JPH10140279A - Ｃｏ−Ｎｉ基合金 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 小型精密機器用ばね、医療機器部品、半導体
製造用特殊ガス供給用バルブのダイヤフラム等に用いら
れる高弾性合金は、機器の小型化や使用条件の苛酷化に
伴い益々高い機械的強度や疲労強度、耐食性を要求され
るようになってきた。 【解決手段】 主たる相が面心立方相から成り、主成分
のＣｏ、Ｎｉ、Ｃｒよりも原子半径が大きいかあるいは
近似している元素の溶質原子が転位芯ないしは拡張転位
の積層欠陥に偏析し、厚さ１μｍから０．１μｍの微細
な変形双晶が母相内に形成されているＣｏ−Ｎｉ基合
金。少なくとも最終的に室温で冷間加工を施し、その
後、２００℃以上再結晶温度以下の温度で時効処理す
る。合金の組成は次の通りである。重量比で少なくと
も、Ｃｏ２８〜４０％、Ｃｒ１８〜２５％、Ｍｏ７〜１
２％、Ｍｎ、Ｔｉの１種以上０．１〜１．０％、Ｆｅ
１．１〜３．０％、Ｎｂ０．５〜２．０％、Ｃ≦０．０
５％、Ｎｉ２６〜４５％、及び不可避不純物より成るＣ
ｏ−Ｎｉ基合金。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、小型精密機器のば
ね、医療機器部品、半導体製造用特殊ガス供給用バルブ
のダイヤフラム、耐熱部品等に用いられる高弾性合金で
ある。

【０００２】

【従来の技術】従来、高耐食性を有する高弾性合金とし
て、Ｃｏ基合金、Ｎｉ基合金、析出硬化型ステンレス鋼
等があった。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】従来の高弾性合金の中
でもＣｏ基合金は機械的強度が高く、疲労強度も高く、
耐食性に優れ、最高の性能を有することで知られている
が、機器の小型化、使用条件の苛酷化等に伴い、Ｃｏ基
合金よりも更に高い性能を有する高弾性合金が要求され
るようになってきた。

【０００４】

【課題を解決するための手段】Ｃｏ基合金やＮｉ基合金
あるいはステンレス鋼において、材料の強度を上げる方
法としては、 （１）冷間塑性加工により加工誘起マルテンサイト相を
形成させる。（例えば、アメリカ特許４，７９５，５０
４の合金） （２）（Ｃｏ、Ｎｉ）3 （Ａｌ、Ｔｉ、Ｎｂ）等のγ′
相を析出させる。

【０００５】（例えば、日本特許第１３７４５６４号の
合金） （３）炭化物を析出させる。 （４）その他の金属間化合物を析出させる。 等が一般的である。本発明はこのような方法とは異な
り、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｃｒを主成分とするＣｏ−Ｎｉ基合金
を冷間塑性加工することにより、Ｍｏ、Ｎｂ、Ｆｅ等の
溶質原子を転位芯ないしは拡張転位の積層欠陥に偏析さ
せて交差すべりを起き難くすること、及び微細な変形双
晶を形成させてすべり転位を阻止することの二つの方法
により加工硬化させ、その後、時効処理により静的ひず
み時効硬化させて強化するものである。

【０００６】

【発明の実施の形態】本発明Ｃｏ−Ｎｉ基合金は、Ｃ
ｏ、Ｎｉ、Ｃｒをマトリクスに、Ｍｏ、Ｎｂ、Ｆｅ等を
添加して強化するものである。主たる相は面心立方格子
相から成り、微量の第二相が存在する場合もある。しか
し、本発明Ｃｏ−Ｎｉ基合金は、加工誘起マルテンサイ
ト相（ε相）やη相のような最密六方格子相は、透過電
子顕微鏡（日立製作所製Ｈ−８００）による１千〜５万
倍での組織観察や、Ｘ線回折装置（理学電機製ロータフ
レックス・ディフラクトメーター）によるＸ線回折でも
存在は認められない。

【０００７】本発明Ｃｏ−Ｎｉ基合金は、積層欠陥エネ
ルギーが低く、周囲温度が室温であるような冷間塑性加
工を施すことにより、原子半径の大きさが１．２５Åで
あるＣｏ、Ｎｉ、Ｃｒに比べ、原子半径が大きいかある
いは近似しているＭｏ、Ｎｂ、Ｆｅ等の溶質原子が、転
位芯ないしは拡張転位の積層欠陥に強く引き付けられて
偏析して交差すべりが起き難くなるため、高い加工硬化
能が発現する。即ち、原子半径の大きさが１．２Å以上
の元素であればこの効果は顕著になる。

【０００８】また、加工による塑性変形に伴って、母相
に厚さ１μｍから０．１μｍの微細なΣ３双晶（その他
にΣ９双晶が形成されている場合がある）の変形双晶が
高密度に形成され、すべり転位を阻止する働きをするこ
とによっても高い加工硬化能が得られる。さらに本発明
Ｃｏ−Ｎｉ基合金は、冷間塑性加工により高強度特性を
付与した後、２００℃以上再結晶温度以下の温度で時効
処理することにより、転位芯ないしは拡張転位の積層欠
陥にＭｏ、Ｎｂ、Ｆｅ等の溶質原子が引き付けられ転位
を固着する、いわゆる静的ひずみ時効により、一層高い
強度特性が得られる。

【０００９】なお、本発明Ｃｏ−Ｎｉ基合金の高い加工
硬化能は室温のみならず高温下においても発現するた
め、高温強度特性も高いという特徴を有している。本発
明Ｃｏ−Ｎｉ基合金は、室温から高温までの温度領域に
おける引張試験の真応力−真ひずみ曲線上に、室温から
約７００℃までの温度領域で降伏後に直線的な加工硬化
挙動が現れる。そして、室温から温度上昇とともに降伏
強度、引張強さは低下して約５００℃で極小となる。そ
の極小となる温度で応力振動（セレーション）が現れ、
その温度以上では温度の上昇とともに降伏強度、引張強
さ、応力振動の振幅は増大し、約７００℃で極大とな
る。この応力振動の発現と降伏強度、引張強さの増大は
動的ひずみ時効によるものであり、温度が上昇するにつ
れてＭｏ、Ｎｂ、Ｆｅ等の溶質原子と転位の相互作用が
強くなる結果、変形中に溶質原子が転位芯や拡張転位の
積層欠陥に偏析するため拡張転位の収縮が起き難くな
り、転位の交差すべりあるいは上昇運動が起き難くなる
ことによる。

【００１０】組成は重量比で少なくとも、Ｃｏ２８〜４
０％、Ｃｒ１８〜２５％、Ｍｏ７〜１２％、Ｍｎ、Ｔｉ
の１種以上０．１〜１．０％、Ｆｅ１．１〜３．０％、
Ｎｂ０．５〜２．０％、Ｃ≦０．０５％、Ｎｉ２６〜４
５％、及び不可避不純物より成る。この組成に、ミッシ
ュメタル、Ｙ、Ｃｅ、Ｂ、Ｍｇの１種以上を０．０００
５〜０．０５００％加えてもよい。

【００１１】次に組成範囲を前記のように限定した理由
を説明する。Ｃｏはそれ自体加工硬化能が大きく、切り
欠け脆さを減じ、疲労強度を高め、高温強度を高める効
果があるが、２８％未満ではその効果が弱く、４０％を
越えるとマトリクスが硬くなり過ぎて加工困難となり、
また、面心立方格子相が最密六方格子相に対して不安定
になるため、２８〜４０％とした。

【００１２】Ｎｉは面心立方格子相を安定化し、加工性
を維持し、耐食性を高める効果があるが、本発明合金の
Ｃｏ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｎｂ、Ｆｅの組成範囲において、Ｎ
ｉが２６％未満では安定した面心立方格子相を得ること
が困難であり、４５％を越えると機械的強度が低下する
ことから、２６〜４５％とした。Ｃｒは耐食性を確保す
るのに不可欠な成分であり、またマトリクスを強化する
効果があるが、１８％未満では優れた耐食性を得る効果
が弱く、２５％を越えると加工性及び靱性が急激に低下
することから、１８〜２５％とした。

【００１３】Ｍｏはマトリクスに固溶してこれを強化す
る効果、加工硬化能を増大させる効果、及びＣｒとの共
存において耐食性を高める効果があるが、７％未満では
所望する効果が得られず、１２％を越えると加工性が急
激に低下すること、及び脆いσ相が生成しやすくなるこ
とから、７〜１２％とした。Ｎｂはマトリクスに固溶し
てこれを強化する効果、及び加工硬化能を増大させる効
果があるが、０．５％未満ではこの効果が弱く、２．０
％を越えると硬くなり過ぎ加工性が低下することから、
０．５〜２．０％とした。

【００１４】Ｆｅはマトリクスに固溶してこれを強化す
る効果があるが、多過ぎると耐酸化性が低下する。１．
１〜３．０％で好ましい結果が得られた。なお、Ｍｏと
ＮｂとＦｅとを複合して用いれば、ＭｏとＮｂ、Ｍｏと
Ｆｅの複合で用いるよりもマトリクスの固溶強化と加工
硬化を著しく増大させ、室温及び高温において得られる
引張最大強度を著しく高め、また、高温における引張強
度の極大が現れる温度を高温側に移行させる効果も大き
くなることがわかった。

【００１５】Ｍｎは脱酸、脱硫の効果、及び面心立方格
子相を安定化する効果があるが、多過ぎると耐食性、耐
酸化性を劣化させる。０．１〜１．０％で好ましい結果
が得られた。Ｔｉは強い脱酸、脱窒、脱硫の効果、及び
鋳塊組織の微細化の効果があるが、０．１％未満ではそ
の効果が弱く、例えば０．７％では問題がないが、多過
ぎると合金中に介在物が増えたり、η相（Ｎｉ3 Ｔｉ）
が析出して靱性が低下することから、０．１〜１．０％
とした。

【００１６】ミッシュメタル、Ｙ、Ｃｅはいずれも合金
の清浄度を向上し、熱間加工性を著しく改善する。二次
的効果として靱性の向上、粒界腐食の改善の効果もあ
る。本発明Ｃｏ−Ｎｉ基合金は、これらの元素を加えな
くても靱性及び耐食性に優れているが、これらの元素を
加えることによりさらに向上する。０．０００５〜０．
０５００％で好ましい結果が得られた。

【００１７】Ｂ、Ｍｇは共に熱間加工性を改善する効果
があるが、多過ぎると逆に熱間加工性が低下し割れ易く
なる。いずれも０．０００５〜０．０５００％で好まし
い結果が得られた。Ｃはマトリクスに固溶するほか、Ｃ
ｒ、Ｍｏ、Ｎｂ等と炭化物を形成するが、０．０５％を
越えると靱性の低下、耐食性の劣化の原因となるので、
０．０５％以下とした。

【００１８】なお、本発明Ｃｏ−Ｎｉ基合金の最適組成
の一例は次の通りである。組成は重量比で、Ｃｏ３１〜
３７％、Ｃｒ１９〜２１％、Ｍｏ９〜１１％、Ｍｎ０．
１〜０．５％、Ｔｉ０．３〜０．７％、Ｆｅ１．１〜
２．１％、Ｎｂ０．８〜１．２％、ミッシュメタル０．
００１〜０．０２０％、Ｂ０．００１〜０．０１０％、
Ｍｇ０．００１〜０．０１０％、Ｃ≦０．０３％、Ｎｉ
２９〜３５％、及び不可避不純物より成る。

【００１９】前記組成のＣｏ−Ｎｉ基合金を真空溶解炉
で溶製する。溶製したインゴットを一般的な加工により
塑性加工するが、最終的に室温で加工率２０〜９０％の
冷間塑性加工を施す。ここで加工率を２０％以上とした
のは、前記の理由による加工硬化が発現する下限値を示
しているからであり、加工率を９０％以下としたのは、
加工率が９０％を越えると靱性が急激に低下するからで
ある。本発明Ｃｏ−Ｎｉ基合金における、最適組成での
望ましい冷間加工率は、３０〜８０％である。本発明Ｃ
ｏ−Ｎｉ基合金は冷間塑性加工のままでも優れた強度特
性を有する高弾性合金であるが、冷間塑性加工後、２０
０〜７３０℃の温度で真空中または無酸化雰囲気中で時
効処理することにより、静的ひずみ時効により時効硬化
して一層高い強度特性を有する高弾性合金になる。ここ
で、温度を２００℃以上としたのは、時効硬化が発現す
る下限温度を示しているからであり、７３０℃以下とし
たのは、この温度を越えると再結晶により軟化が始まる
からである。本発明Ｃｏ−Ｎｉ基合金における最適組成
での十分な時効硬化と靱性が得られる望ましい時効処理
温度は、４４０〜６５０℃である。

【００２０】

【実施例】以下実施例に基づいて詳細に説明する。本発
明のＣｏ−Ｎｉ基合金と、比較材として代表的なＣｏ基
合金とを用い、冷間圧延加工率と時効処理温度を変えて
厚さ０．１３ｍｍの圧延材を幾種類か作成した。また、
同様に冷間線引き加工率と時効処理温度を変えて線径
０．４ｍｍの線材を幾種類か作成した。

【００２１】図８に、用いた合金の組成を重量比で示
す。Ａ〜Ｆは本発明Ｃｏ−Ｎｉ基合金例であり、Ｇ、Ｈ
は比較材としてのＣｏ基合金である。図９に、各合金の
塑性加工性と、加工率が８０％で、６００℃で２時間時
効処理した場合の、時効処理後の引張強さとビッカ−ス
硬度を示す。本発明Ｃｏ−Ｎｉ基合金は、Ｃｏ基合金に
比べ塑性加工性はほぼ同等であり、引張強さ、ビッカー
ス硬度が高く機械的強度に優れていることがわかる。

【００２２】図１に、本発明Ｃｏ−Ｎｉ基合金の実施例
合金Ｃの均一化熱処理（１０５０℃×２４ｈｒ）後の光
学顕微鏡組織を示す。これから面心立方格子相であるこ
とがわかる。図２に、均一化熱処理後、室温で７０％の
加工率で圧延した実施例合金Ｃの電子顕微鏡暗視野像
（ａ）と電子回折図形（ｂ）を示す。（ａ）で観察され
る厚さが１μｍ以下の薄い板状組織２は圧延加工前には
認められないことから、塑性加工によって生じた変形双
晶であり、（ｂ）の電子回折図形を指数づけした図３に
よりΣ３双晶であることがわかる。また、マトリクスは
７０％の冷間圧延を施しても面心立方格子相のままであ
ることがわかる。

【００２３】図４に、実施例合金Ｃにおける加工率８０
％の圧延材を、温度を変えながら時効処理した場合の引
張強さと時効処理温度との関係を示す。時効処理温度が
２００℃から７３０℃の間で時効硬化しており、特に、
４４０℃から６５０℃の間で時効硬化が顕著であること
がわかる。図５に、均一化熱処理した実施例合金Ｃの、
室温（Ｒ．Ｔ．）から１１２３Ｋ（８５０℃）までの温
度下での引張試験における真応力−真ひずみ曲線を示
す。室温から９７３Ｋ（７００℃）までの温度領域で降
伏後に直線的な加工硬化挙動が現れ、室温から温度を上
昇させるとともに降伏強度、引張強さは低下して７７３
Ｋ（５００℃）で極小を示す。７７３Ｋで曲線上に波状
が現れ、応力振動を起こしていることが認められる。７
７３Ｋから温度の上昇とともに降伏強度、引張強さ、応
力振動の振幅は増大し、９７３Ｋ（７００℃）で極大と
なる。さらに温度が上昇し１０７３Ｋでは、４００ＭPa
付近までは直線的な加工硬化挙動を示すが６００ＭPa付
近を過ぎてからは放物線的な加工硬化挙動を示し、強度
も低下している。１１２３Ｋでは、直線的な加工硬化挙
動を示す応力範囲が２００ＭPa付近までと非常に狭くな
り、強度はさらに低下している。（ｋｇｆ／ｍｍ² とＭ
Paとの換算は次の通りである。１ｋｇｆ／ｍｍ² ＝9.80
665 ＭPa） 図６に、均一化熱処理した実施例合金Ｃに室温で約１０
％の伸び変形を与えた場合の透過電子顕微鏡組織を示
す。転位は平面性が高く均一に分布しており、積層欠陥
エネルギーが低いことを示唆している。

【００２４】図７に、均一化熱処理した実施例合金Ｃに
９７３Ｋ（７００℃）で約１０％の伸び変形を与えた場
合の透過電子顕微鏡組織を示す。転位のほとんどは幅の
広い拡張転位の積層欠陥をともなっていることがわか
る。さらに、電界放射型透過電子顕微鏡（日立製作所製
ＨＦ−２０００）による元素の定量分析から、拡張転位
の積層欠陥面あるいはその近くにＭｏ、Ｎｂ、Ｆｅ等の
溶質原子が偏析していることが確認されている。

【００２５】次に、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｃｒ合金にＭｏ、Ｎ
ｂ，Ｆｅを単独あるいは複合添加した場合の室温及び高
温における強度に与える効果を示す。図１０に、均一化
熱処理した実施例合金Ｃ（Ｃｏ−Ｎｉ−Ｃｒ合金にＭ
ｏ、Ｎｂ、Ｆｅが複合同時添加されている）、Ｃｏ−Ｎ
ｉ−Ｃｒ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｃｒ−Ｍｏ合金、Ｃｏ−Ｎ
ｉ−Ｃｒ−Ｍｏ−Ｎｂ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｃｒ−Ｍｏ−
Ｆｅ合金の室温（Ｒ．Ｔ．）、８７３Ｋ（６００℃）、
及び９７３Ｋ（７００℃）における降伏応力（０．２％
流動応力σ０．２）と引張強さ（σｍ）を示す。Ｃｏ−
Ｎｉ−Ｃｒ合金にＭｏとＮｂを複合同時添加した合金
は、Ｍｏの単独添加よりも降伏応力、引張強さいずれも
増大する。Ｃｏ−Ｎｉ−Ｃｒ合金にＭｏとＦｅを複合同
時添加した合金は、Ｍｏの単独添加に比べて、降伏応力
は増大するが引張強さは減少する。このことは、Ｍｏ、
Ｎｂはマトリクスの固溶強化と加工硬化能を増大する二
つの効果を有するが、Ｆｅはマトリクスの固溶強化にの
み効果があることを示唆している。Ｃｏ−Ｎｉ−Ｃｒ合
金にＭｏ、Ｎｂ，Ｆｅが複合同時添加されている実施例
合金Ｃは、降伏応力、引張強さが他の合金よりも高く、
また、高温における強度の極大が得られる温度が９７３
Ｋと高温側に移行して、得られる最大強度を著しく高く
するという、Ｍｏ、ＮｂあるいはＭｏ、Ｆｅの複合同時
添加では得られない効果があることがわかる。

【００２６】次に、厚さ０．１３ｍｍの圧延材を１０５
０℃で３時間真空中で焼鈍した後、粒度１０００番のサ
ンドペーパーで表面を研磨した試料を用いて、各種薬液
（濃度１０％、液温６０℃）に浸漬し、単位時間、単位
面積当たりの腐食減量（ｍｇ／ｃｍ² ・ｈｒ）を調べ
た。その結果を図１１に示す。本発明Ｃｏ−Ｎｉ基合金
はＣｏ基合金に比べ腐食減量が小さく、耐食性に優れて
いることがわかる。

【００２７】次に、厚さ０．１３ｍｍの圧延材の時効処
理後の試料を用いて、両振りの曲げ疲労試験により疲労
強度を調べた。図１２に各合金の疲労限界を示す。本発
明Ｃｏ−Ｎｉ基合金の疲労限界は９５〜１０３ｋｇｆ／
ｍｍ² であり、Ｃｏ基合金の疲労限界７５〜８１ｋｇｆ
／ｍｍ² に比べ遥かに高く、疲労強度に優れていること
がわかる。

【００２８】

【発明の効果】本発明は、以上説明したような形態で実
施され、以下に記載されるような効果を奏する。本発明
Ｃｏ−Ｎｉ基合金は、機械的強度が高く、疲労強度も高
く、耐食性に優れ、さらに、耐熱性にも優れている高弾
性合金なので、精密機器用ばね、医療機器、半導体製造
に用いる特殊ガス供給用バルブのダイヤフラム、耐熱部
品等、高負荷、高耐食性、高信頼性を必要とする機器に
利用して有効であり、小型化への対応、メンテナンスフ
リー化等を可能にするという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明Ｃｏ−Ｎｉ基合金の均一化熱処理（１０
５０℃×２４ｈｒ）後の光学顕微鏡写真による組織図の
代用写真である。

【図２】均一化熱処理後、７０％の加工率で冷間圧延し
た本発明Ｃｏ−Ｎｉ基合金の電子顕微鏡写真（暗視野
像）による組織図の代用写真（ａ）と、電子回折図形
（ｂ）である。

【図３】（ｂ）の電子回折図形を指数づけして、［１１
０］を回転軸として７１°の回転関係を持つΣ３双晶を
示す図である。

【図４】本発明Ｃｏ−Ｎｉ基合金の実施例である合金Ｃ
における、冷間加工率が８０％で、厚さ０．１３ｍｍの
圧延材の、引張強さと時効処理温度との関係を示す図で
ある。

【図５】本発明Ｃｏ−Ｎｉ基合金の実施例である合金Ｃ
における、室温（Ｒ．Ｔ．）から１１２３Ｋ（８５０
℃）までの温度下での、真応力−真ひずみ曲線を示す図
である。

【図６】本発明Ｃｏ−Ｎｉ基合金の実施例である合金Ｃ
における、室温で約１０％の伸び変形を与えた場合の、
透過電子顕微鏡写真による組織図の代用写真である。

【図７】本発明Ｃｏ−Ｎｉ基合金の実施例である合金Ｃ
における、９７３Ｋ（７００℃）で約１０％の伸び変形
を与えた場合の、透過電子顕微鏡写真による組織図の代
用写真である。

【図８】各合金の組成を重量比で示した表である。

【図９】各合金の特性を示した表である。

【図１０】均一化熱処理した各合金の特性を示す表であ
る。

【図１１】各合金の各種薬液に浸漬した時の腐食減量を
示す表である。

【図１２】各合金の疲労限界を示す表である。

【符号の説明】

１ マトリクス ２ Σ３双晶

フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 ＦＩ Ｃ２２Ｆ 1/00 ６２３ Ｃ２２Ｆ 1/00 ６２３ ６２５ ６２５ ６３０ ６３０Ｆ ６３０Ｂ ６３０Ａ ６３０Ｃ ６３０Ｇ ６４０ ６４０Ａ ６４１ ６４１Ｂ ６７５ ６７５ ６８５ ６８５ ６８６ ６８６ ６９１ ６９１Ｂ ６９４ ６９４Ａ (72)発明者 千葉 晶彦 岩手県盛岡市北松園一丁目13−12

Claims (17)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 主たる相が面心立方格子相から成り、原
   子半径の大きさが１．２Å以上の元素、即ち、主成分の
   Ｃｏ、Ｎｉ、Ｃｒよりも原子半径が大きいかあるいは近
   似している元素の溶質原子が転位芯ないしは拡張転位の
   積層欠陥に偏析し、厚さ１μｍから０．１μｍの微細な
   変形双晶が母相内に形成されていることを特徴とするＣ
   ｏ−Ｎｉ基合金。
2. 【請求項２】 請求項１記載のＣｏ−Ｎｉ基合金におい
   て、最密六方格子相を含まないことを特徴とするＣｏ−
   Ｎｉ基合金。
3. 【請求項３】 請求項１記載の溶質原子は少なくともＭ
   ｏ、Ｎｂ、Ｆｅを含み、塑性変形により転位芯ないしは
   拡張転位の積層欠陥に偏析することを特徴とするＣｏ−
   Ｎｉ基合金。
4. 【請求項４】 請求項１記載の変形双晶には少なくとも
   Σ３双晶が含まれ、塑性変形により母相内に形成される
   ことを特徴とするＣｏ−Ｎｉ基合金。
5. 【請求項５】 請求項１から請求項４のいずれか一項記
   載のＣｏ−Ｎｉ基合金において、少なくとも最終の塑性
   加工は冷間加工であることを特徴とするＣｏ−Ｎｉ基合
   金。
6. 【請求項６】 請求項５記載の冷間加工において、周囲
   温度が室温で加工されることを特徴とするＣｏ−Ｎｉ基
   合金。
7. 【請求項７】 請求項１から請求項６のいずれか一項記
   載のＣｏ−Ｎｉ基合金において、冷間塑性加工の後、２
   ００℃以上再結晶温度以下の温度で時効処理されること
   を特徴とするＣｏ−Ｎｉ基合金。
8. 【請求項８】 請求項７記載の時効処理において、静的
   ひずみ時効により時効硬化することを特徴とするＣｏ−
   Ｎｉ基合金。
9. 【請求項９】 請求項１から請求項８のいずれか一項記
   載のＣｏ−Ｎｉ基合金において、室温から高温までの温
   度領域における引張試験の真応力−真ひずみ曲線上に、
   室温から約７００℃までの温度領域で降伏後に直線的な
   加工硬化挙動が現れ、室温から温度上昇とともに降伏強
   度、引張強さは低下して約５００℃で極小となり、その
   極小となる温度で応力振動（セレーション）が現れ、そ
   の温度以上では温度の上昇とともに降伏強度、引張強
   さ、応力振動の振幅は増大し、約７００℃で極大となる
   ことを特徴とするＣｏ−Ｎｉ基合金。
10. 【請求項１０】 請求項９記載の加工硬化挙動と応力振
    動は、動的ひずみ時効によるものであることを特徴とす
    るＣｏ−Ｎｉ基合金。
11. 【請求項１１】 請求項１から請求項１０のいずれか一
    項記載のＣｏ−Ｎｉ基合金において、組成は重量比で少
    なくとも、Ｃｏ２８〜４０％、Ｃｒ１８〜２５％、Ｍｏ
    ７〜１２％、Ｍｎ、Ｔｉの１種以上０．１〜１．０％、
    Ｆｅ１．１〜３．０％、Ｎｂ０．５〜２．０％、Ｃ≦
    ０．０５％、Ｎｉ２６〜４５％、及び不可避不純物より
    成ることを特徴とするＣｏ−Ｎｉ基合金。
12. 【請求項１２】 請求項１１記載のＣｏ−Ｎｉ基合金
    に、ミッシュメタル、Ｙ、Ｃｅ、Ｂ、Ｍｇの１種以上を
    ０．０００５〜０．０５００％加えたことを特徴とする
    Ｃｏ−Ｎｉ基合金。
13. 【請求項１３】 請求項１１、または請求項１２記載の
    Ｃｏ−Ｎｉ基合金において、冷間加工率を２０〜９０％
    とすることを特徴とするＣｏ−Ｎｉ基合金。
14. 【請求項１４】 請求項１１から請求項１３のいずれか
    一項記載のＣｏ−Ｎｉ基合金において、冷間塑性加工の
    後、２００〜７３０℃の温度で時効処理されることを特
    徴とするＣｏ−Ｎｉ基合金。
15. 【請求項１５】 請求項１１から請求項１４のいずれか
    一項記載のＣｏ−Ｎｉ基合金において、組成は重量比
    で、Ｃｏ３１〜３７％、Ｃｒ１９〜２１％、Ｍｏ９〜１
    １％、Ｍｎ０．１〜０．５％、Ｔｉ０．３〜０．７％、
    Ｆｅ１．１〜２．１％、Ｎｂ０．８〜１．２％、ミッシ
    ュメタル０．００１〜０．０２０％、Ｂ０．００１〜
    ０．０１０％、Ｍｇ０．００１〜０．０１０％、Ｃ≦
    ０．０３％、Ｎｉ２９〜３５％、及び不可避不純物より
    成ることを特徴とするＣｏ−Ｎｉ基合金。
16. 【請求項１６】 請求項１５記載のＣｏ−Ｎｉ基合金に
    おいて、冷間加工率を３０〜８０％とすることを特徴と
    するＣｏ−Ｎｉ基合金。
17. 【請求項１７】 請求項１５、または請求項１６記載の
    Ｃｏ−Ｎｉ基合金において、冷間塑性加工の後、４４０
    〜６５０℃の温度で時効処理されることを特徴とするＣ
    ｏ−Ｎｉ基合金。