガラスの
内部不均質のより確実な検査方法の実現を図ることがで
きる。

【０００７】また、この発明の光学ガラスの内部不均質
の検査方法において、好ましくは、印として、入射面に
入射側印、および出射面に出射側印を付け、第２の方向
から光を透過したときの、入射側印の像と出射側印の像
との距離に対する、観察像と入射側印の像および出射側
印の像の少なくとも一方との距離の比率に基づいて、内
部不均質の位置を求めると良い。

【０００８】このように、入射側印および出射側印を付
ければ、内部不均質の位置を求めることができる。

【０００９】また、この発明の光学ガラスの内部不均質
の検査方法において、好ましくは、検査試料の光学ガラ
スをインゴットまたはこのインゴットから切り出された
部材とすると良い。

【００１０】このように、インゴットまたは部材の内部
不均質の位置を求めることができれば、インゴットの切
断にあたり、例えば、内部不均質の存在する位置で切断
することによって、内部不均質の少なくとも一部分を切
り代に含めることができる。また、インゴットの切断に
あたり、例えば、複数の内部不均質が近接して存在して
いる場合には、これらの内部不均質が含まれる部材の厚
さが薄くなるようにインゴットを切断することができ
る。また、部材の内部不均質の位置を求めることができ
れば、この内部不均質を避けて、この部材をさらに切断
することによって、内部不均質が含まれない一回り小さ
な部材を切り出して得ることができる。

【００１１】従って、内部不均質の位置を求めることが
できれば、良品効率の向上を図ることができる。ここ
で、良品効率（若しくは、良品率）とは、例えば、イン
ゴットの質量Ｗに対する、内部不均質が検出されなかっ
た部材の合計の質量ｗの比率（ｗ／Ｗ）として表され
る。

【００１２】また、この発明の光学ガラスの内部不均質
の検査方法において、好ましくは、光学ガラスに照射す
る光をピンホールを介した照射光とすると良い。

【００１３】ピンホールを介した照射光を用いたいわゆ
るピンホール法を用いれば、簡単な構造で、内部不均質
の検査を行うことができる。

【００１４】また、この発明の光学ガラスの内部不均質
の検査方法において、好ましくは、光学ガラスに照射す
る光をシュリーレン光学系における照射光とすると良
い。

【００１５】シュリーレン光学系を用いれば、暗いバッ
クグラウンドに明るい像として観察像および印の像を得
ることができるので、より精度良く内部不均質の検査を
行うことができる。

【００１６】また、この発明の光学ガラスの内部不均質
の検査方法において、好ましくは、シュリーレン光学系
における照射光を平行光とし、この平行光と平行でない
軸を回転軸として検査試料を回転させて、入射面に対す
る平行光の入射角度を第１の方向の角度とは異なる角度
に変えることによって、第２の方向から検査試料に平行
光を照射すると良い。

【００１７】このように、シュリーレン光学系における
検査試料を照射する照射光を平行光とすれば、試料を回
転させて、検査試料の入射面に対する入射角度を変える
だけで、容易に第２の方向からの照射光を得ることがで
きる。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、この発明
の光学ガラスの内部不均質の検査方法の実施の形態につ
いて説明する。尚、参照する図面は、この発明が理解で
きる程度に各構成成分の大きさ、形状および配置関係を
概略的に示しているに過ぎない。従って、この発明は図
示例にのみ限定されるものではない。

【００１９】（第１の実施の形態）第１の実施の形態に
おいては、図１を参照して、ピンホール法を用いた場合
の光学ガラスの内部不均質の検査方法の例について説明
する。図１は、第１の実施の形態の光学ガラスの内部不
均質の検査方法の説明に供する概念図である。

【００２０】第１の実施の形態においては、暗室に、光
源１０、検査試料１２およびスクリーン１４を順次に並
べて、この光源から検査試料に光を照射し、検査試料を
透過してスクリーンに投影される観察像を観察する。

【００２１】ここでは、光源１０として、４５０Ｗの超
高圧水銀灯を用いる。また、この超高圧水銀灯が格納さ
れたランプハウス１６には、光源のフレアを除去するた
めにピンホール１８を設ける。このピンホール１８から
出射した光を、迷光を除去し、かつ、測定光束を整える
ために凸レンズ２０および絞り２２を介して検査試料１
２に照射する。検査試料１２を透過した光は、スクリー
ン１４に達する。ここでは、スクリーン１４として、光
がスクリーン上で乱反射せずに観察像が見やすいものと
して、印刷用紙Ａ、ＪＩＳＰ３１０１（印刷用紙）に規
定する程度のものを用いると良い。また、スクリーン１
４としては、例えばアクリル板に白色の塗料をむらなく
塗布したものを用いても良い。

【００２２】そして、検査試料１２に内部不均質があれ
ば、その投影像がスクリーン１４上に観察像として投影
される。尚、ピンホール１８の大きさを小さくすると、
スクリーン１４上に投影される観察像の解像度は向上す
るが、光量は低下する。一方、ピンホールの大きさを大
きくすると、観察像の解像度は低下するが、光量は増加
する。そこで、この実施の形態においては、スクリーン
上における照度が例えば１００ルクス以上となるよう
に、ピンホール１８の大きさおよび光源１０とスクリー
ン１４との距離を調整する。

【００２３】また、スクリーン１４上に投影される観察
像の大きさは、検査試料１２の内部不均質の大きさより
も拡大される。この拡大率は、光源１０からスクリーン
１４までの距離をａ、光源１０から検査試料１２までの
距離をｂとすると、ａ／ｂで表される。例えば、ａ＝１
３５ｍｍ、ｂ＝６０ｍｍの場合の拡大率は、ａ／ｂ＝
２．２５となる。

【００２４】次に、検査試料１２について説明する。こ
こでは、火炎加水分解法によって製造された石英ガラス
のインゴットから切り出された円筒状の部材２４の光学
ガラスの内部不均質を検査する。この部材２４の切断面
２６および２８を互いに平行に研削し、さらに、この２
つの切断面２６および２８にそれぞれ、部材２４の屈折
率と同等な屈折率を有する浸液３０を介してカバーガラ
ス３２ａおよび３２ｂを張りつける。そして、これらの
カバーガラス３２ａおよび３２ｂが張りつけられた状態
の光学ガラス２４が検査試料１２となる。

【００２５】従って、光が入射する側の入射側カバーガ
ラス３２ａの表面が検査試料１２の入射面３４となる。
また、光が出射する側の出射側カバーガラス３２ｂの表
面が検査試料１２の出射面３６となる。

【００２６】そして、光学ガラス２４の内部不均質を検
査するにあたり、先ず、第１の方向から光学ガラスに光
を照射する。この実施の形態においては、第１の方向か
らの光を得るために、光軸３８が、入射面３４の中央付
近で入射面３４に垂直になるように、検査試料１２を配
置する。そして、検査試料１２に第１の方向からの光を
照射して、スクリーン１４上に投影される観察像を観察
する。

【００２７】そして、観察像が観察されない場合は、光
学ガラス２４のうちの光が透過している部分に内部不均
質がないことが分かる。

【００２８】また、観察像が観察された場合には、検査
試料１２の光の入射面３４および出射面３６の少なくと
も一方の表面上にであって、当該印の像が観察像と実質
的に重なる位置に、マジックやテープで印を付ける。す
なわち、検査試料の光の入射面および出射面の少なくと
も一方の表面上であって、観察像を通る光路上に印を付
ける。ここでは、入射面上に印を付ける。

【００２９】ところで、内部不均質が存在しない場合に
も、観察像が観察される場合がある。例えば、入射面で
ある入射側カバーガラスの表面や出射面に傷や曇がある
場合にも、観察像が観察される。このため、観察像が内
部不均質に由来するものであるのか、それとも、入射面
や出射面の傷等によるものであるのかを判断する必要が
ある。

【００３０】そこで、この実施の形態では、入射面３４
に対して第１の方向とは異なる第２の方向から光学ガラ
スに光を照射する。第２の方向から照射するために、こ
の実施の形態では、検査試料１２を、光軸３８に垂直な
面内、すなわち、スクリーン１４に平行な面内で平行移
動させる。ピンホールから出射された光は広がりを持つ
光であって平行光線ではないので、検査試料１２を平行
移動することによって、検査試料１２の入射面３４に入
射する光の入射角度を第１の方向に対して変化させるこ
とができる。

【００３１】そして、第２の方向から検査試料１２に光
を照射してスクリーン１４に投影された観察像と印の像
とが実質的に重なった場合は、観察像が光学ガラスの内
部不均質に由来するものではなく、印を付けた表面に由
来するものと判断する。

【００３２】一方、観察像と印の像とが重ならなかった
場合には、観察像が印を付けた表面に由来するものでは
ないと判断する。従って、観察像は、実質的に内部不均
質に由来するものと判断される。

【００３３】このように、観察像と印の像との重なり方
によって、その観察像が光学ガラスの内部不均質に由来
するものか、印を付けた表面に由来するものかを容易に
判断することができる。従って、光学ガラスの内部不均
質のより確実な検査方法の実現を図ることができる。

【００３４】尚、第１の実施の形態では、測定対象の光
学ガラスである部材にカバーガラスを張りつけたが、部
材の切断面やインゴットの側面に研磨面を得れば、カバ
ーガラスを張りつける必要はない。その場合は、光が入
射する側の研磨面が入射面となり、光が出射する側の研
磨面が出射面となる。

【００３５】また、ここでは、入射面にのみ印を付けた
が、この発明では、出射面にのみ印を付けても良い。ま
た、入射面および出射面の両方に印を付けても良い。

【００３６】また、ここでは、第２の方向から光を入射
させるために、検査試料１２を平行移動させたが、例え
ば、光軸３８と平行でない軸を回転軸として検査試料を
回転させて、入射面に対する平行光の入射角度を第１の
方向の角度とは異なる角度に変えても良い。

【００３７】また、第１の実施の形態では、第２の方向
から光を入射させるために、検査試料１２を移動させた
が、例えば、第１の方向からの照射の際の光軸３８上で
ない位置に光源１０を移動させることによって、第１の
方向とは異なる方向から検査試料１２へ光を照射しても
良い。

【００３８】（第２の実施の形態）第２の実施の形態に
おいては、内部不均質の位置を求める。第２の実施の形
態においては、上述した第１の実施の形態において図１
に示した検査試料１２の入射面３４および出射面３６の
両方に、第１の方向から光を入射した状態で印を付け
る。入射面３４には、入射側印を付け、出射面３６に
は、出射側印を付ける。この入射印の像、出射印の像お
よび観察像は、スクリーン１４上に重なって投影され
る。

【００３９】そして、第２の実施の形態においても、検
査試料１２に、第２の方向から光を照射する。そして、
観察像が入射側印の像または出射側印の像のいずれかと
実質的に重なったままの場合は、観察像は、内部不均質
に由来するものではなく、観察像と実質的に重なった像
がついた面上の傷や曇りに由来するものであることが分
かる。

【００４０】一方、第２の方向から光を照射したとき
に、観察像が、入射側印の像および出射印の像のいずれ
の像とも重ならずに、スクリーン１４上に、入射側印の
像、観察像および出射側印の像が順次に一直線上に投影
されている場合は、この観察像は内部不均質に由来する
ものであると判断する。

【００４１】そして、入射側印の像と出射側印の像との
距離に対する、観察像と入射側印の像との距離の比率に
基づいて、内部不均質の位置を求める。例えば、入射側
印の像と出射側印の像との距離がＷで、観察像と入射側
印の像との距離がＬ（＜Ｗ）である場合は、入射面か
ら、入射面と出射面との距離である部材の厚さにＬ／Ｗ
をかけた深さの位置に内部不均質があることが分かる。

【００４２】さらに、例えば、内部不均質が表面付近の
浅い位置に発見された場合には、部材の内部不均質に近
い表面付近の部分のみを研削することによって、内部不
均質を除去することが可能である。このため、研削され
て一回り小さくなった部材を光学ガラスとして利用する
ことが可能となる。その結果、良品効率の向上を図るこ
とができる。

【００４３】（第３の実施の形態）また、第１および第
２の実施の形態においては、石英ガラスのインゴットか
ら切り出された部材を検査試料用いたが、第３の実施の
形態においては、部材を切り出す前のインゴットを検査
試料に用いる。

【００４４】この実施の形態においては、インゴットの
検査試料を次のようにして得た。先ず、火炎加水分解法
で製造した石英ガラスのインゴットに研削面を形成す
る。このインゴットは、一端が半球状をしたほぼ円筒形
の形状をしており、その直径は３７０〜３８３ｍｍであ
り、その重量は１９７．８ｋｇであった。そして、この
インゴットを円筒の中心軸に沿った側面に、この中心軸
を挟んで、５０〜８０ｍｍの幅の研削工面を互いに平行
に２面形成する。研削にあたっては、人造研削材＃８０
を用いた。次に、研削面をエチルアルコールで脱脂す
る。

【００４５】次に、研削面に、石英ガラスの屈折率に近
い屈折率を有するマッチングオイルの浸液を介してカバ
ーガラスを付けて検査試料とした。このカバーガラスに
は、厚さ５ｍｍ、４００×２５０ｍｍの寸法の市販の青
板ガラスを用いた。また、カバーガラスは、所望の検査
位置からずれないように、保持具で固定した。

【００４６】また、インゴットの全長よりも小さな寸法
のカバーガラスを用いる場合は、検査位置に応じて、研
削面上をカバーガラスを順次に移動させて観察すると良
い。尚、光源１０として、超高圧水銀灯を用いているの
で、インゴットに光源１０からの光を透過させてもスク
リーン上で１００ルクス以上の明るさを確保することが
できる。

【００４７】次に、図２に、図１に示した検査試料１２
の代わりにインゴットを用いた検査試料を観察して発見
された内部不均質を示す。このインゴット４０には、微
小泡４２、泡４４、脈理４６および大泡４８といった内
部不均質が存在している。

【００４８】従来は、インゴットを等間隔で切断して部
材を切り出していたが、切断前に内部不均質の位置が分
かれば、内部不均質が含まれる部材の厚さが薄くなるよ
うにインゴットを切断することができる。図２には、イ
ンゴットの切断位置を破線Ｉ〜VIで示す。各破線の下端
の数字は、インゴットのヘッド（先端部）からの長さ
（ｍｍ）を表す。各破線でインゴットを切断することに
より、第１〜第７の部材が切り出される。第１の部材５
０は、太さの一定でないインゴットの先端の部分を切り
分けたものである。そして第２の部材５２および第３の
部材５４を厚さ１５０ｍｍの一定の厚さで切り出す。ま
た、第４の部材５６には、微小泡４２および二つの泡４
４が含まれている。また、第５の部材５８には、脈理４
６が含まれている。また、第６の部材６０には、大泡４
８が含まれている。第４および第６６の部材は、１５０
ｍｍよりも薄い８０ｍｍの厚さでそれぞれ切り出す。ま
た、第５の部材は、７０ｍｍの厚さで切り出す。そして
残りの部分を第７の部材として厚さ２９０ｍｍで切り出
す。このように、内部不均質が含まれる部材の厚さを薄
くして切り出すことにより、良品効率の向上を図ること
ができる。

【００４９】また、良品効率の向上を図るためには、内
部不均質の存在する箇所でインゴットを切断することに
より、内部不均質の一部または全部を切り代に含めても
良い。また、内部不均質の近くでインゴットを切断し、
切断面を研削して内部不均質を除去しても良い。

【００５０】（第４の実施の形態）第４の実施の形態に
おいては、図３を参照して、シュリーレン光学系を用い
た場合の光学ガラスの内部不均質の検査方法の例につい
て説明する。図３は、第４の実施の形態の光学ガラスの
内部不均質の検査方法の説明に供する概念図である。

【００５１】第４の実施の形態においては、暗室に、光
源７０、第１の凸レンズ７２、検査試料７４、第２の凸
レンズ７６およびスクリーン７８を順次に並べ、この光
源７０から第１の凸レンズ７２を介して検査試料７４に
光を照射する。検査試料７４に照射される光は、集光点
８０に集光する。そして、集光点８０に集光した光は遮
光される。検査試料７４は、この集光点８０と凸レンズ
７２との間に配置される。

【００５２】第４の実施の形態では、検査試料７４とし
て、互いに平行な２面の研磨面を有する石英ガラスの部
材を用いる。そして、２面の研磨面のうちの一方が入射
面８２となり、もう一方が出射面８４となる。シュリー
レン光学系では、入射面８２と出射面８４との平行度が
高い程、測定精度が向上する。

【００５３】この検査試料７４に内部不均質がある場合
は、内部不均質を照射した光は集光点８０を通らないた
め遮光されない。そして、遮光されなかった光は第２の
凸レンズ７６を介してスクリーン７８に達する。従っ
て、内部不均質のスクリーン７８上の観察像は、暗いバ
ックグランドに明るい像として観察される。また、観察
像は、内部不均質の形状によって、例えば筋状や斑点状
の像として観察される。シュリーレン光学系では、観察
像が暗いバックグランドに明るい像として観察されるの
で、観察が容易である。

【００５４】観察にあたっては、先ず、検査試料７４の
入射面をスクリーン７８と平行に配置して、第１の方向
から光を照射する。そして、スクリーン７８上に観察像
が観察されない場合は、内部不均質が無いと判断され
る。一方、第１の方向から光学ガラスに光を照射して観
察像が得られた場合に、検査試料の光の入射面および出
射面の少なくとも一方の表面上であって、当該印の像が
観察像と実質的に重なる位置に、印を付ける。ここで実
質的に重なる位置とは、観察像と印の像とが正確に一致
する位置に限らず、例えば、観察像の近傍に印の像が来
る位置であっても良い。

【００５５】ところで、内部不均質がなくとも、入射面
８２や出射面８４に傷がついていると観察像が観察され
ることがある。そのため、観察像が内部不均質に由来す
るものなのか、それとも、入射面８２の傷等に由来する
ものであるのかを判断する必要がある。

【００５６】そこで、入射面に対して第１の方向とは異
なる第２の方向から光学ガラスに光を照射する。ここで
は、第２の方向を得るために、検査試料７４をスクリー
ン７８と平行な面内で平行移動させる。検査試料７４に
照射する光は、第１の凸レンズ７２を介した集光系であ
って平行光線ではないので、検査試料７４を平行移動す
ることによって、検査試料７４の入射面８２に入射する
光の入射角度を第１の方向に対して変化させることがで
きる。

【００５７】そして、第２の方向から検査試料７４に光
を照射してスクリーン７８上の観察像と印の像とが実質
的に重なった場合は、観察像が光学ガラスの内部不均質
に由来するものではなく、印を付けた表面に由来するも
のと判断する。

【００５８】一方、観察像と印の像とが重ならなかった
場合には、観察像が印を付けた表面に由来するものでは
ないと判断する。従って、観察像は、実質的に内部不均
質に由来するものと判断される。

【００５９】このように、観察像と印の像との重なり方
によって、その観察像が光学ガラスの内部不均質に由来
するものか、印を付けた表面に由来するものかを容易に
判断することができる。従って、光学ガラスの内部不均
質のより確実な検査方法の実現を図ることができる。

【００６０】また、シュリーレン光学系の場合も、検査
試料の入射面および出射面の両方に印を付ければ、第２
の実施の形態の場合と同様にして、内部不均質の位置を
求めることができる。

【００６１】（第５の実施の形態）第５の実施の形態に
おいては、図４を参照して、シュリーレン光学系を用い
た場合の光学ガラスの内部不均質の検査方法の例につい
て説明する。図４は、第５の実施の形態の光学ガラスの
内部不均質の検査方法の説明に供する概念図である。

【００６２】第５の実施の形態においては、上述の第４
の実施の形態と同様に、暗室に、光源７０、第１の凸レ
ンズ７２、検査試料７４、第２の凸レンズ７６およびス
クリーン７８を順次に並べ、この光源７０から第１の凸
レンズ７２を介して検査試料７４に光を照射する。

【００６３】但し、第５の実施の形態においては、上述
の第４の実施の形態と異なり、光源７０を第１の凸レン
ズ７２の焦点に配置する。その結果、光源７０から発し
た光は、第１の凸レンズ７２を透過して平行光となる。
この平行光は、第２の凸レンズ７６に入射し、第２の凸
レンズ７６のスクリーン７８側の焦点８６に集光する。
この焦点８６に集光した光は遮蔽される。そして、検査
試料７４は、平行光線を照射するために、第１の凸レン
ズ７２と第２の凸レンズ７６との間に配置される。

【００６４】そして、第１の方向を得るために、ここで
は、検査試料７４の入射面をスクリーン７８と平行に配
置して、平行光を検査試料７４に照射する。第１の方向
から光学ガラスに光を照射して観察像が得られた場合
に、検査試料の光の入射面の上であって、当該印の像が
観察像と実質的に重なる位置に、印を付ける。

【００６５】次に、第２の方向から検査試料に平行光を
照射するために、平行光と平行でない軸を回転軸として
検査試料を回転させて、入射面に対する平行光の入射角
度を第１の方向の角度とは異なる角度に変える。このよ
うに、シュリーレン光学系における検査試料を照射する
照射光を平行光とすれば、試料を回転させて、検査試料
の入射面に対する入射角度を変えるだけで、容易に第２
の方向からの照射光を得ることができる。

【００６６】そして、第２の方向から検査試料７４を照
射してスクリーン７８上の観察像と印の像とが実質的に
重なった場合は、観察像が光学ガラスの内部不均質に由
来するものではなく、印を付けた表面に由来するものと
判断する。

【００６７】一方、観察像と印の像とが重ならなかった
場合には、観察像が印を付けた表面に由来するものでは
ないと判断する。従って、観察像は、実質的に内部不均
質に由来するものと判断される。

【００６８】上述した各実施の形態では、この発明を特
定の材料を用い、特定の条件で構成した例についてのみ
説明したが、この発明は多くの変更および変形を行うこ
とができる。例えば、上述した実施の形態においては、
ピンホール法またはシュリーレン光学系を用いた場合に
ついて説明したが、この発明は、これらの場合に限定さ
れるものではなく、例えば、干渉法に適用することもで
きる。

【００６９】また、上述した各実施の形態では、検査試
料の等級分けは行わなかったが、この発明は、標準試料
との比較による等級分けに適用しても良い。例えば、脈
理等の内部不均質が検出されない均質な光透過基板に、
既知の光路差を有するように光透過物質を蒸着し、さら
に、人工的に脈理を形成したものを標準試料として比較
に用いることにより、規格化することも可能である。

【００７０】また、上述した各実施の形態では、スクリ
ーン上の観察像を観察したが、この発明では、必ずしも
スクリーンを用いる必要はなく、例えば、スクリーンの
代わりにカメラを配置して観察像を観察しても良い。

【００７１】

【発明の効果】この発明の光学ガラスの内部不均質の検
査方法によれば、入射面および出射面の少なくとも一方
の面上の、当該印の像が観察像と実質的に重なる位置に
印を付けた検査試料に、第１の方向とは異なる第２の方
向から光学ガラスに光を照射したときに、観察像と印の
像とが実質的に重なった場合に、その観察像が光学ガラ
スの内部不均質に由来するものではなく、印を付けた表
面に由来するものと判断する。また、観察像が内部不均
質に由来する場合は、観察像と印の像とが重ならない。
従って、観察像と印の像との重なり方によって、その観
察像が光学ガラスの内部不均質に由来するものか、印を
付けた表面に由来するものかを容易に判断することがで
きる。従って、光学ガラスの内部不均質に起因する光学
ガラスの内部不均質のより確実な検査方法の実現を図る
ことができる。

【００７２】また、検査試料の入射側印および出射側印
を付ければ、観察像と入射側印の像および出射側印の像
の少なくとも一方との距離の比率に基づいて、内部不均
質の位置を求めることができる。

【００７３】また、インゴットまたは部材の内部不均質
の位置を求めることができれば、インゴットの切断にあ
たり、例えば、内部不均質の存在する位置で切断するこ
とによって、内部不均質の少なくとも一部分を切り代に
含めることができる。また、インゴットの切断にあた
り、例えば、複数の内部不均質が近接して存在している
場合には、これらの内部不均質が含まれる部材の厚さが
薄くなるようにインゴットを切断することができる。ま
た、部材の内部不均質の位置を求めることができれば、
この内部不均質を避けて、この部材をさらに切断するこ
とによって、内部不均質が含まれない一回り小さな部材
を切り出して得ることができる。

【００７４】従って、内部不均質の位置を求めることが
できれば、良品効率の向上を図ることができる。

【００７５】また、ピンホール法を用いれば、簡単な構
造で、内部不均質の検査を行うことができる。

【００７６】また、シュリーレン光学系を用いれば、暗
いバックグラウンドに明るい像として観察像および印の
像を得ることができるので、より精度良く内部不均質の
検査を行うことができる。

【００７７】また、シュリーレン光学系における検査試
料を照射する照射光を平行光とすれば、試料を回転させ
て、検査試料の入射面に対する入射角度を変えるだけ
で、容易に第２の方向からの照射光を得ることができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１の実施の形態の光学ガラスの内部不均質の
検査方法の説明に供する図である。

【図２】第３の実施の形態おいて観察された、インゴッ
トの内部不均質を示す図である。

【図３】第４の実施の形態の光学ガラスの内部不均質の
検査方法の説明に供する図である。

【図４】第５の実施の形態の光学ガラスの内部不均質の
検査方法の説明に供する図である。

【符号の説明】

１０：光源 １２：検査試料 １４：スクリーン １６：ランプハウス １８：ピンホール ２０：凸レンズ ２２：絞り ２４：部材、光学ガラス ２６：切断面 ２８：切断面 ３０：浸液 ３２ａ：入射側カバーガラス ３２ｂ：出射側カバーガラス ３４：入射面 ３６：出射面 ３８：光軸 ４０：インゴット ４２：微小泡 ４４：泡 ４６：脈理 ４８：大泡 ５０：第１の部材 ５２：第２の部材 ５４：第３の部材 ５６：第４の部材 ５８：第５の部材 ６０：第６の部材 ６２：第７の部材 ７０：光源 ７２：第１の凸レンズ ７４：検査試料 ７６：第２の凸レンズ ７８：スクリーン ８０：集光点 ８２：入射面 ８４：出射面 ８６：焦点

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 光学ガラスを含む検査試料に光を照射し
   て得られる観察像によって該光学ガラスの内部不均質を
   検査するにあたり、 第１の方向から前記光学ガラスに光を照射して観察像が
   得られた場合に、前記検査試料の光の入射面および出射
   面の少なくとも一方の表面上であって、当該印の像が前
   記観察像と実質的に重なる位置に、印を付け、 前記入射面に対して前記第１の方向とは異なる第２の方
   向から前記光学ガラスに光を照射したときに、前記観察
   像と前記印の像とが実質的に重なった場合に、前記観察
   像が、前記光学ガラスの内部不均質に由来するものでは
   なく、前記印を付けた前記表面に由来するものと判断す
   ることを特徴とする光学ガラスの内部不均質の検査方
   法。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の光学ガラスの内部不均
   質の検査方法において、 前記印として、前記入射面に入射側印、および前記出射
   面に出射側印を付け、 前記第２の方向から光を透過したときの、前記入射側印
   の像と前記出射側印の像との距離に対する、前記観察像
   と前記入射側印の像および前記出射側印の像の少なくと
   も一方との距離の比率に基づいて、内部不均質の位置を
   求めることを特徴とする光学ガラスの内部不均質の検査
   方法。
3. 【請求項３】 請求項２に記載の光学ガラスの内部不均
   質の検査方法において、 前記光学ガラスをインゴットまたは該インゴットから切
   り出された部材とすることを特徴とする光学ガラスの内
   部不均質の検査方法。
4. 【請求項４】 請求項１に記載の光学ガラスの内部不均
   質の検査方法において、 前記光学ガラスに照射する前記光をピンホールを介した
   照射光とすることを特徴とする光学ガラスの内部不均質
   の検査方法。
5. 【請求項５】 請求項１に記載の光学ガラスの内部不均
   質の検査方法において、 前記光学ガラスに照射する前記光を、シュリーレン光学
   系における照射光とすることを特徴とする光学ガラスの
   内部不均質の検査方法。
6. 【請求項６】 請求項５に記載の光学ガラスの内部不均
   質の検査方法において、 シュリーレン光学系における前記照射光を平行光とし、
   該平行光と平行でない軸を回転軸として前記検査試料を
   回転させて、前記入射面に対する前記平行光の入射角度
   を前記第１の方向の角度とは異なる角度に変えることに
   よって、前記第２の方向から該検査試料に前記平行光を
   照射することを特徴とする光学ガラスの内部不均質の検
   査方法。