JP4588361B2 - 外側面検査装置 - Google Patents
外側面検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4588361B2 JP4588361B2 JP2004148483A JP2004148483A JP4588361B2 JP 4588361 B2 JP4588361 B2 JP 4588361B2 JP 2004148483 A JP2004148483 A JP 2004148483A JP 2004148483 A JP2004148483 A JP 2004148483A JP 4588361 B2 JP4588361 B2 JP 4588361B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inspection object
- light
- optical body
- inspection
- image
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
図1は、本実施の形態にかかる外側面検査装置1を示す図であり、該外側面検査装置1は、円柱形状や角柱形状に形成された製品である検査対象物2の外側面3を検査する装置である。なお、図1には、円柱形状の検査対象物2を検査する状態が示されている。
図3は、本実施の形態にかかる外側面検査装置201を示す図であり、第2の実施の形態と異なる部分についてのみ説明する。
2 検査対象物
3 外側面
11 下端
12 照明
22 第1光学体
32 第2光学体
33 反射光
41 カメラ
51 画像処理装置
101 外面検査装置
102 第1光学体
103 第2光学体
201 外面検査装置
211 照明
301 外面検査装置
311 第2光学体
315 第1光学体
Claims (1)
- 円柱形状や角柱形状の検査対象物の外側面を検査する外側面検査装置において、
前記検査対象物の一端側に設けられた光源と、
該光源と前記検査対象物との間に設けられ前記光源より投光された光の進む方向を前記検査対象物の前記外側面へ向けて整える第1光学体と、
前記検査対象物の他端側に配置され前記第1光学体を通過して前記外側面で正反射した反射光を集光する第2光学体と、
該第2光学体を通して前記検査対象物の前記外側面の画像を取得するカメラと、
該カメラで取得した画像から前記外側面を検査する検査手段と、
を備え、
前記第1光学体及び前記第2光学体は前記検査対象物の外側にむけて離間する方向に突出した、円錐台形状の透明体で構成するとともに、
前記光源は、円形穴を有したシールテープで照明の発光部をマスキングして円形の発光面を形成し、前記円形穴の大きさを変更することで検査感度を調整可能としたことを特徴とする外側面検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004148483A JP4588361B2 (ja) | 2004-05-19 | 2004-05-19 | 外側面検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004148483A JP4588361B2 (ja) | 2004-05-19 | 2004-05-19 | 外側面検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005331302A JP2005331302A (ja) | 2005-12-02 |
JP4588361B2 true JP4588361B2 (ja) | 2010-12-01 |
Family
ID=35486067
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004148483A Expired - Fee Related JP4588361B2 (ja) | 2004-05-19 | 2004-05-19 | 外側面検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4588361B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4995621B2 (ja) * | 2007-04-20 | 2012-08-08 | 日本電産トーソク株式会社 | 外観検査方法 |
JP5164424B2 (ja) * | 2007-04-27 | 2013-03-21 | 株式会社ミツトヨ | 光学的変位測定装置 |
JP5507970B2 (ja) * | 2009-11-16 | 2014-05-28 | 積水化学工業株式会社 | 管の外観検査装置 |
JP6035205B2 (ja) * | 2013-06-06 | 2016-11-30 | 株式会社 日立産業制御ソリューションズ | 撮像装置および座屈検査装置 |
JP6360424B2 (ja) * | 2014-10-31 | 2018-07-18 | 株式会社 日立産業制御ソリューションズ | 撮像装置および座屈検査装置 |
JP7255289B2 (ja) * | 2019-03-29 | 2023-04-11 | 日本電産トーソク株式会社 | 検査装置 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6235248A (ja) * | 1985-08-09 | 1987-02-16 | Toshiba Corp | 物体の観測方法及び装置 |
JPH03502138A (ja) * | 1988-10-26 | 1991-05-16 | アイネックス‐ヴィステック・テクノロジーズ・インコーポレイテッド | 端部及び隣合う側部を分析するための物品検査システム |
JPH0882753A (ja) * | 1994-09-12 | 1996-03-26 | Kiriyuu Kikai Kk | 内面画像撮込装置 |
JPH09304285A (ja) * | 1996-05-13 | 1997-11-28 | Tsubakimoto Chain Co | 表面検査方法、表面検査装置、光ビーム発生体及びプリズム |
JPH10505680A (ja) * | 1995-03-08 | 1998-06-02 | アルトリスタ コーポレーション | 環状レンズを用いた容器フランジ検査システム |
JPH11509002A (ja) * | 1996-04-12 | 1999-08-03 | トロペル・コーポレーション | グレーズ光用回折マニピュレーション干渉計 |
-
2004
- 2004-05-19 JP JP2004148483A patent/JP4588361B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6235248A (ja) * | 1985-08-09 | 1987-02-16 | Toshiba Corp | 物体の観測方法及び装置 |
JPH03502138A (ja) * | 1988-10-26 | 1991-05-16 | アイネックス‐ヴィステック・テクノロジーズ・インコーポレイテッド | 端部及び隣合う側部を分析するための物品検査システム |
JPH0882753A (ja) * | 1994-09-12 | 1996-03-26 | Kiriyuu Kikai Kk | 内面画像撮込装置 |
JPH10505680A (ja) * | 1995-03-08 | 1998-06-02 | アルトリスタ コーポレーション | 環状レンズを用いた容器フランジ検査システム |
JPH11509002A (ja) * | 1996-04-12 | 1999-08-03 | トロペル・コーポレーション | グレーズ光用回折マニピュレーション干渉計 |
JPH09304285A (ja) * | 1996-05-13 | 1997-11-28 | Tsubakimoto Chain Co | 表面検査方法、表面検査装置、光ビーム発生体及びプリズム |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005331302A (ja) | 2005-12-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5388543B2 (ja) | 外観検査装置 | |
KR101697240B1 (ko) | 광학 검사 시스템 및 방법 | |
US20070008538A1 (en) | Illumination system for material inspection | |
JP5282002B2 (ja) | 磁気ディスクの両面欠陥検査方法及びその装置 | |
KR20070119607A (ko) | 컨테이너 칼라의 표면상의 결함의 존재를 측정하기 위한조명방법 및 장치 | |
CN109406542B (zh) | 光学检测系统 | |
JP2007171149A (ja) | 表面欠陥検査装置 | |
JP2019045470A (ja) | 外観検査装置及びその方法 | |
TWI449878B (zh) | 用於光學地將一三維物體轉換一二維平面影像的裝置與方法 | |
JPS63261144A (ja) | 光学的ウエブモニター装置 | |
JP2007333563A (ja) | 光透過性シートの検査装置および検査方法 | |
JP4588361B2 (ja) | 外側面検査装置 | |
WO2012011438A1 (ja) | 透明管の泡検出装置および泡検出方法 | |
JP5416929B2 (ja) | 構成部品の表面欠陥を検出する方法および装置 | |
JP2017166903A (ja) | 欠陥検査装置及び欠陥検査方法 | |
JP2019109302A (ja) | 照明光学系、光学検査装置及び光学顕微鏡 | |
KR101520636B1 (ko) | 불규칙 표면의 영상 취득을 위한 광학적 조명 방법 및 장치 | |
JP2002090258A (ja) | レンズの検査方法及び装置並びにシステム | |
KR101447857B1 (ko) | 렌즈 모듈 이물 검사 시스템 | |
JP2006242814A (ja) | 表面検査装置 | |
US7701569B2 (en) | Dark field lighting testing device | |
JP2821460B2 (ja) | 透明基板の傷検査装置 | |
CN208672536U (zh) | 一种大口径超精密表面的暗场缺陷检测装置 | |
KR0147600B1 (ko) | 음극선관 패널의 결함 검사장치 | |
JP2005308517A (ja) | 外側面検査方法及び外側面検査装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070307 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090817 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090825 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091023 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100406 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100602 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100629 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100702 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100907 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100908 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4588361 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130917 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |