JP3617864B2 - リソグラフィ用レーザ装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、リソグラフィ用レーザ装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体装置などの産業分野では、半導体装置の高集積度を図るための努力が盛んに行われている。高集積度を図るためには、微細パターンを形成する必要がある。微細パターンは、露光を含むフォトリソグラフィー技術に基づき形成されるが、微細パターンを形成するためには、リソグラフィ用光源の短波長化を図る必要がある。
【0003】
そこで、リソグラフィ用光源として、エキシマレーザを用いることが検討されている。放電励起方式のエキシマレーザは、紫外線のパルス繰り返し発振レーザで、ArF(193nm),KrF(248nm),XeCl(308nm)などの化合物が発する紫外光を光共振器により増大させ、レーザ光として取り出したものである。
【0004】
しかしながら、エキシマレーザは、例えば繰り返し数百pps(pulse
per second)のパルスレーザの場合、10−2秒毎に10−9秒間の
パルス光しか発生せず、インターバルに比べてレーザの発光時間が著しく短いことから、リソグラフィ加工過程で問題が多かった。また、媒質ガスの寿命が短いこと、媒質ガスの毒性、レーザ装置の小型化が困難であること、保守性が悪いこと、運転コストが高いこと等々の問題を有していた。
【0005】
そこで、リソグラフィ用レーザ装置として、特開平3−183117号公報に示すように、波長変換素子を利用したレーザ装置が提案されている。
この公報に示すリソグラフィ用レーザ装置では、波長変換素子として、KTP(KTiOPO4 )や、BBO(β−BaB2 O4 )などが用いられている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、KTPから成る波長変換素子は、レーザ入射光の波長に対してKTPの透明領域が、0.25〜4.5μmで広いが、1μm以下では位相整合しない。つまり2倍波までしか出せないという課題を有する。したがって、リソグラフィ用レーザ装置の短波長化が困難であるという課題を有する。また、結晶の大型化が難しいうえ、結晶内部で屈折率が変化する。したがって一個の結晶から切り出した素子でも、屈折率が異なるので位相整合角度が異なる。さらに、結晶内にいわゆる”す”が入りやすいという課題を有する。
【0007】
また、BBOでは、耐レーザ損傷は、KTPよりも大きいが、水にやや溶けて潮解性を有し、取扱性に難点があると共に、大型結晶の作成が困難であるという課題を有する。さらに、紫外光をBBOへ入射すると、結晶の劣化によってカラーセンタが発生すると言う課題を有している。カラーセンタとは、単結晶内の吸収帯の発生によって検出される透明な結晶内部の点状の欠陥のことである。
【0008】
このように、特開平3−183117号公報では、波長変換素子を用いたリソグラフィ用レーザ装置を提案してはいるものの、このリソグラフィ用レーザ装置に適した波長変換素子を提供するものではなかった。
本発明は、このような実状に鑑みて成され、短波長のリソグラフィ用レーザ光を安定して出力することができ、カラーセンタなどが発生しないリソグラフィ用レーザ装置を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明者等は、リソグラフィ用レーザ装置に用いて適した波長変換素子に関して鋭意検討した結果、四ほう酸リチウム(以下、Li2 B4 O7 またはLBOともいう)が波長変換材料として優れた特性を有していることを見い出し、本発明を完成させるに至った。
【0010】
すなわち、本発明に係るリソグラフィ用レーザ装置は、四ほう酸リチウム単結晶から成る波長変換素子を有し、前記波長変換素子にNd:YAGレーザの基本波ωと、4倍波4ωの波長の光を入射して、5倍波5ωのレーザ光を生成し、リソグラフィ用光源とするリソグラフィ用レーザ装置である。
本発明に係るリソグラフィ用レーザ装置では、波長変換素子として、四ほう酸リチウムを用いている。
【0011】
本発明者らの発見によれば、四ほう酸リチウムは、たとえばNd:YAGレーザ(波長1064nm)から、コヒーレンスが高い4倍波(266nm)、5倍波(213nm)の波長の光を作り出すことができる。4倍波あるいは5倍波の波長の光を作り出すことができれば、既に大出力の装置が開発されている赤外レーザを用いて、紫外線領域またはそれに近い領域のレーザ光を容易に作り出すことができ、このレーザ光をリソグラフィ用レーザとして用いることで、微細加工が可能になる。
【0012】
また、四ほう酸リチウムは、大口径の単結晶を育成することが可能であるため、同じ大きさの結晶ではBBO単結晶に比べて波長変換効率は劣るものの、波長変換効率はレーザの入力パワーの二乗、結晶長の二乗に比例することから、大きな単結晶を育成できる四ほう酸リチウムの方が大きな結晶体を使用することができ、結果的に波長変換効率を高めることができる。
【0013】
さらに、四ほう酸リチウムは、耐レーザ損傷がBBOに比べて10倍以上大きいので大きなパワーのレーザを入射できるという利点もある。さらに、BBOは長時間紫外線を照射するとカラーセンタが発生するが、四ほう酸リチウムは、BBOよりも結晶が紫外線による劣化に強く、素子が長持ちする。さらにまた、四ほう酸リチウムに紫外線を照射しても、カラーセンタが発生することは、ほとんどない。
【0014】
したがって、この四ほう酸リチウムから成る波長変換素子を用いたレーザ装置は、リソグラフィ用レーザ装置として好適に用いることができる。
【0015】
【実施例】
以下、本発明の実施例を、図面に基づいて説明する。図1は本発明の実施例で用いた引き上げ装置を示す断面図、図2は本発明に係るリソグラフィ用レーザ装置の概略図である。
【0016】
実施例1
図1は本実施例で用いた四ほう酸リチウム単結晶の引き上げ装置10であって、四ほう酸リチウムが融解される直径90mm、高さ100mmの白金坩堝1を有している。この白金坩堝1の周囲には、断熱材2,3を介して、坩堝内の四ほう酸リチウムを融解させるためのヒータ4(例えば抵抗加熱ヒータ)が設けられている。一方、白金坩堝1の上部には、断熱壁5,6が二重に設けられており、種結晶が取り付けられる引き上げ軸7が、この断熱壁5,6を貫通するようになっている。
【0017】
このような引き上げ装置10を用いて、まず最初に、四ほう酸リチウム単結晶を育成した。すなわち、四ほう酸リチウム(Li2 B4 O7 :LBO)多結晶体1300gを白金坩堝内に充填し、ヒータで融解したのち、引き上げ方位<110>で単結晶を引き上げた。
【0018】
このときの育成条件として、融液表面と融液直上10mmの間の温度勾配を80℃、それより上部の温度勾配を30℃/cm、単結晶の直胴部を引き上げる際の引き上げ速度を0.5mm/時間、種結晶の回転数を2rpmとした。その結果、直径2インチ、長さ120mmの四ほう酸リチウム単結晶が得られた。
【0019】
次に、育成した単結晶を、C軸から79度傾けて縦×横が10×10mmで長さが30mmのロッド状にカットし、その両端面にある入出射面を光学研磨した。
次に、図2に示すように、このようにして得られたロッド状の四ほう酸リチウム単結晶から成る波長変換素子21の両側に、ミラー22を配置し、入力側のミラー22の前方に、レンズ24を配置し、出力側のミラー22の後方に、フィルター26およびインテグレータ28を配置し、リソグラフィ用レーザ装置を形成した。フィルター26は、所望の波長以外の波長の光を分離するために用いる。インテグレータ28としては、特に限定されないが、光学レンズの一面あるいは両面に小さな凸レンズあるいは凹レンズを均一に形成したもの、または、光学ガラスの一面あるいは両面に凸レンズあるいは凹レンズを均一に形成したもの、またはハエの目レンズなどのようにレンズを組み合わせたものなどを用いることができる。なお、本発明に係るレーザ装置では、必ずしもインテグレータ28を用いなくても良い。
【0020】
レンズ24側から、光パラメトリック発振器(OPO;Spectra Physics社製)から発生させた出力200mJの4ω(266nm)と出力1500mJのYAGの基本波ω(1064nm)とを、同時に波長変換素子21へ入射させると、二つの光の混合(和周波)によって、5ω(213nm)の紫外光(110mJ)が発生した。所望の波長以外の波長はフィルター26を使って分離し、所望の光のみをインテグレータ28で光強度分布を均一にした。
【0021】
100時間以上、この状態を保持しても、このLBO結晶からなる波長変換素子21にカラーセンタはできなかった。したがって、リソグラフィ用レーザ装置として好適に用いることができることが確認された。
比較例1
波長変換素子として、縦×横が5×5mmで長さが5mmのロッド状のBBOを用いた以外は、前記実施例1と同様にして、図2に示す構成のレーザ装置を構成し、実施例1と同様な耐久性実験を行った。
【0022】
出力光としては、100mJの5ωの紫外光が観察されたが、BBOは、位相整合の角度、温度許容幅が小さく、さらに紫外吸収があるので自己加熱し、高パワーの4ω、5ω光の長時間の安定した発生は非常に難しい。そして100時間の試験でカラーセンターが生じ結晶が劣化したことが観察された。すなわち長時間の出力の安定性が要求されるリソグラフィ用レーザ装置には、BBOを用いたレーザ装置では問題があることが確認された。
【0023】
また、BBOは、フラックス法で育成するので、不純物を取り込み易く、収率は低い。したがって、製造コストが増大する。
なお、本発明は、上述した実施例に限定されず、本発明の範囲内で種々に改変することができる。
【0024】
たとえば、リソグラフィ用レーザ装置として用いる光源としては、上記実施例に限定されず、Nd:YAG、ルビーレーザ、ガラスレーザ、アレキサンドライトレーザ、ガーネットレーザ、サファイヤレーザ、半導体レーザなどを用いることができる。
【0025】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明のリソグラフィ用レーザ装置によれば、既に大出力の装置が開発されている赤外レーザなどを光源として用いて、その光を四ほう酸リチウムから成る波長変換素子で短波長化することで、紫外線領域またはそれに近い領域のレーザ光を容易に作り出すことができる。このレーザ光をリソグラフィ用レーザとして用いることで、微細加工が可能になる。
【0026】
また、本発明のレーザ装置に用いられる波長変換素子としての四ほう酸リチウムは、大口径の単結晶を育成することが可能であるため、同じ大きさの結晶ではBBO単結晶に比べて波長変換効率は劣るものの、波長変換効率はレーザの入力パワーの二乗、結晶長の二乗に比例することから、大きな単結晶を育成できる四ほう酸リチウムの方が大きな結晶体を使用することができ、結果的に波長変換効率を高めることができる。
【0027】
さらに、四ほう酸リチウムは、耐レーザ損傷がBBOに比べて10倍以上大きいので大きなパワーのレーザを入射できるという利点もある。さらに、BBOは長時間紫外線を照射するとカラーセンタが発生するが、四ほう酸リチウムは、BBOよりも結晶が紫外線による劣化に強く、素子が長持ちする。さらにまた、四ほう酸リチウムに紫外線を照射しても、カラーセンタが発生することは、ほとんどない。
【0028】
したがって、この四ほう酸リチウムから成る波長変換素子を用いたレーザ装置は、耐久性に優れた小型且つ軽量で取り扱い性およびメンテナンス性に優れたリソグラフィ用レーザ装置として好適に用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は本発明の実施例で用いた引き上げ装置を示す断面図である。
【図2】図2は本発明に係るリソグラフィ用レーザ装置の概略構成図である。
【符号の説明】
1… 白金坩堝
2,3… 断熱材
4… ヒータ
5,6… 断熱壁
7… 引き上げ軸
10… 引き上げ装置
21… 波長変換素子
22… ミラー
24… レンズ
26… フィルター
28… インテグレータ
Claims (1)
- 四ほう酸リチウム単結晶から成る波長変換素子を有し、
前記波長変換素子にNd:YAGレーザの基本波ωと、4倍波4ωの波長の光を入射して、5倍波5ωのレーザ光を生成し、リソグラフィ用光源とする
リソグラフィ用レーザ装置。
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EP96115141A EP0767396B1 (en) | 1995-09-20 | 1996-09-20 | Optical converting method and converter device using the single-crystal lithium tetraborate, and optical apparatus using the optical converter device |
US08/710,714 US5805626A (en) | 1995-09-20 | 1996-09-20 | Single-crystal lithium tetraborate and method making the same, optical converting method and converter device using the single-crystal lithium tetraborate, and optical apparatus using the optical converter device |
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