JPH0994970A

JPH0994970A - インクジェットヘッド

Info

Publication number: JPH0994970A
Application number: JP25612195A
Authority: JP
Inventors: Kentaro Obara; 建太郎小原
Original assignee: Brother Industries Ltd
Current assignee: Brother Industries Ltd
Priority date: 1995-10-03
Filing date: 1995-10-03
Publication date: 1997-04-08

Abstract

(57)【要約】【課題】ノズル構成部材製造費のコストダウン及びそ
のキャビティ部材との組付けの簡便性を向上させること
によって、インクジェットヘッドの大量生産性の向上を
目的としている。【解決手段】ノズルプレート１には溝６が形成され、
アクチュエータ２との接合によってノズル孔７の機能が
持たせられる。溝形状にすることにより、ノズルプレー
ト１の成形性が向上し、結果、孔明け等の後工程が不要
になるため、その分製造費が安価で済む。また、接合時
の位置決めもアクチュエータ２の端面及びせり出し部５
との突き当てにより少なくとも２方向が決定されるた
め、容易に行える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、被記録媒体にイン
ク液滴を吐出して文字や画像を記録するインクジェット
式記録装置のヘッドに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、これまでのインパクト方式の記録
装置にとってかわり、その市場を大きく拡大しつつある
ノンインパクト方式の記録装置の中で、原理が最も単純
で、かつ多階調化やカラー化が容易であるものとして、
インクジェット方式の記録装置が挙げられる。インクジ
ェット式記録装置は、インクに圧力を与えることにより
ヘッド部のノズル孔からインクを噴射させ印字等を行う
ものであり、低騒音、小型化といった点で優れており、
そのヘッド部分はノズル孔が形成されているノズルプレ
ートと、インクに吐出圧力と与える機構を含むインク流
路部品と、インクタンクからのインクをインク流路に導
くマニホールド等により形成されるものである。

【０００３】ノズルはインクジェットヘッドのインク噴
射特性に大きな影響を与えており、ノズルの製造精度は
ヘッドの印字品質を左右するものである。よって、精度
の高いノズルの製造方法が望まれていた。

【０００４】上述のようなインクジェットヘッドのノズ
ルプレートの製造方法として、例えば、ポリイミドに紫
外線を当てる工法や、特公平２−４２３５４号公報に開
示された感光性ガラスにエッチングを施す工法や、樹脂
成形してからノズルの穴の部分にエキシマレーザ等でレ
ーザー光を照射して孔加工する技術などが試みられてい
る。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、エッチ
ングによる工法では、ノズルを得るために、感光性ガラ
スの両面に所定のマスキングをした上でエッチングを行
なわねばならず工数が非常にかかる。

【０００６】また、紫外線による工法においては、１つ
のヘッドにノズルの穴が３２箇所とか６４箇所等多数存
在する場合もあり、それぞれに紫外線で穴を空けていた
のでは工数が非常にかかるのでコストが高くなり、大量
生産に向いていなかった。確かに、紫外線を照射する装
置を複数設ける、加工媒体にマスキング処理を施した後
に広範囲に紫外線を照射する装置を用いる等を行なえ
ば、一度に複数のノズルの穴を加工することは可能とな
るが、装置にかかるコストが高くなり、実用的ではな
い。また、後者においてはマスキング加工処理及び除去
処理工程を新たに設けることとなり、結果として生産効
率の向上は望めない。

【０００７】同様な理由で、射出成形による工法でも、
レーザー加工においても基本的に多数のノズルを一度に
加工できないため、大量生産には向かなかった。加え
て、エキシマレーザは装置自体もランニングコストも非
常に高く、生産効率が悪かった。

【０００８】さらに、上述の加工方法では製造工程が成
形、孔明けの２工程になるため設備や作業が多くかか
り、製造コストが高いという問題点があった。

【０００９】これに対し、ノズル孔も成形加工で同時に
形成できれば加工時間及びコストの低減が可能と思われ
る。しかし、この手法を従来のノズルプレート形状のま
まで導入しようとした場合、様々な問題が生じてくる。
例えば、射出成形時にはノズル孔を形成させたい部分に
ピンを立てることになるが、これでは型が複雑になって
しまうだけでなく、孔の直径が４０〜５０ミクロンと非
常に小さいノズル孔の直径に合わせてピンも極めて細く
せねばならないため、ピンの曲がり、摩耗等の問題が起
き、安定した加工が困難となる。さらに成形樹脂材料の
回り込みも考慮しなければならないため、ノズル孔形成
を単純に射出成形に置き換えることは困難であった。

【００１０】また、ノズルプレートとインクに吐出圧力
を与える機構を含むインク流路部品（以下アクチュエー
タ）との接合は接着剤にて行っているが、この接合精度
がヘッドのインク吐出特性に多大な影響を与えるため、
高精度な位置合わせが必要であった。この２部品の位置
決めは、従来ＣＣＤカメラ等でインク流路、ノズル孔の
画像を撮り、画像処理を用いて行っていた。しかし、こ
の方法では複数の孔の位置を画像処理しなければならな
いため、非常に時間がかかり、大量生産性がよくないと
いう問題点があった。

【００１１】本発明は、上述した問題点を解決するため
になされたものであり、ノズルプレートの製造コスト低
減、及び、組立コストの低減を目的としている。

【００１２】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の請求項１に記載のインクジェットヘッドは、
インク流路を持つキャビティ部材と、前記インク流路に
連通し、インク流路内のインクを吐出する為のノズル孔
を構成するノズル構成部材とを有するものであり、更
に、前記キャビティ部材におけるインク流路端面には、
その外周縁が一部突出して、前記ノズル構成部材と前記
キャビティ部材との位置を決める位置決めガイド部を形
成し、前記ノズル構成部材は、厚み方向に伸びた溝部が
形成されており、前記溝部の開口部が前記位置決めガイ
ド部により覆われるように突き合わせて、前記ノズル構
成部材を前記インク流路端面に接合させることにより、
インク流路と連通する前記ノズル孔が形成されている。

【００１３】上記の構成を有する本発明のインクジェッ
トヘッドにおいて、上記キャビティ部材とノズル構成部
材との２部材の組付けを行なう際には、前記溝部の開口
部が前記位置決めガイド部により覆われるように突き合
わせて、前記ノズル構成部材を前記インク流路端面に接
合させる。こうすることにより、ノズル構成部材とキャ
ビティ部材との少なくとも２方向の位置合わせがなされ
ると共に、ノズル構成部材に施された溝部分がノズル孔
を構成する。即ち、上記構成を有するインクジェットヘ
ッドでは、インク流路と連通する前記ノズル孔を高精度
で且つ容易に位置合わせして形成することが可能とな
る。

【００１４】請求項２に記載したインクジェットヘッド
の位置決めガイド部は、ノズル構成部材の前記インク流
路端面における平行でない２方向の位置を決めるもので
あり、上記構成を有するインクジェットヘッドにおいて
は、インク流路端面と位置決めガイド部により、ノズル
構成部材の平行でない３方向の位置を確実に且つ容易に
決められる。よって、位置決めのための時間が短縮さ
れ、高効率で且つ高精度にインクジェットヘッドが製造
される。

【００１５】一方、請求項３に記載したインクジェット
ヘッドのノズル構成部材は、前記キャビティ部材と係合
して、ノズル構成部材の前記インク流路端面における平
行でない２方向の位置を決める第２の位置決めガイド部
を有している。上記構成を有するインクジェットヘッド
においては、前記ノズル構成部材をインク流路端面に当
接させ、ノズル構成部材に設けられた前記第２の位置決
めガイド部をキャビティ部材と係合させることにより、
ノズル構成部材の平行でない３方向の位置を確実に且つ
容易に決められる。よって、位置決めのための時間が短
縮され、高効率で且つ高精度にインクジェットヘッドが
製造される。

【００１６】請求項４に記載したインクジェットヘッド
のノズル構成部材に形成される溝部は、インク流路との
連通面からインク吐出方向に向けてその深さが浅くなる
ように形成されており、上記構成を有するインクジェッ
トヘッドにおいては、ノズル構成部材に設けられた溝部
がインク流路との連通面からインク吐出方向に向けてそ
の深さが浅くなるように形成されているため、テーパ形
状を有するノズルが構成される。よって、ノズル部では
吐出方向に向けて吐出圧力が高まるようになるため、吐
出精度、吐出速度が高まる。

【００１７】請求項５に記載したインクジェットヘッド
のノズル構成部材に形成される溝部は、インク流路との
連通面からインク吐出方向に向けてその幅が狭くなるよ
うに形成されており、上記構成を有するインクジェット
ヘッドにおいては、ノズル構成部材に設けられた溝部が
インク流路との連通面からインク吐出方向に向けてその
幅が狭くなるように形成されているため、テーパ形状を
有するノズルが構成される。よって、ノズル部では吐出
方向に向けて吐出圧力が高まるようになるため、吐出精
度、吐出速度が高まる。

【００１８】請求項６に記載したインクジェットヘッド
のノズル構成部材は、樹脂材料を用いた射出成形により
前記溝部と共に成形されており、上記構成を有するイン
クジェットヘッドにおいては、取り扱いが簡便な樹脂材
料を用いてノズル構成部材が溝部と共に射出成形で形成
されるので、加工工程数及び加工にかかる手間を大きく
削減できる。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下、本発明を具体化した一実施
例を図面を参照して説明する。

【００２０】図１及び図２に本実施例のインクジェット
ヘッド１００の構成の概略図を示す。インクジェットヘ
ッド１００は、ノズルプレート１、アクチュエータ２及
びマニホールド３とからなる。尚、ノズルプレート１が
本発明のノズル構成部材に、アクチュエータ２が本発明
のキャビティ部材に、それぞれ相当する。

【００２１】図中におけるノズルプレート１は射出成形
にて加工されたものであり、ノズル孔７となる溝６がプ
レートの一側に所定のピッチで加工されている。本実施
例においては、前記溝６は射出成形時に作り込まれる。
ノズル部分が溝状の形状であれば孔形状の場合より射出
成形性が向上し、且つ型も単純で済むため、ノズルプレ
ート１を射出成形加工で生産性良く作り込むことが可能
となる。ノズルプレートの製造方法として、平板プレー
トにエキシマレーザや他の機械的な加工による後処理を
用いてノズル孔を形成する事も可能であるが、コストを
考えると成形で同時に作り込むことが望ましい。

【００２２】また、本実施例ではインクの流れをスムー
ズにし、エアがインク室３０４内に残りにくいように、
インクの流れる方向に対して垂直な面での前記溝の面積
が、インク吐出側に対してインク導入側の方が大きくな
っている。しかし、ストレートの溝であったり、逆の面
積傾斜であっても、本発明の主旨には影響しない。

【００２３】また、ノズルプレート１の材質には、ポリ
エチレンテレフタレート（ＰＥＴ）等の樹脂材料や、ア
ルミナ等のセラミックス材料が用いられるが、射出成形
に限らなければ、金属材料等を用いてもよい。

【００２４】一方、アクチュエータ２は、所定のピッチ
で並設された複数のインク室３０４を有し、前記インク
室３０４に充填されたインクに吐出エネルギーを与える
吐出機構が設けられている。吐出機構とは、例えば、圧
電効果を利用した体積変化などによりインク室３０４内
のインクに吐出圧力を与える電気−機械変換素子を用い
たものや、インクに熱的エネルギーを作用させて吐出圧
力を発生させる電気−熱変換素子を用いたものなどが用
いられる。また、前記ノズルプレート１が接合されるア
クチュエータ２の端面には、ノズルプレート１のＹ方向
の位置決めに使用されるせり出し部分５が突設されてお
り、このせり出し部５はノズルプレート１と接合される
と、前記溝６上端を覆い、ノズル孔７を形成する。

【００２５】アクチュエータ２の具体的例として圧電素
子を利用した吐出機構を有するものを図３に示す。図３
に示すようにアクチュエータ２は圧電セラミックスプレ
ート３０２とカバープレート３２０からなる。

【００２６】その圧電セラミックスプレート３０２は、
チタン酸ジルコン酸鉛系（ＰＺＴ）等のセラミックス材
料で形成され、圧電セラミックスプレート３０２には、
ダイヤモンドブレード等により切削加工された複数の横
溝３０３が形成されている。また、その横溝３０３の側
面となる隔壁３０６は矢印３０５の方向に分極されてい
る。それらの横溝３０３は同じ深さであり、かつ平行で
あり、圧電セラミックスプレート３０２の対向する端面
３０２ａ、３０２ｂに開口して加工されている。

【００２７】また、圧電セラミックスプレート３０２の
端面３０２ａには、縦溝３１１ａが横溝３０３に連通す
るように１つ置きに形成されている。圧電セラミックス
プレート３０２の端面３０２ｂには、縦溝３１１ｂが横
溝３０３に連通するように１つ置きに形成されている。
そして、縦溝３１１ａ、３１１ｂは交互に形成されてお
り、縦溝３１１ａと縦溝３１１ｂとは、隣合う横溝３０
３に形成されている。尚、縦溝３１１ａは、両外側の横
溝３０３に設けられている。また、圧電セラミックプレ
ート３０２の横溝３０３加工側に対して反対側の面３０
２ｃには、パターン３２４、３２５（図５）が形成され
ている。

【００２８】そして、圧電セラミックスプレート３０２
の溝加工面、且つ端面３０２ａに対して斜め上方の位置
に配置されたスパッタリング等の蒸着源（図示せず）か
ら金属電極３０８、３０９、３１０が形成される（矢印
３３０ａ、３３０ｂの方向から蒸着される）。尚、圧電
セラミックスプレート３０２の端面３０２ａ及び隔壁３
０６の天頂部に金属電極が形成されないようにマスクし
ておく。すると、図３に示すように、金属電極３０８は
横溝３０３の両側面の上半分の領域に形成され、金属電
極３０９は、縦溝３１１ａが形成されていない横溝３０
３の端面３０２ａ側の側面の一部及び底面の一部に形成
され、金属電極３１０は縦溝３１１ａの側面のうち端面
３０２ａ側に形成される。尚、金属電極３０８と金属電
極３０９とは電気的に接続され、金属電極３０８と金属
電極３１０とは電気的に接続されている。

【００２９】次に、図５に示すように圧電セラミックス
プレート３０２の面３０２ｃ、且つ端面３０２ｂに対し
て斜め上方の位置に配置されたスパッタリング等の蒸着
源（図示せず）から金属電極３１６、３１７が形成され
る（矢印３３１ａ、３３１ｂの方向から蒸着される）。
尚、圧電セラミックスプレート３０２の端面３０２ｂ及
び面３０２ｃのパターン３２４、３２５が形成された領
域に金属電極が形成されないようにマスクしておく。す
ると、その金属電極３１６は、圧電セラミックスプレー
ト３０２の面３０２ｃにおいて縦溝３１１ａの底面より
端面３０２ａ側の領域及び縦溝３１１ａ内面の側面の一
部に形成される。

【００３０】このとき、縦溝３１１ａに形成された金属
電極３１０上にも金属電極３１６が形成されて、縦溝３
１１ａの側面に形成された金属電極３１６が金属電極３
１０を介して金属電極３０８と電気的に接続される。こ
のため、縦溝３１１ａが形成された横溝３０３ａの片側
の隔壁３０６に形成された金属電極３０８が、その隔壁
３０６によって構成される横溝３０３ｂを挟む他の横溝
３０３ａにおける該横溝３０３ｂを構成するもう一つの
隔壁３０６に形成された金属電極３０８と電気的に接続
される。また、金属電極３１６はパターン３２４に電気
的に接続される。

【００３１】そして、図４及び図５に示すように、金属
電極３１７は、圧電セラミックスプレート３０２の面３
０２ｃにおいて縦溝３１１ｂの底面より圧電セラミック
スプレート３０２の中央側から端面３０２ｂ側の領域、
縦溝３１１ｂ内面の側面の全部及び縦溝３１１ｂの端面
３０２ｂ側に形成される。このとき、縦溝３１１ｂと連
通する横溝３０３ｂの金属電極３０８上にも金属電極３
１７が形成されて、縦溝３１１ｂの側面に形成された金
属電極３１７と電気的に接続される。このため、縦溝３
１１ｂが形成された横溝３０３ｂの全ての金属電極３０
８が金属電極３１７によって電気的に接続される。ま
た、金属電極３１７はパターン３２５に電気的に接続さ
れる。

【００３２】次に、前記圧電セラミックスプレート３０
２の少なくとも金属電極３０８、３０９、３１７をスピ
ンコート法によりエポキシ樹脂の保護膜で被覆する。こ
の保護膜によりインクによる電極の劣化を防止すること
ができる。

【００３３】尚、スピンコート法によるエポキシ樹脂膜
のほか、ディッピング法、ＣＶＤ法、などによりアクリ
ル樹脂などの他の有機材質或はＳｉＯ2などの無機材質
の保護膜で被覆してもよい。

【００３４】尚、金属電極３１０及び後述する空気室を
形成する横溝３０３ａに形成されている金属電極３０８
はインクに接しないので、保護膜により必ずしも被覆す
る必要はない。

【００３５】次に、カバープレート３２０はセラミック
ス材料、ガラス材料または樹脂材料等から形成されてお
り、圧電セラミックスプレート３０２の横溝３０３加工
側の面と、カバープレート３２０とをエポキシ系接着剤
によって接着する。従って、インクジェットヘッド１０
０には、横溝３０３の上面が覆われて、縦溝３１１ｂと
連通するインク室３０４及び縦溝３１１ａと連通する非
噴射領域としての空気室が構成される。これにより、イ
ンクジェットヘッド１００には、インク噴射エネルギー
発生部材としてのアクチュエータ部が構成される。又、
インク室３０４が本発明のインク流路を形成する。尚、
インク室３０４は横溝３０３ｂに対応しており、空気室
は横溝３０３ａに対応している。インク室３０４及び空
気室は長方形断面の細長い形状であり、全てのインク室
３０４はインクが充填され、空気室３０４は空気が充填
される領域である。

【００３６】また、カバープレート３２０はセラミック
スプレート３０２の全長より長く形成されており、接合
時にはみ出した部分が前記せり出し部分５となる。

【００３７】マニホールド３はアクチュエータ２に設け
られた各インク室３０４と連通する共通インク室を有
し、図示しないインクタンクとを接続する。そして、各
インク室にインクを適宜供給する。

【００３８】図２にこれら各部品を接合したときの概略
図を示す。各部品は接着剤で接合される。接着剤は対イ
ンク性に優れたものであればよい。例えば、エポキシ系
接着剤がよく用いられる。ノズル孔７は四角の孔となっ
ており、ノズルプレート１とアクチュエータ２との２部
品が接合されて初めてノズル孔７として機能する。本実
施例では３辺がノズルプレート１側、１辺がアクチュエ
ータ２側でノズル孔７が構成されている。

【００３９】接合の位置決めは、まずノズルプレート１
をアクチュエータ２の端面及びせり出し部５に突き当
て、その状態でＸ方向のずれを調節し、アクチュエータ
２に設けられたインク室３０４とノズルプレート１の溝
６とが１対１に対応するようにして接着する。本実施例
ではＹ方向の位置決めが従来より確実・容易に行うこと
が可能である。上記せり出し部５が本発明の位置決めガ
イド部に相当する。

【００４０】このように、本実施例のインクジェットヘ
ッド１００においては、ノズル孔７を構成する溝６が形
成されたノズルプレート１を射出成形により形成するた
め、加工工程数を少なくできると共にコストを安くでき
る。

【００４１】以上の結果、安価で高品位のインクジェッ
トヘッドを製造することができるといった、産業上著し
い効果を奏する。

【００４２】尚、本発明は、上述した実施例に限定され
るものでなく、その主旨を逸脱しない範囲に於て種々の
変更を加えることが出来る。

【００４３】例えば、他の実施例を図６に示す。この実
施例は先の実施例に加え、ノズルプレート１１の側縁部
にもせり出し部１２が形成されており、組み付け時にこ
れがアクチュエータ２の側面に当接される。これによ
り、Ｙ方向だけでなくＸ方向の位置決めも容易に行うこ
とが可能となる。尚、前記せり出し部１２が本発明の第
２の位置決めガイド部に相当する。

【００４４】その他に、ノズルプレート１１側にせり出
し部１２を設ける代わりに、アクチュエータ２のせり出
し部５をＬ字型にして、せり出し部５でＸ方向及びＹ方
向の位置決めを同時に行い得るようにしてもよい。逆
に、アクチュエータ２にせり出し部５を設ける代わり
に、ノズルプレート２にＬ字型のせり出し部１２を形成
し、組み付け時にアクチュエータ２の２側面に当接させ
てＸ方向及びＹ方向の位置決めするものでもよい。

【００４５】また、本実施例においてはＰＺＴの変形を
利用したインク吐出機構を有するインクジェットヘッド
で説明を行なったが、インク流路上に電気−熱変換素子
を設けたタイプのインクジェットヘッドであってもよ
い。

【００４６】

【発明の効果】以上説明したことから明かなように、本
発明の請求項１に記載のインクジェットヘッドでは、ノ
ズル構成部材の加工コストが低減でき、また、ノズル構
成部材とキャビティ部材との接合時の位置決めを高精度
に且つ容易にすることが可能となるため、大量生産性に
優れるといった効果を奏する。

【００４７】更に、請求項２に記載したような位置決め
ガイドを採用すれば、微調整を必要とせず、ノズル構成
部材の平行でない３方向の位置を確実に且つ容易に決め
ることができる。よって、位置決めのための時間が短縮
され、高効率で且つ高精度にインクジェットヘッドが製
造できる。

【００４８】また、請求項３に記載したような第２の位
置決めガイドをノズル構成部材に形成しても、同様に微
調整を必要とせず、ノズル構成部材の平行でない３方向
の位置を確実に且つ容易に決めることができる。よっ
て、位置決めのための時間が短縮され、高効率で且つ高
精度にインクジェットヘッドが製造できる。

【００４９】請求項４に記載したようにノズル構成部材
の溝部をインク流路との連通面からインク吐出方向に向
けてその深さが浅くなるように形成すれば、ノズル孔は
吐出方向に向けて吐出圧力が高まるようになるため、吐
出精度、吐出速度が高まり、印字品質の高いインクジェ
ットヘッドが製造できる。

【００５０】また、請求項５に記載したようにノズル構
成部材の溝部をインク流路との連通面からインク吐出方
向に向けてその幅が狭くなるように形成しても、ノズル
孔は吐出方向に向けて吐出圧力が高まるようになるた
め、吐出精度、吐出速度が高まり、印字品質の高いイン
クジェットヘッドが製造できる。

【００５１】請求項６に記載したインクジェットヘッド
では、取り扱いが簡便な樹脂材料を用いてノズル構成部
材が溝部と共に射出成形で形成されるので、加工工程数
及び加工にかかる手間を大きく削減でき、低コストでイ
ンクジェットヘッドを製造できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例であるインクジェットヘッド
の構成を示した説明図である。

【図２】本実施例のインクジェットヘッドの斜視図であ
る。

【図３】アクチュエータの構成を示す説明図である。

【図４】圧電セラミックスプレートを示す斜視図であ
る。

【図５】圧電セラミックスプレートを示す斜視図であ
る。

【図６】本発明の他の実施例であるインクジェットヘッ
ドの概略を示した説明図である。

【符号の説明】

１ノズルプレート２アクチュエータ５せり出し部６溝７ノズル孔３０４インク室

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】インク流路を持つキャビティ部材と、前
記インク流路に連通し、インク流路内のインクを吐出す
る為のノズル孔を構成するノズル構成部材とを有するイ
ンクジェットヘッドにおいて、前記キャビティ部材におけるインク流路端面には、その
外周縁が一部突出して、前記ノズル構成部材と前記キャ
ビティ部材との位置を決める位置決めガイド部を形成
し、前記ノズル構成部材は、厚み方向に伸びた溝部が形成さ
れており、前記溝部の開口部が前記位置決めガイド部により覆われ
るように突き合わせて、前記ノズル構成部材を前記イン
ク流路端面に接合させることにより、インク流路と連通
する前記ノズル孔が形成されていることを特徴としたイ
ンクジェットヘッド。
【請求項２】前記位置決めガイド部は、ノズル構成部
材の前記インク流路端面における平行でない２方向の位
置を決めることを特徴とする請求項１に記載のインクジ
ェットヘッド。
【請求項３】前記ノズル構成部材は、前記キャビティ
部材と係合して、ノズル構成部材の前記インク流路端面
における平行でない２方向の位置を決める第２の位置決
めガイド部を有することを特徴とする請求項１に記載の
インクジェットヘッド。
【請求項４】前記溝部は、インク流路との連通面から
インク吐出方向に向けてその深さが浅くなるように形成
されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか
に記載のインクジェットヘッド。
【請求項５】前記溝部は、インク流路との連通面から
インク吐出方向に向けてその幅が狭くなるように形成さ
れていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに
記載のインクジェットヘッド。
【請求項６】前記ノズル構成部材は、樹脂材料を用い
た射出成形により前記溝部と共に成形されることを特徴
とする請求項１乃至５のいずれかに記載のインクジェッ
トヘッド。