JPH10103540A - バルブ封止システム、バルブ封止システムに使用されるチェックバルブ閉鎖要素、及びバルブ封止システムを用いたチェックバルブ - Google Patents

バルブ封止システム、バルブ封止システムに使用されるチェックバルブ閉鎖要素、及びバルブ封止システムを用いたチェックバルブ

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JPH10103540A
JPH10103540A JP9251067A JP25106797A JPH10103540A JP H10103540 A JPH10103540 A JP H10103540A JP 9251067 A JP9251067 A JP 9251067A JP 25106797 A JP25106797 A JP 25106797A JP H10103540 A JPH10103540 A JP H10103540A
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substantially flat
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マシュー・ディー・ミッチュ
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    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K25/00—Details relating to contact between valve members and seats

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  • Check Valves (AREA)
  • Drying Of Solid Materials (AREA)
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 この発明は、製造のためにあまり加工を必要
としない新型かつ改良されたバルブ封止システムを提供
することである。 【解決手段】 平坦な剛性のある面（２０）と接触する
ように適合された平坦な露出面を有する弾性封止手段
（４２）を含むバルブ部材（３８）を有し、かつ平坦な
露出面から延在する円形の隆起した弾性リング部（４
４）を有するような、平坦な剛性のある面（２０）を通
って現れるバルブ本体（１２）を貫いた通路（１４）の
ためのバルブ封止システムであって、平坦な剛性のある
面（２０）に対して圧縮される隆起した弾性リング部
（４４）により、前記バルブ部材（３８）が閉鎖位置に
移動されるときに、平坦な剛性のある面（２０）に対し
弾性封止手段（４２）を封止するために、隆起した弾性
リング部（４４）が平坦な剛性のある面（２０）に対し
て圧縮されるように適合されるバルブ封止システム。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、圧縮空気システム
内に収容するための空気乾燥装置に関する。より詳しく
は、本発明は、圧縮空気システム用の再生乾燥剤脱湿装
置サブアセンブリ内で使用するために理想的な、新型か
つ改良された弾性のバルブ封止システムと、チェックバ
ルブ閉鎖要素と、チェックバルブとに関し、このチェッ
クバルブの弾性シールは、より確実にチェックバルブを
閉鎖するために、堅く平坦な面に当接するように適合さ
れた平坦な面から延在するような突出または隆起したリ
ング部を有する平坦な成型ディスクシールとなってい
る。匹敵する従来技術シールと比較して、この設計は、
加工費と加工時間を著しく減らし、また摩耗したシール
の交換を容易にする。
【０００２】
【従来の技術】空気乾燥システムは、種々の技術分野で
周知であり、また実施されている。このような従来技術
の空気乾燥システムの１つに、米国特許第５４２３１２
９号に開示された単一の塔システムがある。当該特許に
開示されているのは、鉄道列車の制動系のような空気圧
システムに、清浄かつ乾燥した圧縮空気を供給するよう
に設計された単一の塔空気乾燥システムである。この従
来技術システムでは、圧縮空気流が単一の塔内に含まれ
る乾燥剤材料を通過するとき、湿気と、風で運ばれる微
粒子とを圧縮空気流から除去することによって空気乾燥
が達成される。当該特許の図１は、特許になったシステ
ムの断面図を示している。当該特許の図１は、右から左
へ；未浄化の圧縮空気が受容される開口部と；排水だめ
体積と；乾燥剤材料を収容する単一の塔と；チョーク付
き浄化チェックバルブと；浄化体積に接続されたサイド
チャンバと；放出エアフィルター部材と；放出チェック
バルブと；浄化圧縮空気を最終的に空気圧システムに導
くの出力チャンバと；を示している。
【０００３】操作中に、特許を受けた空気乾燥システム
は、圧縮空気内に浮遊した容認できないような高い量の
湿気と他の微粒子を通常含むエアコンプレッサから圧縮
空気の供給を受ける。この未浄化の圧縮空気は、排水だ
め体積の中を通過し、次に上方へ流れ、最終的に乾燥剤
材料に到達する。乾燥剤材料は、圧縮空気が乾燥剤材料
の中にまたそれを通して半径方向に移動するとき、乾燥
剤材料が湿気を吸収しまた種々の微粒子（例えばダス
ト、泥等）を捕捉するという点で、単一の塔空気乾燥シ
ステム内で重要な役割を果たす。湿気と微粒子が空気流
から抽出されると、清浄かつ乾燥された圧縮空気は、乾
燥剤材料の中心から、単一の塔頂部近くに配置された浄
化チェックバルブを通って流れ続ける。次に、この浄化
された圧縮空気は、サイドチャンバを通過し、最終的に
浄化体積に到達する。
【０００４】特許を受けた主題の空気乾燥システムの浄
化体積は、約８１９４立方センチ（５００立方インチ）
の浄化圧縮空気を保持する能力を有する。エアコンプレ
ッサの循環が終了すると、単一の塔システムは、浄化モ
ードで作動する。浄化モードの間、浄化体積内に収容さ
れた浄化加圧空気は、ゆっくりと逆方向に浄化チェック
バルブ内のチョークを通過し、次に乾燥剤材料を通り抜
けて戻る。乾燥空気のこの遅い流れは、乾燥剤材料の中
に既に収集されていた湿気の一部を再吸収する。この乾
燥空気の通過流の中に蒸発した湿気は、最終的にサンプ
体積を通して大気へ放出される。システムを通って戻る
乾燥空気のこのゆるやかな浄化は、乾燥剤材料を完全乾
燥させ、再生させるのに利用される。エアコンプレッサ
が再び循環されるとき、単一の塔システムは、乾燥モー
ドで作動する。乾燥モードの間、乾燥剤材料は、それを
通過する未浄化の圧縮空気流から再び湿気を取り除く。
【０００５】さらに最近、乾燥剤を含む一対の塔を設
け、各塔が乾燥モード作動と、リサイクルモード作動と
の間で相前後して交替するような二重の塔システムが提
案されまた開発されている。このユニークなシステムで
は、乾燥剤材料によって蓄積された湿気を乾燥剤材料か
ら追い出すために、未浄化空気源を循環終了させる必要
がなく、これによって、コンプレッサのスイッチを切る
一方で、清浄かつ乾燥した圧縮空気の安定供給を行う空
気圧システムの一時的停止を回避でき、またさらに、水
除去機能も制限されることがない。
【０００６】単一の塔または二重の塔を利用するか否か
にかかわらず、乾燥剤を含む１つの塔または複数の塔を
通して空気流を調整するために利用されるチェックバル
ブは、バルブに関してむしろ複雑であり、通常かなりの
圧縮圧力のもとにある空気流の確実な制御を確保するた
めに、むしろ厳格な寸法で製造される。通常、当接した
バルブ表面は、慎重に加工されたリング状の金属突出部
または隆起リング部を設けるために加工され、この突出
部またはリング部は、バルブを閉鎖するために、平坦な
ゴム性のまたは弾性のある封止面の中に圧入される。し
たがって、操作中に平坦な弾性封止部材に当接かつ圧入
されるような堅い金属製の隆起リング面または突出部を
達成するために、慎重で高価な加工法が要求される。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】従って、本発明の第１
の目的は、堅い平坦な面に対して確実な封止を行うため
に隆起したリング突出部を有する、単なる成型によって
製造できる平坦な弾性シールを設け、製造のためにあま
り加工を必要としない新型かつ改良されたバルブ封止シ
ステムを提供することである。
【０００８】本発明の他の目的は、堅い平坦な面に対し
て確実な封止を行うために隆起したリング突出部を有す
る、単なる成型によって製造できる平坦な弾性シールを
備えた閉鎖要素をチェックバルブが備えるような、単一
または１対の塔空気乾燥装置用の新型かつ改良されたチ
ェックバルブを提供することである。
【０００９】本発明のさらに他の目的は、上述のチェッ
クバルブに使用するための新型かつ改良されたチェック
バルブ閉鎖要素を提供することである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明は、弾性リングが
平坦な金属製のまたは堅い剛性のバルブ本体表面に対し
て封止するように造られることにより、加工の必要がな
くなりかつ簡単になるだけではなく、より確実により長
持ちする封止機構を提供するようなバルブ封止システム
の構想と開発に基づく。同一の性質の従来技術のバルブ
シールには、確実な封止を行うために弾性封止部材の滑
らかで平坦な弾性表面の中に圧入されるように適合され
た、隆起したリング部のような隆起部分を含む堅くかつ
剛性のバルブ本体が常に備えられていた。
【００１１】本発明に従って、材料は入れ替えられ、こ
れにより、隆起したリング部のような隆起部分は、平坦
で堅くかつ剛性の面に向かって圧縮されまた変形され
る、弾性のある部材の一部となる。上述のような２つの
封止本体材料を入れ替えることによって、隆起したリン
グ部は、それを堅い金属製の本体の中に加工するのとは
反対に、弾性のある部材の一部として簡単に成型するこ
とにより形成することができる。これによって費用と時
間がかかる加工作業が省略されるだけでなく、従来技術
のシステムで通常見られるような永久圧縮が避けられ、
さらに弾性シールを単に取り替えるだけで容易に交換す
ることができるという点で、より優れたシールが提供さ
れている。
【００１２】最も単純な形態として、本発明のバルブ封
止システムは、通路がほぼ平坦な剛性のある面を通して
現れるような、バルブ本体を通るかかる通路を閉鎖する
ためのシステムを備える。通路を閉鎖するためのバルブ
部材には、通路が現れるほぼ平坦な剛性のある面と接触
するように適合された、ほぼ平坦な露出面を有する弾性
封止手段が備えられている。平坦な弾性封止手段には、
そこから延在する概して円形の隆起した弾性リング部が
備えられており、バルブ部材が閉鎖位置に移動するとき
に、弾性リング部が平坦な剛性のある面に対して圧縮さ
れ、その剛性のある面に対し弾性封止手段を確実に封止
する。
【００１３】より狭義の観点では、本発明は、チェック
バルブ機構の一部として上述のバルブ封止システムを含
む圧縮空気システム内の空気乾燥装置用のチェックバル
ブ閉鎖要素とチェックバルブとを扱っている。基本的
に、チェックバルブは、吸込口と吐出口とがほぼ平坦な
剛性のあるバルブ本体面を通して連結されるように、吸
込口と吐出口とを画するバルブ本体を備え、前記バルブ
本体面は、理想的には環状形状であり、また２つの口の
少なくとも１つの、すなわち吸込口または吐出口の軸に
直交しているのが理想的である。チェックバルブ閉鎖要
素には、平坦な露出面を有する弾性封止手段が備えられ
ている。弾性封止手段の平坦な露出面には、その平坦な
露出面から延在するほぼ円形の隆起した弾性リング部が
備えられ、この結果隆起した弾性リング部は、平坦な剛
性のあるバルブ本体面に対して圧縮され、これによって
平坦な剛性のあるバルブ本体面に対して圧縮される隆起
した弾性リング部により、平坦な剛性のあるバルブ本体
面に対し弾性封止手段をより確実に封止する。封止を行
うべく平坦な剛性のあるバルブ本体面に対してリング部
を圧縮するために、その平坦な剛性のあるバルブ本体面
の中に弾性封止手段を選択的に前進させるための手段が
なければならないことは明白である。
【００１４】上述した本発明の目的及び利点に加えて、
発明の詳細な説明、特に、添付の図目及び請求の目的を
参酌することにより、種々の他の目的や利点が、ガス乾
燥システムに精通する者に容易に明らかになるであろ
う。
【００１５】
【発明の実施の形態】本発明を詳述する前に、発明の理
解を容易にするため、各添付図面で同一の機能を有する
同一の構成要素は、当該各添付図面を通して同一の参照
番号によって示されている。
【００１６】図１と図２には、本発明に基づくバルブ封
止システムを用いたチェックバルブの好適な実施例が示
されており、チェックバルブ１０は、吸込口のある通路
すなわち吸込通路１４と吐出口のある第２通路すなわち
吐出通路１６とを備えたバルブ本体１２を備えており、
吸込通路１４と吐出通路１６とは、バルブチャンバ１８
で交差する。図から分かるように、吸込通路１４は、吸
込通路１４を取り囲むバルブチャンバ１８の基部内の平
坦な剛性のあるバルブ本体面の一部である平坦な剛性の
ある環状面２０を加工することにより形成された円筒状
開口部を通してバルブチャンバ１８内に合流し、一方吐
出通路１６は、バブルチャンバ１８の側面で横方向から
バブルチャンバ１８へ開口している。吸込導管手段（図
示せず）は、吸込通路１４を通して圧縮ガスを収容する
ため、バルブ本体１２の底部に取付け可能となってお
り、また吐出導管手段（図示せず）は、吐出通路１６を
介して圧縮ガスを排出するため、バルブ本体１２の側面
に取付け可能となっている。バルブ制御開口部２２は、
吸込通路１４に直接向かい合ったバルブ本体１２の上側
面を貫いて設けられている。
【００１７】円筒形制御部３０は、この円筒形制御部の
制御シリンダ部３２が吸込通路１４の直接上方で軸方向
に配設されるように、バルブ本体１２の外側頂部面の上
にボルト締めされる。バルブシールとしてのチェックバ
ルブ閉鎖要素３４は、ウェハ形状のバルブ部材３８から
軸方向に延在する円筒状ステム３６を有し、この円筒形
ステム３６が制御シリンダ部３２の下方端部内に嵌め込
まれるようなかたちで、摺動自在に円筒形制御部３０に
取り付けられており、ウェハ形状のバルブ部材３８がバ
ルブチャンバ１８内で、制御シリンダ部３２の下方で直
行方向に吊設されられるようになっている。ウェハ形状
のバルブ部材３８の下部直交面には、前記円筒状ステム
３６と反対側の前記ウェハ形状のバルブ部材３８の下側
に向かって軸方向に配設されたほぼ円形の弾性封止手段
４２を受容する目的で、前記バルブ部材３８の下側面内
に加工された浅い円筒状凹部４０が設けられている。前
記弾性封止手段４２は、浅い円筒状凹部４０内に固定さ
れた硬質ゴムディスクであることが理想的であり、吸込
通路１４を取り囲む平坦な環状面２０に面一に当接する
ように適合される。
【００１８】ピストン形のシリンダチャンバ５０は、円
筒形制御部３０の頂部上にボルト締めされ、この円筒形
制御部３０には、ピストン形シリンダ５２がピストン形
のシリンダチャンバ５０の内部で往復運動可能なように
摺動自在に収容されている。ピストン形シリンダ５２
は、２種類の径部を有し、より大きな上方の径部は、ピ
ストン形シリンダ５２のシリンダチャンバ５０内での往
復運動を可能にするようなピストン形シリンダ５２の駆
動部を画定し、また小さな方の径部、すなわちステムピ
ストン部５４は、ピストン形シリンダ５２の下方に延在
しており、制御シリンダ部３２の上側部分内部でぴった
りと合うように適合されている。図から分かるように、
制御シリンダ部３２の上側部分は、ステムピストン部５
４を受容し、一方、制御シリンダ部３２の下側部分は、
チェックバルブ閉鎖要素３４の円筒状ステム３６を受容
する。
【００１９】従って、ピストン形のシリンダチャンバ５
０内のピストン形シリンダ５２の往復作動は、制御シリ
ンダ部３２の上側部分内のステムピストン部５４の対応
往復作動を引き起こす。バルブチャンバ１８内の空気圧
のため、制御シリンダ部３２内のステムピストン部５４
に向かってバイアスがかけられた円筒状ステム３６によ
って、チェックバルブ閉鎖要素３４に上方向へバイアス
がかけられ、このため、円筒状ステム３６がステムピス
トン部５４の往復運動に追従するようになる。したがっ
て、チェックバルブ閉鎖要素３４は、バルブチャンバ１
８内で交互に上下し、それに伴い、弾性封止手段４２が
平坦な環状面２０に対して選択的に圧縮され、吸込通路
１４を開放かつ閉鎖する。図から分かるように、円筒状
ステム３６とステムピストン部５４との間の空気圧がバ
ルブチャンバ１８内の空気圧と同じになるように、平衡
穴６０が円筒状ステム３６を通して斜めに設けられ、ス
テムピストン部５４に対して当接を維持する円筒状ステ
ム３６の機能を、すなわち前記ピストンの往復運動に追
随する前記円筒状ステムの機能を妨害するような圧力ま
たは真空が、制御シリンダ部３２内に形成されないよう
に確保する。さらに、ゴム製のＯリングシール６２が、
ピストン形シリンダ５２と、円筒状ステム３６と、ステ
ムピストン部５４との周囲に夫々設けられるのが好まし
く、システム内の空気圧損失を防止する。
【００２０】本発明の要点は、弾性封止手段４２の平坦
な露出面から延在した、弾性封止手段４２のほぼ円形に
隆起した弾性リング部４４にあり、この弾性リング部が
平坦で堅い剛性のある面すなわち環状面２０に対して圧
縮されるように適合され、平坦な環状面２０に対して弾
性封止手段４２をより確実に封止する。前述したよう
に、同一の性質の従来技術のシールは、平坦な弾性面内
に圧縮されるように適合された、堅くかつ剛性のある隆
起したリング部を常に備えており、このリング部は、隆
起したリング部を有する固体部材の複雑かつ高価な加工
を通常必要とする。これと反対に、本発明の隆起したリ
ング部は、弾性封止部材の一部として、弾性封止部在を
形成するときに、成型によって簡単に形成することがで
き、これによってシールの固体部上のリング加工を省略
することができる。
【００２１】本発明を実施するための好適な実施例を特
許法に従って詳細に明らかにしてきたが、本発明に関係
する当業者は、添付請求項の精神と範囲から逸脱するこ
となしに本発明を実施する種々の代替方法の存在を認識
することができる。例えば、弾性封止手段の隆起したリ
ング部は、円形状であることを示したが、これは円形状
通路に対して封止するのに理想的である。しかし、利用
する形状を平坦な堅い面に対して一様に圧縮できるなら
ば、例えば正方形のような特定の形状をとるように隆起
したリング部を形成することができることが明らかであ
る。同様に、堅い平坦な面に対して最小の損傷で圧縮で
きるような、均一な半円形断面がおそらく理想的である
が、隆起したリング部の断面構造は重要でなく、またい
かなる形状もとることができる。上述の説明では、寸法
について例示しなかっが、突出リング部、すなわち隆起
した弾性リング部の厚さは、加圧空気がその圧縮によっ
て突出リングを通して漏れないような程度に十分厚くな
ければならない；例えば空気乾燥用途では、その用途の
厚さは、少なくとも約０．３１８センチ（１／８イン
チ）である。また、当業者は、上述の説明が単に例示的
であり、本発明を決して限定する意図のないことを認識
するであろう。従って、本発明は、添付請求項だけでな
く、下記の項目に記載の概念もその保護の対象とするこ
とができる。
【００２２】（１）隆起した前記弾性リング部は、少な
くとも約０．３１８センチ（１／８インチ）の厚さを有
する請求項５に記載のバルブ封止システム。
【００２３】（２）前記弾性封止手段の隆起した前記弾
性リング部は、円形形状であり、また均一な半円形断面
を有する請求項６に記載のバルブ封止システムに使用す
るチェックバルブ閉鎖要素。
【００２４】（３）前記弾性封止手段と隆起した前記弾
性リング部は、成型硬質ゴム製の一体ピースで形成され
る請求項６に記載のバルブ封止システムに使用するチェ
ックバルブ閉鎖要素。
【００２５】（４）前記ステム部材は、円筒形状であ
り、その周囲には、ゴム製のＯリングシールを収容する
ための条溝が配設される請求項６に記載のバルブ封止シ
ステムに使用するチェックバルブ閉鎖要素。
【００２６】（５）平衡穴は、前記ステム部材を貫い
て、当該ステム部材の軸に対してある角度で設けらる
（４）に記載のバルブ封止システムに使用するチェック
バルブ閉鎖要素。
【００２７】（６）前記平衡穴の第１の端部は、前記ス
テム部材の端面を通して延在し、前記平衡穴の第２の端
部は、ウェハ形状の前記バルブ部材に隣接した前記ステ
ム部材の側面を通して延在する（５）に記載のバルブ封
止システムに使用するチェックバルブ閉鎖要素。
【００２８】（７）ほぼ平坦な前記剛性のある面は、環
状形状であり、また前記吸込口と前記吐出口の内の少な
くとも１つ軸に直交する請求項７に記載のバルブ封止シ
ステムを用いたチェックバルブ。
【００２９】（８）前記弾性封止手段の隆起した前記弾
性リング部は、円形形状であり、また均一な半円形断面
を有する請求項７に記載のバルブ封止システムを用いた
チェックバルブ。
【００３０】（９）前記弾性封止手段と隆起した前記弾
性リング部とは、成型硬質ゴム製の一体ピースで形成さ
れる請求項７に記載のバルブ封止システムを用いたチェ
ックバルブ。
【００３１】（１０）前記弾性封止手段の隆起した前記
弾性リング部は、少なくとも約０．３１８インチ（１／
８インチ）の厚さを有する（９）に記載のバルブ封止シ
ステムを用いたチェックバルブ。
【００３２】（１１）前記チェックバルブを閉鎖するた
め、ほぼ平坦で剛性のある前記バルブ本体面に対して前
記バルブシールを圧縮することと、前記チェックバルブ
を開放するため、ほぼ平坦で剛性のある前記バルブ本体
面から前記バルブシールを引き離すこととを選択的に行
うための手段が、空気圧式に操作されるピストンから成
る請求項７に記載のバルブ封止システムを用いたチェッ
クバルブ。
【図面の簡単な説明】
【図１】 閉鎖位置のチェックバルブを示している本発
明の好適な実施例に基づくチェックバルブの断面図であ
る。
【図２】 開口位置のチェックバルブを示している本発
明の好適な実施例に基づくチェックバルブの断面図であ
る。
【図３】 図１と図２に示したチェックバルブで使用さ
れるチェックバルブ閉鎖要素の上面図である。
【図４】 図３に示したチェックバルブ閉鎖要素の側面
図である。
【図５】 図３に示したチェックバルブ閉鎖要素の断面
図である。
【符号の説明】
１０…チェックバルブ、１２…バルブ本体、１４…吸込
通路、１６…吐出通路、１８…バルブチャンバ、２０…
平坦な環状面、２２…バルブ制御開口部、３０…円筒形
制御部、３２…制御シリンダ部、３４…チェックバルブ
閉鎖要素、３６…円筒状ステム、３８…ウェハ形状のバ
ルブ部材、４０…円筒状凹部、４２…弾性封止手段、４
４…弾性リング部、５０…ピストン形のシリンダチャン
バ、５２…ピストン形シリンダ、５４…ステムピストン
部、６０…平衡穴、６２…Ｏリングシール。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ローレンス・アール・ストレイトマン アメリカ合衆国、ペンシルベニア州、ピッ ツバーグ、タホー・ドライブ 429

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ほぼ平坦な第１の面としての剛性のある
    面を通して現れる通路と、該通路を閉鎖するためにほぼ
    平坦な前記剛性のある面と接触するように適合されたほ
    ぼ平坦な第２の面としての露出面を有する弾性封止手段
    を含むバルブ部材と、を備えるバルブ封止システムであ
    って、前記弾性封止手段のほぼ平坦な前記露出面は、ほ
    ぼ平坦な前記露出面から延在するほぼ円形の隆起した弾
    性リング部を有し、ほぼ平坦な前記剛性のある面に対し
    て圧縮される隆起した前記弾性リング部により前記バル
    ブ部材が閉鎖位置に移動されるときに、ほぼ平坦な前記
    剛性のある面に対し前記弾性封止手段を確実に封止する
    ために、隆起した前記弾性リング部がほぼ平坦な前記剛
    性のある面に対して圧縮されるように適合されるバルブ
    封止システム。
  2. 【請求項２】 ほぼ平坦な前記剛性のある面がほぼ環状
    形状であり、また前記通路の軸に直交する、請求項１に
    記載のバルブ封止システム。
  3. 【請求項３】 前記通路が第２通路と連結し、ほぼ平坦
    な前記剛性のある面が前記通路と前記第２通路との間に
    配設される、請求項１に記載のバルブ封止システム。
  4. 【請求項４】 前記弾性封止手段の隆起した前記弾性リ
    ング部が円形形状であり、また均一な半円形断面を有す
    る、請求項１に記載のバルブ封止システム。
  5. 【請求項５】 前記弾性封止手段と隆起した前記弾性リ
    ング部とが、成型硬質ゴム製の一体ピースである、請求
    項１に記載のバルブ封止システム。
  6. 【請求項６】 空気乾燥要素内のチェックバルブ用のチ
    ェックバルブ閉鎖要素であって、該チェックバルブ閉鎖
    要素がウェハ形状のバルブ本体から軸方向に延在するス
    テム部材と、該ステム部材と反対側の前記ウェハ形状の
    バルブ本体に対して軸方向に配設されたほぼ円形の弾性
    封止手段とを備え、該弾性封止手段はほぼ平坦な露出面
    を有し、ほぼ平坦な該露出面は該露出面から延在するほ
    ぼ円形の隆起した弾性リング部を有し、隆起した該弾性
    リング部はほぼ平坦な剛性のある面に対して圧縮される
    ように適合され、ほぼ平坦な前記剛性のある面に対して
    圧縮される隆起した前記弾性リング部により、ほぼ平坦
    な前記剛性のある面に対し前記弾性封止手段を確実に封
    止する、請求項１に記載のバルブ封止システムに使用さ
    れるチェックバルブ閉鎖要素。
  7. 【請求項７】 ガス乾燥システム用のチェックバルブで
    あって： （ａ）吸込口と吐出口とを画するバルブ本体であって、
    前記吸込口と前記吐出口がほぼ平坦で剛性のあるバルブ
    本体面を通して連結されるようなバルブ本体と； （ｂ）ほぼ平坦な露出面を有するほぼ円形の弾性封止手
    段を備えるバルブシールであって、ほぼ平坦な前記露出
    面はほぼ平坦な該露出面から延在するほぼ円形の隆起し
    た弾性リング部を有し、隆起した該弾性リング部はほぼ
    平坦で剛性のある前記バルブ本体面に対して圧縮される
    ように適合され、ほぼ平坦で剛性のある前記バブル本体
    面に対して圧縮される隆起した前記弾性リング部により
    ほぼ平坦で剛性のある前記バブル本体面に対し前記弾性
    封止手段を確実に封止するようなバルブシールと； （ｃ）前記チェックバルブを閉鎖するため、ほぼ平坦で
    剛性のある前記バルブ本体面に対して前記バルブシール
    を圧縮することと、前記チェックバルブを開放するた
    め、ほぼ平坦で剛性のある前記バルブ本体面から前記バ
    ルブシールを引き離すこととを選択的に行うための手段
    と；を備える請求項１に記載のバルブ封止システムを用
    いたチェックバルブ。
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