JPH10106482A - 光電子増倍管 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は、出力信号量を落とさず陽極のユニ
フォミティを良好にすることができる光電子増倍管を提
供することを目的とする。 【解決手段】 本発明の光電子増倍管は、密封容器２内
で複数段に積層された電子増倍部７のダイノード８によ
り増倍させた電子を、最終段ダイノード９で反射させた
後、出力信号として陽極10で収集する光電子増倍管１に
おいて、最終段ダイノード９を２層で形成し、第１層の
最終段ダイノード９Ａのアルカリ金属蒸気通過孔30ｂ
と、第２層の最終段ダイノード９Ｂの電子反射面31ａと
を対峙させ、第２層の最終段ダイノード９Ｂの電子反射
面31ａは、第１層の最終段ダイノード９Ａのアルカリ金
属蒸気通過孔30ｂを通過する電子を捕捉する程度の大き
さを有し、第１層の最終段ダイノード９Ａのアルカリ金
属蒸気通過孔30ｂと第２層の最終段ダイノード９Ｂのア
ルカリ金属蒸気通過孔31ｂとを互いに連通させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光電子増倍管に係
り、特に、電子増倍部に入射した電子を多段に積層させ
たダイノードで増倍させる大型の光電子増倍管に関する
ものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種の光電子増倍管として、特
開昭５９−１５１７４１号公報に記載したものが知られ
ている。この光電子増倍管は、有底円筒状の真空容器の
一端に形成された光電面と、入射した光電子を増倍させ
て複数のダイノードを積層した電子増倍部と、電子増倍
部で増倍された電子を出力信号として収集する網状のア
ノード（陽極）と、平板状の最終段ダイノード（反転型
ダイノード）とを備えている。従って、光電面から放出
された光電子は、電子増倍部で増倍し、最終段ダイノー
ドで反射した後、出力信号としてアノードで収集され
る。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
光電子増倍管では、最終段ダイノードは平板状に形成さ
れているため、アルカリ金属蒸気を導入して光電面及び
各ダイノードの２次電子放出層を活性化する際に、アル
カリ金属蒸気は、光電面及び各ダイノードの周辺部から
中央部に流れて被着する。この結果、光電面及び各ダイ
ノードはアルカリ金属層が周辺部では厚く、中央部では
薄くなり、入射光の位置によって出力感度が不均一にな
る（アノードのユニフォミティが悪くなる）。そこで、
特開平６−３１４５５０号公報のように、最終段ダイノ
ードに複数の貫通孔をダイノードの電子増倍孔とほぼ同
一のピッチで形成する方法が考えられるが、特開昭５９
−１５１７４１号公報のように各段のダイノードで電子
を増倍する過程において、増倍後の電子分布が広がるタ
イプの光電子増倍管では、最終段ダイノードにアルカリ
金属蒸気の通過孔を設けると、一部の電子はその通過孔
から抜け出てしまう。その結果、最終段ダイノードで効
率良く全ての電子を反射させることができず、出力信号
が小さくなってしまう。

【０００４】本発明は、以上のような課題を解決するた
めになされたもので、出力信号量を落とさず陽極のユニ
フォミティを良好にすることができる光電子増倍管を提
供することをその目的としている。

【０００５】

【課題を解決するための手段】請求項１に係る本発明の
光電子増倍管は、密封容器内で複数段に積層された電子
増倍部のダイノードにより増倍させた電子を、最終段ダ
イノードで反射させた後、出力信号として陽極で収集す
る光電子増倍管において、最終段ダイノードを２層で形
成し、第１層の最終段ダイノードに形成されたそれぞれ
のアルカリ金属蒸気通過孔と、第２層の最終段ダイノー
ドに形成されたそれぞれの電子反射面とを対峙させ、第
２層の最終段ダイノードの電子反射面は、第１層の最終
段ダイノードのアルカリ金属蒸気通過孔を通過する電子
を捕捉する大きさを少なくとも有し、第１層の最終段ダ
イノードに形成されたアルカリ金属蒸気通過孔と第２層
の最終段ダイノードに形成されたアルカリ金属蒸気通過
孔とを連通させたことを特徴とする。

【０００６】この光電子増倍管においては、第１層及び
第２層の最終段ダイノードにそれぞれアルカリ金属蒸気
通過孔を形成することで、電子増倍部に向けてアルカリ
金属蒸気を流通させることができる。しかも、最終段ダ
イノードを２層にすることで、陽極側から見て、第１層
の最終段ダイノードのアルカリ金属蒸気通過孔を塞ぐよ
うな位置に、第２層の最終段ダイノードの電子反射面を
配置させることができる。その結果、最終段ダイノード
に入射した増倍電子が広がりをもつとしても、増倍電子
がアルカリ金属蒸気通過孔から抜け出てしまことがな
く、陽極に向けて効率良く増倍電子を反射させることが
できる。すなわち、第１層の最終段ダイノードの電子反
射面で反射することができなかった増倍電子は、第２層
の最終段ダイノードの電子反射面に当たることで、電子
は陽極に向けて確実に反射させられる。

【０００７】この場合、第１層の最終段ダイノードに形
成された隣接する電子反射面間のピッチと、第２層の最
終段ダイノードに形成された隣接する電子反射面間のピ
ッチとを同一にし、第１層の最終段ダイノードに対して
第２層の最終段ダイノードを半ピッチ分ずらすことが好
ましい。このような構成を採用することで、第１層の最
終段ダイノードと第２層の最終段ダイノードとを同一の
形状にすることができ、コストの低減が達成される。

【０００８】

【発明の実施の形態】以下、図面と共に本発明による光
電子増倍管の好適な一実施形態について詳細に説明す
る。

【０００９】図１は、本実施形態に係る光電子増倍管を
示す断面図である。同図に示す光電子増倍管１は密封容
器２を有し、この密封容器２は、コバール金属からなる
円筒状の側管３を有している。この側管３の頂部には、
側管３の上側開放端を塞ぐように、略８インチの直径を
もつ大型のガラス製受光面板４が高周波溶接により固定
されている。更に、側管３の下部には、側管３の下側開
放端を塞ぐように、ガラス製のステム５が高周波溶接に
より固定されている。そして、受光面板４の内面には、
入射光により光電子を発生させるための光電面４ａが形
成され、ステム５の中央には、密封容器２内にアルカリ
金属蒸気を注入するためのガラス製チューブ６がステム
５と一体に形成されている。

【００１０】この密封容器２内には、光電面４ａからの
電子を多段増倍させるための電子増倍部７が配置され、
電子増倍部７は、１１段に積層された１１枚の円板状の
ダイノード８と、１１段目のダイノード８の下方に設け
らた最終段ダイノード（反転型ダイノード）９とからな
る。そして、各段のダイノード８及び最終段ダイノード
９は、ステム５を貫通して環状に配列された複数のピン
３３ａにより所定の電圧が印加される。最終段ダイノー
ド９と１１段目のダイノード８との間には、マトリック
ス状に配列された複数本のＸアノード１０ａと複数本の
Ｙアノード１０ｂとからなるクロスワイヤ型アノード
（陽極）１０が配置されている。各Ｘアノード１０ａ及
び各Ｙアノード１０ｂは、ステム５を貫通して環状に配
列された複数のピン３３ｂに接続され、各ピン３３ｂを
利用することで、アノード出力が外部に送出される。な
お、符号３４は、光電面４ａからの光電子を収束させる
ためのリング状収束電極である。

【００１１】図２に示すように、各段のダイノード８
は、電子を収束させるメッシュ状の収束メッシュ電極１
１と、２次電子面を有するコースメッシュ電極１２と、
収束メッシュ電極１１とコースメッシュ電極１２との間
に配置されて、これらの間隔を保持するためのスペーサ
電極１３との組からなる。図３に示すように、収束メッ
シュ電極１１は、最外郭に直径約２００ｍｍで厚み０．
１５ｍｍ程度のリング状縁部１１ａを有し、この縁部１
１ａには、８個の位置決め用耳部１１ｂが等間隔に形成
されている。更に、縁部１１ａ内はハニカム状のメッシ
ュ１１ｃとなっている。図４に示すように、コースメッ
シュ電極１２は、収束メッシュ電極１１と同じ大きさの
直径で厚み０．２ｍｍ程度のリング状縁部１２ａを有
し、この縁部１２ａには、８個の位置決め用耳部１２ｂ
が等間隔に形成されている。更に、縁部１２ａ内には等
間隔に配列された平行メッシュ１２ｃが張られている。

【００１２】図５に示すように、スペーサ電極１３は、
収束メッシュ電極１１及びコースメッシュ電極１２と同
じ大きさの直径で厚み０．６ｍｍ程度のリング状縁部１
３ａを有し、この縁部１３ａには、８個の位置決め用耳
部１３ｂが等間隔に形成されている。なお、厚み０．３
ｍｍのスペーサ電極１３を２枚重ねる場合もある。

【００１３】そして、収束メッシュ電極１１とコースメ
ッシュ電極１２とでスペーサ電極１３を挟み込み、これ
ら電極１１，１２及び１３を導電状態にすることで、同
電位を可能にした一組のダイノード８が作り出される。
このとき、ダイノード８は薄くて大きなリング体をなし
ているので、捩れや撓みに弱く、変形を起こし易い構造
になる。そこで、コースメッシュ電極１２に４本の第１
補強バー１２ｄを設け、各第１補強バー１２ｄは、縁部
１２ａの内側において、平行メッシュ１２ｃに対して直
交する方向に等間隔で張られている。更に、ダイノード
８の強度をアップさせるために、スペーサ電極１３にも
４本の第２補強バー１３ｄが設けられ、各第２補強バー
１３ｄは、コースメッシュ電極１２の各第１補強バー１
２ｄに重なるように配列されると共に、ダイノード８の
組立てに際して、各第１補強バー１２ｄに溶接される。

【００１４】このように、収束メッシュ電極１１とコー
スメッシュ電極１２とスペーサ電極１３とからなる３枚
一組のダイノード８は、図６に示すように、それぞれの
耳部１１ｂ，１２ｂ，１３ｂを揃えるようにして組付け
られ、各ダイノード８は、図１に示すように、アノード
１０の上方で１１段に重ねられている。この場合、図示
しない連結ピンを、各ダイノード８のそれぞれの耳部１
１ｂ，１２ｂ，１３ｂに通すことで、各ダイノード８は
位置決めされつつ多段に積層される。そして、各ダイノ
ード８間にセラミック製の円筒形スペーサ１４を介在さ
せることで、各ダイノード８間を電気的に絶縁する。

【００１５】更に、各ダイノード８を１１段に積層させ
る場合、各ダイノード８は、コスト低減のため、同じ形
状のものが利用されるが、９０度ずつ位相させるように
積み上げられる。その結果、第１補強バー１２ｄと第２
補強バー１３ｄとからなる４本のダイノード補強バー１
５は、隣接する段同士において、９０度の位相角をもっ
て配列され、電子増倍部７において、各ダイノード補強
バー１５は、上方（受光面板４側）から見てマトリック
ス状に配列されることになる。また、ダイノード補強バ
ー１５は、図４及び図５に示すように、同一間隔で配置
されているが全体的に片側に僅かに寄せられている。従
って、電子増倍部７において、各ダイノード８の９０度
位相配列を行った場合、各ダイノード補強バー１５は、
隣接する上下の段同士の関係においては直交するが、一
段飛ばして比較すると平行になっており、しかも、一段
飛ばしの関係においては、上方（受光面板４側）から見
て所定の間隔で離間している。

【００１６】ここで、前述したダイノード補強バー１５
は、各ダイノード８が薄くて大型になることで付加され
たものであり、この部分で２次電子が消失すると、ダイ
ノード補強バー１５の周辺で、図７に示すように、アノ
ード１０の出力が落ち込み、この不感領域Ｓによりユニ
フォミティが悪くなる。そこで、ダイノード補強バー１
５によるアノード出力の低下を阻止するために、ダイノ
ード補強バー１５の長手方向に沿った周辺部分に形成さ
れる４つの不感領域Ｓ（図５参照）に対応させて、収束
メッシュ電極１１に２次電子放出部２０を設ける（図３
参照）。この２次電子放出部２０を作り出す方法として
は、先ず、図６に示すように、２次電子放出部２０に対
応する部分を幅５ｍｍで切り欠かいた開口部２１を有す
るマスク体２２を利用し、このマスク体２２を、一組の
ダイノード８の収束メッシュ電極１１上に位置決めする
ように載せ、開口部２１を通して、ダイノード８にアン
チモンを外部蒸着する。これにより、収束メッシュ電極
１１の２次電子放出部２０及びダイノード補強バー１５
にアンチモンが蒸着される。このようにして蒸着された
アンチモンは、光電子増倍管１の組立て後にチューブ６
から導入されるアルカリ金属蒸気と反応して２次電子面
を作り出す。

【００１７】なお、第１段のダイノード８の真上におい
て、２次電子放出部２０に対応する領域にアンチモンが
予め蒸着させられている補助電極（図示せず）を配置さ
せてもよい。この場合、光電子増倍管１の組立て後の通
電により、補助電極のアンチモンを飛散させ、第１段目
の収束メッシュ電極１１の２次電子放出部２０にアンチ
モンを付着させるようなアンチモン内部蒸着も可能であ
る。

【００１８】また、２次電子放出部２０をもった収束メ
ッシュ電極１１は、ダイノード８のどの段に適用しても
よく、例えば、受光面板４に最も近い第１段目と第２段
目に適用させ、第１段目と第２段目とで２次電子放出部
２０をクロスさせるように配置させてもよく、また、第
１〜第３段目に２次電子放出部２０を適用させてもよ
い。このように、何段目の収束メッシュ電極１１に２次
電子放出部２０を設けるかは、光電子増倍部１の特性に
応じて適宜選択されるものであるが、図８に示すよう
に、アノード１０の出力にユニフォミティが確保される
ことが肝要である。すなわち、アノード１０での出力の
落ち込みを補うだけの２次電子を、２次電子放出部２０
で発生させることが必要となる。

【００１９】図１及び図９に示すように、密封容器２の
内部には、直径約２００ｍｍで厚み０．７ｍｍ程度の円
板からなる熱シールド性の補強板２３が設けられてい
る。この補強板２３は、最終段ダイノード９とステム５
との間に配置されると共に、８個の位置決め用耳部２３
ａにより、図示しない連結ピン及びセラミック製の円筒
形スペーサ１４を介して電子増倍部７に固定される。そ
して、補強板２３は、ステム５から立ち上がる複数のリ
ードピン３３ｃと、補強板２３に一端が固定されたステ
ンレス製支柱パイプ２５とを溶接することで、密封容器
２に固定される。従って、支柱パイプ２５で支えられた
補強板２３により電子増倍部７を確実に補強することが
でき、熱による電子増倍部７の捩れや撓み変形に強く耐
震性の良い構造が確保される。

【００２０】更に、図９及び図１０に示すように、補強
板２３には、ステム５の中央に設けられたアルカリ金属
蒸気注入用チューブ６のアルカリ金属蒸気出口６ａに対
峙する円板状のアルカリ金属蒸気衝突部２３ｂが形成さ
れている。このアルカリ金属蒸気衝突部２３ｂは、アル
カリ金属蒸気出口６ａの開口面積にほぼ相応した大きさ
をもっている。また、アルカリ金属蒸気衝突部２３ｂの
周囲には、電子増倍部７に向けてアルカリ金属蒸気を均
一に流出させるアルカリ金属蒸気分散孔２４が形成され
ている。アルカリ金属蒸気分散孔２４は、アルカリ金属
蒸気衝突部２３ｂを取り囲むようにして配列された第１
のアルカリ金属蒸気分散孔２４ａと、第１のアルカリ金
属蒸気分散孔２４ａの外方で放射状に配列された第２の
アルカリ金属蒸気分散孔２４ｂとからなる。

【００２１】また、第１のアルカリ金属蒸気分散孔２４
ａは、６等分割されてそれぞれが扇形に形成され、第２
のアルカリ金属蒸気分散孔２４ｂは、それぞれが同じ大
きさの円孔をなしている。そして、各第２のアルカリ金
属蒸気分散孔２４ｂに対して各第１のアルカリ金属蒸気
分散孔２４ａは大きな開口面積を有する。これは、密封
容器２内において、側管３と補強板２３及び電子増倍部
７との間に環状の隙間Ｂが形成されていることに起因す
る。すなわち、補強板２３のアルカリ金属蒸気分散孔２
４から均一なアルカリ金属蒸気を噴出させるために、真
空の密封容器２内に注入されたアルカリ金属蒸気が、環
状の隙間Ｂを通過することを考慮した結果である。

【００２２】そこで、電子増倍部７に２次電子面を形成
する際、アルカリ金属蒸気がチューブ６を介して、真空
の密封容器２内に矢印方向Ｃに注入されるが、このと
き、チューブ６を介して注入されたアルカリ金属蒸気の
直進性に起因して、アルカリ金属蒸気は、補強板２３の
アルカリ金属蒸気衝突部２３ｂに一旦当ることで、補強
板２３の面に沿って外側に分散するように広がってい
く。そして、アルカリ金属蒸気が、補強板２３の面に沿
って広がって行くうちに、第１及び第２のアルカリ金属
蒸気分散孔２４ａ，２４ｂから電子増倍部７に向けてア
ルカリ金属蒸気が分散するように均一に噴出し、後述す
る最終段ダイノード９のアルカリ金属蒸気通過孔３０
ｂ，３１ｂ（図１１参照）との協働により、電子増倍部
７内にアルカリ金属蒸気が均一に回る。その結果、電子
増倍部７に予め蒸着されたアンチモンとアルカリ金属蒸
気とが反応することで、電子増倍部７に、均一な２次電
子面が形成され、受光面板４に均一な光電面４ａが形成
されることになる。

【００２３】すなわち、このような補強板２３は、チュ
ーブ６を利用して密封容器２内にアルカリ金属蒸気を注
入する際の邪魔板となっているが、この補強板２３にア
ルカリ金属蒸気分散孔２４ａ，２４ｂを設けることで、
アルカリ金属蒸気の均一分散を達成している。このよう
な構造の光電子増倍管１は、５インチや８インチといっ
た大型の光電子増倍管に最適であり、大型の光電子増倍
管１を、医療用のガンマカメラに利用することで、小さ
な光電子増倍管を多数並べることなく、一個の大型光電
子増倍管１で心臓等の臓器を一度に撮像することがで
き。

【００２４】また、補強板２３を、金属製側管３との組
み合わせて利用する場合、密封容器２を組み立てるに際
し、金属製側管３とステム５との接合を高周波溶接で達
成することができ、溶接作業中に高熱が発生することが
なく、ステム５と補強板２３とを近づけても、密封容器
２内の電子増倍部７に悪影響を与えることがない。従っ
て、ステム５と補強板２３とを近づけることができる分
だけ、側管３を短くすることができ、光電子増倍管１の
コンパクト化を促進させることができる。更に、補強板
２３に熱シールド性をもたせることで、金属製側管３と
ステム５との接合時に発生する熱を、補強板２３で遮断
することができ、電子増倍部７に伝わる熱を効率良く遮
断することができる。

【００２５】次に、最終段ダイノード９について説明す
る。

【００２６】図１１及び図１２に示すように、最終段ダ
イノード９は、上層（第１層）の最終段ダイノード９Ａ
と下層（第２層）の最終段ダイノード９Ｂとの２層から
なり、セラミック製の円筒形スペーサ１４により離間さ
せられている（図１参照）。上層の最終段ダイノード９
Ａは、図１３に示すように、収束メッシュ電極１１とほ
ぼ同じ大きさの直径で厚み０．３ｍｍ程度のリング状縁
部９Ａａを有し、この縁部９Ａａには、８個の位置決め
用耳部９Ａｂが等間隔に形成されている。更に、縁部９
Ａａ内には、断面矩形で棒状の平行メッシュ３０が等間
隔に張られている。また、上層の最終段ダイノード９Ａ
は薄くて大きなリング体をなしているので、捩れや撓み
に弱く、変形を起こし易い構造になっている。そこで、
最終段ダイノード９Ａに４本の補強バー９Ａｄを設け、
各補強バー９Ａｄは、縁部９Ａａの内側において、平行
メッシュ３０に対して直交する方向に等間隔で張られて
いる。

【００２７】同様に、下層の最終段ダイノード９Ｂは、
上層の最終段ダイノード９Ａと同じ形状を有すると共
に、縁部９Ｂａ，位置決め用耳部９Ｂｂ，平行メッシュ
３１及び補強バー９Ｂｄを有している。

【００２８】そこで、図１１及び図１２に示すように、
上側に位置する平行メッシュ３０の上面には、アノード
１０に向けて２次電子を反射させる電子反射面３０ａが
形成され、平行メッシュ３０間には２次電子及びアルカ
リ金属蒸気を通過させるためのアルカリ金属蒸気通過孔
３０ｂが形成されている。同様に、下側に位置する平行
メッシュ３１の上面には、アノード１０に向けて２次電
子を反射させる電子反射面３１ａが形成され、平行メッ
シュ３１間にはアルカリ金属蒸気を通過させるためのア
ルカリ金属蒸気通過孔３１ｂが形成されている。そし
て、上層の最終段ダイノード９Ａのアルカリ金属蒸気通
過孔３０ｂと、下層の最終段ダイノード９Ｂの電子反射
面３１ａとを対峙させる。

【００２９】また、上層の最終段ダイノード９Ａに形成
された隣接する電子反射面３０ａ間のピッチと、下層の
最終段ダイノード９Ｂに形成された隣接する電子反射面
３１ａ間のピッチとは同一になっており、しかも、電子
反射面３０ａ，３１ａの幅Ｗに対して、アルカリ金属蒸
気通過孔３０ｂ，３１ｂの幅Ｚを僅かに小さくしてい
る。従って、上層の最終段ダイノード９Ａに対して下層
の最終段ダイノード９Ｂを半ピッチ分ずらすことで、電
子増倍部７のダイノード８で増倍された２次電子を漏ら
すことなく、アノード１０に向けて反射させることがで
きる。

【００３０】更に、上層の最終段ダイノード９Ａと下層
の最終段ダイノード９Ｂとをスペーサ１４で離間させる
ことで、アルカリ金属蒸気通過孔３０ｂと３１ｂとが塞
がれることがなく連通し、均一なアルカリ金属蒸気流通
孔が形成されることになる。その結果、補強板２３の第
１及び第２のアルカリ金属蒸気分散孔２４ａ，２４ｂか
ら噴出するアルカリ金属蒸気を１１段のダイノード８に
向けて均一に送り込むことができる。

【００３１】なお、下層の最終段ダイノード９Ｂの電子
反射面３１ａは、上層の最終段ダイノード９Ａのアルカ
リ金属蒸気通過孔３０ｂを通過する電子を捕捉する幅Ｚ
を少なくとも有していればよく、上層の最終段ダイノー
ド９Ａに形成された隣接する電子反射面３０ａ間のピッ
チと、下層の最終段ダイノード９Ｂに形成された隣接す
る電子反射面３１ａ間のピッチとは必ずしも一致する必
要はない。更に、平行メッシュ３０及び３１の断面形状
は、台形でも三角形でもよいが、電子反射面３０ａ，３
１ａがアノード１０に対して平行になるように配置され
ることが必要である。

【００３２】

【発明の効果】本発明による光電子増倍管は、以上のよ
うに構成されているため、次のような効果を得る。すな
わち、最終段ダイノードを２層で形成し、第１層の最終
段ダイノードに形成されたそれぞれのアルカリ金属蒸気
通過孔と、第２層の最終段ダイノードに形成されたそれ
ぞれの電子反射面とを対峙させ、第２層の最終段ダイノ
ードの電子反射面は、第１層の最終段ダイノードのアル
カリ金属蒸気通過孔を通過する電子を捕捉する大きさを
少なくとも有し、第１層の最終段ダイノードに形成され
たアルカリ金属蒸気通過孔と第２層の最終段ダイノード
に形成されたアルカリ金属蒸気通過孔とを連通させるこ
とにより、出力信号量を落とさず陽極のユニフォミティ
を良好にすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る光電子増倍管の一実施例を示す断
面図である。

【図２】３枚一組のダイノードを示す斜視図である。

【図３】収束メッシュ電極を示す平面図である。

【図４】コースメッシュ電極を示す平面図である。

【図５】スペーサ電極を示す平面図である。

【図６】収束メッシュ電極に２次電子放出部を形成する
ためのマスク体を示す斜視図である。

【図７】収束メッシュ電極に２次電子放出部を形成して
ない状態で実験した際のアノード出力図である。

【図８】収束メッシュ電極に２次電子放出部を形成した
状態で実験した際のアノード出力図である。

【図９】補強板を示す斜視図である。

【図１０】補強板を示す平面図である。

【図１１】２層からなる最終段ダイノードを示す斜視図
である。

【図１２】２層からなる最終段ダイノードを示す断面図
である。

【図１３】最終段ダイノードの平面図である。

【符号の説明】

１…光電子増倍管、２…密封容器、７…電子増倍部、８
…ダイノード、９…最終段ダイノード、１０…アノード
（陽極）、９Ａ…第１層（上層）の最終段ダイノード、
９Ｂ…第２層（下層）の最終段ダイノード、３０ａ，３
１ａ…電子反射面、３０ｂ，３１ｂ…アルカリ金属蒸気
通過孔。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 密封容器内で複数段に積層された電子増
   倍部のダイノードにより増倍させた電子を、最終段ダイ
   ノードで反射させた後、出力信号として陽極で収集する
   光電子増倍管において、 前記最終段ダイノードを２層で形成し、第１層の前記最
   終段ダイノードに形成されたそれぞれのアルカリ金属蒸
   気通過孔と、第２層の前記最終段ダイノードに形成され
   たそれぞれの電子反射面とを対峙させ、前記第２層の最
   終段ダイノードの前記電子反射面は、前記第１層の最終
   段ダイノードの前記アルカリ金属蒸気通過孔を通過する
   電子を捕捉する大きさを少なくとも有し、前記第１層の
   最終段ダイノードに形成された前記アルカリ金属蒸気通
   過孔と前記第２層の最終段ダイノードに形成されたアル
   カリ金属蒸気通過孔とを連通させたことを特徴とする光
   電子増倍管。
2. 【請求項２】 前記第１層の最終段ダイノードに形成さ
   れた隣接する電子反射面間のピッチと、前記第２層の最
   終段ダイノードに形成された隣接する前記電子反射面間
   のピッチとを同一にし、前記第１層の最終段ダイノード
   に対して前記第２層の最終段ダイノードを半ピッチ分ず
   らしたことを特徴とする請求項１記載の光電子増倍管。