JPH0990157A - 光導波路モジュールの製造方法 - Google Patents
光導波路モジュールの製造方法Info
- Publication number
- JPH0990157A JPH0990157A JP24319095A JP24319095A JPH0990157A JP H0990157 A JPH0990157 A JP H0990157A JP 24319095 A JP24319095 A JP 24319095A JP 24319095 A JP24319095 A JP 24319095A JP H0990157 A JPH0990157 A JP H0990157A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical waveguide
- optical
- optical fiber
- manufacturing
- modules
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 作業時間が短く、しかも破損しにくい光導波
路モジュールの製造方法を提供する。 【解決手段】 光導波路素子上にダミー板を被せた導波
路ブロックの入射側端部及び出射側端部に、Ｖ溝ブロッ
クに光ファイバを配して押さえ板を被せた入射側光ファ
イバアレイ及び出射側光ファイバアレイを接続する光導
波路モジュールの製造方法において、複数のパターンを
有する光導波路素子２０の入出射側端部に光導波路素子
２０と同数の光ファイバアレイ２７，３１を配置し、一
括して光軸調整を行い、接着固定して集合体３２を組立
てた後、複数の光導波路モジュール３５ａ〜３５ｄに切
り離す。
路モジュールの製造方法を提供する。 【解決手段】 光導波路素子上にダミー板を被せた導波
路ブロックの入射側端部及び出射側端部に、Ｖ溝ブロッ
クに光ファイバを配して押さえ板を被せた入射側光ファ
イバアレイ及び出射側光ファイバアレイを接続する光導
波路モジュールの製造方法において、複数のパターンを
有する光導波路素子２０の入出射側端部に光導波路素子
２０と同数の光ファイバアレイ２７，３１を配置し、一
括して光軸調整を行い、接着固定して集合体３２を組立
てた後、複数の光導波路モジュール３５ａ〜３５ｄに切
り離す。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光導波路モジュー
ルの製造方法に関する。
ルの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】光通信技術の進展に伴い、従来の光源、
光ファイバ、受光器に加えて、光分岐器（スプリッタ）
や光スイッチ、光合分波器等の光部品が要求されてい
る。これらの光部品には、小型であることと、量産性
と、高い信頼性とが不可欠であった。従来のファイバ
型、バルク型の光部品では上述した要求に対応するのが
非常に困難なため、導波路型光部品の実用化が望まれて
いた。
光ファイバ、受光器に加えて、光分岐器（スプリッタ）
や光スイッチ、光合分波器等の光部品が要求されてい
る。これらの光部品には、小型であることと、量産性
と、高い信頼性とが不可欠であった。従来のファイバ
型、バルク型の光部品では上述した要求に対応するのが
非常に困難なため、導波路型光部品の実用化が望まれて
いた。
【０００３】現在、導波路型光部品を実用化する上での
最大の問題は、導波路型光部品を構成する光導波路と、
入出力用光ファイバとの接続をいかに効率よく、しかも
安定にするかという点にある。その光導波路と入出力用
光ファイバとの接続方法としては、低コスト化が期待で
きる紫外線硬化型接着剤（ＵＶ接着剤）を利用するのが
一般的である。
最大の問題は、導波路型光部品を構成する光導波路と、
入出力用光ファイバとの接続をいかに効率よく、しかも
安定にするかという点にある。その光導波路と入出力用
光ファイバとの接続方法としては、低コスト化が期待で
きる紫外線硬化型接着剤（ＵＶ接着剤）を利用するのが
一般的である。
【０００４】ここで、１×４スプリッタ（分岐）モジュ
ールを例にとって光導波路モジュールの構造について説
明する。
ールを例にとって光導波路モジュールの構造について説
明する。
【０００５】図３は従来の光導波路モジュールの外観斜
視図である。
視図である。
【０００６】同図に示す光導波路モジュール１は、導波
路ブロック２と、導波路ブロック２の入射側（図の左
側）に接続された入射側光ファイバアレイ３と、導波路
ブロック２の出射側（図の右側）に接続された出射側光
ファイバアレイ４とで構成されている。
路ブロック２と、導波路ブロック２の入射側（図の左
側）に接続された入射側光ファイバアレイ３と、導波路
ブロック２の出射側（図の右側）に接続された出射側光
ファイバアレイ４とで構成されている。
【０００７】導波路ブロック２は、光導波路５が石英基
板６上に形成された光導波路素子７の上面に、それと同
一幅の石英製のダミー板８，９を被せ、光導波路素子７
とダミー板８，９とをＵＶ接着剤で接着固定したもので
ある。ダミー板８，９は、導波路ブロック２の両端面を
研磨する際に光導波路（コア）部の欠けやダレ（曲面状
態）が生じるのを防ぐためである。
板６上に形成された光導波路素子７の上面に、それと同
一幅の石英製のダミー板８，９を被せ、光導波路素子７
とダミー板８，９とをＵＶ接着剤で接着固定したもので
ある。ダミー板８，９は、導波路ブロック２の両端面を
研磨する際に光導波路（コア）部の欠けやダレ（曲面状
態）が生じるのを防ぐためである。
【０００８】入射側光ファイバアレイ３は、Ｖ溝が形成
された石英製の単心型Ｖ溝ブロック１０と押さえ板１１
とを有し、単心型Ｖ溝ブロック１０上のＶ溝に入射側単
心光ファイバ１２が配置され、その上から押さえ板１１
を被せ、ＵＶ接着剤で接着固定したものである。
された石英製の単心型Ｖ溝ブロック１０と押さえ板１１
とを有し、単心型Ｖ溝ブロック１０上のＶ溝に入射側単
心光ファイバ１２が配置され、その上から押さえ板１１
を被せ、ＵＶ接着剤で接着固定したものである。
【０００９】出射側光ファイバアレイ４は、４つのＶ溝
が形成された石英製の４心Ｖ溝ブロック１３と押さえ板
１４とを有し、Ｖ溝ブロック１３の４つのＶ溝に出射側
４心テープファイバ１５の各心を配置し、その上から押
さえ板１４を被せ、ＵＶ接着剤で接着固定したものであ
る。
が形成された石英製の４心Ｖ溝ブロック１３と押さえ板
１４とを有し、Ｖ溝ブロック１３の４つのＶ溝に出射側
４心テープファイバ１５の各心を配置し、その上から押
さえ板１４を被せ、ＵＶ接着剤で接着固定したものであ
る。
【００１０】導波路ブロック２の両端面及び両光ファイ
バアレイ３，４の各端面は、鏡面研磨若しくは鏡面研削
切断され、接続損失の要因となる光ファイバ端面及び光
導波路（コア）部の傷がなくなるまで仕上げられる。研
磨の完了した導波路ブロック２及び光ファイバアレイ
３，４は、図示しない精密微動台上で入射側単心光ファ
イバ１２から光を入射し、出射側４心テープファイバ１
５から出射する光でパワーモニタしながら光軸調整が行
われる。光軸調整の後、導波路ブロック２と光ファイバ
アレイ３，４との端面（鏡面）同士をＵＶ接着剤で接着
固定することによりモジュール化が完了する（特願平６
−２２１９８７号）。
バアレイ３，４の各端面は、鏡面研磨若しくは鏡面研削
切断され、接続損失の要因となる光ファイバ端面及び光
導波路（コア）部の傷がなくなるまで仕上げられる。研
磨の完了した導波路ブロック２及び光ファイバアレイ
３，４は、図示しない精密微動台上で入射側単心光ファ
イバ１２から光を入射し、出射側４心テープファイバ１
５から出射する光でパワーモニタしながら光軸調整が行
われる。光軸調整の後、導波路ブロック２と光ファイバ
アレイ３，４との端面（鏡面）同士をＵＶ接着剤で接着
固定することによりモジュール化が完了する（特願平６
−２２１９８７号）。
【００１１】尚、ＵＶ接着剤は約１００℃の耐熱性しか
ないため、モジュール化後は１００℃以上の温度環境に
さらすことができない。
ないため、モジュール化後は１００℃以上の温度環境に
さらすことができない。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来の光導
波路モジュール１は、導波路ブロック２の光導波路素子
５、入射側単心光ファイバ１２及び出射側４心テープフ
ァイバ１５を１個ずつ光軸調整した後、接着固定するこ
とによりモジュール化するため以下のような問題があ
る。
波路モジュール１は、導波路ブロック２の光導波路素子
５、入射側単心光ファイバ１２及び出射側４心テープフ
ァイバ１５を１個ずつ光軸調整した後、接着固定するこ
とによりモジュール化するため以下のような問題があ
る。
【００１３】(1) １個の光導波路モジュールを製造する
のに時間がかかりコスト高の原因となる。
のに時間がかかりコスト高の原因となる。
【００１４】(2) 光導波路素子の幅（大きさ）が小さい
ので、光軸調整機の治具に固定しにくく光導波路素子等
を破損しやすい。
ので、光軸調整機の治具に固定しにくく光導波路素子等
を破損しやすい。
【００１５】また、一括固定した光導波路モジュールを
個々に分割する際に、フルカットで行うと、以下のよう
な問題がある。
個々に分割する際に、フルカットで行うと、以下のよう
な問題がある。
【００１６】(3) 光導波路モジュールの大きさが小さい
ため、個々に分割する際、固定治具からはずれて破損す
るおそれがある。
ため、個々に分割する際、固定治具からはずれて破損す
るおそれがある。
【００１７】(4) 光導波路モジュールをワックス等で固
定し、分割した後ワックスを剥がして洗浄しなければな
らず、作業時間がかかり、かつ高温（１００℃以上）に
昇温する必要があり、光導波路モジュールにダメージを
与える。
定し、分割した後ワックスを剥がして洗浄しなければな
らず、作業時間がかかり、かつ高温（１００℃以上）に
昇温する必要があり、光導波路モジュールにダメージを
与える。
【００１８】そこで、本発明の目的は、上記課題を解決
し、作業時間が短く、しかも破損しにくい光導波路モジ
ュールの製造方法を提供することにある。
し、作業時間が短く、しかも破損しにくい光導波路モジ
ュールの製造方法を提供することにある。
【００１９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、光導波路素子上にダミー板を被せた導波路
ブロックの入射側端部及び出射側端部に、Ｖ溝ブロック
に光ファイバを配して押さえ板を被せた入射側光ファイ
バアレイ及び出射側光ファイバアレイを接続する光導波
路モジュールの製造方法において、複数のパターンを有
する光導波路素子の入出射側端部に光導波路素子と同数
の光ファイバアレイを配置し、一括して光軸調整を行
い、接着固定して集合体を組立てた後、複数の光導波路
モジュールに切り離すものである。
に本発明は、光導波路素子上にダミー板を被せた導波路
ブロックの入射側端部及び出射側端部に、Ｖ溝ブロック
に光ファイバを配して押さえ板を被せた入射側光ファイ
バアレイ及び出射側光ファイバアレイを接続する光導波
路モジュールの製造方法において、複数のパターンを有
する光導波路素子の入出射側端部に光導波路素子と同数
の光ファイバアレイを配置し、一括して光軸調整を行
い、接着固定して集合体を組立てた後、複数の光導波路
モジュールに切り離すものである。
【００２０】上記構成に加え本発明は、集合体を組立て
る前に両側の光導波路モジュールのみ光軸調整を行って
もよい。
る前に両側の光導波路モジュールのみ光軸調整を行って
もよい。
【００２１】上記構成に加え本発明は、集合体を組立て
た後、複数の光導波路モジュールに切り離す前に、研削
装置で厚さが０．１０ｍｍ〜０．２５ｍｍになるように
各光導波路モジュール間に切溝を形成した後、さらに各
切り溝を研削装置で研削して切り離してもよい。
た後、複数の光導波路モジュールに切り離す前に、研削
装置で厚さが０．１０ｍｍ〜０．２５ｍｍになるように
各光導波路モジュール間に切溝を形成した後、さらに各
切り溝を研削装置で研削して切り離してもよい。
【００２２】上記構成に加え本発明は、集合体を研削装
置で研削する際に、集合体を発泡剥離シートを用いて固
定してもよい。
置で研削する際に、集合体を発泡剥離シートを用いて固
定してもよい。
【００２３】上記構成によって、１個の光導波路モジュ
ールの製造時間と略同等の作業量で複数の光導波路モジ
ュールを製造することができるので、作業時間が短縮す
る。また、光導波路素子の集合体の幅が大きいので、光
軸調整機への治具固定が安定に行われる。さらに、ダイ
シング装置で集合体を分割する際、研削装置だけで分割
するので、洗浄等の後処理が簡易化され、作業工数が減
少する。またワックスを使用せずに集合体を発泡剥離シ
ートを用いて固定する場合には、高温に昇温する必要が
ないので光導波路モジュールへのダメージが低下する。
ールの製造時間と略同等の作業量で複数の光導波路モジ
ュールを製造することができるので、作業時間が短縮す
る。また、光導波路素子の集合体の幅が大きいので、光
軸調整機への治具固定が安定に行われる。さらに、ダイ
シング装置で集合体を分割する際、研削装置だけで分割
するので、洗浄等の後処理が簡易化され、作業工数が減
少する。またワックスを使用せずに集合体を発泡剥離シ
ートを用いて固定する場合には、高温に昇温する必要が
ないので光導波路モジュールへのダメージが低下する。
【００２４】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を添付
図面に基づいて詳述する。
図面に基づいて詳述する。
【００２５】図１（ａ）〜図１（ｄ）は本発明の光導波
路モジュールの製造方法の一実施の形態を示す工程図で
ある。図２（ａ）は図１（ｂ）におけるＡ−Ａ線断面図
を示し、図２（ｂ）は図１（ｃ）におけるＢ−Ｂ線断面
図を示し、図２（ｃ）は図１（ｄ）におけるＣ−Ｃ線断
面図をそれぞれ示している。尚、本実施の形態では５個
の１×４スプリッタモジュールを製造する場合について
説明する。
路モジュールの製造方法の一実施の形態を示す工程図で
ある。図２（ａ）は図１（ｂ）におけるＡ−Ａ線断面図
を示し、図２（ｂ）は図１（ｃ）におけるＢ−Ｂ線断面
図を示し、図２（ｃ）は図１（ｄ）におけるＣ−Ｃ線断
面図をそれぞれ示している。尚、本実施の形態では５個
の１×４スプリッタモジュールを製造する場合について
説明する。
【００２６】図１（ａ）に示すように、まず、５個のパ
ターンを有する光導波路素子（５個一体）２０の入射側
端部及び出射側端部の上に光導波路素子２０と同一幅の
ダミー板２１，２２を被せて、光導波路素子２０とダミ
ー板２１，２２とを高弾性耐熱型のＵＶ接着剤で接着固
定して導波路ブロック２３を形成する。
ターンを有する光導波路素子（５個一体）２０の入射側
端部及び出射側端部の上に光導波路素子２０と同一幅の
ダミー板２１，２２を被せて、光導波路素子２０とダミ
ー板２１，２２とを高弾性耐熱型のＵＶ接着剤で接着固
定して導波路ブロック２３を形成する。
【００２７】入射側（図では右側）の石英製のＶ溝ブロ
ック２４の５本のＶ溝に、５本の単心光ファイバ２５ａ
〜２５ｅをそれぞれ配置し、その上から押さえ板２６を
被せ、高弾性耐熱型のＵＶ接着剤で接着固定して入射側
単心光ファイバアレイ（以下「入射側光ファイバアレ
イ」という）２７を形成する。
ック２４の５本のＶ溝に、５本の単心光ファイバ２５ａ
〜２５ｅをそれぞれ配置し、その上から押さえ板２６を
被せ、高弾性耐熱型のＵＶ接着剤で接着固定して入射側
単心光ファイバアレイ（以下「入射側光ファイバアレ
イ」という）２７を形成する。
【００２８】出射側（図では左側）の石英製のＶ溝ブロ
ック２８の５組（１組４本）のＶ溝に、５本の４心テー
プファイバ２９ａ〜２９ｅの各心をそれぞれ配置し、そ
の上から押さえ板３０を被せて高弾性耐熱型のＵＶ接着
剤で接着固定して出射側４心光ファイバアレイ（以下
「出射側光ファイバアレイ」という）３１を形成する。
ック２８の５組（１組４本）のＶ溝に、５本の４心テー
プファイバ２９ａ〜２９ｅの各心をそれぞれ配置し、そ
の上から押さえ板３０を被せて高弾性耐熱型のＵＶ接着
剤で接着固定して出射側４心光ファイバアレイ（以下
「出射側光ファイバアレイ」という）３１を形成する。
【００２９】導波路ブロック２３の入射側及び出射側の
両端面と、入射側光ファイバアレイ２７の端面と、出射
側光ファイバアレイ３１の端面とをそれぞれ鏡面研磨若
しくは鏡面研削切断し、傷がなくなるまで仕上げる。
両端面と、入射側光ファイバアレイ２７の端面と、出射
側光ファイバアレイ３１の端面とをそれぞれ鏡面研磨若
しくは鏡面研削切断し、傷がなくなるまで仕上げる。
【００３０】図１（ｂ）に示すように、鏡面仕上げ後の
導波路ブロック２３と両光ファイバアレイ２７，３１と
を各端面を突き合わせた状態で精密微動台（図示せず）
上に例えば発泡剥離シートを用いて固定し、入射側の両
側の単心光ファイバ２５ａ，２５ｅから光を入射し、出
射側の４心テープファイバ２９ａ，２９ｅからの出射光
のパワーを図示しないパワーメータでモニタして光軸調
整を行う。
導波路ブロック２３と両光ファイバアレイ２７，３１と
を各端面を突き合わせた状態で精密微動台（図示せず）
上に例えば発泡剥離シートを用いて固定し、入射側の両
側の単心光ファイバ２５ａ，２５ｅから光を入射し、出
射側の４心テープファイバ２９ａ，２９ｅからの出射光
のパワーを図示しないパワーメータでモニタして光軸調
整を行う。
【００３１】光軸調整後、導波路ブロック２３と光ファ
イバアレイ２７，３１の端面同士を光ファイバのコアの
屈折率と略等しい屈折率（ｎD ＝１．４５〜１．４６）
を有するエポキシ系ＵＶ接着剤により接着固定すること
により、１×４スプリッタモジュール５個からなる集合
体３２が形成される。尚、中央の３個分の１×４スプリ
ッタについては光軸調整は行わない（単心光ファイバ２
５ｂ〜２５ｄ及び４心テープファイバ２９ｂ〜２９ｄの
光軸調整は行わない）。
イバアレイ２７，３１の端面同士を光ファイバのコアの
屈折率と略等しい屈折率（ｎD ＝１．４５〜１．４６）
を有するエポキシ系ＵＶ接着剤により接着固定すること
により、１×４スプリッタモジュール５個からなる集合
体３２が形成される。尚、中央の３個分の１×４スプリ
ッタについては光軸調整は行わない（単心光ファイバ２
５ｂ〜２５ｄ及び４心テープファイバ２９ｂ〜２９ｄの
光軸調整は行わない）。
【００３２】図１（ｃ）に示すように、電子部品、半導
体等の切削加工に使用されるダイシング装置のブレード
３３を用いて集合体３２を切削し、図２（ｂ）に示すよ
うに厚さｔ（０．１０ｍｍ〜０．２５ｍｍ）だけ残して
４本の切溝３４ａ〜３４ｄを形成する。
体等の切削加工に使用されるダイシング装置のブレード
３３を用いて集合体３２を切削し、図２（ｂ）に示すよ
うに厚さｔ（０．１０ｍｍ〜０．２５ｍｍ）だけ残して
４本の切溝３４ａ〜３４ｄを形成する。
【００３３】図１（ｄ）に示すように、再びダイシング
装置のブレード３３を用いて各切溝３４ａ〜３４ｄを切
削し、１×４スプリッタモジュールを取り外し、完全に
５分割することにより、５個の１×４スプリッタモジュ
ール３５ａ〜３５ｄの組立てが完了する（図２
（ｃ））。
装置のブレード３３を用いて各切溝３４ａ〜３４ｄを切
削し、１×４スプリッタモジュールを取り外し、完全に
５分割することにより、５個の１×４スプリッタモジュ
ール３５ａ〜３５ｄの組立てが完了する（図２
（ｃ））。
【００３４】このように構成したことで、１個の光導波
路モジュールの製造時間と略同等の作業量で複数の光導
波路モジュールを製造することができるので、作業時間
が短縮する。また、光導波路素子の集合体の幅が大きい
ので、光軸調整機への治具固定が安定に行われる。さら
に、ダイシング装置で集合体を分割する際、研削装置だ
けで分割するので、洗浄等の後処理が簡易化され、作業
工数が減少する。またワックスを使用せずに集合体を発
泡剥離シートを用いて固定する場合には、高温に昇温す
る必要がないので光導波路モジュールへのダメージが低
下する。
路モジュールの製造時間と略同等の作業量で複数の光導
波路モジュールを製造することができるので、作業時間
が短縮する。また、光導波路素子の集合体の幅が大きい
ので、光軸調整機への治具固定が安定に行われる。さら
に、ダイシング装置で集合体を分割する際、研削装置だ
けで分割するので、洗浄等の後処理が簡易化され、作業
工数が減少する。またワックスを使用せずに集合体を発
泡剥離シートを用いて固定する場合には、高温に昇温す
る必要がないので光導波路モジュールへのダメージが低
下する。
【００３５】尚、本実施の形態では、１×４スプリッタ
モジュールの場合について説明したが、他のスプリッ
タ、ＷＤＭ（wave division multiplex,波長分割多重）
等のモジュールや石英系以外のＬｉＮｂＯ3 、半導体等
の材質のモジュールに適用してもよい。
モジュールの場合について説明したが、他のスプリッ
タ、ＷＤＭ（wave division multiplex,波長分割多重）
等のモジュールや石英系以外のＬｉＮｂＯ3 、半導体等
の材質のモジュールに適用してもよい。
【００３６】
【発明の効果】以上要するに本発明によれば、次のよう
な優れた効果を発揮する。
な優れた効果を発揮する。
【００３７】複数のパターンを有する光導波路素子の入
出射側端部に光導波路素子と同数の光ファイバアレイを
配置し、一括して光軸調整を行い、接着固定して集合体
を組立てた後、複数の光導波路モジュールに切り離すの
で、作業時間が短く、しかも破損しにくい光導波路モジ
ュールの製造方法を実現することができる。
出射側端部に光導波路素子と同数の光ファイバアレイを
配置し、一括して光軸調整を行い、接着固定して集合体
を組立てた後、複数の光導波路モジュールに切り離すの
で、作業時間が短く、しかも破損しにくい光導波路モジ
ュールの製造方法を実現することができる。
【図１】（ａ）〜（ｄ）は本発明の光導波路モジュール
の製造方法の一実施の形態を示す工程図である。
の製造方法の一実施の形態を示す工程図である。
【図２】（ａ）は図１（ｂ）におけるＡ−Ａ線断面図を
示し、（ｂ）は図１（ｃ）におけるＢ−Ｂ線断面図を示
し、（ｃ）は図１（ｄ）におけるＣ−Ｃ線断面図をそれ
ぞれ示す図である。
示し、（ｂ）は図１（ｃ）におけるＢ−Ｂ線断面図を示
し、（ｃ）は図１（ｄ）におけるＣ−Ｃ線断面図をそれ
ぞれ示す図である。
【図３】従来の光導波路モジュールの外観斜視図であ
る。
る。
２０ 光導波路素子 ２７ 光ファイバアレイ（入射側光ファイバアレイ） ３１ 光ファイバアレイ（出射側光ファイバアレイ） ３２ 集合体 ３５ａ〜３５ｄ 光導波路モジュール（１×４スプリッ
タモジュール）
タモジュール）
フロントページの続き (72)発明者 武藤 英明 茨城県日立市日高町５丁目１番１号 日立 電線株式会社オプトロシステム研究所内
Claims (4)
- 【請求項１】 光導波路素子上にダミー板を被せた導波
路ブロックの入射側端部及び出射側端部に、Ｖ溝ブロッ
クに光ファイバを配して押さえ板を被せた入射側光ファ
イバアレイ及び出射側光ファイバアレイを接続する光導
波路モジュールの製造方法において、複数のパターンを
有する光導波路素子の入出射側端部に該光導波路素子と
同数の光ファイバアレイを配置し、一括して光軸調整を
行い、接着固定して集合体を組立てた後、複数の光導波
路モジュールに切り離すことを特徴とする光導波路モジ
ュールの製造方法。 - 【請求項２】 上記集合体を組立てる前に両側の光導波
路モジュールのみ光軸調整を行う請求項１記載の光導波
路モジュールの製造方法。 - 【請求項３】 上記集合体を組立てた後、複数の光導波
路モジュールに切り離す前に、研削装置で厚さが０．１
０ｍｍ〜０．２５ｍｍになるように各光導波路モジュー
ル間に切溝を形成した後、さらに各切り溝を研削装置で
研削して切り離す請求項２記載の光導波路モジュールの
製造方法。 - 【請求項４】 上記集合体を研削装置で研削する際に、
上記集合体を発泡剥離シートを用いて固定した請求項３
記載の光導波路モジュールの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24319095A JPH0990157A (ja) | 1995-09-21 | 1995-09-21 | 光導波路モジュールの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24319095A JPH0990157A (ja) | 1995-09-21 | 1995-09-21 | 光導波路モジュールの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0990157A true JPH0990157A (ja) | 1997-04-04 |
Family
ID=17100176
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24319095A Pending JPH0990157A (ja) | 1995-09-21 | 1995-09-21 | 光導波路モジュールの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0990157A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001038916A1 (en) * | 1999-11-22 | 2001-05-31 | Corning O.T.I., S.P.A | Method of manufacturing a plurality of complete integrated optical devices |
| US6741776B2 (en) * | 2000-06-26 | 2004-05-25 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | Optical waveguide module optically connected with an optical fiber |
| JP2006528786A (ja) * | 2003-07-24 | 2006-12-21 | リフレックス フォトニーク インコーポレイテッド／リフレックス フォトニックス インコーポレイテッド | 光フェルール |
| CN110780380A (zh) * | 2018-07-24 | 2020-02-11 | 住友大阪水泥股份有限公司 | 光波导元件 |
-
1995
- 1995-09-21 JP JP24319095A patent/JPH0990157A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001038916A1 (en) * | 1999-11-22 | 2001-05-31 | Corning O.T.I., S.P.A | Method of manufacturing a plurality of complete integrated optical devices |
| US6741776B2 (en) * | 2000-06-26 | 2004-05-25 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | Optical waveguide module optically connected with an optical fiber |
| JP2006528786A (ja) * | 2003-07-24 | 2006-12-21 | リフレックス フォトニーク インコーポレイテッド／リフレックス フォトニックス インコーポレイテッド | 光フェルール |
| CN110780380A (zh) * | 2018-07-24 | 2020-02-11 | 住友大阪水泥股份有限公司 | 光波导元件 |
| CN110780380B (zh) * | 2018-07-24 | 2023-04-07 | 住友大阪水泥股份有限公司 | 光波导元件 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN100367059C (zh) | 光纤的无源对准连接 | |
| US6741776B2 (en) | Optical waveguide module optically connected with an optical fiber | |
| US4449783A (en) | Optical star coupler with a planar mixer element | |
| US6496624B1 (en) | Optical waveguide device for optical wiring and manufacturing method therefor | |
| JPH1195063A (ja) | 整列用プラットホームを用いた光ファイバーの受動整列装置 | |
| JP3185797B2 (ja) | 接着シート付き導波路フィルム及びその実装方法 | |
| JP2615400B2 (ja) | 無調整光コネクタ | |
| JP2004078028A (ja) | 光ファイバガイド部品およびその作製方法 | |
| JP3151699B2 (ja) | 光回路部品の作製方法 | |
| JPH0990157A (ja) | 光導波路モジュールの製造方法 | |
| JP2003004992A (ja) | 光送受信モジュールとその製造方法 | |
| JP3788397B2 (ja) | 光導波路装置及び光導波路装置を用いた通信機器 | |
| JP3858989B2 (ja) | 光導波路装置の製造方法 | |
| JPH0980257A (ja) | 導波路と光ファイバとの結合方法 | |
| US6965721B1 (en) | Integrated manufacture of side-polished fiber optics | |
| JPH09258044A (ja) | 光フィルタ内蔵導波路型光デバイス | |
| CN218332042U (zh) | 光学组件 | |
| JPH0886933A (ja) | 光導波路モジュール | |
| JP2001337246A (ja) | 光導波路部品、光導波路部品の製造方法、接続部材、光学部品、光導波路部品の接続方法、および光学素子 | |
| JPH05264862A (ja) | 光導波路モジュール | |
| JPH11133272A (ja) | 光導波路型光カプラの製造用板材のチップ列 | |
| JP2001174725A (ja) | メカニカル光スイッチ | |
| JP2003185873A (ja) | 二次元光学部材アレイ及び二次元導波路装置並びにそれらの製造方法 | |
| JPH04140701A (ja) | 導波路カプラおよびその製造方法 | |
| JP3446953B2 (ja) | 光ファイバアレイ部品とその製造方法および光ファイバアレイ部品を用いた光ファイバと光導波路との接続方法および光ファイバアレイ部品を用いた光モジュール |