JPH10151669A - 基板にフォトレジストフィルムをラミネートする方法およびラミネータ - Google Patents
基板にフォトレジストフィルムをラミネートする方法およびラミネータInfo
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- JPH10151669A JPH10151669A JP8311987A JP31198796A JPH10151669A JP H10151669 A JPH10151669 A JP H10151669A JP 8311987 A JP8311987 A JP 8311987A JP 31198796 A JP31198796 A JP 31198796A JP H10151669 A JPH10151669 A JP H10151669A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 表面に凹凸のある基板にフォトレジストフィ
ルムをラミネートする際、フォトレジスト材料を基板表
面に隙間なく密着させる。 【解決手段】 第１の対の圧力ロール８間に第１の向き
で送り込まれた基板５上にフォトレジストフィルム３を
圧着する（イ）。次いで、フィルム３が圧着された基板
５の向きを変えて第２の向きとする（ロ）。続いて基板
５を第２の向きで第２の対の圧力ロール１０間に送り込
み、押圧する。
ルムをラミネートする際、フォトレジスト材料を基板表
面に隙間なく密着させる。 【解決手段】 第１の対の圧力ロール８間に第１の向き
で送り込まれた基板５上にフォトレジストフィルム３を
圧着する（イ）。次いで、フィルム３が圧着された基板
５の向きを変えて第２の向きとする（ロ）。続いて基板
５を第２の向きで第２の対の圧力ロール１０間に送り込
み、押圧する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は基板にフォトレジス
トフィルムをラミネートする技術に関する。
トフィルムをラミネートする技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】プリント回路用基板等を作成するため
に、互いに対向配置された一対の圧力ロールを備えたラ
ミネータを用いて基板にフォトレジストフィルムを圧着
する技術は知られている。典型的には、一対の圧力ロー
ル間に向けて、フィルムロールから巻き戻されたフォト
レジストフィルムを供給するとともに、ローラコンベヤ
等の搬送手段により基板を送り込み、一対の圧力ロール
を回転させながら基板にフォトレジストフィルムを圧着
させてゆく。フィルムは、圧着完了前に基板の長さに合
わせて切断される。従来は、このような圧着工程を一回
行うだけで基板のラミネート処理を完了させていた。
に、互いに対向配置された一対の圧力ロールを備えたラ
ミネータを用いて基板にフォトレジストフィルムを圧着
する技術は知られている。典型的には、一対の圧力ロー
ル間に向けて、フィルムロールから巻き戻されたフォト
レジストフィルムを供給するとともに、ローラコンベヤ
等の搬送手段により基板を送り込み、一対の圧力ロール
を回転させながら基板にフォトレジストフィルムを圧着
させてゆく。フィルムは、圧着完了前に基板の長さに合
わせて切断される。従来は、このような圧着工程を一回
行うだけで基板のラミネート処理を完了させていた。
【０００３】フォトレジストフィルムを圧着すべき基板
表面には、表面処理時に生じる凹凸がある。また、基板
表面には意図的に凹凸が形成される場合もある。かかる
凹凸のある基板に対して従来のようなラミネート処理を
行うと、フィルムのフォトレジスト材料が基板の表面に
完全には密着せず、隙間ができてしまうことがある。基
板表面の凹部の、圧力ロールに向かって手前側が、フォ
トレジスト材料で埋め込まれにくいからである。図３に
は、かかる状況が概略的に示されている。カバーフィル
ム１とフォトレジスト材料２とを組み合わせてなるフォ
トレジストフィルム３は、矢印Ａの方向に沿って一対の
圧力ロール４間に向けて供給され、一方、基板５は矢印
Ｂの向きで一対の圧力ロール４間に送り込まれる。フォ
トレジストフィルム３は、圧力ロール４の回転によって
基板５上にラミネートされるが、凹部６の、圧力ロール
４に向かって手前側には、フォトレジスト材料３が埋め
込まれず、隙間７ができる傾向にある。このようにフォ
トレジスト材料の密着性が不十分な基板は、製品不良の
発生原因となる。
表面には、表面処理時に生じる凹凸がある。また、基板
表面には意図的に凹凸が形成される場合もある。かかる
凹凸のある基板に対して従来のようなラミネート処理を
行うと、フィルムのフォトレジスト材料が基板の表面に
完全には密着せず、隙間ができてしまうことがある。基
板表面の凹部の、圧力ロールに向かって手前側が、フォ
トレジスト材料で埋め込まれにくいからである。図３に
は、かかる状況が概略的に示されている。カバーフィル
ム１とフォトレジスト材料２とを組み合わせてなるフォ
トレジストフィルム３は、矢印Ａの方向に沿って一対の
圧力ロール４間に向けて供給され、一方、基板５は矢印
Ｂの向きで一対の圧力ロール４間に送り込まれる。フォ
トレジストフィルム３は、圧力ロール４の回転によって
基板５上にラミネートされるが、凹部６の、圧力ロール
４に向かって手前側には、フォトレジスト材料３が埋め
込まれず、隙間７ができる傾向にある。このようにフォ
トレジスト材料の密着性が不十分な基板は、製品不良の
発生原因となる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】そこで本発明が解決し
ようとする課題は、表面に凹凸のある基板に対してフィ
ルムのフォトレジスト材料を十分に密着させることので
きるラミネート技術を提供することにある。
ようとする課題は、表面に凹凸のある基板に対してフィ
ルムのフォトレジスト材料を十分に密着させることので
きるラミネート技術を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明によれば、基板にフォトレジストフィルムを
ラミネートする方法であって、第１の対の圧力ロール間
に、フォトレジストフィルムを供給するとともに基板を
第１の向きで送り込み、前記フォトレジストフィルムを
前記基板に圧着する段階と、第２の対の圧力ロール間
に、前記フォトレジストフィルムを圧着された前記基板
を第２の向きで送り込んで押圧する段階と、を含み、前
記第１の向きと前記第２の向きとが互いに異なるように
なされている、基板にフォトレジストフィルムをラミネ
ートする方法が提供される。
め、本発明によれば、基板にフォトレジストフィルムを
ラミネートする方法であって、第１の対の圧力ロール間
に、フォトレジストフィルムを供給するとともに基板を
第１の向きで送り込み、前記フォトレジストフィルムを
前記基板に圧着する段階と、第２の対の圧力ロール間
に、前記フォトレジストフィルムを圧着された前記基板
を第２の向きで送り込んで押圧する段階と、を含み、前
記第１の向きと前記第２の向きとが互いに異なるように
なされている、基板にフォトレジストフィルムをラミネ
ートする方法が提供される。
【０００６】前記第１の向きと前記第２の向きとは、１
８０゜異なるものとすることができる。
８０゜異なるものとすることができる。
【０００７】前記押圧する段階において、前記基板は、
前記第２の対の圧力ロール間に送り込まれる前に該基板
を含む平面内で回転されるようにしてもよい。
前記第２の対の圧力ロール間に送り込まれる前に該基板
を含む平面内で回転されるようにしてもよい。
【０００８】前記押圧する段階において、前記基板は、
前記第２の対の圧力ロール間に送り込まれる前に表裏を
反転されるようにしてもよい。
前記第２の対の圧力ロール間に送り込まれる前に表裏を
反転されるようにしてもよい。
【０００９】前記押圧する段階において、前記基板は、
前記第２の対の圧力ロール間に送り込まれる前に搬送方
向を変更されるようにしてもよい。
前記第２の対の圧力ロール間に送り込まれる前に搬送方
向を変更されるようにしてもよい。
【００１０】また、本発明によれば、基板にフォトレジ
ストフィルムをラミネートするためのラミネータであっ
て、第１の対の圧力ロールと、前記第１の対の圧力ロー
ル間にフォトレジストフィルムを供給する手段と、前記
第１の対の圧力ロール間に基板を第１の向きで送り込む
第１の搬送手段と、第２の対の圧力ロールと、前記第１
の対の圧力ロール間で前記フォトレジストフィルムを圧
着された前記基板を、前記第１の向きと異なる第２の向
きで前記第２の対の圧力ロール間に送り込む第２の搬送
手段と、を備え、前記第２の搬送手段が、前記基板の向
きを前記第１の向きから前記第２の向きへと変えるため
の向き変更手段を有していることを特徴とする、ラミネ
ータも提供される。
ストフィルムをラミネートするためのラミネータであっ
て、第１の対の圧力ロールと、前記第１の対の圧力ロー
ル間にフォトレジストフィルムを供給する手段と、前記
第１の対の圧力ロール間に基板を第１の向きで送り込む
第１の搬送手段と、第２の対の圧力ロールと、前記第１
の対の圧力ロール間で前記フォトレジストフィルムを圧
着された前記基板を、前記第１の向きと異なる第２の向
きで前記第２の対の圧力ロール間に送り込む第２の搬送
手段と、を備え、前記第２の搬送手段が、前記基板の向
きを前記第１の向きから前記第２の向きへと変えるため
の向き変更手段を有していることを特徴とする、ラミネ
ータも提供される。
【００１１】本発明のラミネート技術によれば、表面に
凹凸のある基板にフォトレジストフィルムをラミネート
する際、第１の対の圧力ロールによる最初の圧着工程が
完了した時点でフィルムと基板との間に隙間が存在して
いたとしても、次いで基板の向きを変えて第２の対の圧
力ロールにより行われる押圧工程によって、フォトレジ
スト材料が圧着工程時とは異なる方向からの力を受けて
変形・流動し、上記隙間内に埋め込まれる。
凹凸のある基板にフォトレジストフィルムをラミネート
する際、第１の対の圧力ロールによる最初の圧着工程が
完了した時点でフィルムと基板との間に隙間が存在して
いたとしても、次いで基板の向きを変えて第２の対の圧
力ロールにより行われる押圧工程によって、フォトレジ
スト材料が圧着工程時とは異なる方向からの力を受けて
変形・流動し、上記隙間内に埋め込まれる。
【００１２】
【発明の実施の形態】図１には、本発明によるラミネー
ト方法の一実施例が行われる状況が概略的に図示されて
いる。（イ）は、回転する第１の対の圧力ロール８間で
フォトレジストフィルム３が基板５上に圧着された後の
状態を示す。この状態となる前は、図３で説明したよう
な圧着工程が行われる。すなわち、第１の対の圧力ロー
ル８間に向かって、フォトレジストフィルム３が左斜め
上方から供給されるとともに、基板５が矢印Ｃに沿って
圧力ロール８の左方から送り込まれ、圧力ロール８間で
フォトレジストフィルム３は凹凸のある基板５上に圧着
される。圧着後の基板５の凹部６の手前側（図で右側）
すなわち凸部９の背後には、フォトレジスト材料２が埋
め込まれなかった隙間７が残っている。ここまでは、従
来の圧着工程と同じである。
ト方法の一実施例が行われる状況が概略的に図示されて
いる。（イ）は、回転する第１の対の圧力ロール８間で
フォトレジストフィルム３が基板５上に圧着された後の
状態を示す。この状態となる前は、図３で説明したよう
な圧着工程が行われる。すなわち、第１の対の圧力ロー
ル８間に向かって、フォトレジストフィルム３が左斜め
上方から供給されるとともに、基板５が矢印Ｃに沿って
圧力ロール８の左方から送り込まれ、圧力ロール８間で
フォトレジストフィルム３は凹凸のある基板５上に圧着
される。圧着後の基板５の凹部６の手前側（図で右側）
すなわち凸部９の背後には、フォトレジスト材料２が埋
め込まれなかった隙間７が残っている。ここまでは、従
来の圧着工程と同じである。
【００１３】本発明によるラミネート方法は、（イ）の
圧着後の基板５を、向きを変えてさらに圧力ロールで押
圧することを特徴とする。まず、（ロ）に示すように、
圧着後の基板５を、該基板を含む平面内で回転させるこ
とにより、基板５の向きを１８０°変える。それによ
り、隙間７は凹部６の左側に位置する。向きを変えられ
た基板５は、次いで（ハ）に示すように、矢印Ｄに沿っ
て第２の対の圧力ロール１０間に送り込まれ、押圧され
る。この押圧工程により、基板５の凹部６内の隙間７
は、変形して流動するフォトレジスト材料２によって埋
め込まれる。これにより、フォトレジスト材料２は基板
５の表面上に完全に密着された状態となる。
圧着後の基板５を、向きを変えてさらに圧力ロールで押
圧することを特徴とする。まず、（ロ）に示すように、
圧着後の基板５を、該基板を含む平面内で回転させるこ
とにより、基板５の向きを１８０°変える。それによ
り、隙間７は凹部６の左側に位置する。向きを変えられ
た基板５は、次いで（ハ）に示すように、矢印Ｄに沿っ
て第２の対の圧力ロール１０間に送り込まれ、押圧され
る。この押圧工程により、基板５の凹部６内の隙間７
は、変形して流動するフォトレジスト材料２によって埋
め込まれる。これにより、フォトレジスト材料２は基板
５の表面上に完全に密着された状態となる。
【００１４】（ロ）において基板５の向きを１８０°変
えたのは、凹部６および凸部９がどのような方向に延び
ていたとしても、圧着時の向きと正反対の向きで基板５
を第２の対の圧力ロール１０間に送り込んで押圧すれ
ば、圧力ロールによりフォトレジスト材料２に加えられ
る力の向きも逆になるので、圧着時に生じた隙間７のほ
とんどをフォトレジスト材料２で埋め込むことができる
からである。
えたのは、凹部６および凸部９がどのような方向に延び
ていたとしても、圧着時の向きと正反対の向きで基板５
を第２の対の圧力ロール１０間に送り込んで押圧すれ
ば、圧力ロールによりフォトレジスト材料２に加えられ
る力の向きも逆になるので、圧着時に生じた隙間７のほ
とんどをフォトレジスト材料２で埋め込むことができる
からである。
【００１５】しかしながら、第１の対の圧力ロール８に
対して送り込まれる基板５の向き、すなわち第１の向き
と、第２の対の圧力ロール１０に対して送り込まれる基
板５の向き、すなわち第２の向きとがなす角度を、１８
０°以外とすることもできる。例えば、凹部６および凸
部９が基板５の対角線方向に沿って延びている場合、フ
ォトレジストフィルム３を圧着した後の基板５を、該基
板の対角線方向の向きにして第２の対の圧力ロール１０
間に送り込み、押圧するようにしてもよい。凹部６およ
び凸部９の延びる方向が圧力ロールの軸方向と直交する
ようにすれば、凹部６に隙間７が生ずる可能性はほとん
ど無いからである。
対して送り込まれる基板５の向き、すなわち第１の向き
と、第２の対の圧力ロール１０に対して送り込まれる基
板５の向き、すなわち第２の向きとがなす角度を、１８
０°以外とすることもできる。例えば、凹部６および凸
部９が基板５の対角線方向に沿って延びている場合、フ
ォトレジストフィルム３を圧着した後の基板５を、該基
板の対角線方向の向きにして第２の対の圧力ロール１０
間に送り込み、押圧するようにしてもよい。凹部６およ
び凸部９の延びる方向が圧力ロールの軸方向と直交する
ようにすれば、凹部６に隙間７が生ずる可能性はほとん
ど無いからである。
【００１６】また、フィルム圧着後の基板５を押圧する
工程は、基板の向きをさらに変えて、あるいは同じ向き
で、複数回繰り返して行うようにしてもよい。このと
き、複数段の圧力ロールを利用してもよい。
工程は、基板の向きをさらに変えて、あるいは同じ向き
で、複数回繰り返して行うようにしてもよい。このと
き、複数段の圧力ロールを利用してもよい。
【００１７】例えば凹部６および凸部９の延びる方向が
一定でないため、圧着後の基板５をさまざまな向きから
圧力ロールに送り込んで繰り返し押圧した方がよい場合
もある。
一定でないため、圧着後の基板５をさまざまな向きから
圧力ロールに送り込んで繰り返し押圧した方がよい場合
もある。
【００１８】圧着後の基板５の向きを１８０°変えるた
めの方法として、基板を含む平面内で該基板を回転させ
る例を前述したが、他の方法を採用してもよい。例え
ば、基板を前後に反転させて表裏を逆にしたり、基板の
搬送方向を逆転することにより、基板の向きを１８０°
変えるようにしてもよい。
めの方法として、基板を含む平面内で該基板を回転させ
る例を前述したが、他の方法を採用してもよい。例え
ば、基板を前後に反転させて表裏を逆にしたり、基板の
搬送方向を逆転することにより、基板の向きを１８０°
変えるようにしてもよい。
【００１９】また、圧着後の基板の向きを１８０°以外
の角度に変える場合にも、基板を含む平面内で該基板を
回転させる手法や、基板の搬送方向を変える手法を用い
ることができる。さらに、必要に応じて基板の表裏を逆
にしてもよい。
の角度に変える場合にも、基板を含む平面内で該基板を
回転させる手法や、基板の搬送方向を変える手法を用い
ることができる。さらに、必要に応じて基板の表裏を逆
にしてもよい。
【００２０】図２には、本発明によるラミネート方法を
実施するためのラミネータの概略側面図が示されてい
る。図２中の（イ）、（ロ）および（ハ）は、図１で同
じ符号で説明したそれぞれの工程が行われる箇所を示
す。ラミネータは、フォトレジストフィルム３を基板５
に圧着するための第１の対の圧力ロール８と、フィルム
圧着後の基板５を押圧するための第２の対の圧力ロール
１０とを備える。ラミネータはさらに、ロール１１の状
態にされたフォトレジストフィルム３を巻き戻しながら
第１の対の圧力ロール８間へと供給するフィルム供給機
構１２と、圧着前の基板５を矢印Ｃに沿って第１の向き
で第１の対の圧力ロール８間へと送り込むためのローラ
コンベヤ１３と、圧着後の基板５を第２の向きで第２の
対の圧力ロール１０間へと送り込むためのローラコンベ
ヤ１４とを備える。
実施するためのラミネータの概略側面図が示されてい
る。図２中の（イ）、（ロ）および（ハ）は、図１で同
じ符号で説明したそれぞれの工程が行われる箇所を示
す。ラミネータは、フォトレジストフィルム３を基板５
に圧着するための第１の対の圧力ロール８と、フィルム
圧着後の基板５を押圧するための第２の対の圧力ロール
１０とを備える。ラミネータはさらに、ロール１１の状
態にされたフォトレジストフィルム３を巻き戻しながら
第１の対の圧力ロール８間へと供給するフィルム供給機
構１２と、圧着前の基板５を矢印Ｃに沿って第１の向き
で第１の対の圧力ロール８間へと送り込むためのローラ
コンベヤ１３と、圧着後の基板５を第２の向きで第２の
対の圧力ロール１０間へと送り込むためのローラコンベ
ヤ１４とを備える。
【００２１】ローラコンベヤ１４の一部は、基板を第１
の向きから第２の向きへと変えるための向き変更手段で
ある回転装置１５に組み込まれている。回転装置１５
は、伸縮可能なロッド１６を有するピストン装置１７
と、ロッド１６の上端に取り付けられた回転可能なター
ンテーブル１８とを備えている。第１の対の圧力ロール
８間を第１の向きで通過したフィルム圧着後の基板５が
ターンテーブル１８上に到達すると、該ターンテーブル
１８に設けたコンベヤロールの駆動は停止され、ロッド
１６が伸長する。ターンテーブル１８は、上昇位置で半
回転することにより、上に乗せた基板５の向きを１８０
°変えて第２の向きとする。次いでロッド１６が短縮さ
れ、ターンテーブル１８は搬送ライン上に戻り、コンベ
ヤロールが再駆動される。これにより、基板５は第２の
向きで第２の対の圧力ロール１０間へと送り込まれ、押
圧される。
の向きから第２の向きへと変えるための向き変更手段で
ある回転装置１５に組み込まれている。回転装置１５
は、伸縮可能なロッド１６を有するピストン装置１７
と、ロッド１６の上端に取り付けられた回転可能なター
ンテーブル１８とを備えている。第１の対の圧力ロール
８間を第１の向きで通過したフィルム圧着後の基板５が
ターンテーブル１８上に到達すると、該ターンテーブル
１８に設けたコンベヤロールの駆動は停止され、ロッド
１６が伸長する。ターンテーブル１８は、上昇位置で半
回転することにより、上に乗せた基板５の向きを１８０
°変えて第２の向きとする。次いでロッド１６が短縮さ
れ、ターンテーブル１８は搬送ライン上に戻り、コンベ
ヤロールが再駆動される。これにより、基板５は第２の
向きで第２の対の圧力ロール１０間へと送り込まれ、押
圧される。
【００２２】図２の実施例では、ローラコンベヤ１４の
一部が回転装置１５のターンテーブル１８と一体となっ
て上昇・回転するようになされているが、該ローラコン
ベヤ１４は搬送経路内にとどまり、ターンテーブル１８
のみが上昇・回転するようにしてもよい。この場合、基
板５を乗せて上昇したターンテーブル１８は、任意の角
度だけ回転した後、下降することにより、基板５を任意
の向きに変更した状態で再び搬送経路に戻すことができ
る。したがって、第２の対の圧力ロール１０へ送り込ま
れるときの基板の第２の向きは、任意に選択することが
できることになる。
一部が回転装置１５のターンテーブル１８と一体となっ
て上昇・回転するようになされているが、該ローラコン
ベヤ１４は搬送経路内にとどまり、ターンテーブル１８
のみが上昇・回転するようにしてもよい。この場合、基
板５を乗せて上昇したターンテーブル１８は、任意の角
度だけ回転した後、下降することにより、基板５を任意
の向きに変更した状態で再び搬送経路に戻すことができ
る。したがって、第２の対の圧力ロール１０へ送り込ま
れるときの基板の第２の向きは、任意に選択することが
できることになる。
【００２３】第２の対の圧力ロール１０の下流側には、
一対または複数対の圧力ロールをさらに配置することが
できる。また、これらの圧力ロール対どうしの間にそれ
ぞれ回転装置１５と同様の、あるいは異なる形式の向き
変更手段を配置することもできる。
一対または複数対の圧力ロールをさらに配置することが
できる。また、これらの圧力ロール対どうしの間にそれ
ぞれ回転装置１５と同様の、あるいは異なる形式の向き
変更手段を配置することもできる。
【００２４】また、基板搬送手段であるローラコンベヤ
の逆転駆動を利用することにより、同じ圧力ロール対で
複数回の押圧工程を行うようにしてもよい。
の逆転駆動を利用することにより、同じ圧力ロール対で
複数回の押圧工程を行うようにしてもよい。
【００２５】なお、図１および図３では説明の便宜上、
片面（上面）のみにフィルムをラミネートする状況を示
したが、図２に示したラミネータにより、基板の両面に
フォトレジストフィルムをラミネートする場合であって
も本発明は適用可能であることは言うまでもない。
片面（上面）のみにフィルムをラミネートする状況を示
したが、図２に示したラミネータにより、基板の両面に
フォトレジストフィルムをラミネートする場合であって
も本発明は適用可能であることは言うまでもない。
【００２６】
【発明の効果】本発明によれば、表面に凹凸のある基板
に対してフィルムのフォトレジスト材料を十分に密着さ
せることのできるので、フォトレジスト材料の密着が不
十分であることに起因する製品不良の発生を防ぐことが
できる。
に対してフィルムのフォトレジスト材料を十分に密着さ
せることのできるので、フォトレジスト材料の密着が不
十分であることに起因する製品不良の発生を防ぐことが
できる。
【図１】本発明によるラミネート方法の一実施例が行わ
れる状況を順番に説明するための概略的な断片側面図で
あり、（イ）はフィルム圧着後の基板、（ロ）は反転時
の基板、（ハ）は押圧直前の基板をそれぞれ示す。
れる状況を順番に説明するための概略的な断片側面図で
あり、（イ）はフィルム圧着後の基板、（ロ）は反転時
の基板、（ハ）は押圧直前の基板をそれぞれ示す。
【図２】本発明によるラミネート方法を実施するための
ラミネータの一実施例を示す概略的な側面図。
ラミネータの一実施例を示す概略的な側面図。
【図３】フォトレジストフィルムを基板に圧着する際に
隙間ができる状況を説明するための概略的な断片側面
図。
隙間ができる状況を説明するための概略的な断片側面
図。
１ カバーフィルム、２ フォトレジスト材料、３ フ
ォトレジストフィルム、４ 圧力ロール、５ 基板、６
凹部、７ 隙間、８ 第１の対の圧力ロール、９ 凸
部、１０ 第２の対の圧力ロール、１１ フィルムのロ
ール、１２ フィルム供給機構、１３ ローラコンベ
ヤ、１４ ローラコンベヤ、１５ 回転装置、１６ ロ
ッド、１７ ピストン装置、１８ ターンテーブル。
ォトレジストフィルム、４ 圧力ロール、５ 基板、６
凹部、７ 隙間、８ 第１の対の圧力ロール、９ 凸
部、１０ 第２の対の圧力ロール、１１ フィルムのロ
ール、１２ フィルム供給機構、１３ ローラコンベ
ヤ、１４ ローラコンベヤ、１５ 回転装置、１６ ロ
ッド、１７ ピストン装置、１８ ターンテーブル。
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ Ｈ０５Ｋ 3/06 Ｈ０５Ｋ 3/06 Ｅ // Ｂ２９Ｌ 9:00
Claims (6)
- 【請求項１】 基板にフォトレジストフィルムをラミネ
ートする方法であって、 第１の対の圧力ロール間に、フォトレジストフィルムを
供給するとともに基板を第１の向きで送り込み、前記フ
ォトレジストフィルムを前記基板に圧着する段階と、 第２の対の圧力ロール間に、前記フォトレジストフィル
ムを圧着された前記基板を第２の向きで送り込んで押圧
する段階と、 を含み、 前記第１の向きと前記第２の向きとが互いに異なるよう
になされている、基板にフォトレジストフィルムをラミ
ネートする方法。 - 【請求項２】 前記第１の向きと前記第２の向きとが１
８０゜異なることを特徴とする、請求項１に記載の方
法。 - 【請求項３】 前記押圧する段階において、前記基板
は、前記第２の対の圧力ロール間に送り込まれる前に該
基板を含む平面内で回転されることを特徴とする、請求
項１または２に記載の方法。 - 【請求項４】 前記押圧する段階において、前記基板
は、前記第２の対の圧力ロール間に送り込まれる前に表
裏を反転されることを特徴とする、請求項１ないし３の
いずれかに記載の方法。 - 【請求項５】 前記押圧する段階において、前記基板
は、前記第２の対の圧力ロール間に送り込まれる前に搬
送方向を変更されることを特徴とする、請求項１ないし
４のいずれかに記載の方法。 - 【請求項６】 基板にフォトレジストフィルムをラミネ
ートするためのラミネータであって、 第１の対の圧力ロールと、 前記第１の対の圧力ロール間にフォトレジストフィルム
を供給する手段と、 前記第１の対の圧力ロール間に基板を第１の向きで送り
込む第１の搬送手段と、 第２の対の圧力ロールと、 前記第１の対の圧力ロール間で前記フォトレジストフィ
ルムを圧着された前記基板を、前記第１の向きと異なる
第２の向きで前記第２の対の圧力ロール間に送り込む第
２の搬送手段と、 を備え、 前記第２の搬送手段が、前記基板の向きを前記第１の向
きから前記第２の向きへと変えるための向き変更手段を
有していることを特徴とする、ラミネータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8311987A JPH10151669A (ja) | 1996-11-22 | 1996-11-22 | 基板にフォトレジストフィルムをラミネートする方法およびラミネータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8311987A JPH10151669A (ja) | 1996-11-22 | 1996-11-22 | 基板にフォトレジストフィルムをラミネートする方法およびラミネータ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10151669A true JPH10151669A (ja) | 1998-06-09 |
Family
ID=18023846
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8311987A Pending JPH10151669A (ja) | 1996-11-22 | 1996-11-22 | 基板にフォトレジストフィルムをラミネートする方法およびラミネータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10151669A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016093919A (ja) * | 2014-11-13 | 2016-05-26 | トヨタ自動車株式会社 | ラミネート装置 |
| CN107303749A (zh) * | 2016-04-21 | 2017-10-31 | 吴良盛 | 一种覆膜贴合机 |
| CN110846939A (zh) * | 2019-12-06 | 2020-02-28 | 中科天工（武汉）智能技术有限公司 | 转盘工位上的物料压合方法及压合装置 |
-
1996
- 1996-11-22 JP JP8311987A patent/JPH10151669A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016093919A (ja) * | 2014-11-13 | 2016-05-26 | トヨタ自動車株式会社 | ラミネート装置 |
| CN107303749A (zh) * | 2016-04-21 | 2017-10-31 | 吴良盛 | 一种覆膜贴合机 |
| CN110846939A (zh) * | 2019-12-06 | 2020-02-28 | 中科天工（武汉）智能技术有限公司 | 转盘工位上的物料压合方法及压合装置 |
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