JPH1010190A - バーンインボード用寿命判定ユニット - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 バーンインボードを破壊せずに、バーンイン
ボードにかかったストレス量や劣化の進行状況を把握で
きるバーンインボード用寿命判定ユニットを提供する。 【解決手段】 バーンインボード１のスルーホール２と
小型基板３のスルーホール４にリード５を挿入し、スル
ーホール２とスルーホール４の部位でリード５にそれぞ
れはんだ６，７ではんだ付けをして、小型基板３をバー
ンインボード１上に取り付け、バーンインボード１の寿
命判断時にリード５を切断して、小型基板３をバーンイ
ンボード１から取り外して小型基板３の所定部位を切断
および研磨し、はんだ付け部分と切断した断面の部分を
顕微鏡で観察する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、一般的には、電
気部品のバーンインテストに用いられるバーンインボー
ドに係わり、特に、バーンインボードの寿命判定時にバ
ーンインボード上の小型基板をバーンインボードから取
り外して、この小型基板を寿命判定観測に供するように
したバーンインボード用寿命判定ユニットに関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体装置の製造時に、その製造される
半導体装置の歩留まりの低下を防ぐために半導体装置の
欠陥の有無を検査している。この検査のうち、例えば、
回路素子が仕様から逸脱しているか否か、ウェハ上の特
定の領域における多種多様の欠陥が存在しているか否か
の検査が行われる。

【０００３】これらの欠陥のうち、固有欠陥の有る半導
体装置は、周知のように、製造上のばらつきから時間と
ストレスに依存する故障発生の原因となる。そこで、こ
の故障発生要因を包含した半導体装置を除去するため
に、スクリーング試験を行っている。

【０００４】このスクリーング試験に供する被試験半導
体装置をバーンインボードに装着して、バーンインチャ
ンバ内に収納して、被試験半導体装置の試験を行うよう
にしている。

【０００５】この被試験半導体装置を装着するバーンイ
ンボードもバーンインチャンバ内において、被試験半導
体装置と同様の試験環境に晒されることになり、被試験
半導体装置は１回の試験環境に晒されるのに対して、バ
ーンインボードは新たな被試験半導体装置の試験ごとに
この被試験半導体装置を装着してバーンインチャンバ内
に収納されて試験に供する関係上、バーンインボードは
複数回の試験環境に晒されることになる。

【０００６】したがって、バーンインボードは使用回数
を重ねるうちに次第に劣化し始めることになる。このた
め、バーンインボードの寿命判定を行う必要が生じる。

【０００７】バーンインボードの寿命判定を行うに際
し、従来はバーンインボードの寿命判定は外見の変化に
よる判定と、ボード・テスターによるバーンインボード
内回路の測定によって行われることが一般的であった。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記方
法においては、今までバーンインボードにかかったスト
レス量や、内部の劣化の進み具合がわからない。内部の
劣化具合を判定するには、バーンインボードを破壊して
内部を観測しなければならない。

【０００９】したがって、この観測の結果、バーンイン
ボードの異常が無い場合でも、一度破壊したバーンイン
ボードは再度使用することができず、不経済である。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、この発明のバーンインボード用寿命判定ユニット
は、バーンインボード１のスルーホール２と小型基板３
のスルーホール４とをリード５を介してはんだ付けする
ことにより、前記小型基板３を前記バーンインボード１
上に取り付けてなることを特徴とする。

【００１１】

【発明の実施の形態】この発明のバーンインボード用寿
命判定ユニットによれば、リード５を介してバーンイン
ボード１のスルーホール２と小型基板３のスルーホール
４とをはんだ付けしたバーンインボード１上の小型基板
３をバーンインボード１の寿命判定時に、リード５を切
断して小型基板３をバーンインボード１から取り外し、
小型基板３を寿命判定のための観察に供する。

【００１２】次に、この発明のバーンインボード用寿命
判定ユニットの実施の形態について図面に基づき説明す
る。

【００１３】図１は、この発明のバーンインボード用寿
命判定ユニットの一実施の形態のバーンインボードの上
部に小型基板を取り付けた状態の一部を破断して示す拡
大断面図であり、図２はこの一実施の形態の斜視図であ
る。

【００１４】この図１、図２の両図において、バーンイ
ンボード１は、その上部に小型基板３を取り付けて図示
しないバーンインチャンバ内に収納されるものであり、
バーンインボード１はその寿命判定の対象となるもので
ある。

【００１５】このバーンインボード１には、複数の小型
基板３を取り付けるために、複数のスルーホール２が形
成されている。このスルーホール２に対応して、複数の
小型基板３にも、それぞれスルーホール４が形成されて
いる。ただし、図１では、説明を簡略にするために、単
一の小型基板３に対応する１個のスルーホール４のみが
示されている。

【００１６】この両方のスルーホール２と４には、リー
ド５が挿入されているとともに、スルーホール２と４の
部位のリード５には、はんだ６、７によりはんだ付けを
行い、小型基板３がバーンインボード１上にリード５を
介して取り付けられている。

【００１７】次に、このように構成れたこの発明のバー
ンインボード用寿命判定ユニットを、この発明のバーン
インボードの寿命判定に適用する場合について説明す
る。

【００１８】バーンインボード１上に、取り付けられた
小型基板３はバーンインボード１と同等の使用環境に晒
される。このバーンインボード１の寿命判定時には、リ
ード５を切断することにより、小型基板３をバーンイン
ボード１から取り外した後に小型基板３の所定位置を切
断し、さらに研磨した後に、はんだ７によるはんだ付け
された部位および小型基板３の切断して断面された部位
を顕微鏡にて観察することにより、バーンインボード１
にかかったストレス量や劣化の進行具合を判断する。こ
の判断の結果からバーンインボード１の寿命を判断する
ことができる。

【００１９】また、複数のバーンインボード用寿命判定
ユニットをバーンインボードに実装して、定期的にこの
バーンインボード用寿命判定ユニットをバーンインボー
ドから取り外して寿命判定のための観察をすれば、バー
ンインボードにかかるストレス量や劣化進行の状況を観
察することができる。

【００２０】

【発明の効果】以上述べたように、この発明のバーンイ
ンボード用寿命判定ユニットによれば、バーンインボー
ドのスルーホールと小型基板のスルーホールに挿入され
たリードを介してはんだ付けして、バーンインボード上
に小型基板を取り付け、バーンインボードの寿命判定時
には、バーンインボードと同等の使用環境下に晒されて
いる小型基板をバーンインボードから取り外して寿命判
断の観察に供するようにしたので、バーンインボード本
体を破壊すること無く、バーンインボードにかかったス
トレス量や劣化の進行具合を正確に判断することができ
る。

【００２１】また、バーンインボードの寿命判断時に
は、バーンインボードから小型基板を取り外して小型基
板を観察に供するのみであり、バーンインボード自体の
観察を行わないから、対象となるバーンインボードの使
用を中止すること無く、小型基板の観察を行うことによ
り、間接的にバーンインボードの診断を行うことができ
る。

【００２２】さらに、複数の寿命判定ユニットをバーン
インボードに実装し、定期的に取り外して観察すること
も可能となり、したがって、この場合には、バーンイン
ボードにかかるストレス量や劣化進行の変化を観察する
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明によるバーンインボード用寿命判定ユ
ニットの一実施の形態におけるバーンインボードの上部
に小型基板を取り付けた状態を示す一部を破断して示す
拡大断面図である。

【図２】図１のバーンインボード用寿命判定ユニットの
斜視図である。

【符号の説明】

１ バーンインボード ２ バーンインボードのスルーホール ３ 小型基板 ４ 小型基板のスルーホール ５ リード ６ はんだ ７ はんだ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 バーンインボード(1) のスルーホール
   (2) と小型基板(3) のスルーホール(4) とをリード(5)
   を介してはんだ付けすることにより、小型基板(3) をバ
   ーンインボード(1) 上に取り付けてなることを特徴とす
   るバーンインボード用寿命判定ユニット。