JPH10121227A - 透明導電膜付きプラスチックフィルム及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 従来、液晶基板あるいは透明タッチパネル等
の用いられる透明導電膜付きプラスティックフィルムに
関し、保護フィルムとして、初期状態では容易に引き剥
がせる材料を用いても、液晶表示素子作成の工程中の熱
処理等で保護フィルムの粘着材料が変質し、粘着力が上
がる結果、引き剥がしが困難になり、場合によっては素
子を破壊する問題を解決することを目的とする。 【解決手段】 透明プラスチックフィルムの保護フィル
ムを張り合わせた面にのみコロナ処理を行うことによ
り、上記問題点を解決した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は液晶基板あるいは透
明タッチパネル等に用いられる透明導電膜付きプラスチ
ックフィルムとその製造方法に関する。

【０００２】

【従来技術】近年、画像表示素子として液晶表示素子が
注目され、その用途の一つとして、携帯用の電子手帳、
情報端末等への応用が期待されている。また、これらの
携帯情報端末等の入力装置としては、液晶表示素子の上
に透明なタッチパネルを載せたものが用いられている。
従来は、これらの液晶表示素子、あるいはタッチパネル
等の基板としては、ガラス基板が用いられてきたが、最
近では、軽量化、割れにくさ、また薄層化、可撓性およ
び形態の自由度が高い等の観点からプラスチック基板が
注目されている。このような用途に用いるプラスチック
基板、特に、液晶表示素子用基板に用いられているプラ
スチック基板を用いて液晶表示素子を作製する際、工程
中にフィルム面に傷が付くのを防ぐために、通常、透明
導電膜を形成した面とは反対の面に保護フィルムを付け
たまま、工程を通すことが通常行われていた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】このような用途に使用
される保護フィルムとしては、通常初期状態では容易に
引き剥がせる材料を用いるが、液晶表示素子を作製する
工程において、スパッタリングによる熱処理等により、
保護フィルムの粘着材料が変質して粘着力が上がる結
果、引き剥がしが困難になり、極端な場合、引き剥がし
の際に素子を破壊するという問題があった。

【０００４】通常コロナ放電処理は、フィルム表面の濡
れ性、印刷性を改善し、接着性を改善するために用いら
れているが、本発明の発明者らは、上記の従来技術が持
つ課題を克服するため、鋭意研究を重ねた結果、保護フ
ィルムを貼り合わせる面にコロナ放電処理を施すことに
より、プラスチックフィルムの剥離性が向上する効果を
見出し、熱処理を行ったあと保護フィルムの粘着力が上
がっても、保護フィルムの引き剥がしが容易になること
に想到した。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明に係る透明導電膜
付きプラスチックフィルムの要旨とするところは、透明
プラスチックフィルム上に透明導電膜を被着させた透明
導電膜付きプラスチックフィルムにおいて、該透明プラ
スチックフィルムの、保護フィルムを貼り合わせた面に
のみコロナ放電処理を行っていることにある。

【０００６】また、前記透明導電膜層がＤＣマグネトロ
ンスパッター法を用いることにある。

【０００７】

【発明の実施の形態】本発明に係る透明導電膜付きプラ
スチックフィルムは、透明プラスチックフィルム上に透
明導電膜を被着させた透明導電膜付きプラスチックフィ
ルムにおいて、該透明プラスチックフィルムの保護フィ
ルムを張り合わせた面にのみコロナ放電処理を行って、
引き剥がしを容易とするものである。

【０００８】以下に、本発明に係る透明導電膜付きプラ
スチックフィルムの製造方法について詳細に述べる。図
１に示すように、本発明に係る透明導電膜付きプラスチ
ックフィルム１０は、透明プラスチックフィルム１２の
片面に粘着剤層１６により、保護フィルム１４を貼着
し、一方の面上に、透明導電膜１８を被着させることに
より製造される。

【０００９】すなわち、本発明に係る透明導電膜付きプ
ラスチックフィルムは、プラスチックフィルムにコロ
ナ放電による表面処理を施す工程と、プラスチックフ
ィルムのコロナ放電処理をした面に保護フィルムを貼り
合わせる工程と、プラスチックフィルムの保護フィル
ムを貼着した面と異なる面に、スパッタリングで透明導
電膜を均一に形成する工程によって、作製される。以下
具体的に各工程について説明する。

【００１０】コロナ放電処理による表面処理は、以下
のようになされる。即ち、図２に示すように、コロナ処
理装置２０は、高度に電気絶縁されたロール２２とロー
ル２２に近接させて配置した線条の電極２４からなり、
線条の電極２４は、高分子フィルムの幅に形成されてい
て、複数の碍子２６を会してフレーム２８に固定されて
いる。このような装置２０は、電極２４に高エネルギー
を作用させてコロナ放電させ、ロール２２上を通された
透明プラスチックフィルム３０の上面にコロナ処理を施
すことができる。

【００１１】このときのエネルギーは、例えば、通常の
樹脂フィルムの場合は、１００Ｗ・分／ｍ以下でよい
が、絶縁性などの優れたポリイミドフィルムの場合は、
１００〜５００Ｗ・分／ｍ程度の高エネルギーが用いら
れる等、コロナ放電処理の条件としては、フィルム材
料、装置構成によって最適条件が異なるため、条件の設
定は困難であるが、保護フィルムの粘着力との関係で最
適な条件に設定することはいうまでもない。

【００１２】ここで、本発明に用いる透明導電膜付きプ
ラスチックフィルムの製造に使用するプラスチックフィ
ルムに用いる樹脂としては、特に限定されるものではな
いが、耐熱性、光学的特性等の点から、たとえばポリエ
ステルテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリカーボネート
（ＰＣ）、ポリアリレート（ＰＡＲ）、ポリスルフォン
等が用いられる。特に、ＰＣ、ＰＡＲは、ＰＥＴと比較
してフィルムの剛性が小さいため、保護フィルムを貼り
合わせて剛性を増して工程を通す必要が大きいため、本
発明の適用が特に効果的である。

【００１３】なお、コロナ処理を行う際、フィルムの熱
膨張により生じる皺の発生を防止するため、フィルムの
幅方向に伸びを付与した後、コロナ処理を１回または複
数回にわたって施してもよい。

【００１４】コロナ放電処理による剥離性の向上の効果
については、以下のように考えられる。すなわち、フィ
ルム表面をコロナ処理工程により酸化させてフィルム表
面に水酸基、カルボン酸基、カルボニル基等の親水性官
能基を導入することにより、フィルム表面形状に凹凸が
発生する。また、分子鎖の解裂により低分子成分が生成
し、フィルム表面に分散する。そして、被着体であるプ
ラスチックフィルムと粘着剤との親和性がくずれ、その
結果剥離性が向上する。従って、コロナ処理により、保
護フィルムの引き剥がしが容易となり、保護フィルムの
引き剥がしによる透明導電膜に亀裂が発生する等の素子
の破壊を防止することができるのである。

【００１５】ついで、上記プラスチックフィルム３０
の、コロナ放電処理をした表面に、保護フィルムを貼着
する。

【００１６】ここで、本発明に用いる保護フィルムの材
質としては、特に限定されないが、ＰＥＴ（ポリエステ
ルテレフタレート）、ＰＰ（ポリプロピレン）、ＰＥ
（ポリエチレン）等が好ましい。特にＰＥＴは、剛性が
高く、耐熱性も高いため、各種の処理工程中の熱処理に
よる保護フィルム自体の変化が少なく、より好ましい。

【００１７】また、粘着剤としては、基本的にはあらゆ
るものが考えられるが、透明プラスチックフィルムとの
接着性、及び剥離性との関係において、ＥＶＡ系の粘着
剤が、好ましい。

【００１８】保護フィルム及び粘着剤は、透明プラスチ
ックフィルムに貼着する場合、粘着剤付き保護フィルム
とすることが、工程上取扱いやすいが、この粘着剤付き
保護フィルムは、保護フィルムをフィルム成形後、粘着
剤を塗布する方法あるいは、保護フィルム及び粘着剤を
共押し出しにより、一体としてフィルムに成形する方法
により製造される。

【００１９】具体的には、図２において、コロナ放電処
理をした透明プラスチックフィルム３０をロール３２
で、搬送し、粘着剤付き保護フィルム３４を透明プラス
チックフィルム３０と共に加圧ロール３６により加圧す
ることにより、両者を貼着させる。

【００２０】次に、プラスチックフィルムの保護フィ
ルムを貼り付けた面と反対の面に、透明導電膜を形成す
る。

【００２１】透明導電膜としては、特に限定されるもの
ではないが、液晶表示用の基板等に用いられる場合に
は、導電率が高く、エッチングが容易に行える等の点か
ら、酸化インジュームと酸化錫の複合酸化物が一般に用
いられる。

【００２２】透明導電膜の成膜方法としてはスパッタリ
ング法や、真空蒸着法等があり特に限定されないが、ス
パッター法を用いて成膜すると一般に付着強度が大きい
ため、より好ましい。しかし、スパッター法を用いたと
きに、特に透明導電膜形成中にフィルム表面温度が上が
るため、保護フィルムの粘着剤の変質がおきやすく、特
に本発明の適用が効果的である。ＤＣマグネトロンスパ
ッター法は、成膜時の基板温度が比較的低温で膜形成す
ることができることから、特に好ましい。

【００２３】また、透明導電膜の成膜温度としては、一
般にプラスチック基板は耐熱性が乏しく、基板の熱変
形、熱分解等により、透明導電膜の膜質が影響を受け、
クラック等を生じたり、膜の導電性が悪化する等の影響
があるため、１００℃以下の温度で成膜を行うことが好
ましい。

【００２４】具体的には、図３の４０はＤＣマグネトロ
ンスパッタ装置の１例である。約１０％スズを添加した
ＩＴＯをターゲット４２に用い、アルゴンに数％酸素を
添加したガスを導入する。真空ポンプ４４により真空室
４６を真空状態にするが、真空度は数ｍTorr（１０^-1P
a）に調整し、直流電圧を印加して放電させてキャンロ
ール４８上の保護フィルム付きプラスチックフィルム５
０の表面にスパッターを行う。印加電圧は、ターゲット
４２上の磁場強度によって大きく影響されるが、ターゲ
ット４２上で通常約５００〜２０００ガウス程度の磁場
強度を用い、印加電圧は、２００〜５００Ｖである。

【００２５】このようにして、製造された本発明に係る
透明導電膜付きプラスチックフィルムは、容易に保護フ
ィルムを剥がすことができ、保護フィルム剥離後の素子
を破壊することなく、高収率で、液晶表示素子、タッチ
パネル素子を作製することができる。

【００２６】以上、本発明に係る透明導電膜付きプラス
チックフィルム及びその製造方法について、有用性を明
らかにすべく、実施の形態を説明したが、本発明はこれ
らの実施の形態に限定されるものではなく、本発明はそ
の趣旨を逸脱しない範囲内で当業者の知識に基づき、種
々なる改良、変更、修正を加えた態様で実施しうるもの
である。

【００２７】

【実施例】次に本発明の具体的な実施例について述べ
る。

【００２８】（実施例１）塩化メチレンを溶剤に用いて
溶液キャスト法で厚さ７５μｍのポリアリレートフィル
ムを作製した。つぎに、このポリアリレートフィルムの
片面にコロナ放電処理を行い、表面処理を施した。

【００２９】次に、コロナ処理を施したポリアリレート
フィルムの面に、ＰＥを保護フィルムとして、粘着剤を
ＥＶＡとした厚さ４０μｍのＰＥ／ＶＡ共押し出しフィ
ルムを貼着する。

【００３０】得られた保護フィルム付きプラスチックフ
ィルムに、ＩＴＯ膜を１５ｎｍの膜厚で成膜した。ＩＴ
Ｏの成膜は、ＤＣマグネトロンスパッター装置を用い
て、ターゲットとして１０％酸化錫を添加し酸化した酸
化インジュームを用い、１％酸素を添加したアルゴン雰
囲気中で行った。この透明導電膜付きプラスチックフィ
ルムの保護フィルムを剥がしてピール強度を測定した。
検査対象個数１０の測定値は、５〜１０ｇ／２５ｍｍで
あった。

【００３１】（実施例２）塩化メチレンを溶剤に用いて
溶液キャスト法で厚さ７５μｍのポリカーボネートフィ
ルムを作製した。つぎに、このポリアリレートフィルム
の片面にコロナ放電処理を行い、表面処理を施した。

【００３２】次に、コロナ処理を施したポリアリレート
フィルムの面に、厚さ５０μｍのＰＰフィルムを保護フ
ィルムとして、アクリル系粘着剤を粘着剤として、貼着
する。

【００３３】得られた保護フィルム付きプラスチックフ
ィルムに、ＩＴＯ膜を１５ｎｍの膜厚で成膜した。ＩＴ
Ｏの成膜は、ＤＣマグネトロンスパッター装置を用い
て、ターゲットとして１０％酸化錫を添加し酸化した酸
化インジュームを用い、１％酸素を添加したアルゴン雰
囲気中で行った。この透明導電膜付きプラスチックフィ
ルムの保護フィルムを剥がしてピール強度を測定した。
検査対象個数１０の測定値は、２０〜５０ｇ／２５ｍｍ
であった。

【００３４】（実施例３）塩化メチレンを溶剤に用いて
溶液キャスト法で厚さ７５μｍのポリエステルテレフタ
レートフィルムを作製した。つぎに、このポリアリレー
トフィルムの片面にコロナ放電処理を行い、表面処理を
施した。

【００３５】次に、コロナ処理を施したポリアリレート
フィルムの面に、厚さ５０μｍのＰＥＴフィルムを保護
フィルムとして、アクリル系粘着剤により、貼着する。

【００３６】得られた保護フィルム付きプラスチックフ
ィルムに、ＩＴＯ膜を１５ｎｍの膜厚で成膜した。ＩＴ
Ｏの成膜は、ＤＣマグネトロンスパッター装置を用い
て、ターゲットとして１０％酸化錫を添加し酸化した酸
化インジュームを用い、１％酸素を添加したアルゴン雰
囲気中で行った。この透明導電膜付きプラスチックフィ
ルムの保護フィルムを剥がしてピール強度を測定した。
検査対象個数１０の測定値は、２０〜５０ｇ／２５ｍｍ
であった。

【００３７】（比較例１〜３）上記実施例１〜３と同様
にして、塩化メチレンを溶剤に用いて溶液キャスト法で
厚さ７５μｍのポリアリレートフィルムを作製した。表
面をコロナ放電処理を施さないこと以外は、実施例１〜
３と同等にして、保護フィルム付きプラスチックフィル
ムにＩＴＯ膜を成膜し、透明導電膜付きプラスチックフ
ィルムを得た。得られたフィルムの保護フィルムを剥が
してピール強度を測定した。その測定値は、５００ｇ〜
１Kg／２５ｍｍであった。

【００３８】

【発明の効果】以上、具体的な実施例で示したように、
本発明に係る透明導電膜付きプラスチックフィルムは、
コロナ放電処置を施すことにより、プラスチックフィル
ムの表面の剥離性を向上することができることにより、
容易に保護フィルムを剥がすことができ、保護フィルム
剥離後の素子を破壊することなく、高収率で液晶表示素
子、タッチパネル素子を作製することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明にかかる透明導電膜付きプラスチック
フィルムの拡大断面図である。

【図２】 本発明にかかる透明導電膜付きプラスチック
フィルムの製造方法の実施例を示した側面説明図であ
る。

【図３】 ＤＣマグネトロンスパッター装置の説明図で
ある。

【符号の説明】

１０；本発明に係る透明導電膜付きプラスチックフィル
ム １２；プラスチックフィルム １４；保護フィルム １６；粘着剤層 １８；透明導電膜 ２０；コロナ処理装置 ２２；電気絶縁されたロール ２４；電極 ２６；碍子 ２８；フレーム ３０；透明プラスチックフィルム ３２；搬送ロール ３４；粘着剤付き保護フィルム ３６；加圧ロール ４０；マグネトロンスパッター装置 ４２；ターゲット ４４；真空ポンプ ４６；真空室 ４８；キャンロール ５０；保護フィルム付きプラスチックフィルム ファクシミリ送信票 発信年月日 平成８年１０月 日 宛 先： 鐘淵化学工業株式会社 特許部林恒夫主任殿 発信元 楠 本 特 許 事 務 所 弁理士 楠 本 高 義 〒520-21滋賀県大津市大萱１丁目１７−５本郷第二ビル２Ｆ ＴＥＬ ０７７５−４３−４４５８ ＦＡＸ ０７７５−４３−６８６６発信者 楠本 高義 枚 数 （送信票含む） 全部届いていないときや不鮮明な箇所があるときは至急ご連絡下さい。 ──────────────────────────────────── 通信文（ＭＥＳＳＡＧＥ） 貴社整理番号： ＳＧＡ−３２１６ 発明の名 称： 透明導電膜付きプラスチックフィルム 拝啓、益々御清祥のこととお慶び申しあげます。 さて、上記貴社整理番号ＳＧＡ−３２１６の出願明細書の最終原稿をおおくり 致します。 ご連絡頂き次第、出願致したいと存じます。 ご高覧下さいまして、ご回答宜しくお願い致します。 敬 具

─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成８年１２月１３日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】図面の簡単な説明

【補正方法】変更

【補正内容】

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明にかかる透明導電膜付きプラスチック
フィルムの拡大断面図である。

【図２】 本発明にかかる透明導電膜付きプラスチック
フィルムの製造方法の実施例を示した側面説明図であ
る。

【図３】 ＤＣマグネトロンスパッター装置の説明図で
ある。

【符号の説明】 １０；本発明に係る透明導電膜付きプラスチックフィル
ム １２；プラスチックフィルム １４；保護フィルム １６；粘着剤層 １８；透明導電膜 ２０；コロナ処理装置 ２２；電気絶縁されたロール ２４；電極 ２６；碍子 ２８；フレーム ３０；透明プラスチックフィルム ３２；搬送ロール ３４；粘着剤付き保護フィルム ３６；加圧ロール ４０；マグネトロンスパッター装置

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 透明プラスチックフィルム上に透明導電
   膜を被着させた透明導電膜付きプラスチックフィルムに
   おいて、該透明プラスチックフィルムの、保護フィルム
   を貼り合わせた面にのみコロナ放電処理を行っているこ
   とを特徴とする透明導電膜付きプラスチックフィルム。
2. 【請求項２】 透明プラスチックフィルムの保護フィル
   ムを貼り合わせた面にのみコロナ放電処理を行い、保護
   フィルムを貼着した後、透明導電膜層を形成することを
   特徴とする透明導電膜付きプラスチックフィルムの製造
   方法。
3. 【請求項３】 前記透明導電膜層がＤＣマグネトロンス
   パッター法を用いることを特徴とする請求項２に記載す
   る透明導電膜付きプラスチックフィルムの製造方法。