JPH0978227A - 多層膜被覆部材 - Google Patents
多層膜被覆部材Info
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- JPH0978227A JPH0978227A JP26494195A JP26494195A JPH0978227A JP H0978227 A JPH0978227 A JP H0978227A JP 26494195 A JP26494195 A JP 26494195A JP 26494195 A JP26494195 A JP 26494195A JP H0978227 A JPH0978227 A JP H0978227A
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- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
- C23C28/04—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material
- C23C28/044—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material coatings specially adapted for cutting tools or wear applications
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- C23C28/42—Coatings including alternating layers following a pattern, a periodic or defined repetition characterized by the composition of the alternating layers
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ＴｉＡｌの化合物を被膜とする従来の被覆部
材は、被膜中にＡｌを含有させることにより、Ｔｉ化合
物の被膜に比較して被膜表面の化学的性質の向上を達成
した反面、破壊靭性値が低下すること、特に高速切削用
切削工具として用いると、高温による被膜の酸化，急激
な摩耗の進行，熱衝撃性による劣化および被削材との溶
着により短寿命になるという課題がある。 【解決手段】 金属部材，焼結合金またはセラミックス
焼結体でなる基体上に被膜を被覆してなる被覆部材にお
いて、該被膜は、Ｔｉの炭化物，窒化物，炭窒化物，炭
酸化物，窒酸化物，炭窒酸化物の中の１種の単層または
２種以上の複合層でなる第１被膜と、ＴｉとＡｌとの複
合炭化物，複合窒化物，複合炭窒化物，複合炭酸化物，
複合窒酸化物，複合炭窒酸化物の中の１種の単層または
２種以上の複合層でなる第２被膜とでなり、該第２被膜
が該第１被膜により挟持された積層になっていることを
特徴とする多層膜被覆部材である。
材は、被膜中にＡｌを含有させることにより、Ｔｉ化合
物の被膜に比較して被膜表面の化学的性質の向上を達成
した反面、破壊靭性値が低下すること、特に高速切削用
切削工具として用いると、高温による被膜の酸化，急激
な摩耗の進行，熱衝撃性による劣化および被削材との溶
着により短寿命になるという課題がある。 【解決手段】 金属部材，焼結合金またはセラミックス
焼結体でなる基体上に被膜を被覆してなる被覆部材にお
いて、該被膜は、Ｔｉの炭化物，窒化物，炭窒化物，炭
酸化物，窒酸化物，炭窒酸化物の中の１種の単層または
２種以上の複合層でなる第１被膜と、ＴｉとＡｌとの複
合炭化物，複合窒化物，複合炭窒化物，複合炭酸化物，
複合窒酸化物，複合炭窒酸化物の中の１種の単層または
２種以上の複合層でなる第２被膜とでなり、該第２被膜
が該第１被膜により挟持された積層になっていることを
特徴とする多層膜被覆部材である。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、金属，合金または
セラミックス焼結体の基体上にＴｉとＡｌの化合物でな
る被膜を含む少なくとも３層の被膜を被覆してなる多層
膜被覆部材に関し、具体的には、金属，合金またはセラ
ミックス焼結体の基体上に高硬度、高靭性を有した積層
の被膜を被覆し、例えば旋削工具，フライス工具，ドリ
ル，エンドミルに代表される切削工具、スリッタ−など
の切断刃，裁断刃，ダイスなどの型工具，ノズルに代表
される耐摩耗工具として最適な多層膜被覆部材に関す
る。
セラミックス焼結体の基体上にＴｉとＡｌの化合物でな
る被膜を含む少なくとも３層の被膜を被覆してなる多層
膜被覆部材に関し、具体的には、金属，合金またはセラ
ミックス焼結体の基体上に高硬度、高靭性を有した積層
の被膜を被覆し、例えば旋削工具，フライス工具，ドリ
ル，エンドミルに代表される切削工具、スリッタ−など
の切断刃，裁断刃，ダイスなどの型工具，ノズルに代表
される耐摩耗工具として最適な多層膜被覆部材に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】金属、合金およびセラミックスの基体上
に厚さが２０μｍ以下のセラミックスの被膜を被覆し、
基体と被膜とのそれぞれの特性を有効に引き出して、長
寿命を達成しようとした被覆部材が多数提案されてい
る。この被覆部材に被膜を被覆する方法は、大別すると
化学蒸着法（ＣＶＤ法）と物理蒸着法（ＰＶＤ法）があ
る。これらのうち、特にＰＶＤ法により被覆された被膜
は、基体の強度を劣化させることなく耐摩耗性を高める
利点がある。そのために、一般に強度，耐欠損性を重要
視するドリル、エンドミル、フライス用スロ−アウェイ
チップに代表される被覆切削工具の被膜は、ＰＶＤ法に
より被覆されているのが現状である。
に厚さが２０μｍ以下のセラミックスの被膜を被覆し、
基体と被膜とのそれぞれの特性を有効に引き出して、長
寿命を達成しようとした被覆部材が多数提案されてい
る。この被覆部材に被膜を被覆する方法は、大別すると
化学蒸着法（ＣＶＤ法）と物理蒸着法（ＰＶＤ法）があ
る。これらのうち、特にＰＶＤ法により被覆された被膜
は、基体の強度を劣化させることなく耐摩耗性を高める
利点がある。そのために、一般に強度，耐欠損性を重要
視するドリル、エンドミル、フライス用スロ−アウェイ
チップに代表される被覆切削工具の被膜は、ＰＶＤ法に
より被覆されているのが現状である。
【０００３】従来から耐摩耗性を向上させるために窒化
チタンの被膜を被覆することはよく知られている。しか
しながら、窒化チタンを代表とする金属窒化物は高温で
酸化されやすく、耐摩耗性が著しく劣化するという問題
がある。この窒化チタン被膜の酸化の問題を改善しょう
として１９８０年代中頃から提案されたものに、ＴｉＡ
ｌＮの被膜がある。このＴｉＡｌＮの被膜を被覆した被
覆部材の代表的なものに特開昭６２−５６５６５号公報
がある。
チタンの被膜を被覆することはよく知られている。しか
しながら、窒化チタンを代表とする金属窒化物は高温で
酸化されやすく、耐摩耗性が著しく劣化するという問題
がある。この窒化チタン被膜の酸化の問題を改善しょう
として１９８０年代中頃から提案されたものに、ＴｉＡ
ｌＮの被膜がある。このＴｉＡｌＮの被膜を被覆した被
覆部材の代表的なものに特開昭６２−５６５６５号公報
がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ＴｉＡｌ化合物の被膜
に関する先行技術としての特開昭６２−５６５６５号公
報には、基体の表面にＴｉとＡｌの炭化物，窒化物およ
び炭窒化物のうちの１種の単層または２種以上の複層で
なる硬質被覆層を０．５〜１０μｍ厚さで形成した耐摩
耗性に優れた表面被覆硬質部材について記載されてい
る。
に関する先行技術としての特開昭６２−５６５６５号公
報には、基体の表面にＴｉとＡｌの炭化物，窒化物およ
び炭窒化物のうちの１種の単層または２種以上の複層で
なる硬質被覆層を０．５〜１０μｍ厚さで形成した耐摩
耗性に優れた表面被覆硬質部材について記載されてい
る。
【０００５】同公報に記載の表面被覆硬質部材は、開発
当初の通りにＴｉ化合物の被膜に比べて耐酸化性および
耐摩耗性の向上した被覆硬質部材ではあるが、逆に機械
的性質が劣化し、工具、特に苛酷な条件で用いられる切
削工具へ適用した場合に切削性能が低下するという問題
がある。つまり、同公報に記載の表面被覆硬質部材は、
被膜中にＡｌを含有させることにより、Ｔｉ化合物の被
膜に比較して被膜表面の化学的性質の向上を達成した反
面、破壊靭性値が低下すること、特に高速切削用切削工
具として用いると、高温による被膜の酸化，急激な摩耗
の進行，熱衝撃性による劣化および被削材との溶着によ
り短寿命になるという問題がある。
当初の通りにＴｉ化合物の被膜に比べて耐酸化性および
耐摩耗性の向上した被覆硬質部材ではあるが、逆に機械
的性質が劣化し、工具、特に苛酷な条件で用いられる切
削工具へ適用した場合に切削性能が低下するという問題
がある。つまり、同公報に記載の表面被覆硬質部材は、
被膜中にＡｌを含有させることにより、Ｔｉ化合物の被
膜に比較して被膜表面の化学的性質の向上を達成した反
面、破壊靭性値が低下すること、特に高速切削用切削工
具として用いると、高温による被膜の酸化，急激な摩耗
の進行，熱衝撃性による劣化および被削材との溶着によ
り短寿命になるという問題がある。
【０００６】本発明は、上述のような問題点を解決した
もので、具体的には、低温領域から高温領域に至るまで
の広い領域において、耐摩耗性，耐酸化性，耐熱衝撃
性，耐欠損性，耐溶着性および被膜の耐剥離性により一
層優れる多層膜被覆部材の提供を目的とする。
もので、具体的には、低温領域から高温領域に至るまで
の広い領域において、耐摩耗性，耐酸化性，耐熱衝撃
性，耐欠損性，耐溶着性および被膜の耐剥離性により一
層優れる多層膜被覆部材の提供を目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、超硬合金
の基体上にＴｉとＡｌとの化合物の被膜を被覆した被覆
部材が、低温領域で使用すると割合に優れた効果を発揮
するのに対し、高温領域で使用するとその効果が低減さ
れるという問題を検討していたところ、ＴｉとＡｌとの
化合物の被膜中に酸素元素を微量に含有させると低温か
ら高温の領域に至るまで耐摩耗性の低減が生じなく、寿
命が向上するということを見出し、それに基づいて本発
明者らの一人が特願平６−１８０９０８号として提案し
ている。
の基体上にＴｉとＡｌとの化合物の被膜を被覆した被覆
部材が、低温領域で使用すると割合に優れた効果を発揮
するのに対し、高温領域で使用するとその効果が低減さ
れるという問題を検討していたところ、ＴｉとＡｌとの
化合物の被膜中に酸素元素を微量に含有させると低温か
ら高温の領域に至るまで耐摩耗性の低減が生じなく、寿
命が向上するということを見出し、それに基づいて本発
明者らの一人が特願平６−１８０９０８号として提案し
ている。
【０００８】その後、本発明者らは、ＴｉとＡｌとの化
合物の被膜中に微量の酸素元素を含有させた被膜につい
て、さらに別の方向も加味して検討していたところ、基
体上で優れた特性を有するＴｉとＡｌとの化合物の被膜
を最大に発揮させるためには、この膜を含めた被膜の構
成が非常に大きく影響すること、特にＴｉとＡｌとの化
合物の被膜を最表面に形成させずに、Ｔｉの化合物の被
膜で挟持すると一層その効果が発揮されるという知見を
得て、本発明を完成するに至ったものである。
合物の被膜中に微量の酸素元素を含有させた被膜につい
て、さらに別の方向も加味して検討していたところ、基
体上で優れた特性を有するＴｉとＡｌとの化合物の被膜
を最大に発揮させるためには、この膜を含めた被膜の構
成が非常に大きく影響すること、特にＴｉとＡｌとの化
合物の被膜を最表面に形成させずに、Ｔｉの化合物の被
膜で挟持すると一層その効果が発揮されるという知見を
得て、本発明を完成するに至ったものである。
【０００９】すなわち、本発明の多層膜被覆部材は、金
属部材，焼結合金またはセラミックス焼結体でなる基体
上に被膜を被覆してなる被覆部材において、該被膜は、
Ｔｉの炭化物，窒化物，炭窒化物，炭酸化物，窒酸化
物，炭窒酸化物の中の１種の単層または２種以上の複合
層でなる第１被膜と、ＴｉとＡｌとの複合炭化物，複合
窒化物，複合炭窒化物，複合炭酸化物，複合窒酸化物，
複合炭窒酸化物の中の１種の単層または２種以上の複合
層でなる第２被膜とでなり、該第２被膜が該第１被膜に
より挟持された積層になっていることを特徴とするもの
である。
属部材，焼結合金またはセラミックス焼結体でなる基体
上に被膜を被覆してなる被覆部材において、該被膜は、
Ｔｉの炭化物，窒化物，炭窒化物，炭酸化物，窒酸化
物，炭窒酸化物の中の１種の単層または２種以上の複合
層でなる第１被膜と、ＴｉとＡｌとの複合炭化物，複合
窒化物，複合炭窒化物，複合炭酸化物，複合窒酸化物，
複合炭窒酸化物の中の１種の単層または２種以上の複合
層でなる第２被膜とでなり、該第２被膜が該第１被膜に
より挟持された積層になっていることを特徴とするもの
である。
【００１０】
【発明の実施の態様】本発明の多層膜被覆部材における
基体は、多層膜を被覆するときに加熱する温度に耐える
ことができる金属部材，焼結合金またはセラミックス焼
結体でなり、具体的には、例えばステンレス鋼，耐熱合
金，高速度鋼，ダイス鋼，Ｔｉ合金，Ａｌ合金に代表さ
れる金属部材、超硬合金，サ−メット，粉末ハイスの焼
結合金、Ａｌ2Ｏ3系焼結体，Ｓｉ3Ｎ4系焼結体，サイア
ロン系焼結体，ＺｒＯ2系焼結体のセラミックス焼結体
を挙げることができる。これらのうち、切削工具または
耐摩耗工具として用いるときには、超硬合金，窒素含有
ＴｉＣ系サ−メットもしくはセラミックス焼結体の基体
が好ましい。
基体は、多層膜を被覆するときに加熱する温度に耐える
ことができる金属部材，焼結合金またはセラミックス焼
結体でなり、具体的には、例えばステンレス鋼，耐熱合
金，高速度鋼，ダイス鋼，Ｔｉ合金，Ａｌ合金に代表さ
れる金属部材、超硬合金，サ−メット，粉末ハイスの焼
結合金、Ａｌ2Ｏ3系焼結体，Ｓｉ3Ｎ4系焼結体，サイア
ロン系焼結体，ＺｒＯ2系焼結体のセラミックス焼結体
を挙げることができる。これらのうち、切削工具または
耐摩耗工具として用いるときには、超硬合金，窒素含有
ＴｉＣ系サ−メットもしくはセラミックス焼結体の基体
が好ましい。
【００１１】この基体上に被覆される被膜は、少なくと
も第１被膜と第２被膜が被覆されており、かつ第２被膜
が第１被膜により挟持された積層構造になっており、別
の表現をすると、基体上に第１被膜と第２被膜と第１被
膜が順次被覆された少なくとも３層の被膜からなってい
ることである。
も第１被膜と第２被膜が被覆されており、かつ第２被膜
が第１被膜により挟持された積層構造になっており、別
の表現をすると、基体上に第１被膜と第２被膜と第１被
膜が順次被覆された少なくとも３層の被膜からなってい
ることである。
【００１２】これらの被膜のうち、第１被膜は、具体的
には、例えばＴｉＣ，ＴｉＮ，ＴｉＣＮ，ＴｉＣＯ，Ｔ
ｉＮＯ，ＴｉＣＮＯの中の１種の単層または２種以上の
複合層でなるものである。また、第２被膜は、具体的に
は、例えば（ＴｉＡｌ）Ｃ，（ＴｉＡｌ）Ｎ，（ＴｉＡ
ｌ）ＣＮ，（ＴｉＡｌ）ＣＯ，（ＴｉＡｌ）ＮＯ，（Ｔ
ｉＡｌ）ＣＮＯの中の１種の単層または２種以上の複合
層でなるものである。これらのうち、第２被膜について
詳述すると、例えばＴｉＡｌＮ被膜は、ＴｉＮ中のＴｉ
原子をある比率でＡｌ原子に置換したものであり、ある
濃度を越すとＡｌＮが析出してしまう。この場合、被膜
の機械的性質は著しく低下する。ＴｉＡｌＮ被膜は、高
温で酸化雰囲気にさらされると、固溶したＡｌが表面付
近で酸化されて酸化アルミニウムの被膜が形成され、そ
れが保護膜の役割を果たす。そのために、ＴｉＡｌ化合
物でなる第２被膜は、Ａｌ濃度が３０％以上、ＡｌとＴ
ｉとの金属元素の合計した濃度が５０％以上であること
が好ましい。
には、例えばＴｉＣ，ＴｉＮ，ＴｉＣＮ，ＴｉＣＯ，Ｔ
ｉＮＯ，ＴｉＣＮＯの中の１種の単層または２種以上の
複合層でなるものである。また、第２被膜は、具体的に
は、例えば（ＴｉＡｌ）Ｃ，（ＴｉＡｌ）Ｎ，（ＴｉＡ
ｌ）ＣＮ，（ＴｉＡｌ）ＣＯ，（ＴｉＡｌ）ＮＯ，（Ｔ
ｉＡｌ）ＣＮＯの中の１種の単層または２種以上の複合
層でなるものである。これらのうち、第２被膜について
詳述すると、例えばＴｉＡｌＮ被膜は、ＴｉＮ中のＴｉ
原子をある比率でＡｌ原子に置換したものであり、ある
濃度を越すとＡｌＮが析出してしまう。この場合、被膜
の機械的性質は著しく低下する。ＴｉＡｌＮ被膜は、高
温で酸化雰囲気にさらされると、固溶したＡｌが表面付
近で酸化されて酸化アルミニウムの被膜が形成され、そ
れが保護膜の役割を果たす。そのために、ＴｉＡｌ化合
物でなる第２被膜は、Ａｌ濃度が３０％以上、ＡｌとＴ
ｉとの金属元素の合計した濃度が５０％以上であること
が好ましい。
【００１３】この第２被膜が第１被膜により挟持された
積層とは、基体と第２被膜との間に形成される第１被膜
でなる下層と、第２被膜の反対の面に形成される第１被
膜でなる上層とがあり、この下層と上層とが第２被膜を
中心にして、それぞれが同一元素を含んだ対称性を有し
ている場合、具体的には、例えば基体−ＴｉＣ（下層）
−第２被膜−ＴｉＣ（上層），基体−ＴｉＮ（下層）−
第２被膜−ＴｉＮ（上層），基体−ＴｉＣＮ（下層）−
第２被膜−ＴｉＣＮ（上層），基体−ＴｉＮ（下層）−
ＴｉＮＣ（下層）−第２被膜−ＴｉＮ（上層）−ＴｉＮ
Ｃ（上層）の組合わせを挙げることができる。また、下
層と上層とが第２被膜を中心にして、それぞれが同一膜
厚さでなる場合、具体的には、例えば基体−０．５μｍ
膜厚さ（下層）−第２被膜−０．５μｍ膜厚さ（上
層），基体−１．５μｍ膜厚さ（下層）−第２被膜−
１．５μｍ膜厚さ（上層），基体−３．０μｍ膜厚さ
（下層）−第２被膜−３．０μｍ膜厚さ（上層）でなる
組合わせを挙げることができる。さらに、下層と上層と
が第２被膜を中心にして、それぞれが同一元素でなり、
かつ同一膜厚さでなる組合わせにするとバランス上優れ
ており、特に好ましいことである。このような被膜構成
にすると被膜中、特に被膜表面に圧縮応力を残存し、か
つ基体と被膜との界面では応力が緩和されて、被膜の耐
剥離性の向上および被覆部材の耐欠損性の向上となり好
ましいことである。
積層とは、基体と第２被膜との間に形成される第１被膜
でなる下層と、第２被膜の反対の面に形成される第１被
膜でなる上層とがあり、この下層と上層とが第２被膜を
中心にして、それぞれが同一元素を含んだ対称性を有し
ている場合、具体的には、例えば基体−ＴｉＣ（下層）
−第２被膜−ＴｉＣ（上層），基体−ＴｉＮ（下層）−
第２被膜−ＴｉＮ（上層），基体−ＴｉＣＮ（下層）−
第２被膜−ＴｉＣＮ（上層），基体−ＴｉＮ（下層）−
ＴｉＮＣ（下層）−第２被膜−ＴｉＮ（上層）−ＴｉＮ
Ｃ（上層）の組合わせを挙げることができる。また、下
層と上層とが第２被膜を中心にして、それぞれが同一膜
厚さでなる場合、具体的には、例えば基体−０．５μｍ
膜厚さ（下層）−第２被膜−０．５μｍ膜厚さ（上
層），基体−１．５μｍ膜厚さ（下層）−第２被膜−
１．５μｍ膜厚さ（上層），基体−３．０μｍ膜厚さ
（下層）−第２被膜−３．０μｍ膜厚さ（上層）でなる
組合わせを挙げることができる。さらに、下層と上層と
が第２被膜を中心にして、それぞれが同一元素でなり、
かつ同一膜厚さでなる組合わせにするとバランス上優れ
ており、特に好ましいことである。このような被膜構成
にすると被膜中、特に被膜表面に圧縮応力を残存し、か
つ基体と被膜との界面では応力が緩和されて、被膜の耐
剥離性の向上および被覆部材の耐欠損性の向上となり好
ましいことである。
【００１４】第２被膜が第１被膜により挟持された積層
のより好ましい構成を具体的に例示すると、第１被膜が
Ｔｉの窒化物でなり、第２被膜がＴｉ−Ａｌの複合炭窒
酸化物（ＴｉＡｌＣＮＯ）でなる第１層とＴｉ−Ａｌの
複合炭窒化物（ＴｉＡｌＣＮ）でなる第２層とＴｉ−Ａ
ｌの複合窒化物（ＴｉＡｌＮ）でなる第３層とからなる
複合層でなり、かつ第１層が第２層および第３層により
順次挟持された対称性を有するように積層されている
と、さらに好ましいことである。このことを別の表現を
すると、基体−ＴｉＮ層（第１被膜）−ＴｉＡｌＮ層
（第３層）−ＴｉＡｌＣＮ層（第２層）−ＴｉＡｌＣＮ
Ｏ層（第１層）−ＴｉＡｌＣＮ層（第２層）−ＴｉＡｌ
Ｎ層（第３層）−ＴｉＮ層（第１被膜）となるように、
基体上に順次積層されていることである。
のより好ましい構成を具体的に例示すると、第１被膜が
Ｔｉの窒化物でなり、第２被膜がＴｉ−Ａｌの複合炭窒
酸化物（ＴｉＡｌＣＮＯ）でなる第１層とＴｉ−Ａｌの
複合炭窒化物（ＴｉＡｌＣＮ）でなる第２層とＴｉ−Ａ
ｌの複合窒化物（ＴｉＡｌＮ）でなる第３層とからなる
複合層でなり、かつ第１層が第２層および第３層により
順次挟持された対称性を有するように積層されている
と、さらに好ましいことである。このことを別の表現を
すると、基体−ＴｉＮ層（第１被膜）−ＴｉＡｌＮ層
（第３層）−ＴｉＡｌＣＮ層（第２層）−ＴｉＡｌＣＮ
Ｏ層（第１層）−ＴｉＡｌＣＮ層（第２層）−ＴｉＡｌ
Ｎ層（第３層）−ＴｉＮ層（第１被膜）となるように、
基体上に順次積層されていることである。
【００１５】さらに、上記積層のより好ましい構成につ
いて詳述すると、第１被膜がＴｉの窒化物でなり、第２
被膜がＴｉ−Ａｌの複合炭窒酸化物（ＴｉＡｌＣＮＯ）
でなる第１層とＴｉ−Ａｌの複合炭窒化物（ＴｉＡｌＣ
Ｎ）でなる第２層とＴｉ−Ａｌの複合窒化物（ＴｉＡｌ
Ｎ）でなる第３層とからなる複合層でなり、第１層が第
２層および第３層により順次挟持された対称性を有する
ような積層であることは上記と同様であり、かつこれら
の第１層がＴｉａＡｌｂＣｘＮｙＯｚの式で表わせるＴ
ｉ−Ａｌの複合炭窒酸化物でなり、第２層がＴｉａＡｌ
ｂＣｓＮｔの式で表わせるＴｉ−Ａｌの複合炭窒化物で
なり、第３層がＴｉａＡｌｂＮの式で表わせるＴｉ−Ａ
ｌの複合窒化物でなることである。［但し、各式中にお
けるＴｉはチタン、Ａｌはアルミニウム、Ｃは炭素、Ｎ
は窒素、Ｏは酸素を示し、ａおよびｂは金属元素である
ＴｉとＡｌのそれぞれの原子比を表わし、ｘ，ｙおよび
ｚは非金属元素であるＣとＮとＯのそれぞれの原子比を
表わし、ｓおよびｔは非金属元素であるＣとＮのそれぞ
れの原子比を表わし、ａ＋ｂ＝１、０．９５≧ａ≧０．
０５、ｘ＋ｙ＋ｚ＝１、０．８９≧ｘ≧０．１、０．８
９≧ｙ≧０．１、０．２５≧ｚ≧０．０１、０．９≧ｓ
≧０．１、 ０．９≧ｔ≧０．１、の関係を有する］
いて詳述すると、第１被膜がＴｉの窒化物でなり、第２
被膜がＴｉ−Ａｌの複合炭窒酸化物（ＴｉＡｌＣＮＯ）
でなる第１層とＴｉ−Ａｌの複合炭窒化物（ＴｉＡｌＣ
Ｎ）でなる第２層とＴｉ−Ａｌの複合窒化物（ＴｉＡｌ
Ｎ）でなる第３層とからなる複合層でなり、第１層が第
２層および第３層により順次挟持された対称性を有する
ような積層であることは上記と同様であり、かつこれら
の第１層がＴｉａＡｌｂＣｘＮｙＯｚの式で表わせるＴ
ｉ−Ａｌの複合炭窒酸化物でなり、第２層がＴｉａＡｌ
ｂＣｓＮｔの式で表わせるＴｉ−Ａｌの複合炭窒化物で
なり、第３層がＴｉａＡｌｂＮの式で表わせるＴｉ−Ａ
ｌの複合窒化物でなることである。［但し、各式中にお
けるＴｉはチタン、Ａｌはアルミニウム、Ｃは炭素、Ｎ
は窒素、Ｏは酸素を示し、ａおよびｂは金属元素である
ＴｉとＡｌのそれぞれの原子比を表わし、ｘ，ｙおよび
ｚは非金属元素であるＣとＮとＯのそれぞれの原子比を
表わし、ｓおよびｔは非金属元素であるＣとＮのそれぞ
れの原子比を表わし、ａ＋ｂ＝１、０．９５≧ａ≧０．
０５、ｘ＋ｙ＋ｚ＝１、０．８９≧ｘ≧０．１、０．８
９≧ｙ≧０．１、０．２５≧ｚ≧０．０１、０．９≧ｓ
≧０．１、 ０．９≧ｔ≧０．１、の関係を有する］
【００１６】上述してきた本発明の多層膜被覆部材にお
ける被膜は、さらに各種の構成にすることができる。具
体的には、例えば基体の材質によっては、基体と被膜と
の密着性を高めるために基体と被膜との間に金属または
合金でなる下地層を被覆することは好ましいことであ
る。下地層としては、具体的には、例えばＴｉ，Ｚｒ，
Ｗ，Ｍｏ，Ｔａ，Ｎｂの金属またはＴｉＡｌ，Ｔｉ3Ａ
ｌ，ＴｉＡｌ3の金属間化合物でなる合金を挙げること
ができる。これらのうち、下地層がＴｉまたはＴｉを含
む合金でなる場合が好ましい。この下地層の厚さは、基
体と被膜との密着性を高める厚さでよく、具体的には、
例えば０．０５〜２μｍ、好ましくは０．１〜１μｍで
ある。
ける被膜は、さらに各種の構成にすることができる。具
体的には、例えば基体の材質によっては、基体と被膜と
の密着性を高めるために基体と被膜との間に金属または
合金でなる下地層を被覆することは好ましいことであ
る。下地層としては、具体的には、例えばＴｉ，Ｚｒ，
Ｗ，Ｍｏ，Ｔａ，Ｎｂの金属またはＴｉＡｌ，Ｔｉ3Ａ
ｌ，ＴｉＡｌ3の金属間化合物でなる合金を挙げること
ができる。これらのうち、下地層がＴｉまたはＴｉを含
む合金でなる場合が好ましい。この下地層の厚さは、基
体と被膜との密着性を高める厚さでよく、具体的には、
例えば０．０５〜２μｍ、好ましくは０．１〜１μｍで
ある。
【００１７】本発明の多層膜被覆部材における被膜の厚
さは、耐衝撃性，耐欠損性を重要視する場合、具体的に
は、例えば高負荷の加わる重切削領域またはフライス切
削工具、並びにドリルに代表されるような刃先のシャ−
プな切削工具に用いるときは、できるだけ薄くし、耐摩
耗性を重要視する用途には少し厚めに形成すればよい。
具体的な被膜厚さは、第１被膜と第２被膜とを合計した
全被膜厚さ、すなわち総被膜厚さが０．５〜１５μｍ、
好ましくは１〜９μｍであり、第１被膜の厚さが０．１
〜３μｍ、好ましくは０．２〜２μｍであり、第２被膜
の厚さが０．４〜１２μｍ、好ましくは０．８〜７μｍ
であり、第２被膜の中の第１層の厚さが０．２〜５μ
ｍ、好ましくは０．４〜３μｍであり、第２層の厚さが
０．１〜４μｍ、好ましくは０．２〜２μｍであり、第
３層の厚さが０．１〜３μｍ、好ましくは０．２〜２μ
ｍでなることである。
さは、耐衝撃性，耐欠損性を重要視する場合、具体的に
は、例えば高負荷の加わる重切削領域またはフライス切
削工具、並びにドリルに代表されるような刃先のシャ−
プな切削工具に用いるときは、できるだけ薄くし、耐摩
耗性を重要視する用途には少し厚めに形成すればよい。
具体的な被膜厚さは、第１被膜と第２被膜とを合計した
全被膜厚さ、すなわち総被膜厚さが０．５〜１５μｍ、
好ましくは１〜９μｍであり、第１被膜の厚さが０．１
〜３μｍ、好ましくは０．２〜２μｍであり、第２被膜
の厚さが０．４〜１２μｍ、好ましくは０．８〜７μｍ
であり、第２被膜の中の第１層の厚さが０．２〜５μ
ｍ、好ましくは０．４〜３μｍであり、第２層の厚さが
０．１〜４μｍ、好ましくは０．２〜２μｍであり、第
３層の厚さが０．１〜３μｍ、好ましくは０．２〜２μ
ｍでなることである。
【００１８】本発明の多層膜被覆部材は、従来から市販
されているステンレス鋼，耐熱合金，高速度鋼，ダイス
鋼，Ｔｉ合金，Ａｌ合金に代表される金属部材、超硬合
金，サ−メット，粉末ハイスの焼結合金、Ａｌ2Ｏ3系焼
結体，Ｓｉ3Ｎ4系焼結体，サイアロン系焼結体，ＺｒＯ
2系焼結体のセラミックス焼結体を基体とし、好ましく
はＪＩＳ規格Ｂ４０５３の超硬合金の使用選択基準の中
で分類されているＰ２０〜Ｐ４０，Ｍ２０〜４０および
Ｋ１０〜Ｋ２０相当の超硬合金材質、特に好ましくはＰ
３０，Ｍ２０，Ｍ３０相当の超硬合金材質でなる基体を
用いればよい。この基体の表面を、必要に応じて研磨
し、超音波，有機溶剤などによる洗浄処理を行った後、
従来から行われている物理蒸着法（ＰＶＤ法），化学蒸
着法（ＣＶＤ法）またはプラズマＣＶＤ法により基体上
に被膜を被覆することにより作製することができる。
されているステンレス鋼，耐熱合金，高速度鋼，ダイス
鋼，Ｔｉ合金，Ａｌ合金に代表される金属部材、超硬合
金，サ−メット，粉末ハイスの焼結合金、Ａｌ2Ｏ3系焼
結体，Ｓｉ3Ｎ4系焼結体，サイアロン系焼結体，ＺｒＯ
2系焼結体のセラミックス焼結体を基体とし、好ましく
はＪＩＳ規格Ｂ４０５３の超硬合金の使用選択基準の中
で分類されているＰ２０〜Ｐ４０，Ｍ２０〜４０および
Ｋ１０〜Ｋ２０相当の超硬合金材質、特に好ましくはＰ
３０，Ｍ２０，Ｍ３０相当の超硬合金材質でなる基体を
用いればよい。この基体の表面を、必要に応じて研磨
し、超音波，有機溶剤などによる洗浄処理を行った後、
従来から行われている物理蒸着法（ＰＶＤ法），化学蒸
着法（ＣＶＤ法）またはプラズマＣＶＤ法により基体上
に被膜を被覆することにより作製することができる。
【００１９】基体上に被膜を被覆する場合は、必要に応
じて被覆する下地層を含めて、それぞれの膜質に応じて
ＰＶＤ法，ＣＶＤ法，またはプラズマＣＶＤ法を使い分
けることもできる。これらのうち、製造工程上から全て
の被膜を、イオンプレ−ティング法またはスパッタリン
グ法に代表されるＰＶＤ法で行うことが好ましく、この
中でもイオンプレ−ティング法、特にア−クイオンプレ
−ティング法で被覆処理することが好ましい。
じて被覆する下地層を含めて、それぞれの膜質に応じて
ＰＶＤ法，ＣＶＤ法，またはプラズマＣＶＤ法を使い分
けることもできる。これらのうち、製造工程上から全て
の被膜を、イオンプレ−ティング法またはスパッタリン
グ法に代表されるＰＶＤ法で行うことが好ましく、この
中でもイオンプレ−ティング法、特にア−クイオンプレ
−ティング法で被覆処理することが好ましい。
【００２０】本発明の多層膜被覆部材における被膜をイ
オンプレ−ティング法で作製する場合について、さらに
詳述すると、金属源としては金属チタン、金属アルミニ
ウムおよび添加する金属の３種類を独立して用いてもよ
く、またはそれぞれの元素を含有している合金を使用し
てもよい。金属のイオン化の方法もア−ク放電の他、グ
ロ−放電または高周波加熱などのいずれでもよい。イオ
ンプレ−ティング法で使用するガスは、窒化物を生成す
るためのガス、すなわち窒素ガスの他、窒素を含んだア
ンモニアなどの化合物ガスを用いてもよい。この反応ガ
スを炉内に導入し、金属源としての金属または合金をイ
オン化し、基体に負のバイアスを印加して被膜を合成す
ることが好ましい。
オンプレ−ティング法で作製する場合について、さらに
詳述すると、金属源としては金属チタン、金属アルミニ
ウムおよび添加する金属の３種類を独立して用いてもよ
く、またはそれぞれの元素を含有している合金を使用し
てもよい。金属のイオン化の方法もア−ク放電の他、グ
ロ−放電または高周波加熱などのいずれでもよい。イオ
ンプレ−ティング法で使用するガスは、窒化物を生成す
るためのガス、すなわち窒素ガスの他、窒素を含んだア
ンモニアなどの化合物ガスを用いてもよい。この反応ガ
スを炉内に導入し、金属源としての金属または合金をイ
オン化し、基体に負のバイアスを印加して被膜を合成す
ることが好ましい。
【００２１】
【作用】本発明の多層膜被覆部材は、第２被膜を第１被
膜で挟持する膜構成にすること、特に第２被膜にチタン
・アルミニウム炭窒酸化物の膜を芯部として存在させて
多層膜にするることにより、被膜中に大きな圧縮応力を
残留させる作用が生じ、かつ基体と被膜との界面近傍に
おける応力が緩和される作用が生じ、その結果として被
膜の強度，耐摩耗性および耐欠損性を向上させる作用と
なっているものである。
膜で挟持する膜構成にすること、特に第２被膜にチタン
・アルミニウム炭窒酸化物の膜を芯部として存在させて
多層膜にするることにより、被膜中に大きな圧縮応力を
残留させる作用が生じ、かつ基体と被膜との界面近傍に
おける応力が緩和される作用が生じ、その結果として被
膜の強度，耐摩耗性および耐欠損性を向上させる作用と
なっているものである。
【００２２】
【実施例１】市販されている形状ＳＮＧＮ１２０４０８
超硬合金（ＪＩＳ規格Ｐ３０相当材質）を基体とし、こ
の基体の表面を有機溶剤で洗浄した後、ア−ク放電プラ
ズマ法のチャンバ−内に設置し、（逃げ面とすくい面へ
同時に被覆できる治具を用いて設置）、チャンバ−内を
１．０×１０-6〜３．０×１０-6Ｔｏｒｒの真空とし
た。次いでチャンバ−内を表１−１，表１−２および表
１−３に示すガス組成およびガス圧に保持し、基体を約
４５０℃に加熱した。最初に、ア−ク放電電流を約８０
０Ａに保ち、基体にＴｉイオンを２分間被覆した（下地
層）。次に、ア−ク放電電流を約１００Ａに保ち、Ｔｉ
−Ａｌ合金を表１−１，表１−２および表１−３に示す
それぞれの条件により、表の上段から下段に記載の順序
にしたがって第１被膜と第２被膜を被覆して本発明品１
〜５および比較品１〜３を得た。（下地層の被覆時に
は、−８００Ｖのバイアス電圧、その他の被膜の被覆時
には、−１００Ｖのバイアス電圧を、それぞれ基体に印
加した）
超硬合金（ＪＩＳ規格Ｐ３０相当材質）を基体とし、こ
の基体の表面を有機溶剤で洗浄した後、ア−ク放電プラ
ズマ法のチャンバ−内に設置し、（逃げ面とすくい面へ
同時に被覆できる治具を用いて設置）、チャンバ−内を
１．０×１０-6〜３．０×１０-6Ｔｏｒｒの真空とし
た。次いでチャンバ−内を表１−１，表１−２および表
１−３に示すガス組成およびガス圧に保持し、基体を約
４５０℃に加熱した。最初に、ア−ク放電電流を約８０
０Ａに保ち、基体にＴｉイオンを２分間被覆した（下地
層）。次に、ア−ク放電電流を約１００Ａに保ち、Ｔｉ
−Ａｌ合金を表１−１，表１−２および表１−３に示す
それぞれの条件により、表の上段から下段に記載の順序
にしたがって第１被膜と第２被膜を被覆して本発明品１
〜５および比較品１〜３を得た。（下地層の被覆時に
は、−８００Ｖのバイアス電圧、その他の被膜の被覆時
には、−１００Ｖのバイアス電圧を、それぞれ基体に印
加した）
【００２３】本発明品１〜５および比較品１〜３の下地
層，第１被膜，第２被膜のそれぞれの被膜厚さはフィ−
ルドエミッション型高分解能走査型電子顕微鏡で調べ、
表１−１，表１−２および表１−３に併記した。本発明
品１〜５および比較品１〜３を用いて被削材：Ｓ４５Ｃ
（ＨＢ１９０）、切削速度：３００ｍ／ｍｉｎ、送り：
０．５ｍｍ／ｒｅｖ、切込み：２．０ｍｍ、切削時間：
６０ｍｉｎでなる乾式切削試験条件（表２に「第１切削
条」件」と記載）と被削材：Ｓ４８Ｃ、切削速度：１５
０ｍ／ｍｉｎ、送り：０．３ｍｍ／ｒｅｖ、切込み：
１．５ｍｍ、切削時間：３０ｍｉｎでなる乾式切削試験
条件（表２に「第２切削条件」と記載）により、切削試
験を行い平均逃げ面摩耗幅を求めて、その結果を表２に
記載した。
層，第１被膜，第２被膜のそれぞれの被膜厚さはフィ−
ルドエミッション型高分解能走査型電子顕微鏡で調べ、
表１−１，表１−２および表１−３に併記した。本発明
品１〜５および比較品１〜３を用いて被削材：Ｓ４５Ｃ
（ＨＢ１９０）、切削速度：３００ｍ／ｍｉｎ、送り：
０．５ｍｍ／ｒｅｖ、切込み：２．０ｍｍ、切削時間：
６０ｍｉｎでなる乾式切削試験条件（表２に「第１切削
条」件」と記載）と被削材：Ｓ４８Ｃ、切削速度：１５
０ｍ／ｍｉｎ、送り：０．３ｍｍ／ｒｅｖ、切込み：
１．５ｍｍ、切削時間：３０ｍｉｎでなる乾式切削試験
条件（表２に「第２切削条件」と記載）により、切削試
験を行い平均逃げ面摩耗幅を求めて、その結果を表２に
記載した。
【００２４】
【表１−１】
【００２５】
【表１−２】
【００２６】
【表１−３】
【００２７】
【表２】
【００２８】
【実施例２】市販の超硬合金製エンドミル（ＪＩＳ規格
のＭ２０相当）を基体とし、この基体を用いて第２被膜
の中の第１層のみ膜厚さをそれぞれ０．２μｍ薄くした
以外は、実施例１と同被覆条件により本発明品６〜１０
を得た。基体を本発明品６〜１０と同様にした以外は、
実施例１で得た比較品１〜３と同被覆条件として、比較
品４〜６を得た。こうして得た本発明品６〜１０および
比較品４〜６を用いて、被削材：ＳＫＤ６１（ＨＲＣ４
１）、送り：０．０８／ｒｅｖ、切込み：Ａｄ＝１２ｍ
ｍ、Ｒｄ＝０．８ｍｍ、切削速度：２０ｍ／ｍｉｎ、工
具形状：８ｍｍ径の２枚刃エンドミル、の切削条件でな
る水溶性切削試験（表３に「第３切削条件」と記載）
と、被削材：ＳＵＳ３０４（ＨＢ１８０）、送り：０．
０３／ｒｅｖ、切込み：Ａｄ＝７ｍｍ、Ｒｄ＝１ｍｍ、
切削速度：５０ｍ／ｍｉｎ、工具形状：５ｍｍ径の２枚
刃エンドミル、の切削条件でなる水溶性切削試験（表３
に「第４切削条件」と記載）とを行い、切削長５０ｍ時
における逃げ面摩耗幅を調べて、その結果を表３に記載
した。
のＭ２０相当）を基体とし、この基体を用いて第２被膜
の中の第１層のみ膜厚さをそれぞれ０．２μｍ薄くした
以外は、実施例１と同被覆条件により本発明品６〜１０
を得た。基体を本発明品６〜１０と同様にした以外は、
実施例１で得た比較品１〜３と同被覆条件として、比較
品４〜６を得た。こうして得た本発明品６〜１０および
比較品４〜６を用いて、被削材：ＳＫＤ６１（ＨＲＣ４
１）、送り：０．０８／ｒｅｖ、切込み：Ａｄ＝１２ｍ
ｍ、Ｒｄ＝０．８ｍｍ、切削速度：２０ｍ／ｍｉｎ、工
具形状：８ｍｍ径の２枚刃エンドミル、の切削条件でな
る水溶性切削試験（表３に「第３切削条件」と記載）
と、被削材：ＳＵＳ３０４（ＨＢ１８０）、送り：０．
０３／ｒｅｖ、切込み：Ａｄ＝７ｍｍ、Ｒｄ＝１ｍｍ、
切削速度：５０ｍ／ｍｉｎ、工具形状：５ｍｍ径の２枚
刃エンドミル、の切削条件でなる水溶性切削試験（表３
に「第４切削条件」と記載）とを行い、切削長５０ｍ時
における逃げ面摩耗幅を調べて、その結果を表３に記載
した。
【００２９】
【表３】
【００３０】
【発明の効果】本発明の多層被膜部材は、チタン・アル
ミニウム炭窒酸化物、チタン・アルミニウム炭窒化物、
またはチタン・アルミニウム窒化物の被膜が被覆された
従来の被覆部材に比べて、低温領域から高温領域に至る
までの広い領域において、耐摩耗性，耐酸化性，耐熱衝
撃性，耐欠損性，耐溶着性および被膜の耐剥離性がより
一層優れており、特に高温領域において顕著な効果を示
し、その結果低温領域から高温領域に至るまで広い領域
で長寿命になるという優れた効果がある。
ミニウム炭窒酸化物、チタン・アルミニウム炭窒化物、
またはチタン・アルミニウム窒化物の被膜が被覆された
従来の被覆部材に比べて、低温領域から高温領域に至る
までの広い領域において、耐摩耗性，耐酸化性，耐熱衝
撃性，耐欠損性，耐溶着性および被膜の耐剥離性がより
一層優れており、特に高温領域において顕著な効果を示
し、その結果低温領域から高温領域に至るまで広い領域
で長寿命になるという優れた効果がある。
Claims (9)
- 【請求項１】 金属部材，焼結合金またはセラミックス
焼結体でなる基体上に被膜を被覆してなる被覆部材にお
いて、該被膜は、Ｔｉの炭化物，窒化物，炭窒化物，炭
酸化物，窒酸化物，炭窒酸化物の中の１種の単層または
２種以上の複合層でなる第１被膜と、ＴｉとＡｌとの複
合炭化物，複合窒化物，複合炭窒化物，複合炭酸化物，
複合窒酸化物，複合炭窒酸化物の中の１種の単層または
２種以上の複合層でなる第２被膜とでなり、該第２被膜
が該第１被膜により挟持された積層になっていることを
特徴とする多層膜被覆部材。 - 【請求項２】 上記第２被膜が上記第１被膜により挟持
された積層は、該第２被膜が該第１被膜でなる下層と該
第１被膜でなる上層とにより挟持された構成でなり、該
第２被膜を中心にして該下層と該上層がそれぞれ同一元
素を含んだ対称性を有していることを特徴とする請求項
１記載の多層膜被覆部材。 - 【請求項３】 上記第１被膜でなる下層と上記第１被膜
でなる上層は、該第２被膜を中心にして該下層と該上層
がそれぞれ同一膜厚さでなる対称性を有していることを
特徴とする請求項１または２記載の多層膜被覆部材。 - 【請求項４】 上記第１被膜は、Ｔｉの窒化物でなり、
上記第２被膜は、Ｔｉ−Ａｌの複合炭窒酸化物でなる第
１層とＴｉ−Ａｌの複合炭窒化物でなる第２層とＴｉ−
Ａｌの複合窒化物でなる第３層とからなる複合層でな
り、かつ該第１層が該第２層および該第３層により順次
挟持された対称性の積層でなり、上記被膜の総合計が少
なくとも７層でなることを特徴とする請求項１，２また
は３記載の多層膜被覆部材。 - 【請求項５】 上記第１層は、次式（Ａ）でなり、上記
第２層は、次式（Ｂ）でなり、上記第３層は、次式
（Ｃ）でなることを特徴とする請求項４記載の多層膜被
覆部材。 ＴｉａＡｌｂＣｘＮｙＯｚ−−−−−（Ａ） ＴｉａＡｌｂＣｓＮｔ −−−−−（Ｂ） ＴｉａＡｌｂＮ −−−−−（Ｃ） ［但し、（Ａ），（Ｂ），（Ｃ）の各式中におけるＴｉ
はチタン、Ａｌはアルミニウム、Ｃは炭素、Ｎは窒素、
Ｏは酸素を示し、ａおよびｂは金属元素であるＴｉとＡ
ｌのそれぞれの原子比を表わし、ｘ，ｙおよびｚは非金
属元素であるＣとＮとＯのそれぞれの原子比を表わし、
ｓおよびｔは非金属元素であるＣとＮのそれぞれの原子
比を表わし、ａ＋ｂ＝１、０．９５≧ａ≧０．０５、ｘ
＋ｙ＋ｚ＝１、０．８９≧ｘ≧０．１、０．８９≧ｙ≧
０．１、０．２５≧ｚ≧０．０１、０．９≧ｓ≧０．
１、 ０．９≧ｔ≧０．１、の関係を有する］ - 【請求項６】 上記基体と上記被膜との間には、金属ま
たは合金でなる下地層が被覆されていることを特徴とす
る請求項１，２，３，４または５記載の多層膜被覆部
材。 - 【請求項７】 上記下地層は、Ｔｉ金属でなり、かつ膜
厚さが２μｍ以下でなることを特徴とする請求項６記載
の多層膜被覆部材。 - 【請求項８】 上記被膜は、総膜厚さが０．５〜１５μ
ｍでなり、上記第１被膜が０．１〜３μｍの膜厚さでな
ることを特徴とする請求項１，２，３，４，５，６，ま
たは７記載の多層膜被覆部材。 - 【請求項９】 上記第２被膜は、０．４〜１２μｍの膜
厚さでなり、上記第１層が０．２〜５μｍの膜厚さ、上
記第２層が０．１〜４μｍの膜厚さ、上記第３層が０．
１〜３μｍの膜厚さでなることを特徴とする請求項４，
５，６，７または８記載の多層膜被覆部材。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26494195A JP3337884B2 (ja) | 1995-09-19 | 1995-09-19 | 多層膜被覆部材 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26494195A JP3337884B2 (ja) | 1995-09-19 | 1995-09-19 | 多層膜被覆部材 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0978227A true JPH0978227A (ja) | 1997-03-25 |
| JP3337884B2 JP3337884B2 (ja) | 2002-10-28 |
Family
ID=17410319
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26494195A Expired - Fee Related JP3337884B2 (ja) | 1995-09-19 | 1995-09-19 | 多層膜被覆部材 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3337884B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999047288A1 (fr) * | 1998-03-18 | 1999-09-23 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Matrice de filetage par roulage et procede de traitement de surface de ces matrices |
| US6803388B2 (en) | 1999-09-23 | 2004-10-12 | Pfizer, Inc. | (R)-Chiral halogenated substituted n,n-bis-phenyl aminoalcohol compounds useful for inhibiting cholesteryl ester transfer protein activity |
| JP2007229919A (ja) * | 2007-04-10 | 2007-09-13 | Oc Oerlikon Balzers Ag | 保護層システムを有する工具 |
-
1995
- 1995-09-19 JP JP26494195A patent/JP3337884B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999047288A1 (fr) * | 1998-03-18 | 1999-09-23 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Matrice de filetage par roulage et procede de traitement de surface de ces matrices |
| US6803388B2 (en) | 1999-09-23 | 2004-10-12 | Pfizer, Inc. | (R)-Chiral halogenated substituted n,n-bis-phenyl aminoalcohol compounds useful for inhibiting cholesteryl ester transfer protein activity |
| JP2007229919A (ja) * | 2007-04-10 | 2007-09-13 | Oc Oerlikon Balzers Ag | 保護層システムを有する工具 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3337884B2 (ja) | 2002-10-28 |
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