JPH10104176A - アルミニウム板中の非金属介在物検出方法および装置 - Google Patents
アルミニウム板中の非金属介在物検出方法および装置Info
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- JPH10104176A JPH10104176A JP8259554A JP25955496A JPH10104176A JP H10104176 A JPH10104176 A JP H10104176A JP 8259554 A JP8259554 A JP 8259554A JP 25955496 A JP25955496 A JP 25955496A JP H10104176 A JPH10104176 A JP H10104176A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 アルミニウム板中の非金属介在物を容易に検
出することのできるアルミニウム板中の非金属介在物検
出方法および装置の提供。 【解決手段】 Ｘ線管球７は波長０．３Å〜２．５Åで
焦点の大きさが２５μｍ〜１００μｍ角の軟Ｘ線をアル
ミニウム板１に照射し、試料台３は上記Ｘ線の照射中に
アルミニウム板１を移動させる。すると、ビジコンカメ
ラ１１が、Ｘ線管球７より照射されたＸ線の透過Ｘ線像
を、上記移動中の残像を反映させながら撮像し、画像処
理装置１３が、ビジコンカメラ１１にて撮像された透過
Ｘ線像を画像処理し、アルミニウム板１中の非金属介在
物を検出する。上記波長および焦点を有するＸ線を使用
することにより非金属介在物の像が明瞭になり、移動中
の残像を撮像することにより小さな非金属介在物も容易
に検出することができる。
出することのできるアルミニウム板中の非金属介在物検
出方法および装置の提供。 【解決手段】 Ｘ線管球７は波長０．３Å〜２．５Åで
焦点の大きさが２５μｍ〜１００μｍ角の軟Ｘ線をアル
ミニウム板１に照射し、試料台３は上記Ｘ線の照射中に
アルミニウム板１を移動させる。すると、ビジコンカメ
ラ１１が、Ｘ線管球７より照射されたＸ線の透過Ｘ線像
を、上記移動中の残像を反映させながら撮像し、画像処
理装置１３が、ビジコンカメラ１１にて撮像された透過
Ｘ線像を画像処理し、アルミニウム板１中の非金属介在
物を検出する。上記波長および焦点を有するＸ線を使用
することにより非金属介在物の像が明瞭になり、移動中
の残像を撮像することにより小さな非金属介在物も容易
に検出することができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、アルミニウム板中
の非金属介在物を検出するための非金属介在物検出方
法、および、その方法を実施するための非金属介在物検
出装置に関する。
の非金属介在物を検出するための非金属介在物検出方
法、および、その方法を実施するための非金属介在物検
出装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】アルミニウム板では、リサイクルの促進
に伴って酸化物系などの非金属介在物が原料に多く混入
し、製品にも混入する確率が増加することが考えられ
る。そこで、アルミニウム板中の非金属介在物を検出す
る方法が種々検討されている。
に伴って酸化物系などの非金属介在物が原料に多く混入
し、製品にも混入する確率が増加することが考えられ
る。そこで、アルミニウム板中の非金属介在物を検出す
る方法が種々検討されている。
【０００３】鋼板の分野では、軟Ｘ線を鋼板に照射して
その透過Ｘ線像に基づいて非金属介在物（例えば、Ｍｇ
Ｏ，Ａｌ2Ｏ3，ＳｉＯ2 ，ＣａＯ等）を検出している。
Ｘ線のエネルギが１００ｋｅＶのとき、鋼板の吸収係数
は約４／cmであり、非金属介在物の吸収係数は約０．４
／cmである。このため、透過Ｘ線像には非金属介在物の
像が比較的鮮明に現れ、その非金属介在物を容易に検出
することができる。
その透過Ｘ線像に基づいて非金属介在物（例えば、Ｍｇ
Ｏ，Ａｌ2Ｏ3，ＳｉＯ2 ，ＣａＯ等）を検出している。
Ｘ線のエネルギが１００ｋｅＶのとき、鋼板の吸収係数
は約４／cmであり、非金属介在物の吸収係数は約０．４
／cmである。このため、透過Ｘ線像には非金属介在物の
像が比較的鮮明に現れ、その非金属介在物を容易に検出
することができる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記条件に
おけるアルミニウム板の吸収係数は約０．５／cmであ
り、非金属介在物の吸収係数にきわめて近い。このた
め、鋼板と同様に透過Ｘ線像を撮像しても、非金属介在
物を容易に検出することができない。従って、アルミニ
ウム板中の非金属介在物を検出する有効な方法は未だ考
えられていなかった。
おけるアルミニウム板の吸収係数は約０．５／cmであ
り、非金属介在物の吸収係数にきわめて近い。このた
め、鋼板と同様に透過Ｘ線像を撮像しても、非金属介在
物を容易に検出することができない。従って、アルミニ
ウム板中の非金属介在物を検出する有効な方法は未だ考
えられていなかった。
【０００５】そこで、請求項１記載の発明は、アルミニ
ウム板中の非金属介在物を容易に検出することのできる
アルミニウム板中の非金属介在物検出方法を提供するこ
とを目的としてなされた。また、請求項２記載の発明
は、非金属介在物を一層容易に検出することのできるア
ルミニウム板中の非金属介在物検出方法を、請求項３記
載の発明はその方法実施するための装置を、それぞれ提
供することを目的としてなされた。
ウム板中の非金属介在物を容易に検出することのできる
アルミニウム板中の非金属介在物検出方法を提供するこ
とを目的としてなされた。また、請求項２記載の発明
は、非金属介在物を一層容易に検出することのできるア
ルミニウム板中の非金属介在物検出方法を、請求項３記
載の発明はその方法実施するための装置を、それぞれ提
供することを目的としてなされた。
【０００６】
【課題を解決するための手段および発明の効果】上記目
的を達するためになされた請求項１記載の発明は、波長
０．３Å〜２．５Åで焦点の大きさが１００μｍ角また
は直径１００μｍの円以下の軟Ｘ線をアルミニウム板に
照射し、該照射されたＸ線の透過Ｘ線像を撮像し、該撮
像された透過Ｘ線像に基づき上記アルミニウム板中の非
金属介在物を検出することを特徴とするアルミニウム板
中の非金属介在物検出方法を要旨とする。
的を達するためになされた請求項１記載の発明は、波長
０．３Å〜２．５Åで焦点の大きさが１００μｍ角また
は直径１００μｍの円以下の軟Ｘ線をアルミニウム板に
照射し、該照射されたＸ線の透過Ｘ線像を撮像し、該撮
像された透過Ｘ線像に基づき上記アルミニウム板中の非
金属介在物を検出することを特徴とするアルミニウム板
中の非金属介在物検出方法を要旨とする。
【０００７】このように構成された本発明では、波長
０．３Å〜２．５Åで焦点の大きさが１００μｍ角また
は直径１００μｍの円以下の軟Ｘ線をアルミニウム板に
照射している。ここで、Ｘ線の波長が０．３Å未満であ
ると、アルミニウム板と非金属介在物とのＸ線吸収差が
小さくなり非金属介在物の検出が困難になる。また、Ｘ
線の波長が２．５Åを超えると、アルミニウム板を透過
するＸ線に充分な強度が得られず、この場合も非金属介
在物の検出が困難になる。一方、焦点は、小さければ小
さいほど非金属介在物の像が鮮明になり、その検出が容
易となるが、その大きさを１００μｍ角または直径１０
０μｍの円以下とすることにより、アルミニウム板中の
非金属介在物をほぼ充分に検出することができる。
０．３Å〜２．５Åで焦点の大きさが１００μｍ角また
は直径１００μｍの円以下の軟Ｘ線をアルミニウム板に
照射している。ここで、Ｘ線の波長が０．３Å未満であ
ると、アルミニウム板と非金属介在物とのＸ線吸収差が
小さくなり非金属介在物の検出が困難になる。また、Ｘ
線の波長が２．５Åを超えると、アルミニウム板を透過
するＸ線に充分な強度が得られず、この場合も非金属介
在物の検出が困難になる。一方、焦点は、小さければ小
さいほど非金属介在物の像が鮮明になり、その検出が容
易となるが、その大きさを１００μｍ角または直径１０
０μｍの円以下とすることにより、アルミニウム板中の
非金属介在物をほぼ充分に検出することができる。
【０００８】このように、本発明では、波長０．３Å〜
２．５Åで焦点の大きさが１００μｍ以下の軟Ｘ線をア
ルミニウム板に照射し、その透過Ｘ線像を撮像している
ので、アルミニウム板中の非金属介在物を容易に検出す
ることができる。なお、Ｘ線の焦点の大きさは、前述の
ように小さければ小さいほど検出が容易になるが、現時
点におけるＸ線管球等の製造技術、製造コスト、出力、
および耐久性を考慮すると、２５μｍ〜１００μｍ角ま
たは直径２５μｍ〜１００μｍの円とするのが望まし
い。
２．５Åで焦点の大きさが１００μｍ以下の軟Ｘ線をア
ルミニウム板に照射し、その透過Ｘ線像を撮像している
ので、アルミニウム板中の非金属介在物を容易に検出す
ることができる。なお、Ｘ線の焦点の大きさは、前述の
ように小さければ小さいほど検出が容易になるが、現時
点におけるＸ線管球等の製造技術、製造コスト、出力、
および耐久性を考慮すると、２５μｍ〜１００μｍ角ま
たは直径２５μｍ〜１００μｍの円とするのが望まし
い。
【０００９】請求項２記載の発明は、請求項１記載の構
成に加え、上記アルミニウム板を移動させながら上記Ｘ
線の照射を行い、上記透過Ｘ線像として、上記移動中の
残像を反映した透過Ｘ線像を撮像することを特徴とす
る。
成に加え、上記アルミニウム板を移動させながら上記Ｘ
線の照射を行い、上記透過Ｘ線像として、上記移動中の
残像を反映した透過Ｘ線像を撮像することを特徴とす
る。
【００１０】このように構成された本発明では、アルミ
ニウム板を移動させながらＸ線を照射して、移動中の残
像を反映した透過Ｘ線像を撮像しているので、非金属介
在物の像がアルミニウム板の移動方向に引き伸ばされて
写る。このため、小さな非金属介在物の像も上記移動方
向に引き伸ばされ、その非金属介在物を容易に検出する
ことができる。従って、本発明では、請求項１記載の効
果に加えて、小さな非金属介在物も一層容易に検出する
ことができるといった効果が生じる。
ニウム板を移動させながらＸ線を照射して、移動中の残
像を反映した透過Ｘ線像を撮像しているので、非金属介
在物の像がアルミニウム板の移動方向に引き伸ばされて
写る。このため、小さな非金属介在物の像も上記移動方
向に引き伸ばされ、その非金属介在物を容易に検出する
ことができる。従って、本発明では、請求項１記載の効
果に加えて、小さな非金属介在物も一層容易に検出する
ことができるといった効果が生じる。
【００１１】なお、残像を反映した透過Ｘ線像を撮像す
る方法としては、残像現象を有することで知られる光電
導型撮像管を使用してもよく、透過Ｘ線像を画像データ
としてコンピュータのメモリに記憶し、画像処理によっ
て残像を反映させてもよい。請求項３記載の発明は、波
長０．３Å〜２．５Åで焦点の大きさが１００μｍ角ま
たは直径１００μｍの円以下の軟Ｘ線をアルミニウム板
に照射するＸ線照射手段と、上記Ｘ線照射手段より照射
されたＸ線の透過Ｘ線像を撮像する撮像手段と、上記Ｘ
線の照射中に、上記アルミニウム板を上記Ｘ線照射手段
および上記撮像手段に対して相対的に移動させる移動手
段と、該撮像手段にて撮像された透過Ｘ線像を画像処理
し、上記アルミニウム板中の非金属介在物を検出する画
像処理手段と、を備え、上記撮像手段が、上記移動中の
残像を反映させながら上記透過Ｘ線像を撮像するたこと
を特徴とするアルミニウム板中の非金属介在物検出装置
を要旨とする。
る方法としては、残像現象を有することで知られる光電
導型撮像管を使用してもよく、透過Ｘ線像を画像データ
としてコンピュータのメモリに記憶し、画像処理によっ
て残像を反映させてもよい。請求項３記載の発明は、波
長０．３Å〜２．５Åで焦点の大きさが１００μｍ角ま
たは直径１００μｍの円以下の軟Ｘ線をアルミニウム板
に照射するＸ線照射手段と、上記Ｘ線照射手段より照射
されたＸ線の透過Ｘ線像を撮像する撮像手段と、上記Ｘ
線の照射中に、上記アルミニウム板を上記Ｘ線照射手段
および上記撮像手段に対して相対的に移動させる移動手
段と、該撮像手段にて撮像された透過Ｘ線像を画像処理
し、上記アルミニウム板中の非金属介在物を検出する画
像処理手段と、を備え、上記撮像手段が、上記移動中の
残像を反映させながら上記透過Ｘ線像を撮像するたこと
を特徴とするアルミニウム板中の非金属介在物検出装置
を要旨とする。
【００１２】このように構成された本発明では、Ｘ線照
射手段は波長０．３Å〜２．５Åで焦点の大きさが１０
０μｍ角または直径１００μｍの円以下の軟Ｘ線をアル
ミニウム板に照射し、移動手段は上記Ｘ線の照射中に上
記アルミニウム板を、Ｘ線照射手段および撮像手段に対
して相対的に移動させる。すると、撮像手段が、上記Ｘ
線照射手段より照射されたＸ線の透過Ｘ線像を、上記移
動中の残像を反映させながら撮像し、画像処理手段が、
該撮像手段にて撮像された透過Ｘ線像を画像処理し、上
記アルミニウム板中の非金属介在物を検出する。
射手段は波長０．３Å〜２．５Åで焦点の大きさが１０
０μｍ角または直径１００μｍの円以下の軟Ｘ線をアル
ミニウム板に照射し、移動手段は上記Ｘ線の照射中に上
記アルミニウム板を、Ｘ線照射手段および撮像手段に対
して相対的に移動させる。すると、撮像手段が、上記Ｘ
線照射手段より照射されたＸ線の透過Ｘ線像を、上記移
動中の残像を反映させながら撮像し、画像処理手段が、
該撮像手段にて撮像された透過Ｘ線像を画像処理し、上
記アルミニウム板中の非金属介在物を検出する。
【００１３】このため、本発明では、請求項２に記載し
たアルミニウム板中の非金属介在物検出方法を、自動的
に実施することができる。従って、小さな非金属介在物
もきわめて容易に検出することができる。
たアルミニウム板中の非金属介在物検出方法を、自動的
に実施することができる。従って、小さな非金属介在物
もきわめて容易に検出することができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態を図面
と共に説明する。図１は、本発明が適用された非金属介
在物検出装置を表す概略構成図である。図１に示すよう
に、本検出装置は、アルミニウム板１を水平に載置可能
な試料台３を備えている。試料台３は、図示しない周知
の構成によって、アルミニウム板１と一体に移動可能に
設けられている。すなわち、試料台３は移動手段に相当
する。また、試料台３は、水平な２軸方向（Ｘ，Ｙ方
向）への移動のみならず、円方向や上下方向（Ｚ方向）
へも移動可能に構成されている。
と共に説明する。図１は、本発明が適用された非金属介
在物検出装置を表す概略構成図である。図１に示すよう
に、本検出装置は、アルミニウム板１を水平に載置可能
な試料台３を備えている。試料台３は、図示しない周知
の構成によって、アルミニウム板１と一体に移動可能に
設けられている。すなわち、試料台３は移動手段に相当
する。また、試料台３は、水平な２軸方向（Ｘ，Ｙ方
向）への移動のみならず、円方向や上下方向（Ｚ方向）
へも移動可能に構成されている。
【００１５】試料台３の上方には、Ｘ線照射手段として
のＸ線管球７が設けられている。Ｘ線管球７は、フィラ
メント７ａが発生した電子線をターゲット７ｂに照射し
てＸ線を発生する周知の管球で、波長０．３Å〜２．５
Åの軟Ｘ線を発生する。また、Ｘ線管球７では、ターゲ
ット７ｂを構成するＷ（タングステン）膜を薄くし、か
つ管球窓のＢｅ膜を１０〜数十μｍと薄くする、フィラ
メント７ａから照射される電子線をシャープにする、直
下に絞り９を設ける、等の周知の焦点縮小技術（いわゆ
るマイクロフォーカス化の技術）により、焦点の大きさ
を２５μｍ〜１００μｍ角または直径２５μｍ〜１００
μｍの円としている。なお、フィラメント７ａに通電す
る管電流は５ｍＡ〜１５ｍＡが望ましい。
のＸ線管球７が設けられている。Ｘ線管球７は、フィラ
メント７ａが発生した電子線をターゲット７ｂに照射し
てＸ線を発生する周知の管球で、波長０．３Å〜２．５
Åの軟Ｘ線を発生する。また、Ｘ線管球７では、ターゲ
ット７ｂを構成するＷ（タングステン）膜を薄くし、か
つ管球窓のＢｅ膜を１０〜数十μｍと薄くする、フィラ
メント７ａから照射される電子線をシャープにする、直
下に絞り９を設ける、等の周知の焦点縮小技術（いわゆ
るマイクロフォーカス化の技術）により、焦点の大きさ
を２５μｍ〜１００μｍ角または直径２５μｍ〜１００
μｍの円としている。なお、フィラメント７ａに通電す
る管電流は５ｍＡ〜１５ｍＡが望ましい。
【００１６】試料台３の下方には、Ｘ線管球７より照射
され、アルミニウム板１を透過したＸ線の透過Ｘ線像を
撮像する撮像手段としてのビジコンカメラ１１が設けら
れている。ビジコンカメラ１１は、光電導ターゲットの
電荷蓄積効果を利用した周知の光導電型撮像管であり、
光電導管型撮像管の特徴である残像現象が発生する。こ
のため、試料台３を移動させながら透過Ｘ線像を撮像す
ると、その透過Ｘ線像には移動中の残像が反映される。
され、アルミニウム板１を透過したＸ線の透過Ｘ線像を
撮像する撮像手段としてのビジコンカメラ１１が設けら
れている。ビジコンカメラ１１は、光電導ターゲットの
電荷蓄積効果を利用した周知の光導電型撮像管であり、
光電導管型撮像管の特徴である残像現象が発生する。こ
のため、試料台３を移動させながら透過Ｘ線像を撮像す
ると、その透過Ｘ線像には移動中の残像が反映される。
【００１７】ビジコンカメラ１１が撮像した透過Ｘ線像
は、画像データとして画像処理装置１３に送られる。画
像処理装置１３には、試料台３の移動機構、メモリ１
５、およびテレビモニタ１７が接続されている。この画
像処理装置１３は、周知のコンピュータによって構成さ
れ、次のような処理を実行する。
は、画像データとして画像処理装置１３に送られる。画
像処理装置１３には、試料台３の移動機構、メモリ１
５、およびテレビモニタ１７が接続されている。この画
像処理装置１３は、周知のコンピュータによって構成さ
れ、次のような処理を実行する。
【００１８】．試料台３を移動させながらその移動状
態をメモリ１５に記憶する。．ビジコンカメラ１１が
撮像した透過Ｘ線像の画像データを、数画素について重
み付けをして中心画素のデータとするいわゆる空間論理
演算を行う。．空間論理演算後の画像データを２値化
し、テレビモニタ１７に表示する。．２値化後の画像
に基づき非金属介在物を検出し、メモリ１５に記憶され
た試料台３の移動状態に基づきその非金属介在物の位置
を検出する。．で検出された非金属介在物が小さい
場合は、試料台３を上方へ移動させて透過Ｘ線像を拡大
し、より精密な検出を行う。このため、一つのＸ線管球
７で広範囲を検査できる。
態をメモリ１５に記憶する。．ビジコンカメラ１１が
撮像した透過Ｘ線像の画像データを、数画素について重
み付けをして中心画素のデータとするいわゆる空間論理
演算を行う。．空間論理演算後の画像データを２値化
し、テレビモニタ１７に表示する。．２値化後の画像
に基づき非金属介在物を検出し、メモリ１５に記憶され
た試料台３の移動状態に基づきその非金属介在物の位置
を検出する。．で検出された非金属介在物が小さい
場合は、試料台３を上方へ移動させて透過Ｘ線像を拡大
し、より精密な検出を行う。このため、一つのＸ線管球
７で広範囲を検査できる。
【００１９】なお、上記，の処理は省略してもよ
い。また、テレビモニタ１７にはビジコンカメラ１１が
撮像した透過Ｘ線像をそのまま表示してもよい。更に、
画像処理装置１３等のコンピュータに上記処理を実行さ
せるためのプログラムは、ＣＤ−ＲＯＭ，フロッピディ
スク等の記憶媒体に記憶されてもよい。
い。また、テレビモニタ１７にはビジコンカメラ１１が
撮像した透過Ｘ線像をそのまま表示してもよい。更に、
画像処理装置１３等のコンピュータに上記処理を実行さ
せるためのプログラムは、ＣＤ−ＲＯＭ，フロッピディ
スク等の記憶媒体に記憶されてもよい。
【００２０】このように構成された本検出装置では、波
長０．３Å〜２．５Åの軟Ｘ線を使用しているので、ア
ルミニウム板１とその中の非金属介在物とに充分なＸ線
吸収差が生じ、アルミニウム板１を透過するＸ線にも充
分な強度が得られる。また、Ｘ線管球７のマイクロフォ
ーカス化により、その焦点の大きさを１００μｍ角また
は直径１００μｍの円以下としたので、非金属介在物の
像が充分に鮮明になる。
長０．３Å〜２．５Åの軟Ｘ線を使用しているので、ア
ルミニウム板１とその中の非金属介在物とに充分なＸ線
吸収差が生じ、アルミニウム板１を透過するＸ線にも充
分な強度が得られる。また、Ｘ線管球７のマイクロフォ
ーカス化により、その焦点の大きさを１００μｍ角また
は直径１００μｍの円以下としたので、非金属介在物の
像が充分に鮮明になる。
【００２１】ここで、マイクロフォーカス化の効果を図
２に基づいて説明する。（Ａ）に例示するように、非金
属介在物１ａを有するアルミニウム板１に、一点に絞ら
れた焦点ＦからＸ線を照射する場合、ビジコンカメラ１
１の受光面１１ａには、点ａ−ｂ間に真影のみが投影さ
れる。このため、（Ｂ）に例示するように、画像の濃度
にも非金属介在物１ａに応じた濃度差が鮮明に現れる。
２に基づいて説明する。（Ａ）に例示するように、非金
属介在物１ａを有するアルミニウム板１に、一点に絞ら
れた焦点ＦからＸ線を照射する場合、ビジコンカメラ１
１の受光面１１ａには、点ａ−ｂ間に真影のみが投影さ
れる。このため、（Ｂ）に例示するように、画像の濃度
にも非金属介在物１ａに応じた濃度差が鮮明に現れる。
【００２２】ところが、（Ｃ）に例示するように、焦点
がある程度の幅（Ｆ1 −Ｆ2 ）を有する場合、Ｆ1 から
照射されたＸ線による非金属介在物１ａの影（点ａ1 −
ｂ1間）と、Ｆ2 から照射されたＸ線による非金属介在
物１ａの影（点ａ2 −ｂ2 間）とが一部分（点ａ1 −ｂ
2 間）のみで重なり（真影）、点ａ2 −ａ1 間および点
ｂ2 −ｂ1 間では半影となる。このため、（Ｄ）に例示
するように、非金属介在物１ａの像の周囲で濃度差がな
まされてしまう。そこで、本実施の形態では、前述のよ
うにマイクロフォーカス化を行って像を鮮明にしてい
る。なお、焦点の大きさは小さければ小さいほど像が鮮
明になるが、現時点におけるＸ線管球７等の製造技術、
製造コスト、出力、および耐久性を考慮すると、２５μ
ｍ〜１００μｍ角または直径２５μｍ〜１００μｍの円
とするのが望ましい。
がある程度の幅（Ｆ1 −Ｆ2 ）を有する場合、Ｆ1 から
照射されたＸ線による非金属介在物１ａの影（点ａ1 −
ｂ1間）と、Ｆ2 から照射されたＸ線による非金属介在
物１ａの影（点ａ2 −ｂ2 間）とが一部分（点ａ1 −ｂ
2 間）のみで重なり（真影）、点ａ2 −ａ1 間および点
ｂ2 −ｂ1 間では半影となる。このため、（Ｄ）に例示
するように、非金属介在物１ａの像の周囲で濃度差がな
まされてしまう。そこで、本実施の形態では、前述のよ
うにマイクロフォーカス化を行って像を鮮明にしてい
る。なお、焦点の大きさは小さければ小さいほど像が鮮
明になるが、現時点におけるＸ線管球７等の製造技術、
製造コスト、出力、および耐久性を考慮すると、２５μ
ｍ〜１００μｍ角または直径２５μｍ〜１００μｍの円
とするのが望ましい。
【００２３】また、本検出装置では、試料台３を静止さ
せて検出を行っても、移動させながら検出を行っても、
いずれの場合も良好に非金属介在物を検出することがで
きた。但し、試料台３を移動させながら検出を行った場
合、非金属介在物の像がアルミニウム板１の移動方向に
引き伸ばされて写る。この様子を図３に基づいて説明す
る。
せて検出を行っても、移動させながら検出を行っても、
いずれの場合も良好に非金属介在物を検出することがで
きた。但し、試料台３を移動させながら検出を行った場
合、非金属介在物の像がアルミニウム板１の移動方向に
引き伸ばされて写る。この様子を図３に基づいて説明す
る。
【００２４】図３は、ＥＰＭＡ（エレクトロン・プロー
ブ・マイクロ・アナライザ）やＳＥＭ（いわゆる電子顕
微鏡写真）によって予め確認した位置に、本検出装置が
検出した非金属介在物の像であり、（Ａ）は試料台３を
移動させながら検出を行った場合を、（Ｂ）は試料台を
静止させて検出を行った場合を、それぞれ表している。
図３に例示するように、いずれの場合も良好に非金属介
在物を検出することができたが、試料台３を移動させな
がら検出を行った場合、図３（Ａ）に示すように像が移
動方向に引き伸ばされ、小さな非金属介在物も一層容易
に検出することができた。
ブ・マイクロ・アナライザ）やＳＥＭ（いわゆる電子顕
微鏡写真）によって予め確認した位置に、本検出装置が
検出した非金属介在物の像であり、（Ａ）は試料台３を
移動させながら検出を行った場合を、（Ｂ）は試料台を
静止させて検出を行った場合を、それぞれ表している。
図３に例示するように、いずれの場合も良好に非金属介
在物を検出することができたが、試料台３を移動させな
がら検出を行った場合、図３（Ａ）に示すように像が移
動方向に引き伸ばされ、小さな非金属介在物も一層容易
に検出することができた。
【００２５】なお、本発明は上記実施の形態になんら限
定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲
で種々の形態で実施することができる。例えば、上記実
施の形態では、ビジコンカメラ１１の残像現象を利用し
て移動中の残像を反映した透過Ｘ線像を撮影している
が、画像処理装置１３の処理によって残像を反映させて
もよい。例えば、随時送られる画像データをメモリ１５
に記憶し、周知の画像処理によって残像を反映させても
よい。この場合、光電導型撮像管以外の撮像手段を適用
することができる。但し、ビジコンカメラ１１等の光電
導型撮像管を使用した場合、前述のように、特別な処理
を行わなくても残像を反映した透過Ｘ線像を撮像するこ
とができる。従って、装置の構成および処理が一層簡略
化される。
定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲
で種々の形態で実施することができる。例えば、上記実
施の形態では、ビジコンカメラ１１の残像現象を利用し
て移動中の残像を反映した透過Ｘ線像を撮影している
が、画像処理装置１３の処理によって残像を反映させて
もよい。例えば、随時送られる画像データをメモリ１５
に記憶し、周知の画像処理によって残像を反映させても
よい。この場合、光電導型撮像管以外の撮像手段を適用
することができる。但し、ビジコンカメラ１１等の光電
導型撮像管を使用した場合、前述のように、特別な処理
を行わなくても残像を反映した透過Ｘ線像を撮像するこ
とができる。従って、装置の構成および処理が一層簡略
化される。
【００２６】また、試料台３を移動させる代わりに、ア
ルミニウム板１は固定しておき、Ｘ線管球７およびビジ
コンカメラ１１を移動させてもよい。この場合も同様の
作用・効果が生じる。更に、このように、被検体を相対
移動させながら、その移動中の残像を反映した透過Ｘ線
像を撮像して非金属介在物を検出する方法は、本発明以
外にも、例えば鋼板等、一般の金属板の非金属介在物検
出方法にも適用することができる。この場合も、本発明
と同様の効果、すなわち、非金属介在物の像を移動方向
に引き延ばし、小さな非金属介在物が容易に検出できる
といった効果が期待される。
ルミニウム板１は固定しておき、Ｘ線管球７およびビジ
コンカメラ１１を移動させてもよい。この場合も同様の
作用・効果が生じる。更に、このように、被検体を相対
移動させながら、その移動中の残像を反映した透過Ｘ線
像を撮像して非金属介在物を検出する方法は、本発明以
外にも、例えば鋼板等、一般の金属板の非金属介在物検
出方法にも適用することができる。この場合も、本発明
と同様の効果、すなわち、非金属介在物の像を移動方向
に引き延ばし、小さな非金属介在物が容易に検出できる
といった効果が期待される。
【図１】本発明が適用された非金属介在物検出装置を表
す概略構成図である。
す概略構成図である。
【図２】マイクロフォーカス化の効果を表す説明図であ
る。
る。
【図３】本発明による非金属介在物の透過Ｘ線像を例示
する説明図である。
する説明図である。
１…アルミニウム板 ３…試料台 ７…
Ｘ線管球 １１…ビジコンカメラ １３…画像処理装置 １５
…メモリ １７…テレビモニタ
Ｘ線管球 １１…ビジコンカメラ １３…画像処理装置 １５
…メモリ １７…テレビモニタ
Claims (3)
- 【請求項１】 波長０．３Å〜２．５Åで焦点の大きさ
が１００μｍ角または直径１００μｍの円以下の軟Ｘ線
をアルミニウム板に照射し、 該照射されたＸ線の透過Ｘ線像を撮像し、 該撮像された透過Ｘ線像に基づき上記アルミニウム板中
の非金属介在物を検出することを特徴とするアルミニウ
ム板中の非金属介在物検出方法。 - 【請求項２】 上記アルミニウム板を移動させながら上
記Ｘ線の照射を行い、上記透過Ｘ線像として、上記移動
中の残像を反映した透過Ｘ線像を撮像することを特徴と
する請求項１記載のアルミニウム板中の非金属介在物検
出方法。 - 【請求項３】 波長０．３Å〜２．５Åで焦点の大きさ
が１００μｍ角または直径１００μｍの円以下の軟Ｘ線
をアルミニウム板に照射するＸ線照射手段と、 上記Ｘ線照射手段より照射されたＸ線の透過Ｘ線像を撮
像する撮像手段と、 上記Ｘ線の照射中に、上記アルミニウム板を上記Ｘ線照
射手段および上記撮像手段に対して相対的に移動させる
移動手段と、 該撮像手段にて撮像された透過Ｘ線像を画像処理し、上
記アルミニウム板中の非金属介在物を検出する画像処理
手段と、 を備え、上記撮像手段が、上記移動中の残像を反映させ
ながら上記透過Ｘ線像を撮像するたことを特徴とするア
ルミニウム板中の非金属介在物検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25955496A JP3754767B2 (ja) | 1996-09-30 | 1996-09-30 | アルミニウム板中の非金属介在物検出方法および装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25955496A JP3754767B2 (ja) | 1996-09-30 | 1996-09-30 | アルミニウム板中の非金属介在物検出方法および装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10104176A true JPH10104176A (ja) | 1998-04-24 |
| JP3754767B2 JP3754767B2 (ja) | 2006-03-15 |
Family
ID=17335737
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25955496A Expired - Fee Related JP3754767B2 (ja) | 1996-09-30 | 1996-09-30 | アルミニウム板中の非金属介在物検出方法および装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3754767B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001307669A (ja) * | 2000-04-21 | 2001-11-02 | Shimadzu Corp | 軟ｘ線発生装置及びｘ線検査装置 |
| JP2013181811A (ja) * | 2012-03-01 | 2013-09-12 | Kobe Steel Ltd | アルミニウム材内の介在物可視化方法 |
-
1996
- 1996-09-30 JP JP25955496A patent/JP3754767B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001307669A (ja) * | 2000-04-21 | 2001-11-02 | Shimadzu Corp | 軟ｘ線発生装置及びｘ線検査装置 |
| JP2013181811A (ja) * | 2012-03-01 | 2013-09-12 | Kobe Steel Ltd | アルミニウム材内の介在物可視化方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3754767B2 (ja) | 2006-03-15 |
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