JPH10152222A - 搬送装置のエア回路の切り替え機構 - Google Patents
搬送装置のエア回路の切り替え機構Info
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- JPH10152222A JPH10152222A JP31177496A JP31177496A JPH10152222A JP H10152222 A JPH10152222 A JP H10152222A JP 31177496 A JP31177496 A JP 31177496A JP 31177496 A JP31177496 A JP 31177496A JP H10152222 A JPH10152222 A JP H10152222A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 間歇動で回転するターンテーブル２の周辺に
等角度間隔に配置した複数の吸着ノズル３にワーク１０
を吸着して搬送すると共に、前記吸着ノズル３へのエア
配管５を真空源８と高圧源９とに切り替えてワーク１０
の吸着保持と開放とに切り替える搬送装置の搬送速度を
速くする。 【解決手段】 搬送装置のエア配管の切り替え機構にお
いて、真空源８と高圧源９とに切り替える複数の電磁バ
ルブ６，１６と、前記吸着ノズル３の回転角度位置に対
応した前記電磁バルブ６，１６とその吸着ノズル３とを
接続するセンターバルブ１４とを備え、前記電磁バルブ
６，１６の配置場所は高速な切り替えを必要とする特定
の回転角度位置のもの１６は前記センターバルブ１４に
配置して配管を短くし、残りの電磁バルブ６は配管７で
接続して他の場所に配置した。
等角度間隔に配置した複数の吸着ノズル３にワーク１０
を吸着して搬送すると共に、前記吸着ノズル３へのエア
配管５を真空源８と高圧源９とに切り替えてワーク１０
の吸着保持と開放とに切り替える搬送装置の搬送速度を
速くする。 【解決手段】 搬送装置のエア配管の切り替え機構にお
いて、真空源８と高圧源９とに切り替える複数の電磁バ
ルブ６，１６と、前記吸着ノズル３の回転角度位置に対
応した前記電磁バルブ６，１６とその吸着ノズル３とを
接続するセンターバルブ１４とを備え、前記電磁バルブ
６，１６の配置場所は高速な切り替えを必要とする特定
の回転角度位置のもの１６は前記センターバルブ１４に
配置して配管を短くし、残りの電磁バルブ６は配管７で
接続して他の場所に配置した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明はターンテーブルに
設けた吸着ノズルにワークを吸着して間歇動で搬送して
停止中にワークに処理を行なうための搬送装置のエア回
路の切り替え機構に関する。
設けた吸着ノズルにワークを吸着して間歇動で搬送して
停止中にワークに処理を行なうための搬送装置のエア回
路の切り替え機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】この種の搬送装置の従来例を図面を参照
して説明する。図３はその要部のみを示す平面図、図４
は図３のＡ−Ａ線での縦断面図である。この搬送装置は
垂直方向に設けた回転軸１の頂面にターンテーブル２を
備え一体に回転する。ターンテーブル２は周辺に吸着ノ
ズル３を吸着口を下方に向け回転中心に同心円上に等角
度間隔に複数（この場合は８個）備える。そして、ター
ンテーブル２の上面中央部分にはセンターバルブ４が配
置され、その下側部分（センターバルブ可動部）４ａは
ターンテーブル２に一体に固定されてターンテーブル２
と共に回転する。センターバルブ可動部４ａは頂面から
側面に抜ける通気孔４ｃを吸着ノズル３にそれぞれ対応
して備え、通気孔４ｃのセンターバルブ可動部４ａの側
面側の口は配管５で対応する吸着ノズル３に接続され
る。通気孔４ｃの頂面側の口は回転中心に同心円上に等
角度間隔に配置される。センターバルブ４の上側部分
（センターバルブ固定部）４ｂはセンターバルブ可動部
４ａの頂面に気密に面接触して配置され、図示しない支
持体で固定される。センターバルブ固定部４ｂは下面か
ら頂面に抜ける通気孔４ｄをセンターバルブ可動部４ａ
の通気孔４ｃに対応して備え、通気孔４ｄのセンターバ
ルブ固定部４ｂの頂面側の口は対応する切り替え用電磁
バルブ６に配管７で接続する。通気孔４ｄの下面側の口
はターンテーブル２が所定の停止位置（吸着ノズル３が
所定の停止ポジションＰ１〜８にある位置）にある時通
気孔４ｃに対向する位置に配置される。そして、センタ
ーバルブ固定部４ｂの下面には必要により通気孔４ｄの
口を配置の円周に沿って拡開する溝４ｅを備える。切り
替え用電磁バルブ６には真空源８と高圧源９とが接続さ
れ、配管７への接続を切り替える。
して説明する。図３はその要部のみを示す平面図、図４
は図３のＡ−Ａ線での縦断面図である。この搬送装置は
垂直方向に設けた回転軸１の頂面にターンテーブル２を
備え一体に回転する。ターンテーブル２は周辺に吸着ノ
ズル３を吸着口を下方に向け回転中心に同心円上に等角
度間隔に複数（この場合は８個）備える。そして、ター
ンテーブル２の上面中央部分にはセンターバルブ４が配
置され、その下側部分（センターバルブ可動部）４ａは
ターンテーブル２に一体に固定されてターンテーブル２
と共に回転する。センターバルブ可動部４ａは頂面から
側面に抜ける通気孔４ｃを吸着ノズル３にそれぞれ対応
して備え、通気孔４ｃのセンターバルブ可動部４ａの側
面側の口は配管５で対応する吸着ノズル３に接続され
る。通気孔４ｃの頂面側の口は回転中心に同心円上に等
角度間隔に配置される。センターバルブ４の上側部分
（センターバルブ固定部）４ｂはセンターバルブ可動部
４ａの頂面に気密に面接触して配置され、図示しない支
持体で固定される。センターバルブ固定部４ｂは下面か
ら頂面に抜ける通気孔４ｄをセンターバルブ可動部４ａ
の通気孔４ｃに対応して備え、通気孔４ｄのセンターバ
ルブ固定部４ｂの頂面側の口は対応する切り替え用電磁
バルブ６に配管７で接続する。通気孔４ｄの下面側の口
はターンテーブル２が所定の停止位置（吸着ノズル３が
所定の停止ポジションＰ１〜８にある位置）にある時通
気孔４ｃに対向する位置に配置される。そして、センタ
ーバルブ固定部４ｂの下面には必要により通気孔４ｄの
口を配置の円周に沿って拡開する溝４ｅを備える。切り
替え用電磁バルブ６には真空源８と高圧源９とが接続さ
れ、配管７への接続を切り替える。
【０００３】つぎにこの搬送装置の動作の説明を伴って
さらに詳細な構成を説明する。吸着ノズル３が停止する
ポジションＰ１には図示しない搬送装置で樹脂モールド
型の半導体素子の様なワーク１０が順次供給される。そ
こで、ワーク１０を吸着ノズル３が吸着保持してターン
テーブル２が間歇的に回転してポジションＰ２，Ｐ３，
・・・Ｐ８と順次搬送する。ワーク１０の吸着保持は切
り替え用電磁バルブ６により配管７に真空源８を接続す
ることで行なわれる。ワーク１０の開放は切り替え用電
磁バルブ６により配管７に高圧源９を接続することで行
なわれる。ここで、高圧源９は大気圧に開放するだけで
もよいが、応答性を高めるため大気圧より若干高い圧力
とする。そして、一例としてポジションＰ２，Ｐ３には
図示しないリード整形器が配置され２箇所の工程ででリ
ードのホーミングが完成する。その間吸着ノズル３はワ
ーク１０を保持したままである。ポジションＰ４には特
性検査装置（図示せず）が配置され、ここでワーク１０
は特性検査装置（図示せず）に引き渡され、検査終了後
再び吸着ノズル３はワーク１０を吸着保持して以後のポ
ジションに搬送する。特性検査においてワーク１０は例
えば特性区分Ａ，Ｂと不良品の３区分に格付けされる。
ポジションＰ５は空きポジションでワーク１０が一旦停
止するだけで何も処理しない。ポジションＰ６ではワー
ク１０の内特性区分Ａのもののみ次の工程の例えばマー
キング装置の搬送機構（図示せず）に引き渡す。他の区
分のワーク１０は吸着ノズル３に吸着されたまま次のポ
ジションＰ７へ搬送される。ポジションＰ７ではワーク
１０の残りの内特性区分Ｂのものが次工程へ引き渡され
る。同様にポジションＰ８では残りの不良品が解放さ
れ、トレー（図示せず）に落とされる。
さらに詳細な構成を説明する。吸着ノズル３が停止する
ポジションＰ１には図示しない搬送装置で樹脂モールド
型の半導体素子の様なワーク１０が順次供給される。そ
こで、ワーク１０を吸着ノズル３が吸着保持してターン
テーブル２が間歇的に回転してポジションＰ２，Ｐ３，
・・・Ｐ８と順次搬送する。ワーク１０の吸着保持は切
り替え用電磁バルブ６により配管７に真空源８を接続す
ることで行なわれる。ワーク１０の開放は切り替え用電
磁バルブ６により配管７に高圧源９を接続することで行
なわれる。ここで、高圧源９は大気圧に開放するだけで
もよいが、応答性を高めるため大気圧より若干高い圧力
とする。そして、一例としてポジションＰ２，Ｐ３には
図示しないリード整形器が配置され２箇所の工程ででリ
ードのホーミングが完成する。その間吸着ノズル３はワ
ーク１０を保持したままである。ポジションＰ４には特
性検査装置（図示せず）が配置され、ここでワーク１０
は特性検査装置（図示せず）に引き渡され、検査終了後
再び吸着ノズル３はワーク１０を吸着保持して以後のポ
ジションに搬送する。特性検査においてワーク１０は例
えば特性区分Ａ，Ｂと不良品の３区分に格付けされる。
ポジションＰ５は空きポジションでワーク１０が一旦停
止するだけで何も処理しない。ポジションＰ６ではワー
ク１０の内特性区分Ａのもののみ次の工程の例えばマー
キング装置の搬送機構（図示せず）に引き渡す。他の区
分のワーク１０は吸着ノズル３に吸着されたまま次のポ
ジションＰ７へ搬送される。ポジションＰ７ではワーク
１０の残りの内特性区分Ｂのものが次工程へ引き渡され
る。同様にポジションＰ８では残りの不良品が解放さ
れ、トレー（図示せず）に落とされる。
【０００４】以上の様な動作においてセンターバルブの
可動部４ａと固定部４ｂとは気密に接しているのでター
ンテーブル２の回転移動時で通気孔４ｃ，４ｄが対向し
ていない間も吸着を維持するはずである。しかしなが
ら、吸着ノズル３がワーク１０を吸着している部分にリ
ークがあると吸着力が弱まるおそれがある。そこで、図
４に示す様に通気孔４ｄの口を溝４ｅによって次の通気
孔４ｄの口の近くまで拡開する。
可動部４ａと固定部４ｂとは気密に接しているのでター
ンテーブル２の回転移動時で通気孔４ｃ，４ｄが対向し
ていない間も吸着を維持するはずである。しかしなが
ら、吸着ノズル３がワーク１０を吸着している部分にリ
ークがあると吸着力が弱まるおそれがある。そこで、図
４に示す様に通気孔４ｄの口を溝４ｅによって次の通気
孔４ｄの口の近くまで拡開する。
【０００５】上記の動作においてポジションＰ１の切り
替え用電磁弁６はターンテーブル２の停止直前は高圧で
あり、停止後真空に切り替えターンテーブル２の移動開
始後も維持し、停止前に高圧に切り替える。ポジション
Ｐ２，Ｐ３の切り替え用電磁弁６は装置の動作開始当初
や最後にワーク１０が無くなって、吸着ノズル３にワー
ク１０が吸着されていない場合を除きターンテーブル２
の停止中も移動中も真空を維持する。Ｐ４の切り替え用
電磁弁６はターンテーブル２の停止直前は真空であり、
停止後直ちに高圧に切り替えて特性検査装置（図示せ
ず）にワーク１０を渡し、検査終了後真空に再度戻しワ
ーク１０を取り戻し、ターンテーブル２の移動開始後も
維持する。ポジションＰ５の切り替え用電磁弁６は装置
の動作開始当初や最後にワーク１０が無くなって、吸着
ノズル３にワーク１０が吸着されていない場合を除きタ
ーンテーブル２の停止中も移動中も真空を維持する。Ｐ
６の切り替え用電磁弁６は搬送されてくるワーク１０が
ここで他の装置に引き渡される物（特性区分Ａ）なら
ば、ターンテーブル２の停止直前は真空であり、停止後
直ちに高圧に切り替えてワーク１０を他の装置に引渡
し、ターンテーブル２の移動開始後も維持し、停止直前
に真空に切り替える。ワーク１０が通過すべきものなら
ばターンテーブル２の停止中も移動中も真空を維持す
る。ポジションＰ７の切り替え用電磁弁６は搬送されて
くるワーク１０がここで他の装置に引き渡される物（特
性区分Ｂ）ならば、ターンテーブル２の停止直前は真空
であり、停止後直ちに高圧に切り替えてワーク１０を他
の装置に引渡し、ターンテーブル２の移動開始後も維持
し、停止直前に真空に切り替える。ワーク１０が通過す
べきものならばターンテーブル２の停止中も移動中も真
空を維持する。ワーク１０がない場合は停止直前は高圧
で、停止中も移動開始後も維持する。ポジションＰ８の
切り替え用電磁弁６はワーク１０が搬送されてきてここ
で解放される場合は、ターンテーブル２の停止直前は真
空であり、停止後直ちに高圧に切り替えてワーク１０を
落下させ、ターンテーブル２の移動開始後も維持する。
ワーク１０がない場合は停止直前は高圧で、停止中も移
動開始後も維持する。
替え用電磁弁６はターンテーブル２の停止直前は高圧で
あり、停止後真空に切り替えターンテーブル２の移動開
始後も維持し、停止前に高圧に切り替える。ポジション
Ｐ２，Ｐ３の切り替え用電磁弁６は装置の動作開始当初
や最後にワーク１０が無くなって、吸着ノズル３にワー
ク１０が吸着されていない場合を除きターンテーブル２
の停止中も移動中も真空を維持する。Ｐ４の切り替え用
電磁弁６はターンテーブル２の停止直前は真空であり、
停止後直ちに高圧に切り替えて特性検査装置（図示せ
ず）にワーク１０を渡し、検査終了後真空に再度戻しワ
ーク１０を取り戻し、ターンテーブル２の移動開始後も
維持する。ポジションＰ５の切り替え用電磁弁６は装置
の動作開始当初や最後にワーク１０が無くなって、吸着
ノズル３にワーク１０が吸着されていない場合を除きタ
ーンテーブル２の停止中も移動中も真空を維持する。Ｐ
６の切り替え用電磁弁６は搬送されてくるワーク１０が
ここで他の装置に引き渡される物（特性区分Ａ）なら
ば、ターンテーブル２の停止直前は真空であり、停止後
直ちに高圧に切り替えてワーク１０を他の装置に引渡
し、ターンテーブル２の移動開始後も維持し、停止直前
に真空に切り替える。ワーク１０が通過すべきものなら
ばターンテーブル２の停止中も移動中も真空を維持す
る。ポジションＰ７の切り替え用電磁弁６は搬送されて
くるワーク１０がここで他の装置に引き渡される物（特
性区分Ｂ）ならば、ターンテーブル２の停止直前は真空
であり、停止後直ちに高圧に切り替えてワーク１０を他
の装置に引渡し、ターンテーブル２の移動開始後も維持
し、停止直前に真空に切り替える。ワーク１０が通過す
べきものならばターンテーブル２の停止中も移動中も真
空を維持する。ワーク１０がない場合は停止直前は高圧
で、停止中も移動開始後も維持する。ポジションＰ８の
切り替え用電磁弁６はワーク１０が搬送されてきてここ
で解放される場合は、ターンテーブル２の停止直前は真
空であり、停止後直ちに高圧に切り替えてワーク１０を
落下させ、ターンテーブル２の移動開始後も維持する。
ワーク１０がない場合は停止直前は高圧で、停止中も移
動開始後も維持する。
【０００６】この搬送装置の搬送速度はポジション間を
ターンテーブル２が回転移動する時間と停止している時
間との和で決定し、停止している時間は各ポジションで
必要な時間の内で最も長い時間に決定してしまう。従っ
て、搬送速度を高めようとすると回転移動を速くすると
ともに停止の時間を短くする必要があり、そのためには
ノズルの吸着・開放の切り替えを速く行なうことが必要
である。
ターンテーブル２が回転移動する時間と停止している時
間との和で決定し、停止している時間は各ポジションで
必要な時間の内で最も長い時間に決定してしまう。従っ
て、搬送速度を高めようとすると回転移動を速くすると
ともに停止の時間を短くする必要があり、そのためには
ノズルの吸着・開放の切り替えを速く行なうことが必要
である。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この搬
送装置では図４に示すように切り替え用電磁バルブ６か
ら吸着ノズル３の先端までには配管７、通気孔４ｄ、通
気孔４ｃ、配管５および吸着ノズル３の経路があり、特
に図４においては図を略しているので目立たないが現実
には配管７が最も長いので真空と高圧との切り替えに要
する時間を少なくするには限度がある。そこで切り替え
用電磁弁６をセンターバルブ固定部４ｂの通気孔４ｄの
上面側の口に直結するように配置しようとすると電磁弁
６を多数使用しているのでセンターバルブ４の頂面の面
積を大きくする必要があり、そのためセンターバルブの
可動部４ａやひいてはターンテーブル２が大きくなると
慣性が大きくなり、ターンテーブル２の回転速度の高速
化の妨げになる。
送装置では図４に示すように切り替え用電磁バルブ６か
ら吸着ノズル３の先端までには配管７、通気孔４ｄ、通
気孔４ｃ、配管５および吸着ノズル３の経路があり、特
に図４においては図を略しているので目立たないが現実
には配管７が最も長いので真空と高圧との切り替えに要
する時間を少なくするには限度がある。そこで切り替え
用電磁弁６をセンターバルブ固定部４ｂの通気孔４ｄの
上面側の口に直結するように配置しようとすると電磁弁
６を多数使用しているのでセンターバルブ４の頂面の面
積を大きくする必要があり、そのためセンターバルブの
可動部４ａやひいてはターンテーブル２が大きくなると
慣性が大きくなり、ターンテーブル２の回転速度の高速
化の妨げになる。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めにこの発明による搬送装置のエア回路切り替え機構は
間歇動で回転するターンテーブルの周辺に等角度間隔に
配置した複数の吸着ノズルにワークを吸着して搬送する
と共に、前記吸着ノズルへのエア配管を真空源と高圧源
とに切り替えてワークの吸着保持と解放とに切り替える
搬送装置のエア配管の切り替え機構において、真空源と
高圧源とに切り替える複数の電磁バルブと、前記吸着ノ
ズルの回転角度位置に対応した前記電磁バルブとその吸
着ノズルとを接続するセンターバルブとを備え、前記電
磁バルブの配置場所は高速な切り替えを必要とする特定
の回転角度位置のものは前記センターバルブに配置して
配管を短くし、残りの電磁バルブは配管で接続して他の
場所に配置したことを特長とする。上記の構成によれば
特に高速に切り替えを要する箇所のみセンターバルブに
真空、高圧に切り替える電磁弁を配置して配管を短くし
たので切り替えが速くなり、センターバルブに電磁バル
ブを取り付けるのは限られたものだけなのでセンターバ
ルブを大きくする必要もない。
めにこの発明による搬送装置のエア回路切り替え機構は
間歇動で回転するターンテーブルの周辺に等角度間隔に
配置した複数の吸着ノズルにワークを吸着して搬送する
と共に、前記吸着ノズルへのエア配管を真空源と高圧源
とに切り替えてワークの吸着保持と解放とに切り替える
搬送装置のエア配管の切り替え機構において、真空源と
高圧源とに切り替える複数の電磁バルブと、前記吸着ノ
ズルの回転角度位置に対応した前記電磁バルブとその吸
着ノズルとを接続するセンターバルブとを備え、前記電
磁バルブの配置場所は高速な切り替えを必要とする特定
の回転角度位置のものは前記センターバルブに配置して
配管を短くし、残りの電磁バルブは配管で接続して他の
場所に配置したことを特長とする。上記の構成によれば
特に高速に切り替えを要する箇所のみセンターバルブに
真空、高圧に切り替える電磁弁を配置して配管を短くし
たので切り替えが速くなり、センターバルブに電磁バル
ブを取り付けるのは限られたものだけなのでセンターバ
ルブを大きくする必要もない。
【０００９】
【発明の実施の形態】この発明のエア回路の切り替え機
構の一例を図面を参照して説明する。この例は図３、図
４に示す従来の搬送措置においてターンテーブル２の停
止時間を決めているのがポジション４であるので、この
点での停止時間をなるべく少なくして搬送速度の向上を
はかったものである。このポジションではターンテーブ
ル２が停止後吸着ノズル３は真空から高圧に切り替えら
れワーク１０を図示しない特性検査装置に引渡し、検査
終了後は吸着ノズル３は高圧から真空に切り替えられワ
ーク１０を特性検査装置から引取り、その後ターンテー
ブル２が移動する。このように２回のエア回路の切り替
えがあるので、エア回路の切り替え速度を速くするのは
搬送速度を速くするのに有効である。図１はその要部の
みを示す平面図、図２は図１のＢ−Ｂ線での縦断面図で
ある。図３、図４に示す従来の装置と同じものは同一符
号を付す。この搬送装置は垂直方向に設けた回転軸１の
頂面にターンテーブル２を備え一体に回転する。ターン
テーブル２は周辺に吸着ノズル３を吸着口を下方に向け
回転中心と同心円上に等角度間隔に複数（この場合は８
個）備える点は従来と変わらない。ここで吸着ノズル３
は上下動するものであってよい。そして、ターンテーブ
ル２の上面中央部分にはセンターバルブ１４が配置さ
れ、その下側部分（センターバルブ可動部）４ａはター
ンテーブル２に一体に固定されてターンテーブル２と共
に回転し、センターバルブ可動部４ａは頂面から側面に
抜ける通気孔４ｃを吸着ノズル３にそれぞれ対応して備
え、通気孔４ｃのセンターバルブ可動部４ａの側面側の
口は配管５で対応する吸着ノズル３に接続され、通気孔
４ｃの頂面側の口は回転中心を中心とする円周上に等角
度間隔に配置される点も従来と同じである。センターバ
ルブ１４の上側部分（センターバルブ固定部）１４ｂは
センターバルブ可動部４ａの頂面に気密に面接触して配
置され、図示しない支持体で固定され、下面から頂面に
抜ける通気孔４ｄをセンターバルブ可動部４ａの通気孔
４ｃに対応して備え、通気孔４ｄの下面側の口はターン
テーブル２が所定の停止位置（吸着ノズル３が所定の停
止ポジションＰ１〜８にある位置）にある時通気孔４ｃ
に対向する位置に配置される点も従来と同じである。し
かしながら、通気孔４ｄのセンターバルブ固定部１４ｂ
の頂面側の口はほとんどは配管で対応する切り替え用電
磁バルブ６に配管７で接続するが、ポジションＰ４に対
応する通気孔４ｄの口はセンターバルブ固定部１４ｂの
頂面に配置した切り替え用電磁バルブ１６に直接続して
いる点が異なる。そして、センターバルブ固定部１４ｂ
の下面には必要により通気孔４ｄの口を配置の円周に沿
って拡開する溝４ｅを備えるが、その形状が図４の例と
は若干異なる。切り替え用電磁バルブ６，１６には真空
源８と高圧源９とが接続され、配管７への接続を切り替
える点も同じである。
構の一例を図面を参照して説明する。この例は図３、図
４に示す従来の搬送措置においてターンテーブル２の停
止時間を決めているのがポジション４であるので、この
点での停止時間をなるべく少なくして搬送速度の向上を
はかったものである。このポジションではターンテーブ
ル２が停止後吸着ノズル３は真空から高圧に切り替えら
れワーク１０を図示しない特性検査装置に引渡し、検査
終了後は吸着ノズル３は高圧から真空に切り替えられワ
ーク１０を特性検査装置から引取り、その後ターンテー
ブル２が移動する。このように２回のエア回路の切り替
えがあるので、エア回路の切り替え速度を速くするのは
搬送速度を速くするのに有効である。図１はその要部の
みを示す平面図、図２は図１のＢ−Ｂ線での縦断面図で
ある。図３、図４に示す従来の装置と同じものは同一符
号を付す。この搬送装置は垂直方向に設けた回転軸１の
頂面にターンテーブル２を備え一体に回転する。ターン
テーブル２は周辺に吸着ノズル３を吸着口を下方に向け
回転中心と同心円上に等角度間隔に複数（この場合は８
個）備える点は従来と変わらない。ここで吸着ノズル３
は上下動するものであってよい。そして、ターンテーブ
ル２の上面中央部分にはセンターバルブ１４が配置さ
れ、その下側部分（センターバルブ可動部）４ａはター
ンテーブル２に一体に固定されてターンテーブル２と共
に回転し、センターバルブ可動部４ａは頂面から側面に
抜ける通気孔４ｃを吸着ノズル３にそれぞれ対応して備
え、通気孔４ｃのセンターバルブ可動部４ａの側面側の
口は配管５で対応する吸着ノズル３に接続され、通気孔
４ｃの頂面側の口は回転中心を中心とする円周上に等角
度間隔に配置される点も従来と同じである。センターバ
ルブ１４の上側部分（センターバルブ固定部）１４ｂは
センターバルブ可動部４ａの頂面に気密に面接触して配
置され、図示しない支持体で固定され、下面から頂面に
抜ける通気孔４ｄをセンターバルブ可動部４ａの通気孔
４ｃに対応して備え、通気孔４ｄの下面側の口はターン
テーブル２が所定の停止位置（吸着ノズル３が所定の停
止ポジションＰ１〜８にある位置）にある時通気孔４ｃ
に対向する位置に配置される点も従来と同じである。し
かしながら、通気孔４ｄのセンターバルブ固定部１４ｂ
の頂面側の口はほとんどは配管で対応する切り替え用電
磁バルブ６に配管７で接続するが、ポジションＰ４に対
応する通気孔４ｄの口はセンターバルブ固定部１４ｂの
頂面に配置した切り替え用電磁バルブ１６に直接続して
いる点が異なる。そして、センターバルブ固定部１４ｂ
の下面には必要により通気孔４ｄの口を配置の円周に沿
って拡開する溝４ｅを備えるが、その形状が図４の例と
は若干異なる。切り替え用電磁バルブ６，１６には真空
源８と高圧源９とが接続され、配管７への接続を切り替
える点も同じである。
【００１０】つぎにこの搬送装置の動作の説明を伴って
さらに詳細な構成を説明する。従来同様ポジションＰ１
には図示しない搬送装置で樹脂モールド型の半導体素子
の様なワーク１０が同じ位置姿勢で順次供給され、そこ
で、ワーク９を吸着ノズル３が吸着保持してターンテー
ブル２が間歇的に回転してポジションＰ２，Ｐ３，・・
・Ｐ８と順次搬送する。ワーク１０の吸着保持は切り替
え用電磁バルブ６，１６により配管７もしくは通気孔４
ｄに真空源８を接続することで行なわれる。ワーク１０
の開放は切り替え用電磁バルブ６，１６により配管７も
しくは通気孔４ｄに高圧源９を接続することで行なわれ
る。ここで、高圧源は大気圧に開放するだけでもよい
が、応答性を高めるため大気圧より若干高い圧力とす
る。そして従来同様ポジションＰ２，Ｐ３ではリード整
形器（図示せず）により、２箇所の工程でリードのホー
ミングが完成する。その間吸着ノズル３はワーク１０を
保持したままである。ポジションＰ４には特性検査装置
（図示せず）が配置され、ここでワーク１０は特性検査
装置（図示せず）に引き渡され、検査終了後再び吸着ノ
ズル３がワーク１０を吸着保持して以後のポジションに
搬送する。ここでの吸着ノズル３の吸着・解放の切り替
えは配管７を介さず直接センターバルブ１４の固定部１
４ｂに取り付けた電磁バルブ１６により真空・高圧に切
り替えるので、速度は速くなっている。特性検査におい
てワーク１０は３区分に格付けされ、ポジションＰ６、
ポジションＰ７、ポジションＰ８でそれぞれの区分品が
解放され点は従来とおなじである。
さらに詳細な構成を説明する。従来同様ポジションＰ１
には図示しない搬送装置で樹脂モールド型の半導体素子
の様なワーク１０が同じ位置姿勢で順次供給され、そこ
で、ワーク９を吸着ノズル３が吸着保持してターンテー
ブル２が間歇的に回転してポジションＰ２，Ｐ３，・・
・Ｐ８と順次搬送する。ワーク１０の吸着保持は切り替
え用電磁バルブ６，１６により配管７もしくは通気孔４
ｄに真空源８を接続することで行なわれる。ワーク１０
の開放は切り替え用電磁バルブ６，１６により配管７も
しくは通気孔４ｄに高圧源９を接続することで行なわれ
る。ここで、高圧源は大気圧に開放するだけでもよい
が、応答性を高めるため大気圧より若干高い圧力とす
る。そして従来同様ポジションＰ２，Ｐ３ではリード整
形器（図示せず）により、２箇所の工程でリードのホー
ミングが完成する。その間吸着ノズル３はワーク１０を
保持したままである。ポジションＰ４には特性検査装置
（図示せず）が配置され、ここでワーク１０は特性検査
装置（図示せず）に引き渡され、検査終了後再び吸着ノ
ズル３がワーク１０を吸着保持して以後のポジションに
搬送する。ここでの吸着ノズル３の吸着・解放の切り替
えは配管７を介さず直接センターバルブ１４の固定部１
４ｂに取り付けた電磁バルブ１６により真空・高圧に切
り替えるので、速度は速くなっている。特性検査におい
てワーク１０は３区分に格付けされ、ポジションＰ６、
ポジションＰ７、ポジションＰ８でそれぞれの区分品が
解放され点は従来とおなじである。
【００１１】この装置においてもセンターバルブの固定
部１４ｂには通気孔４ｄの下側の口を拡開する溝１４ｅ
を備える、しかしながら図１に示す様に、従来の装置に
比較して若干異なる。即ち高速なエア回路の切り替えを
必要とするポジションＰ４の通気孔４ｄの溝は設けない
か、小さい幅としてエア回路の切り替え速度を遅くする
要素を減らす。そして代わりに次のポジションＰ５の溝
１４ｅをポジションＰ４の通気孔１４ｂの口の近傍まで
拡開する。
部１４ｂには通気孔４ｄの下側の口を拡開する溝１４ｅ
を備える、しかしながら図１に示す様に、従来の装置に
比較して若干異なる。即ち高速なエア回路の切り替えを
必要とするポジションＰ４の通気孔４ｄの溝は設けない
か、小さい幅としてエア回路の切り替え速度を遅くする
要素を減らす。そして代わりに次のポジションＰ５の溝
１４ｅをポジションＰ４の通気孔１４ｂの口の近傍まで
拡開する。
【００１２】上記の動作においてポジションＰ１の切り
替え用電磁弁６はターンテーブル２の停止直前は高圧で
あり、停止後真空に切り替えワーク１０を吸着保持して
ターンテーブル２の移動開始後も維持する。ポジション
Ｐ２，Ｐ３の切り替え用電磁弁６は装置の動作開始当初
や最後にワーク９が無くなって、吸着ノズル３にワーク
１０が吸着されていない場合を除きターンテーブル２の
停止中も移動中も真空を維持する。Ｐ４の切り替え用電
磁弁１６はターンテーブル２の停止直前は真空であり、
停止後直ちに高圧に切り替えて特性検査装置（図示せ
ず）にワーク１０を渡し、検査終了後真空に再度戻しワ
ーク１０を取り戻し、ターンテーブル２の移動開始後も
維持する。この際電磁弁１６はセンターバルブ固定部１
４ｂに直接設置して配管７がないので他のポジションに
比較して切り替えが速い。ポジションＰ５の切り替え用
電磁弁６は装置の動作開始当初や最後にワーク１０が無
くなって、吸着ノズル３にワーク１０が吸着されていな
い場合を除きターンテーブル２の停止中も移動中も真空
を維持する。Ｐ６の切り替え用電磁弁６は搬送されてく
るワーク１０がここで他の装置に引き渡される物（特性
区分Ａ）ならば、ターンテーブル２の停止直前は真空で
あり、停止後直ちに高圧に切り替えてワーク１０を他の
装置に引渡し、ターンテーブル２の移動開始後も維持
し、停止直前に真空に切り替える。ワーク１０が通過す
べきものならばターンテーブル２の停止中も移動中も真
空を維持する。ポジションＰ７の切り替え用電磁弁６は
搬送されてくるワーク１０がここで他の装置に引き渡さ
れる物（特性区分Ｂ）ならば、ターンテーブル２の停止
直前は真空であり、停止後直ちに高圧に切り替えてワー
ク１０を他の装置に引渡し、ターンテーブル２の移動開
始後も維持し、停止直前に真空に切り替える。ワーク１
０が通過すべきものならばターンテーブル２の停止中も
移動中も真空を維持する。ワーク１０がない場合は停止
直前は高圧で、停止中も移動開始後も維持する。ポジシ
ョンＰ８の切り替え用電磁弁６はワーク１０が搬送され
てきてここで解放される場合は、ターンテーブル２の停
止直前は真空であり、停止後直ちに高圧に切り替えてワ
ーク１０を落下させ、ターンテーブル２の移動開始後も
維持する。ワーク１０がない場合は停止直前は高圧で、
停止中も移動開始後も維持する。
替え用電磁弁６はターンテーブル２の停止直前は高圧で
あり、停止後真空に切り替えワーク１０を吸着保持して
ターンテーブル２の移動開始後も維持する。ポジション
Ｐ２，Ｐ３の切り替え用電磁弁６は装置の動作開始当初
や最後にワーク９が無くなって、吸着ノズル３にワーク
１０が吸着されていない場合を除きターンテーブル２の
停止中も移動中も真空を維持する。Ｐ４の切り替え用電
磁弁１６はターンテーブル２の停止直前は真空であり、
停止後直ちに高圧に切り替えて特性検査装置（図示せ
ず）にワーク１０を渡し、検査終了後真空に再度戻しワ
ーク１０を取り戻し、ターンテーブル２の移動開始後も
維持する。この際電磁弁１６はセンターバルブ固定部１
４ｂに直接設置して配管７がないので他のポジションに
比較して切り替えが速い。ポジションＰ５の切り替え用
電磁弁６は装置の動作開始当初や最後にワーク１０が無
くなって、吸着ノズル３にワーク１０が吸着されていな
い場合を除きターンテーブル２の停止中も移動中も真空
を維持する。Ｐ６の切り替え用電磁弁６は搬送されてく
るワーク１０がここで他の装置に引き渡される物（特性
区分Ａ）ならば、ターンテーブル２の停止直前は真空で
あり、停止後直ちに高圧に切り替えてワーク１０を他の
装置に引渡し、ターンテーブル２の移動開始後も維持
し、停止直前に真空に切り替える。ワーク１０が通過す
べきものならばターンテーブル２の停止中も移動中も真
空を維持する。ポジションＰ７の切り替え用電磁弁６は
搬送されてくるワーク１０がここで他の装置に引き渡さ
れる物（特性区分Ｂ）ならば、ターンテーブル２の停止
直前は真空であり、停止後直ちに高圧に切り替えてワー
ク１０を他の装置に引渡し、ターンテーブル２の移動開
始後も維持し、停止直前に真空に切り替える。ワーク１
０が通過すべきものならばターンテーブル２の停止中も
移動中も真空を維持する。ワーク１０がない場合は停止
直前は高圧で、停止中も移動開始後も維持する。ポジシ
ョンＰ８の切り替え用電磁弁６はワーク１０が搬送され
てきてここで解放される場合は、ターンテーブル２の停
止直前は真空であり、停止後直ちに高圧に切り替えてワ
ーク１０を落下させ、ターンテーブル２の移動開始後も
維持する。ワーク１０がない場合は停止直前は高圧で、
停止中も移動開始後も維持する。
【００１３】この例においては、ポジションＰ１でワー
ク１０の有無を確認し、ワーク１０を吸着した吸着ノズ
ル３に対応するポジションで上述の様なエア回路の切り
替え動作を行い、ワーク１０の吸着の無い吸着ノズル３
に対応するポジションでは真空が破れて吸着能力が低下
するのを防止するために、高圧側に接続している。
ク１０の有無を確認し、ワーク１０を吸着した吸着ノズ
ル３に対応するポジションで上述の様なエア回路の切り
替え動作を行い、ワーク１０の吸着の無い吸着ノズル３
に対応するポジションでは真空が破れて吸着能力が低下
するのを防止するために、高圧側に接続している。
【００１４】しかしながら、電磁弁６，１６から真空ポ
ンプ（図示せず）までの配管を個別に比較的長くして、
真空側に接続された吸着ノズルがワーク１０を持たず真
空が破れても他の吸着ノズルは正常に吸着する様にして
搬送装置の構成やソフトを簡略化することもできる。そ
の際は仕事の始まりや終わりの様にワークの無い吸着ノ
ズルのある場合でも通常のエア回路の切り替え動作を行
なえば良い。その場合高速な切り替えを要する電磁バル
ブ１６と真空ポンプ（図示せず）との間は他のノズルに
ワーク１０が無い場合の吸着力の低下が許せる範囲で極
力短く接続するほうが良い。
ンプ（図示せず）までの配管を個別に比較的長くして、
真空側に接続された吸着ノズルがワーク１０を持たず真
空が破れても他の吸着ノズルは正常に吸着する様にして
搬送装置の構成やソフトを簡略化することもできる。そ
の際は仕事の始まりや終わりの様にワークの無い吸着ノ
ズルのある場合でも通常のエア回路の切り替え動作を行
なえば良い。その場合高速な切り替えを要する電磁バル
ブ１６と真空ポンプ（図示せず）との間は他のノズルに
ワーク１０が無い場合の吸着力の低下が許せる範囲で極
力短く接続するほうが良い。
【００１５】上記の搬送装置によれば、ターンテーブル
２の停止時間を決めているポジション４でエア回路の切
り替え速度を速くするので停止時間を短くでき、搬送速
度を向上させる。
２の停止時間を決めているポジション４でエア回路の切
り替え速度を速くするので停止時間を短くでき、搬送速
度を向上させる。
【００１６】
【発明の効果】以上説明したように、この発明は、速い
エア回路の切り替えを必要とされるポジションだけ、切
り替え用電磁バルブをセンターバルブにじかに配置した
ことで高速な搬送速度とする。
エア回路の切り替えを必要とされるポジションだけ、切
り替え用電磁バルブをセンターバルブにじかに配置した
ことで高速な搬送速度とする。
【図１】 この発明の一実施例の要部平面図である。
【図２】 その縦断面図である。
【図３】 従来の装置の要部平面図である。
【図４】 その縦断面図である。
２ ターンテーブル ３ 吸着ノズル ５，７ 配管 ６ 電磁バルブ ８ 真空源 ９ 高圧源 １０ ワーク １４ センターバルブ Ｐ１〜Ｐ８ 吸着ノズルが停止するポジション
Claims (2)
- 【請求項１】間歇動で回転するターンテーブルの周辺に
等角度間隔に配置した複数の吸着ノズルにワークを吸着
して搬送すると共に、前記吸着ノズルへのエア配管を真
空源と高圧源とに切り替えてワークの吸着保持と解放と
に切り替える搬送装置のエア配管の切り替え機構におい
て、 真空源と高圧源とに切り替える複数の電磁バルブと、前
記吸着ノズルの回転角度位置に対応した前記電磁バルブ
とその吸着ノズルとを接続するセンターバルブとを備
え、 前記電磁バルブの配置場所は高速な切り替えを必要とす
る特定の回転角度位置のものは前記センターバルブに配
置して配管を短くし、残りの電磁バルブは配管で接続し
て他の場所に配置したことを特長とするエア回路の切り
替え機構。 - 【請求項２】間歇動で回転するターンテーブルの周辺に
等角度間隔に配置した複数の吸着ノズルにワークを吸着
して搬送すると共に、前記吸着ノズルが停止する所定の
ポジションで前記ワークに対して処理を行なうに際して
前記吸着ノズルへのエア配管を真空源と高圧源とに切り
替えてワークの吸着保持と解放とに切り替える搬送装置
のエア配管の切り替え機構において、 真空源と高圧源とに切り替える複数の電磁バルブと、前
記吸着ノズルの停止ポジションに対応した前記電磁バル
ブとその位置の吸着ノズルとを接続するセンターバルブ
とを備え、 前記電磁バルブの配置場所はターンテーブルの停止の時
間に影響するので、高速な切り替えを必要とする特定の
停止ポジションのものは前記センターバルブに配置して
配管を短くし、残りの電磁バルブは配管で接続して他の
場所に配置したことを特長とするエア回路の切り替え機
構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31177496A JP3195932B2 (ja) | 1996-11-22 | 1996-11-22 | 搬送装置のエア回路の切り替え機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31177496A JP3195932B2 (ja) | 1996-11-22 | 1996-11-22 | 搬送装置のエア回路の切り替え機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10152222A true JPH10152222A (ja) | 1998-06-09 |
| JP3195932B2 JP3195932B2 (ja) | 2001-08-06 |
Family
ID=18021317
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31177496A Expired - Fee Related JP3195932B2 (ja) | 1996-11-22 | 1996-11-22 | 搬送装置のエア回路の切り替え機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3195932B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009126649A (ja) * | 2007-11-26 | 2009-06-11 | Akim Kk | ターレット搬送装置 |
| JP2009196739A (ja) * | 2008-02-20 | 2009-09-03 | Akim Kk | 搬送装置 |
-
1996
- 1996-11-22 JP JP31177496A patent/JP3195932B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009126649A (ja) * | 2007-11-26 | 2009-06-11 | Akim Kk | ターレット搬送装置 |
| JP2009196739A (ja) * | 2008-02-20 | 2009-09-03 | Akim Kk | 搬送装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3195932B2 (ja) | 2001-08-06 |
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