JPH10101486A - 紫外レーザ光用光学材 - Google Patents
紫外レーザ光用光学材Info
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- JPH10101486A JPH10101486A JP25819896A JP25819896A JPH10101486A JP H10101486 A JPH10101486 A JP H10101486A JP 25819896 A JP25819896 A JP 25819896A JP 25819896 A JP25819896 A JP 25819896A JP H10101486 A JPH10101486 A JP H10101486A
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- Japan
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- ultraviolet laser
- optical
- single crystal
- laser light
- lithium tetraborate
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- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 高出力の紫外レーザ光を損傷することなく高
い透過率で透過可能であって、熱伝導率が良好で割れに
くく、カラーセンタが発生せず、曇りのない紫外レーザ
光用光学材を得る。 【解決手段】 紫外レーザ光の光路１０に設けられる紫
外レーザ光用の窓材１１、レンズ材１２、アッテネータ
材、ビームスプリッタ材、レーザキャビティオプティク
ス材及びビームシェイピングオプティクス材等の光学材
を四ほう酸リチウム単結晶で構成する。
い透過率で透過可能であって、熱伝導率が良好で割れに
くく、カラーセンタが発生せず、曇りのない紫外レーザ
光用光学材を得る。 【解決手段】 紫外レーザ光の光路１０に設けられる紫
外レーザ光用の窓材１１、レンズ材１２、アッテネータ
材、ビームスプリッタ材、レーザキャビティオプティク
ス材及びビームシェイピングオプティクス材等の光学材
を四ほう酸リチウム単結晶で構成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、紫外領域のレーザ
光（以下、紫外レーザ光という）の光路に設けられる窓
材、レンズ材、アッテネータ（attenuator）材、ビーム
スプリッタ（beamsplitters）材、レーザキャビティオ
プティクス（laser cavity optics）材及びビームシェ
イピングオプティクス（beam-shaping optics）材等の
紫外レーザ光用光学材に関する。更に詳しくは四ほう酸
リチウム単結晶（Ｌｉ2Ｂ4０7）からなる紫外レーザ光
用光学材に関するものである。
光（以下、紫外レーザ光という）の光路に設けられる窓
材、レンズ材、アッテネータ（attenuator）材、ビーム
スプリッタ（beamsplitters）材、レーザキャビティオ
プティクス（laser cavity optics）材及びビームシェ
イピングオプティクス（beam-shaping optics）材等の
紫外レーザ光用光学材に関する。更に詳しくは四ほう酸
リチウム単結晶（Ｌｉ2Ｂ4０7）からなる紫外レーザ光
用光学材に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】工業的に利用されている紫外レーザ光と
してエキシマレーザ（excimer laser）がある。エキシ
マレーザは、１９７０年にソ連のＢａｓｏｖ等により液
体Ｘｅを電子ビームで励起する方法で初めて実現した。
１９７６年には放電励起方式でも発振に成功し、産業用
レーザとして使用されるようになった。放電励起エキシ
マレーザは紫外線のパルス繰返し発振レーザであって、
ＡｒＦ（193nm）、ＫｒＦ（248nm）、ＸｅＣｌ（308n
m）などの化合物が発する紫外光を光共振器により増大
させ、レーザ光として取り出したものである。このレー
ザの応用としては、高分子材料の加工（アブレーション
加工）、表面改質、マーキング、薄膜作製等の他に、医
薬品の製造、同位体の分離、レーザレーダなどの多くの
研究が進められている。
してエキシマレーザ（excimer laser）がある。エキシ
マレーザは、１９７０年にソ連のＢａｓｏｖ等により液
体Ｘｅを電子ビームで励起する方法で初めて実現した。
１９７６年には放電励起方式でも発振に成功し、産業用
レーザとして使用されるようになった。放電励起エキシ
マレーザは紫外線のパルス繰返し発振レーザであって、
ＡｒＦ（193nm）、ＫｒＦ（248nm）、ＸｅＣｌ（308n
m）などの化合物が発する紫外光を光共振器により増大
させ、レーザ光として取り出したものである。このレー
ザの応用としては、高分子材料の加工（アブレーション
加工）、表面改質、マーキング、薄膜作製等の他に、医
薬品の製造、同位体の分離、レーザレーダなどの多くの
研究が進められている。
【０００３】このエキシマレーザで発生する紫外レーザ
光を取り出し、使用に供するために、紫外レーザ光を透
過可能な窓材、レンズ材等が設けられている。従来、こ
の種の紫外レーザ光用窓材、レンズ材等は、ＣａＦ2、
ＭｇＦ2、合成シリカ等により構成される。
光を取り出し、使用に供するために、紫外レーザ光を透
過可能な窓材、レンズ材等が設けられている。従来、こ
の種の紫外レーザ光用窓材、レンズ材等は、ＣａＦ2、
ＭｇＦ2、合成シリカ等により構成される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、ＣａＦ2やＭ
ｇＦ2は透過率が良好である反面、熱伝導率が悪く、も
ろく割れ易い欠点があった。またＣａＦ2やＭｇＦ2はカ
ラーセンタが発生し易く、紫外レーザ光用光学材に使用
するときには、カラーセンタが発生していない箇所を選
別する必要があった。また合成シリカはカラーセンタは
発生しにくいものの、曇り易い欠点があった。本発明の
目的は、熱伝導率が良好で割れにくく、カラーセンタが
発生せず、曇りのない紫外レーザ光用光学材を提供する
ことにある。本発明の別の目的は、高出力の紫外レーザ
光を損傷することなく高い透過率で透過可能な紫外レー
ザ光用光学材を提供することにある。
ｇＦ2は透過率が良好である反面、熱伝導率が悪く、も
ろく割れ易い欠点があった。またＣａＦ2やＭｇＦ2はカ
ラーセンタが発生し易く、紫外レーザ光用光学材に使用
するときには、カラーセンタが発生していない箇所を選
別する必要があった。また合成シリカはカラーセンタは
発生しにくいものの、曇り易い欠点があった。本発明の
目的は、熱伝導率が良好で割れにくく、カラーセンタが
発生せず、曇りのない紫外レーザ光用光学材を提供する
ことにある。本発明の別の目的は、高出力の紫外レーザ
光を損傷することなく高い透過率で透過可能な紫外レー
ザ光用光学材を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】請求項１に係る発明は、
図１に示すように、紫外レーザ光の光路１０に設けられ
る窓材１１を含む紫外レーザ光用光学材において、窓材
１１が四ほう酸リチウム単結晶からなることを特徴とす
る。請求項２に係る発明は、図１に示すように、紫外レ
ーザ光の光路１０に設けられるレンズ材１２を含む紫外
レーザ光用光学材において、レンズ材１２が四ほう酸リ
チウム単結晶からなることを特徴とする。
図１に示すように、紫外レーザ光の光路１０に設けられ
る窓材１１を含む紫外レーザ光用光学材において、窓材
１１が四ほう酸リチウム単結晶からなることを特徴とす
る。請求項２に係る発明は、図１に示すように、紫外レ
ーザ光の光路１０に設けられるレンズ材１２を含む紫外
レーザ光用光学材において、レンズ材１２が四ほう酸リ
チウム単結晶からなることを特徴とする。
【０００６】請求項３に係る発明は、紫外レーザ光の光
路に設けられるアッテネータ材を含む紫外レーザ光用光
学材において、アッテネータ材が四ほう酸リチウム単結
晶からなることを特徴とする。請求項４に係る発明は、
紫外レーザ光の光路に設けられるビームスプリッタ材を
含む紫外レーザ光用光学材において、ビームスプリッタ
材が四ほう酸リチウム単結晶からなることを特徴とす
る。
路に設けられるアッテネータ材を含む紫外レーザ光用光
学材において、アッテネータ材が四ほう酸リチウム単結
晶からなることを特徴とする。請求項４に係る発明は、
紫外レーザ光の光路に設けられるビームスプリッタ材を
含む紫外レーザ光用光学材において、ビームスプリッタ
材が四ほう酸リチウム単結晶からなることを特徴とす
る。
【０００７】請求項５に係る発明は、紫外レーザ光の光
路に設けられるレーザキャビティオプティクス材を含む
紫外レーザ光用光学材において、レーザキャビティオプ
ティクス材が四ほう酸リチウム単結晶からなることを特
徴とする。請求項６に係る発明は、紫外レーザ光の光路
に設けられるビームシェイピングオプティクス材を含む
紫外レーザ光用光学材において、ビームシェイピングオ
プティクス材が四ほう酸リチウム単結晶からなることを
特徴とする。
路に設けられるレーザキャビティオプティクス材を含む
紫外レーザ光用光学材において、レーザキャビティオプ
ティクス材が四ほう酸リチウム単結晶からなることを特
徴とする。請求項６に係る発明は、紫外レーザ光の光路
に設けられるビームシェイピングオプティクス材を含む
紫外レーザ光用光学材において、ビームシェイピングオ
プティクス材が四ほう酸リチウム単結晶からなることを
特徴とする。
【０００８】四ほう酸リチウム単結晶は、レーザ入射光
の波長に対する透明領域が広く、光損傷しきい値が高
く、良質の大型結晶の作成が容易で、加工性に優れるた
め、紫外レーザ光用の窓材、レンズ材、アッテネータ
材、ビームスプリッタ材、レーザキャビティオプティク
ス材及びビームシェイピングオプティクス材等の光学材
として最適である。ここでレンズはレーザビームの集光
又は拡大に使用される。アッテネータは光強度が強すぎ
る場合に所望の強度まで減衰させるために、またビーム
スプリッタはレーザビームを分割するためにそれぞれ使
用される。レーザキャビティオプティクスは光共振器を
構成するレンズ、ミラーを含む光学部品である。更にビ
ームシェイピングオプティクスはレーザビーム幅を調整
するための光学部品である。
の波長に対する透明領域が広く、光損傷しきい値が高
く、良質の大型結晶の作成が容易で、加工性に優れるた
め、紫外レーザ光用の窓材、レンズ材、アッテネータ
材、ビームスプリッタ材、レーザキャビティオプティク
ス材及びビームシェイピングオプティクス材等の光学材
として最適である。ここでレンズはレーザビームの集光
又は拡大に使用される。アッテネータは光強度が強すぎ
る場合に所望の強度まで減衰させるために、またビーム
スプリッタはレーザビームを分割するためにそれぞれ使
用される。レーザキャビティオプティクスは光共振器を
構成するレンズ、ミラーを含む光学部品である。更にビ
ームシェイピングオプティクスはレーザビーム幅を調整
するための光学部品である。
【０００９】
【発明の実施の形態】次に本発明の実施の形態を図面に
基づいて説明する。本発明の四ほう酸リチウム単結晶
は、図２に示すようにチョクラルスキー法（ＣＺ法）に
より製造される。即ち、四ほう酸リチウム単結晶の育成
装置２０は、四ほう酸リチウム多結晶が融解されている
白金るつぼ２１を有する。四ほう酸リチウムは酸化物の
中では低融点であるため、白金るつぼで育成することが
できる。白金るつぼ２１の周囲には断熱材２２、２３を
介してるつぼ２１内の四ほう酸リチウム多結晶を融解さ
せるための抵抗加熱ヒータのような加熱装置２４が設け
られる。るつぼ２１内の融液２１ａの温度は熱電対２９
により検出される。るつぼ２１の上部には断熱壁２５、
２６が二重に設けられており、種結晶が取付けられる引
上げ軸２７が断熱壁２５、２６を貫通している。
基づいて説明する。本発明の四ほう酸リチウム単結晶
は、図２に示すようにチョクラルスキー法（ＣＺ法）に
より製造される。即ち、四ほう酸リチウム単結晶の育成
装置２０は、四ほう酸リチウム多結晶が融解されている
白金るつぼ２１を有する。四ほう酸リチウムは酸化物の
中では低融点であるため、白金るつぼで育成することが
できる。白金るつぼ２１の周囲には断熱材２２、２３を
介してるつぼ２１内の四ほう酸リチウム多結晶を融解さ
せるための抵抗加熱ヒータのような加熱装置２４が設け
られる。るつぼ２１内の融液２１ａの温度は熱電対２９
により検出される。るつぼ２１の上部には断熱壁２５、
２６が二重に設けられており、種結晶が取付けられる引
上げ軸２７が断熱壁２５、２６を貫通している。
【００１０】この育成装置２０を用いて四ほう酸リチウ
ム多結晶から直径１インチ〜４インチ程度の四ほう酸リ
チウム単結晶２８を育成し、その後この単結晶を紫外レ
ーザ光用の窓材、レンズ材、アッテネータ材、ビームス
プリッタ材、レーザキャビティオプティクス材及びビー
ムシェイピングオプティクス材等の光学材に応じた形状
に加工する。
ム多結晶から直径１インチ〜４インチ程度の四ほう酸リ
チウム単結晶２８を育成し、その後この単結晶を紫外レ
ーザ光用の窓材、レンズ材、アッテネータ材、ビームス
プリッタ材、レーザキャビティオプティクス材及びビー
ムシェイピングオプティクス材等の光学材に応じた形状
に加工する。
【００１１】この育成装置２０を用いた四ほう酸リチウ
ム単結晶の育成方法の一実施の形態を述べる。所定のモ
ル比の四ほう酸リチウム多結晶を白金るつぼ２１内に充
填し、加熱装置２４で融解した後、所定の引上げ方位、
例えば＜１１０＞で四ほう酸リチウム単結晶２８を引上
げる。このとき融液表面と融液直上１０ｍｍの間の温度
勾配を３０〜２００℃／ｃｍ、好ましくは５０〜１５０
℃／ｃｍにし、それより上部の温度勾配を５〜５０℃／
ｃｍ、好ましくは１０〜４０℃／ｃｍにする。四ほう酸
リチウム単結晶２８の直胴部を引上げる際の引上げ速度
を０．１〜２ｍｍ／時間、好ましくは０．３〜１ｍｍ／
時間にする。
ム単結晶の育成方法の一実施の形態を述べる。所定のモ
ル比の四ほう酸リチウム多結晶を白金るつぼ２１内に充
填し、加熱装置２４で融解した後、所定の引上げ方位、
例えば＜１１０＞で四ほう酸リチウム単結晶２８を引上
げる。このとき融液表面と融液直上１０ｍｍの間の温度
勾配を３０〜２００℃／ｃｍ、好ましくは５０〜１５０
℃／ｃｍにし、それより上部の温度勾配を５〜５０℃／
ｃｍ、好ましくは１０〜４０℃／ｃｍにする。四ほう酸
リチウム単結晶２８の直胴部を引上げる際の引上げ速度
を０．１〜２ｍｍ／時間、好ましくは０．３〜１ｍｍ／
時間にする。
【００１２】融液表面と融液直上１０ｍｍの間の温度勾
配が３０℃／ｃｍ未満であると、育成される四ほう酸リ
チウム単結晶が多結晶化し易くなる。この温度勾配が２
００℃／ｃｍを越えると、熱歪みによって育成される四
ほう酸リチウム単結晶中に転位が生じ易くなる。また融
液直上１０ｍｍより上部の温度勾配を融液表面と融液直
上１０ｍｍの間の温度勾配より小さくすることにより、
育成後期の熱膨張差によるクラックを抑制することがで
きる。更に引上げ速度が０．１ｍｍ／時間未満では生産
性に劣り、２ｍｍ／時間を越えると、単結晶中に亜結晶
粒（subgrain）が生じたり、或いは結晶内部に気泡が発
生して単結晶が白く濁り易くなる。
配が３０℃／ｃｍ未満であると、育成される四ほう酸リ
チウム単結晶が多結晶化し易くなる。この温度勾配が２
００℃／ｃｍを越えると、熱歪みによって育成される四
ほう酸リチウム単結晶中に転位が生じ易くなる。また融
液直上１０ｍｍより上部の温度勾配を融液表面と融液直
上１０ｍｍの間の温度勾配より小さくすることにより、
育成後期の熱膨張差によるクラックを抑制することがで
きる。更に引上げ速度が０．１ｍｍ／時間未満では生産
性に劣り、２ｍｍ／時間を越えると、単結晶中に亜結晶
粒（subgrain）が生じたり、或いは結晶内部に気泡が発
生して単結晶が白く濁り易くなる。
【００１３】
【実施例】次の本発明の実施例を比較例とともに説明す
る。 ＜実施例１＞図２に示した育成装置を用いて四ほう酸リ
チウム単結晶２８を育成した。所定のモル比の純度９
９．９９％の四ほう酸リチウム多結晶原料粉末を白金る
つぼ２１に充填した後、このるつぼ２１を抵抗加熱ヒー
タ２４で加熱して原料粉末を融解した。種結晶は＜１１
０＞の結晶方位のものを用いた。融液表面と融液直上１
０ｍｍの間の温度勾配（降温勾配）を１００℃／ｃｍに
し、それより上部の降温勾配を３０℃／ｃｍにした。更
に単結晶の直胴部育成時には０．５ｍｍ／時間の速度で
単結晶を引上げ直径２インチの四ほう酸リチウム単結晶
２８を育成した。この育成した単結晶２８をトポグラフ
で観察した結果、無欠陥であり、屈折率変動が１０-6／
ｍｍ以下であった。これらのことから単結晶２８が紫外
レーザ光用の窓材、レンズ材、アッテネータ材、ビーム
スプリッタ材、レーザキャビティオプティクス材及びビ
ームシェイピングオプティクス材等の光学材に適してい
ることが判った。そのため、上記紫外レーザ光用光学材
の中で、３０ｍｍ×３０ｍｍ×１ｍｍの正方形の窓材１
１及び直径２０ｍｍの凸レンズ材１２を単結晶２８より
加工した。
る。 ＜実施例１＞図２に示した育成装置を用いて四ほう酸リ
チウム単結晶２８を育成した。所定のモル比の純度９
９．９９％の四ほう酸リチウム多結晶原料粉末を白金る
つぼ２１に充填した後、このるつぼ２１を抵抗加熱ヒー
タ２４で加熱して原料粉末を融解した。種結晶は＜１１
０＞の結晶方位のものを用いた。融液表面と融液直上１
０ｍｍの間の温度勾配（降温勾配）を１００℃／ｃｍに
し、それより上部の降温勾配を３０℃／ｃｍにした。更
に単結晶の直胴部育成時には０．５ｍｍ／時間の速度で
単結晶を引上げ直径２インチの四ほう酸リチウム単結晶
２８を育成した。この育成した単結晶２８をトポグラフ
で観察した結果、無欠陥であり、屈折率変動が１０-6／
ｍｍ以下であった。これらのことから単結晶２８が紫外
レーザ光用の窓材、レンズ材、アッテネータ材、ビーム
スプリッタ材、レーザキャビティオプティクス材及びビ
ームシェイピングオプティクス材等の光学材に適してい
ることが判った。そのため、上記紫外レーザ光用光学材
の中で、３０ｍｍ×３０ｍｍ×１ｍｍの正方形の窓材１
１及び直径２０ｍｍの凸レンズ材１２を単結晶２８より
加工した。
【００１４】＜比較例１＞市販の紫外レーザ光用のＣａ
Ｆ2からなる実施例１と同形同大の窓材及び凸レンズ材
を比較例１とした。 ＜比較例２＞市販の紫外レーザ光用のＭｇＦ2からなる
実施例１と同形同大の窓材及び凸レンズ材を比較例２と
した。 ＜比較例３＞市販の紫外レーザ光用の合成シリカからな
る実施例１と同形同大の窓材及び凸レンズ材を比較例３
とした。
Ｆ2からなる実施例１と同形同大の窓材及び凸レンズ材
を比較例１とした。 ＜比較例２＞市販の紫外レーザ光用のＭｇＦ2からなる
実施例１と同形同大の窓材及び凸レンズ材を比較例２と
した。 ＜比較例３＞市販の紫外レーザ光用の合成シリカからな
る実施例１と同形同大の窓材及び凸レンズ材を比較例３
とした。
【００１５】＜比較評価＞ (a) 透過率 実施例１及び比較例１〜３の窓材について、透過率を調
べた。その結果を図３に示す。図３から明らかなよう
に、エキシマレーザのＡｒＦ（193nm）及びＫｒＦ（248
nm）の波長において、四ほう酸リチウム単結晶からなる
実施例１は、フッ化物結晶の比較例１，２より劣るが、
合成シリカからなる比較例３と比べて透過率が高かっ
た。
べた。その結果を図３に示す。図３から明らかなよう
に、エキシマレーザのＡｒＦ（193nm）及びＫｒＦ（248
nm）の波長において、四ほう酸リチウム単結晶からなる
実施例１は、フッ化物結晶の比較例１，２より劣るが、
合成シリカからなる比較例３と比べて透過率が高かっ
た。
【００１６】(b) 光損傷しきい値 実施例１及び比較例３の窓材について、レーザ光を絞っ
て屈折率変動が生じる光損傷しきい値を測定した。即
ち、Ｎｄ：ＹＡＧレーザ（1064nm）により１０ナノ秒間
レーザ光を照射して光損傷しきい値を測定した。その結
果を図４に示す。図４より明らかなように、四ほう酸リ
チウム単結晶からなる実施例１の窓材は合成シリカから
なる比較例３の窓材と比べて、約４倍であった。このこ
とは強力な紫外レーザ光の照射に対して、実施例１の窓
材は比較例３の窓材より耐久性が良好であることを示し
ている。
て屈折率変動が生じる光損傷しきい値を測定した。即
ち、Ｎｄ：ＹＡＧレーザ（1064nm）により１０ナノ秒間
レーザ光を照射して光損傷しきい値を測定した。その結
果を図４に示す。図４より明らかなように、四ほう酸リ
チウム単結晶からなる実施例１の窓材は合成シリカから
なる比較例３の窓材と比べて、約４倍であった。このこ
とは強力な紫外レーザ光の照射に対して、実施例１の窓
材は比較例３の窓材より耐久性が良好であることを示し
ている。
【００１７】(c) カラーセンタの生成状況 実施例１及び比較例１〜３の凸レンズ材について、カラ
ーセンタの生成状況を調べた。即ち、４００Ｈｚ、１０
０ｍＪのＫｒＦ（248nm）のエキシマレーザを光学研磨
した実施例１及び比較例１〜３の凸レンズ材に照射し
た。その結果、１時間の照射で比較例１及び比較例２の
フッ化物結晶には着色が見られた。この着色は結晶中に
カラーセンタが生じたことによる。一方、１００時間照
射しても実施例１の四ほう酸リチウム単結晶及び比較例
３の合成シリカには着色は生じなかった。カラーセンタ
が生じると、透過率が低下し、レーザ品質が低下するよ
うになる。
ーセンタの生成状況を調べた。即ち、４００Ｈｚ、１０
０ｍＪのＫｒＦ（248nm）のエキシマレーザを光学研磨
した実施例１及び比較例１〜３の凸レンズ材に照射し
た。その結果、１時間の照射で比較例１及び比較例２の
フッ化物結晶には着色が見られた。この着色は結晶中に
カラーセンタが生じたことによる。一方、１００時間照
射しても実施例１の四ほう酸リチウム単結晶及び比較例
３の合成シリカには着色は生じなかった。カラーセンタ
が生じると、透過率が低下し、レーザ品質が低下するよ
うになる。
【００１８】
【発明の効果】以上述べたように、本発明の紫外レーザ
光用窓材及びレンズ材を四ほう酸リチウム単結晶で構成
することにより、窓材及びレンズ材は熱伝導率が良好で
割れにくくなり、カラーセンタ及び曇りを生じず、また
高出力の紫外レーザ光を損傷することなく高い透過率で
透過することができる優れた効果を奏する。
光用窓材及びレンズ材を四ほう酸リチウム単結晶で構成
することにより、窓材及びレンズ材は熱伝導率が良好で
割れにくくなり、カラーセンタ及び曇りを生じず、また
高出力の紫外レーザ光を損傷することなく高い透過率で
透過することができる優れた効果を奏する。
【図１】本発明の紫外レーザ光用窓材及びレンズ材を含
むエキシマレーザ装置の構成図。
むエキシマレーザ装置の構成図。
【図２】その窓材及びレンズ材の母材となる四ほう酸リ
チウム単結晶の育成装置の構成図。
チウム単結晶の育成装置の構成図。
【図３】実施例１及び比較例１〜３の窓材の真空紫外領
域での透過率を示す図。
域での透過率を示す図。
【図４】実施例１及び比較例３の窓材の光損傷しきい値
を示す図。
を示す図。
１０ 紫外レーザ光の光路 １１ 窓材 １２ レンズ材
Claims (6)
- 【請求項１】 紫外レーザ光の光路(10)に設けられる窓
材(11)を含む紫外レーザ光用光学材において、前記窓材
(11)が四ほう酸リチウム単結晶からなることを特徴とす
る紫外レーザ光用光学材。 - 【請求項２】 紫外レーザ光の光路(10)に設けられるレ
ンズ材(12)を含む紫外レーザ光用光学材において、前記
レンズ材(12)が四ほう酸リチウム単結晶からなることを
特徴とする紫外レーザ光用光学材。 - 【請求項３】 紫外レーザ光の光路(10)に設けられるア
ッテネータ材を含む紫外レーザ光用光学材において、前
記アッテネータ材が四ほう酸リチウム単結晶からなるこ
とを特徴とする紫外レーザ光用光学材。 - 【請求項４】 紫外レーザ光の光路(10)に設けられるビ
ームスプリッタ材を含む紫外レーザ光用光学材におい
て、前記ビームスプリッタ材が四ほう酸リチウム単結晶
からなることを特徴とする紫外レーザ光用光学材。 - 【請求項５】 紫外レーザ光の光路(10)に設けられるレ
ーザキャビティオプティクス材を含む紫外レーザ光用光
学材において、前記レーザキャビティオプティクス材が
四ほう酸リチウム単結晶からなることを特徴とする紫外
レーザ光用光学材。 - 【請求項６】 紫外レーザ光の光路(10)に設けられるビ
ームシェイピングオプティクス材を含む紫外レーザ光用
光学材において、前記ビームシェイピングオプティクス
材が四ほう酸リチウム単結晶からなることを特徴とする
紫外レーザ光用光学材。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25819896A JPH10101486A (ja) | 1996-09-30 | 1996-09-30 | 紫外レーザ光用光学材 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25819896A JPH10101486A (ja) | 1996-09-30 | 1996-09-30 | 紫外レーザ光用光学材 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001382569A Division JP3649283B2 (ja) | 2001-12-17 | 2001-12-17 | 紫外レーザ光用光学材の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10101486A true JPH10101486A (ja) | 1998-04-21 |
Family
ID=17316875
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25819896A Pending JPH10101486A (ja) | 1996-09-30 | 1996-09-30 | 紫外レーザ光用光学材 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10101486A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1382982A1 (en) * | 2002-07-05 | 2004-01-21 | Agilent Technologies, Inc. | Heating compensated optical device |
-
1996
- 1996-09-30 JP JP25819896A patent/JPH10101486A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1382982A1 (en) * | 2002-07-05 | 2004-01-21 | Agilent Technologies, Inc. | Heating compensated optical device |
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|---|---|---|---|
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