JPH10121225A - マスクの着脱装置 - Google Patents
マスクの着脱装置Info
- Publication number
- JPH10121225A JPH10121225A JP26885196A JP26885196A JPH10121225A JP H10121225 A JPH10121225 A JP H10121225A JP 26885196 A JP26885196 A JP 26885196A JP 26885196 A JP26885196 A JP 26885196A JP H10121225 A JPH10121225 A JP H10121225A
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- JP
- Japan
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- mask
- electromagnet
- disk
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- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 電動磁石を利用したマスクの着脱装置を使っ
てディスクに吸着されているインナーマスクおよびアウ
ターマスクを容易に着脱できるようにしたマスクの着脱
装置を提供する。 【解決手段】 ディスクキャリア蓋の下方には基盤テー
ブルが配置される。この基盤テーブルは、昇降シリンダ
装置で上下に移動させられる。基盤テーブルの上面に
は、電磁石ケースが設置され、電磁石ケースの中央に
は、インナーマスク用電磁石が立設される。上記インナ
ーマスク用電磁石ケースの側方には、アウターマスク用
電磁石とが配置される。
てディスクに吸着されているインナーマスクおよびアウ
ターマスクを容易に着脱できるようにしたマスクの着脱
装置を提供する。 【解決手段】 ディスクキャリア蓋の下方には基盤テー
ブルが配置される。この基盤テーブルは、昇降シリンダ
装置で上下に移動させられる。基盤テーブルの上面に
は、電磁石ケースが設置され、電磁石ケースの中央に
は、インナーマスク用電磁石が立設される。上記インナ
ーマスク用電磁石ケースの側方には、アウターマスク用
電磁石とが配置される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はマスクの着脱装置に
係り、特に成膜処理を施すべき薄肉のディスクの外周縁
を覆うアウターマスクとディスクの中心領域を覆うイン
ナーマスクとを着脱するマスクの着脱装置に関する。
係り、特に成膜処理を施すべき薄肉のディスクの外周縁
を覆うアウターマスクとディスクの中心領域を覆うイン
ナーマスクとを着脱するマスクの着脱装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に半導体基板やコンパクトディスク
などの被処理基板には真空処理室内で蒸着やスパッタリ
ングなどにより成膜処理が施される。この場合成膜処理
を施すべきディスクの外周縁と内周縁に膜が付着するこ
とを防止するために永久磁石の磁気吸引力を利用してマ
スクがディスクノ所定部分に対して装着される。従来、
このインナーマスクとアウターマスクとをディスクの所
定位置に取り付けるには手作業で行われていた。
などの被処理基板には真空処理室内で蒸着やスパッタリ
ングなどにより成膜処理が施される。この場合成膜処理
を施すべきディスクの外周縁と内周縁に膜が付着するこ
とを防止するために永久磁石の磁気吸引力を利用してマ
スクがディスクノ所定部分に対して装着される。従来、
このインナーマスクとアウターマスクとをディスクの所
定位置に取り付けるには手作業で行われていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】このように、インナー
マスクとアウターマスクとをディスクに取り付けるには
手作業で行われていたので作業能率が極めて悪かった。
そこで、本発明の目的は、電動磁石を利用したマスクの
着脱装置を使ってディスクに吸着されているインナーマ
スクおよびアウターマスクを容易に着脱できるようにし
たマスクの着脱装置を提供することにある。
マスクとアウターマスクとをディスクに取り付けるには
手作業で行われていたので作業能率が極めて悪かった。
そこで、本発明の目的は、電動磁石を利用したマスクの
着脱装置を使ってディスクに吸着されているインナーマ
スクおよびアウターマスクを容易に着脱できるようにし
たマスクの着脱装置を提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、インナーマスクとアウターマスクに作用す
る永久磁石の磁気吸引力を利用してディスクキャリア蓋
の下面にディスクを着脱させるユニットにおいて、ディ
スクキャリア蓋の下方に配置された基盤テーブルと、こ
の基盤テーブルを上下に移動させる昇降シリンダ装置
と、基盤テーブルの上面に設置された電磁石ケースと、
電磁石ケースの中央に立設されたインナーマスク用電磁
石と、上記インナーマスク用電磁石ケースの側方に配置
されたアウターマスク用電磁石とを備えてなることを特
徴とするものである。
に本発明は、インナーマスクとアウターマスクに作用す
る永久磁石の磁気吸引力を利用してディスクキャリア蓋
の下面にディスクを着脱させるユニットにおいて、ディ
スクキャリア蓋の下方に配置された基盤テーブルと、こ
の基盤テーブルを上下に移動させる昇降シリンダ装置
と、基盤テーブルの上面に設置された電磁石ケースと、
電磁石ケースの中央に立設されたインナーマスク用電磁
石と、上記インナーマスク用電磁石ケースの側方に配置
されたアウターマスク用電磁石とを備えてなることを特
徴とするものである。
【０００５】
【発明の実施の形態】以下本発明によるインナーマスク
とアウターマスクの着脱装置の実施例について添付の図
面を参照して説明する。図１において、符号１は成膜装
置を示し、この成膜装置１に隣接してディスク搬送装置
２が接続されている。このディスク搬送装置２の成膜装
置の側の側面には、受渡し口３が形成されると共に、上
面には受渡し口４が形成されている。ディスク搬送装置
２の内側には、十字状の連結リンク５を介して４個の弁
体６Ａ，６Ｂ，６Ｃ，６Ｄが図中反時計方向へ９０度ず
つ間欠的に回動するようになっている。この弁体６の表
面近くには電磁石が内装され、４枚のディスクＤがイン
ナーマスク７とアウターマスク８と共に電磁石の磁気吸
引力によって吸着保持されるようになっている。
とアウターマスクの着脱装置の実施例について添付の図
面を参照して説明する。図１において、符号１は成膜装
置を示し、この成膜装置１に隣接してディスク搬送装置
２が接続されている。このディスク搬送装置２の成膜装
置の側の側面には、受渡し口３が形成されると共に、上
面には受渡し口４が形成されている。ディスク搬送装置
２の内側には、十字状の連結リンク５を介して４個の弁
体６Ａ，６Ｂ，６Ｃ，６Ｄが図中反時計方向へ９０度ず
つ間欠的に回動するようになっている。この弁体６の表
面近くには電磁石が内装され、４枚のディスクＤがイン
ナーマスク７とアウターマスク８と共に電磁石の磁気吸
引力によって吸着保持されるようになっている。
【０００６】一方、図の左方には、水平面内を回転可能
な供給テーブル９が設置され、その上面には、４枚を一
組としたディスクＤと４個のディスクマスクが６個の領
域内に載置されるようになっている。
な供給テーブル９が設置され、その上面には、４枚を一
組としたディスクＤと４個のディスクマスクが６個の領
域内に載置されるようになっている。
【０００７】他方、ディスク搬送装置２と供給テーブル
９との間には、回転アーム１０の中心軸１１が位置して
いる。この回転アーム１０の両端には、永久磁石の磁気
吸引力によって吸着されたインナーマスク７とアウター
マスク８によって４個のディスクＤを保持できるディス
クキャリア蓋１２Ａ，１２Ｂが吊持されている。したが
って、この回転アーム１０が１８０度回動することによ
りディスク搬送装置２と供給テーブル９との間でディス
クＤを搬送することができる。
９との間には、回転アーム１０の中心軸１１が位置して
いる。この回転アーム１０の両端には、永久磁石の磁気
吸引力によって吸着されたインナーマスク７とアウター
マスク８によって４個のディスクＤを保持できるディス
クキャリア蓋１２Ａ，１２Ｂが吊持されている。したが
って、この回転アーム１０が１８０度回動することによ
りディスク搬送装置２と供給テーブル９との間でディス
クＤを搬送することができる。
【０００８】本発明によるマスクの着脱装置１４は、デ
ィスクキャリア蓋１２の定位置の直下に位置し、ディス
クキャリア蓋１２とマスクの着脱装置１４との間に供給
テーブル９が入り込んでいる。
ィスクキャリア蓋１２の定位置の直下に位置し、ディス
クキャリア蓋１２とマスクの着脱装置１４との間に供給
テーブル９が入り込んでいる。
【０００９】次に、マスクの着脱装置１４の構成の詳細
を説明する。この実施例において、ディスクキャリア蓋
１２の下面には４個のディスクＤを保持するためにイン
ナーマスクとアウターマスクとが永久磁石の磁気吸引力
を利用して吸着保持されているものとする。
を説明する。この実施例において、ディスクキャリア蓋
１２の下面には４個のディスクＤを保持するためにイン
ナーマスクとアウターマスクとが永久磁石の磁気吸引力
を利用して吸着保持されているものとする。
【００１０】これに対して、本発明のマスクの着脱装置
１４は、４個のマスクの着脱ユニット１５Ａ，１５Ｂ，
１５Ｃ，１５Ｄとから構成され、これらは、共通の基盤
テーブル１６の上に固着されている。この基盤テーブル
１６の下面中央には、昇降シリンダ装置１７が装備さ
れ、基盤テーブル１６を上下動できるようになってい
る。基盤テーブル１６が水平面を維持して上下動しやす
いようにガイドロッド１７，１７が設けられ、このガイ
ドロッド１７，１７がベース１８の案内孔内を滑動でき
るようになっている。
１４は、４個のマスクの着脱ユニット１５Ａ，１５Ｂ，
１５Ｃ，１５Ｄとから構成され、これらは、共通の基盤
テーブル１６の上に固着されている。この基盤テーブル
１６の下面中央には、昇降シリンダ装置１７が装備さ
れ、基盤テーブル１６を上下動できるようになってい
る。基盤テーブル１６が水平面を維持して上下動しやす
いようにガイドロッド１７，１７が設けられ、このガイ
ドロッド１７，１７がベース１８の案内孔内を滑動でき
るようになっている。
【００１１】次に、各マスクの着脱ユニット２０の構成
を説明すると、電磁石ケース２１を有し、この電磁石ケ
ース２１は、基盤テーブル１６に対してクッッションバ
ネ２２で若干浮上している。図４において基盤テーブル
１６からは２本のガイド軸２３，２３が植設され、スラ
イドブッシュ２４を介して電磁石ケース２１が嵌合して
いる。ガイド軸２３の先端には、フランジ２５がビス止
めされ、クッッションバネ２２力による上昇の最大位置
が規制されている。電磁石ケース２１の中央部には、中
空筒２６が直立して設けられ、この中心に吸着コア２７
が植設され、その外側に巻線コイル２８が巻装されてい
る。さらに、前記中空筒２６の両側には、脚端を上に向
けた凹字状のアウタマスク用電磁石３０Ａ，３０Ｂが設
けられ、中央の胴部に巻線３１が巻装されている。
を説明すると、電磁石ケース２１を有し、この電磁石ケ
ース２１は、基盤テーブル１６に対してクッッションバ
ネ２２で若干浮上している。図４において基盤テーブル
１６からは２本のガイド軸２３，２３が植設され、スラ
イドブッシュ２４を介して電磁石ケース２１が嵌合して
いる。ガイド軸２３の先端には、フランジ２５がビス止
めされ、クッッションバネ２２力による上昇の最大位置
が規制されている。電磁石ケース２１の中央部には、中
空筒２６が直立して設けられ、この中心に吸着コア２７
が植設され、その外側に巻線コイル２８が巻装されてい
る。さらに、前記中空筒２６の両側には、脚端を上に向
けた凹字状のアウタマスク用電磁石３０Ａ，３０Ｂが設
けられ、中央の胴部に巻線３１が巻装されている。
【００１２】なお、中空筒２６の底面と基盤テーブル１
６との間にはインナーマスク用バネ３２が弾装されてい
る。
６との間にはインナーマスク用バネ３２が弾装されてい
る。
【００１３】本発明はこのように構成されているから、
成膜加工を終了した４枚１組のディスクＤがディスクキ
ャリア蓋１２Ｂの下面にインナーマスクとアウターマス
クに作用する永久磁石の磁気力で保持されたまま、回転
テーブル９上の定位置に停止したとする。その後、昇降
シリンダ装置１７がマスクの着脱装置を持ち上げ、図４
に示したように、インナーマスク用電磁石の吸着コア２
７がイナーマスク７を吸着する。ついで、要すれば、ア
ウタマスク用電磁石３０Ａ，３０Ｂがアウターマスク８
を吸着する。なお、供給テーブル９には、電磁石が貫通
できる開口部があらかじめ形成されているものとする。
成膜加工を終了した４枚１組のディスクＤがディスクキ
ャリア蓋１２Ｂの下面にインナーマスクとアウターマス
クに作用する永久磁石の磁気力で保持されたまま、回転
テーブル９上の定位置に停止したとする。その後、昇降
シリンダ装置１７がマスクの着脱装置を持ち上げ、図４
に示したように、インナーマスク用電磁石の吸着コア２
７がイナーマスク７を吸着する。ついで、要すれば、ア
ウタマスク用電磁石３０Ａ，３０Ｂがアウターマスク８
を吸着する。なお、供給テーブル９には、電磁石が貫通
できる開口部があらかじめ形成されているものとする。
【００１４】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように本発明に
よれば、成膜加工が終了してディスク搬送装置から供給
テーブルに移転されたディスクキャリア蓋を定位置で停
止させたのち、マスクの着脱装置を使って容易にマスク
をディスクキャリア蓋から外すことができる。
よれば、成膜加工が終了してディスク搬送装置から供給
テーブルに移転されたディスクキャリア蓋を定位置で停
止させたのち、マスクの着脱装置を使って容易にマスク
をディスクキャリア蓋から外すことができる。
【図１】本発明のマスクの着脱装置の一実施例を示した
側断面図。
側断面図。
【図２】マスクの着脱ユニットを示した斜視図。
【図３】マスクの着脱ユニットの平面図。
【図４】図３のＡ−Ａ断面図。
【図５】図３のＢ−Ｂ断面図。
１ 成膜装置 ２ ディスク搬送装置 ５ 連結リンク ６ 弁体 ７ インナーマスク ８ アウターマスク ９ 供給テーブル １０ 回転アーム １２ ディスクキャリア蓋 １４ マスクの着脱装置 １５ マスクの着脱ユニット １６ 基盤テーブル １７ ガイドロッド ２１ 電磁石ケース ３０ アウターマスク用電磁石
Claims (2)
- 【請求項１】インナーマスクとアウターマスクに作用す
る永久磁石の磁気吸引力を利用してディスクキャリア蓋
の下面にディスクを着脱させるユニットにおいて、ディ
スクキャリア蓋の下方に配置された基盤テーブルと、こ
の基盤テーブルを上下に移動させる昇降シリンダ装置
と、基盤テーブルの上面に設置された電磁石ケースと、
電磁石ケースの中央に立設されたインナーマスク用電磁
石と、上記インナーマスク用電磁石ケースの側方に配置
されたアウターマスク用電磁石とを備えてなるマスクの
着脱ユニット。 - 【請求項２】前記マスクの着脱ユニットがディスクキャ
リア蓋の下面に吸着されたディスクと同数設けられてい
ることを特徴とするマスクの着脱装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26885196A JPH10121225A (ja) | 1996-10-09 | 1996-10-09 | マスクの着脱装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26885196A JPH10121225A (ja) | 1996-10-09 | 1996-10-09 | マスクの着脱装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10121225A true JPH10121225A (ja) | 1998-05-12 |
Family
ID=17464153
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26885196A Pending JPH10121225A (ja) | 1996-10-09 | 1996-10-09 | マスクの着脱装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10121225A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999004058A1 (fr) * | 1997-07-18 | 1999-01-28 | Shibaura Mechatronics Corporation | Dispositif de pulverisation cathodique a magnetron a feuille |
| CN102213920A (zh) * | 2010-04-01 | 2011-10-12 | 亿力鑫系统科技股份有限公司 | 承载装置及具有该承载装置的曝光机 |
-
1996
- 1996-10-09 JP JP26885196A patent/JPH10121225A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999004058A1 (fr) * | 1997-07-18 | 1999-01-28 | Shibaura Mechatronics Corporation | Dispositif de pulverisation cathodique a magnetron a feuille |
| CN102213920A (zh) * | 2010-04-01 | 2011-10-12 | 亿力鑫系统科技股份有限公司 | 承载装置及具有该承载装置的曝光机 |
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