JP2002148597A - 液晶表示素子用基板とそれを用いた液晶表示素子とその製造方法 - Google Patents

液晶表示素子用基板とそれを用いた液晶表示素子とその製造方法

Info

Publication number
JP2002148597A
JP2002148597A JP2000344776A JP2000344776A JP2002148597A JP 2002148597 A JP2002148597 A JP 2002148597A JP 2000344776 A JP2000344776 A JP 2000344776A JP 2000344776 A JP2000344776 A JP 2000344776A JP 2002148597 A JP2002148597 A JP 2002148597A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
liquid crystal
crystal display
film
contact angle
transparent electrode
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2000344776A
Other languages
English (en)
Inventor
Yukio Nomura
幸生 野村
Yuji Satani
裕司 佐谷
Naomi Kaneko
尚美 金子
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP2000344776A priority Critical patent/JP2002148597A/ja
Publication of JP2002148597A publication Critical patent/JP2002148597A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

(57)【要約】 【課題】 液晶表示素子において、基板上の透明電極が
パターンエッチングによって除かれた部分の表面とシー
ル材もしくは接着材との密着力が十分ではなかった。ま
た塗布性もシール切れなどの問題を起こしていた。 【解決手段】 樹脂層の上に水の接触角50゜以下の膜
が形成もしくは樹脂層の上を親水化処理により、水の接
触角50゜以下の表面に改質後、さらにその上に透明電
極膜が形成されたことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、TVやコンピュー
タ画像を表示するフラットパネルディスプレイに用いら
れる液晶表示パネルにおいて、液晶表示素子用基板とそ
れを用いた液晶表示素子とその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、液晶表示素子において、2つの対
向基板を貼り合わせてセル形成するためのシール材や、
液晶表示素子を駆動させるための端子を接着させるため
の接着材は、基板上の透明電極がパターンエッチングに
よって除かれた部分の表面に塗布されていた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】したがって、貼り合わ
せた基板同士や端子と基板の接着力、基板上の透明電極
がパターンエッチングによって除かれた部分の表面とシ
ール材もしくは接着材との密着力となる。したがって樹
脂層の上に直接透明電極が設けられた液晶表示基板の場
合、樹脂層とシール材もしくは接着材との密着性にな
る。その密着力を改善するために、シール材もしくは接
着材が改良されてきたが、その密着力が十分ではなかっ
た。また塗布性もシール切れなどの問題を起こしてい
た。
【0004】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めの液晶表示素子用基板は、樹脂層の上に水の接触角5
0゜以下の膜が形成され、さらにその上に透明電極膜が
形成されたことを特徴とする。
【0005】この構成にすると、基板上の透明電極がパ
ターンエッチングによって除かれた部分の表面の水の接
触角が50°以下となるため、その表面ではシール材や
接着材の塗布性が向上して切れることがなく、またその
接着力も大きく向上する。
【0006】前記液晶表示素子用基板において、水の接
触角50゜以下の膜がSiOx、もしくはSiNxおよび
それらのうち少なくとも1つを含む複合膜であることを
特徴とする。
【0007】この構成にすると、上記の効果に加え、基
板上の透明電極がパターンエッチングによって除かれた
部分の表面がSiOx、もしくはSiNxおよびそれらの
うち少なくとも1つを含む複合膜となるから、エッチン
グ液によりそれらの膜がエッチングされることがなく、
また、透明電極膜のエッチングレートを安定化する効果
も有する。
【0008】前記液晶表示素子用基板において、樹脂層
の上を親水化処理により、水の接触角50゜以下の表面
に改質後、その上に透明電極膜が形成されたことを特徴
とする。
【0009】この構成にすると、基板上の透明電極がパ
ターンエッチングによって除かれた部分の表面は、親水
化処理により、水の接触角50゜以下の膜に改質してい
るので、その表面ではシール材や接着材の塗布性が向上
して切れることがなく、またその接着力も大きく向上す
る。
【0010】前記液晶表示素子用基板において、上記親
水化処理が、UV照射処理、もしくはプラズマ処理のい
ずれかであることを特徴とする。
【0011】この構成にすると基板上の透明電極がパタ
ーンエッチングによって除かれた部分の表面、あるいは
基板自身にダメージを与えることなく、親水化処理でき
る。
【0012】前記液晶表示素子用基板において、樹脂層
が少なくとも、アクリル、エポキシ、シロキサン、ポリ
イミド、ポリカーボネート、ポリビニールアルコール、
ポリエチレンのうちの1つ、もしくは少なくともそれら
のうちの1つを含む共重合体であることを特徴とする。
【0013】この構成によると、これらの樹脂は樹脂層
の上に水の接触角50゜以下の膜が形成されやすく、ま
た、親水化処理により、水の接触角50゜以下の表面に
改質されやすい。
【0014】上記の課題を解決するための液晶表示素子
は、樹脂層の上に水の接触角が50゜以下の膜が形成さ
れ、さらにその上に透明電極膜が形成されたことを特徴
とする。
【0015】この構成にすると、基板上の透明電極がパ
ターンエッチングによって除かれた部分の表面の水の接
触角が50°以下となるため、その表面ではシール材や
接着材の塗布性が向上して切れることがなく、またその
接着力も大きく向上した液晶表示素子となる。
【0016】前記液晶表示素子において、水の接触角5
0゜以下の膜がSiOx、もしくはSiNxおよびそれら
のうち少なくとも1つを含む複合膜であることを特徴と
する。
【0017】この構成にすると、上記の効果に加え、基
板上の透明電極がパターンエッチングによって除かれた
部分の表面がSiOx、もしくはSiNxおよびそれらの
うち少なくとも1つを含む複合膜となるから、エッチン
グ液によりそれらの膜がエッチングされることがない液
晶表示素子となる。
【0018】前記液晶表示素子において、樹脂層を親水
化処理により、水の接触角50゜以下の表面に改質後、
その上に透明電極膜が形成されたことを特徴とする。
【0019】この構成にすると、基板上の透明電極がパ
ターンエッチングによって除かれた部分の表面は、親水
化処理により、水の接触角50゜以下の膜に改質したこ
とにより、その表面ではシール材や接着材の塗布性が向
上して切れることがなく、またその接着力も大きく向上
した液晶表示素子となる。
【0020】前記液晶表示素子において、前記親水化処
理が、UV照射処理、もしくはプラズマ処理のいずれか
であることを特徴とする。
【0021】この構成にすると、基板上の透明電極がパ
ターンエッチングによって除かれた部分の表面、あるい
は基板自身にダメージが少ない液晶表示素子となる。
【0022】前記液晶表示素子において、樹脂層が少な
くとも、アクリル、エポキシ、シロキサン、ポリイミ
ド、ポリカーボネート、ポリビニールアルコール、ポリ
エチレンのうちの1つ、もしくは少なくともそれらのう
ちの1つを含む共重合体であることを特徴とする。
【0023】この構成によると、これらの樹脂は樹脂層
の上に水の接触角50゜以下の膜が形成されやすく、ま
た、親水化処理により、水の接触角50゜以下の表面に
改質されやすい。
【0024】上記の課題を解決するための液晶表示素子
の製造方法は、樹脂層の上に水の接触角が50゜以下の
膜を形成する工程と、透明電極膜をパターンエッチング
する工程を透明電極がエッチング除去され露出した水の
接触角が50゜以下の膜上にシールを形成する工程を有
することを特徴とする。
【0025】また、上記液晶表示素子の製造方法におい
て、樹脂層の上に水の接触角が50゜以下の膜を形成す
る工程と、透明電極膜をパターンエッチングする工程
と、透明電極がエッチング除去され露出した水の接触角
が50゜以下の膜上に端子を接着する接着材を設ける工
程を有することを特徴とする。
【0026】この構成にすると、基板上の透明電極がパ
ターンエッチングによって除かれた部分の表面の水の接
触角が50°以下となるため、その表面ではシール材や
接着材の塗布性が向上して切れることがなく、またその
接着力も大きく向上できる液晶表示素子の製造方法とな
る。
【0027】前記液晶表示素子の製造方法において、水
の接触角50゜未満の膜がSiOx、もしくはSiNx
よびそれらのうち少なくとも1つを含む複合膜であるこ
とを特徴とする。
【0028】この構成にすると、上記の効果に加え、基
板上の透明電極がパターンエッチングによって除かれた
部分の表面がSiOx、もしくはSiNxおよびそれらの
うち少なくとも1つを含む複合膜となるから、エッチン
グ液によりそれらの膜がエッチングされることがなく、
また、透明電極膜のエッチングレートを安定化させるこ
ともでき、品質が安定な液晶表示素子を製造できる。
【0029】前記液晶表示素子の製造方法において、樹
脂層を親水化処理により、水の接触角50゜以下の表面
に改質する工程と、透明電極膜をパターンエッチングす
る工程を透明電極がエッチング除去され露出した水の接
触角が50゜以下の膜上にシールを形成する工程を有す
ることを特徴とする。
【0030】また、樹脂層を親水化処理により、水の接
触角が50゜以下の膜に改質後する工程と、透明電極膜
をパターンエッチングする工程と、透明電極がエッチン
グ除去され露出した水の接触角が50゜以下の膜上に端
子を接着する接着材を設ける工程を有することを特徴と
する。
【0031】この構成にすると、基板上の透明電極がパ
ターンエッチングによって除かれた部分の表面の水の接
触角が、親水化処理により、水の接触角50゜以下の膜
に改質したことにより、その表面ではシール材や接着材
の塗布性が向上して切れることがなく、またその接着力
も大きく向上した液晶表示素子を製造できる。
【0032】前記液晶表示素子の製造方法において、前
記親水化処理が、UV照射処理、もしくはプラズマ処理
のいずれかであることを特徴とする。
【0033】この構成にすると基板上の透明電極がパタ
ーンエッチングによって除かれた部分の表面、あるいは
基板自身にダメージを与えることなく、親水化処理した
液晶表示素子を製造できる。
【0034】
【発明の実施の形態】本発明の液晶表示素子用基板は、
樹脂層の上に水の接触角50゜以下の膜が形成もしくは
樹脂層の上を親水化処理により、水の接触角50゜以下
の表面に改質後、さらにその上に透明電極膜が形成され
たことを特徴とする。
【0035】この構成にすると、基板上の透明電極がパ
ターンエッチングによって除かれた部分の表面の水の接
触角が50°以下となるため、その表面ではシール材や
接着材の塗布性が向上して切れることがなく、またその
接着力も大きく向上する。従来から、液晶表示素子にお
いて、2つの対向基板を貼り合わせてセル形成するため
のシール材や、液晶表示素子を駆動させるための端子を
接着させるための接着材は、基板上の透明電極がパター
ンエッチングによって除かれた部分の表面に塗布されて
いた。したがって、貼り合わせた基板同士や端子と基板
の接着力、基板上の透明電極がパターンエッチングによ
って除かれた部分の表面とシール材もしくは接着材との
密着力となる。従来、その密着力を改善するために、シ
ール材もしくは接着材が改良されてきたが、基板上の透
明電極がパターンエッチングによって除かれた部分の表
面によってはその密着力が十分ではなかった。また塗布
性もシール切れなどの問題を起こしていたが、本発明で
は、基板上の透明電極がパターンエッチングによって除
かれた部分を親水化することで、この問題を解決するこ
とができる。
【0036】なお、本発明の水の接触角50゜以下の膜
としては、SiOx、SiNx、AlOx、TiOx、Zr
xおよびそれらの複合酸化物が有効であるが、液晶表
示素子として用いる場合の光電気特性を考慮すると、特
にSiOx、SiNxおよびそれらの複合酸化物が有効で
ある。また水の接触角50゜以上の有機膜でも、親水化
処理により水の接触角50゜以下になれば本発明の水の
接触角50゜以下の膜に適応する。この親水化処理の例
として、UV照射処理、もしくはプラズマ処理が有効で
ある。特にKrFエキシマUV光を用いると膜へのダメ
ージがほとんどない。また、樹脂層としては、液晶表示
素子として用いることから透光性に優れているアクリ
ル、エポキシ、シロキサン、ポリイミド、ポリカーボネ
ート、ポリビニールアルコール、ポリエチレン、もしく
はそれらの共重合体が有効である。
【0037】また、本発明の導電電極膜としては、IT
Oと呼ばれるインジュウムと錫の複合酸化物が有効で、
本発明では複合比に依存せず有効である。また、錫酸化
物等も有効である。
【0038】(実施例1)エポキシ基板上にスパッタ法
でSiO2層を設けた後、この後、ITOの透明電極膜
を設け、さらにRGBの画素と配線をパターニングし、
本発明の液晶表示素子基板Aを作製した。
【0039】(実施例2)エポキシ基板上に室温で17
2nmの単色光を有するKrFエキシマUV光(ウシオ
電機製装置使用)を480mJ/cm2(172nm)
照射した。この後、ITOの透明電極膜を設け、さらに
RGBの画素と配線をパターニングし、本発明の液晶表
示素子基板Bを作製した。
【0040】(比較例3)実施例2の室温で172nm
の単色光を有するKrFエキシマUV光(ウシオ電機製
装置使用)を240,120,0mJ/cm2(172
nm)照射したこと以外は、実施例2と同じ方法で液晶
表示素子基板C、D、Eを作製した。
【0041】(端子との接着性)液晶表示素子基板Aか
らEのITO透明電極膜形成前の接触角とパターニング
後に端子接続部に接着剤が付着したフレキシブル端子を
熱圧着し、その剥離強度を調べた。その結果を表1に示
す。
【0042】
【表1】
【0043】なお、500gf/cm以上有すれば実用
上問題がないので、本発明の液晶表示素子基板は端子と
の密着力を向上させるのに効果的である。
【0044】(対向基板との密着性)液晶表示素子基板
A、B、Eと洗剤洗浄したガラス基板上に透明電極膜を
設け、さらにRGBの画素と配線をパターニングした対
向基板を洗剤洗浄し、配向膜を設けTN配向処理を施し
た後、両者の基板を貼り合わせてセルを形成し、そのセ
ル内にTN液晶を注入し、封止後、上下基板に偏光板を
ノーマリーブラックになるように貼り付けた。こうして
液晶表示素子基板A(発明品・図1)、B(発明品・図
2)、Cから液晶表示素子LA、LB、LEを完成させ
た。この液晶表示素子を80℃1時間と−30℃1時間
を1サイクルとしこれを繰り返すヒートショック試験器
にいれ、接着性を確認した。その結果を表2に示す。
【0045】
【表2】
【0046】したがって、本発明の液晶表示素子は、基
板同士の接着力(シール性)の信頼性が優れていること
がわかる。
【0047】
【発明の効果】本発明の液晶表示素子用基板は、樹脂層
の上に水の接触角50゜以下の膜が形成もしくは樹脂層
の上を親水化処理により、水の接触角50゜以下の表面
に改質後、さらにその上に透明電極膜が形成されたこと
を特徴とする。この構成にすると、基板上の透明電極が
パターンエッチングによって除かれた部分の表面の水の
接触角が50°以下となるため、その表面ではシール材
や接着材の塗布性が向上して切れることがなく、またそ
の接着力も大きく向上する。従来から、液晶表示素子に
おいて、2つの対向基板を貼り合わせてセル形成するた
めのシール材や、液晶表示素子を駆動させるための端子
を接着させるための接着材は、基板上の透明電極がパタ
ーンエッチングによって除かれた部分の表面に塗布され
ていた。したがって、貼り合わせた基板同士や端子と基
板の接着力、基板上の透明電極がパターンエッチングに
よって除かれた部分の表面とシール材もしくは接着材と
の密着力となる。従来、その密着力を改善するために、
シール材もしくは接着材が改良されてきたが、基板上の
透明電極がパターンエッチングによって除かれた部分の
表面によってはその密着力が十分ではなかった。また塗
布性もシール切れなどの問題を起こしていたが、本発明
では、基板上の透明電極がパターンエッチングによって
除かれた部分を親水化することで、この問題を解決する
ことができる。
【0048】これらの効果によって、高品質、高信頼性
の液晶表示素子用基板および液晶表示素子を提供でき、
本発明の効果は絶大である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例の液晶セル用の液晶表示素子
を示す図
【図2】本発明の一実施例の液晶セル用の液晶表示素子
を示す図
【符号の説明】
1 エポキシ樹脂基板 2 ガラス基板 3 SiO2膜 4 透明電極膜 5 配向膜 6 シール材 7 液晶 8 端子 11 エポキシ樹脂基板 12 ガラス基板 13 親水化したエポキシ樹脂層 14 透明電極膜 15 配向膜 16 シール材 17 液晶 18 端子
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 金子 尚美 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Fターム(参考) 2H089 LA48 QA16 TA01 TA02 2H090 HB03X JB02 JB03 JC07 LA01 2H092 GA25 GA34 HA02 HA06 HA23 MA08 MA09 NA18 PA01 4F100 AA12B AA20B AA33C AK01A AK04A AK21A AK25A AK45A AK49A AK52A AK53A AL01A AT00A BA03 BA07 BA10A EH66 EJ54 EJ61 GB41 JG01C JK06 JL11 JM02B JN01C 5G435 AA07 AA14 BB12 EE33 KK05

Claims (16)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 樹脂層の上に水の接触角50゜以下の膜
    が形成され、さらにその上に透明電極膜が形成された液
    晶表示素子用基板。
  2. 【請求項2】 水の接触角が50゜以下の膜がSi
    x、もしくはSiNxおよびそれらのうち少なくとも1
    つを含む複合膜であることを特徴とする請求項1記載の
    液晶表示素子用基板。
  3. 【請求項3】 樹脂層の上を親水化処理により、水の接
    触角50゜以下の表面に改質後、その上に透明電極膜が
    形成された液晶表示素子用基板。
  4. 【請求項4】 前記親水化処理が、UV照射処理、もし
    くはプラズマ処理のいずれかであることを特徴とする請
    求項2記載の液晶表示素子用基板。
  5. 【請求項5】 前記樹脂層が少なくとも、アクリル、エ
    ポキシ、シロキサン、ポリイミド、ポリカーボネート、
    ポリビニールアルコール、ポリエチレンのうちの1つ、
    もしくは少なくともそれらのうちの1つを含む共重合体
    であることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記
    載の液晶表示素子用基板。
  6. 【請求項6】 樹脂層の上に水の接触角が50゜以下の
    膜が形成され、さらにその上に透明電極膜が形成された
    液晶表示素子。
  7. 【請求項7】 水の接触角が50゜以下の膜がSi
    x、もしくはSiNxおよびそれらのうち少なくとも1
    つを含む複合膜であることを特徴とする請求項6記載の
    液晶表示素子。
  8. 【請求項8】 樹脂層を親水化処理により、水の接触角
    50゜以下の表面に改質後、その上に透明電極膜が形成
    された液晶表示素子。
  9. 【請求項9】 前記親水化処理が、UV照射処理、もし
    くはプラズマ処理のいずれかであることを特徴とする請
    求項8記載の液晶表示素子。
  10. 【請求項10】 樹脂層が少なくとも、アクリル、エポ
    キシ、シロキサン、ポリイミド、ポリカーボネート、ポ
    リビニールアルコール、ポリエチレンのうちの1つ、も
    しくは少なくともそれらのうちの1つを含む共重合体で
    あることを特徴とする請求項6から9のいずれかに記載
    の液晶表示素子。
  11. 【請求項11】 樹脂層の上に水の接触角が50゜以下
    の膜を形成する工程と、透明電極膜をパターンエッチン
    グする工程を透明電極がエッチング除去され露出した水
    の接触角が50゜以下の膜上にシールを形成する工程を
    有する液晶表示素子の製造方法。
  12. 【請求項12】 樹脂層の上に水の接触角が50゜以下
    の膜を形成する工程と、透明電極膜をパターンエッチン
    グする工程と、透明電極がエッチング除去され露出した
    水の接触角が50゜以下の膜上に端子を接着する接着材
    を設ける工程を有する液晶表示素子の製造方法。
  13. 【請求項13】 水の接触角50゜未満の膜がSi
    x、もしくはSiNxおよびそれらのうち少なくとも1
    つを含む複合膜であることを特徴とする請求項11また
    は12に記載の液晶表示素子の製造方法。
  14. 【請求項14】 樹脂層を親水化処理により、水の接触
    角50゜以下の表面に改質する工程と、透明電極膜をパ
    ターンエッチングする工程を透明電極がエッチング除去
    され露出した水の接触角が50゜以下の膜上にシールを
    形成する工程を有する液晶表示素子の製造方法。
  15. 【請求項15】 樹脂層を親水化処理により、水の接触
    角が50゜以下の膜に改質後する工程と、透明電極膜を
    パターンエッチングする工程と、透明電極がエッチング
    除去され露出した水の接触角が50゜以下の膜上に端子
    を接着する接着材を設ける工程を有する液晶表示素子の
    製造方法。
  16. 【請求項16】 前記親水化処理が、UV照射処理、も
    しくはプラズマ処理のいずれかであることを特徴とする
    請求項14もしくは15記載の液晶表示素子の製造方
    法。
JP2000344776A 2000-11-13 2000-11-13 液晶表示素子用基板とそれを用いた液晶表示素子とその製造方法 Pending JP2002148597A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000344776A JP2002148597A (ja) 2000-11-13 2000-11-13 液晶表示素子用基板とそれを用いた液晶表示素子とその製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000344776A JP2002148597A (ja) 2000-11-13 2000-11-13 液晶表示素子用基板とそれを用いた液晶表示素子とその製造方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2002148597A true JP2002148597A (ja) 2002-05-22

Family

ID=18818923

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000344776A Pending JP2002148597A (ja) 2000-11-13 2000-11-13 液晶表示素子用基板とそれを用いた液晶表示素子とその製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2002148597A (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2006049288A1 (en) * 2004-11-02 2006-05-11 Canon Kabushiki Kaisha Organic transistor and manufacturing method thereof
JP2012025010A (ja) * 2010-07-22 2012-02-09 Hitachi Chem Co Ltd 調光フィルム
US8735870B2 (en) 2005-12-29 2014-05-27 Lg Display Co., Ltd. Organic thin film transistor and method for manufacturing the same
US10520771B2 (en) 2016-12-05 2019-12-31 Seiko Epson Corporation Liquid crystal device, electronic apparatus, method for manufacturing liquid crystal device, mother substrate for liquid cystal device, and method for manufacturing mother substrate for liquid crystal device

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2006049288A1 (en) * 2004-11-02 2006-05-11 Canon Kabushiki Kaisha Organic transistor and manufacturing method thereof
US8735870B2 (en) 2005-12-29 2014-05-27 Lg Display Co., Ltd. Organic thin film transistor and method for manufacturing the same
US9224965B2 (en) 2005-12-29 2015-12-29 Lg Display Co., Ltd. Organic thin film transistor and method for manufacturing the same
JP2012025010A (ja) * 2010-07-22 2012-02-09 Hitachi Chem Co Ltd 調光フィルム
US10520771B2 (en) 2016-12-05 2019-12-31 Seiko Epson Corporation Liquid crystal device, electronic apparatus, method for manufacturing liquid crystal device, mother substrate for liquid cystal device, and method for manufacturing mother substrate for liquid crystal device

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101201304B1 (ko) 액정표시장치 및 그의 제조방법
KR100792982B1 (ko) 전기광학소자의 제조방법
US8623162B2 (en) Fabricating method of flexible display
CN100428010C (zh) 柔性显示器的制造方法
KR20090017014A (ko) 가요성 표시 장치의 제조 방법
TW201245809A (en) Method of fabricating lightweight and thin liquid crystal display device
JP2002148597A (ja) 液晶表示素子用基板とそれを用いた液晶表示素子とその製造方法
JP3177347B2 (ja) 液晶表示素子の製造方法
KR100277650B1 (ko) 자외선 실란트를 사용한 플렉시블한 액정표시소자와 이의 제조방법
JP2001296530A (ja) 電気光学装置およびその製造方法
JPH06250222A (ja) 液晶表示装置
JPH01283515A (ja) カラーフィルタを有する液晶表示装置の製造方法
JPH1138422A (ja) 液晶表示素子およびその製造方法
JP2000193923A (ja) 液晶表示素子の製造方法
JPS6363021A (ja) 表示装置
JP2000206520A (ja) 液晶表示パネルおよびその製造方法
JP2001247339A (ja) マイクロレンズアレイの製造方法及び電気光学装置の製造方法
KR100488585B1 (ko) 전광 기기에 사용되는 모듈레이터의 제조방법
JPH08278519A (ja) 液晶表示装置の製造方法
KR100685912B1 (ko) 액정 패널의 제조방법
JP2002162612A (ja) 液晶装置用異物除去方法
JP5071323B2 (ja) 液晶表示パネルおよび液晶表示パネルの製造方法
JPH0460513A (ja) 液晶表示素子の製造方法
JP3832950B2 (ja) プラスチック液晶表示素子の製造方法
JP2008040390A (ja) 表示装置の製造方法及び表示装置

Legal Events

Date Code Title Description
A711 Notification of change in applicant

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711

Effective date: 20061109