JPH11216601A - 硬質積層皮膜被覆工具 - Google Patents
硬質積層皮膜被覆工具Info
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- JPH11216601A JPH11216601A JP2299798A JP2299798A JPH11216601A JP H11216601 A JPH11216601 A JP H11216601A JP 2299798 A JP2299798 A JP 2299798A JP 2299798 A JP2299798 A JP 2299798A JP H11216601 A JPH11216601 A JP H11216601A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 耐磨耗性を損なうことなく靱性を向上させ、
且つ耐熱性が維持された硬質積層皮膜被覆工具を提供す
る。 【解決手段】 基体１２の表面に、平均層厚が0.01〜0.
50μm の (ＡｌX Ｔｉ1- x ) (Ｎy Ｃ1-y ) (但し、0.
05≦ｘ≦0.50、0.50≦ｙ≦1.00) の組成で示される内側
層１４と、平均層厚が0.01〜0.50μm の (ＡｌZ Ｔｉ
1-Z )(Ｎt Ｃ1-t )( 但し、0.50＜ｚ≦0.80、0.50≦ｔ
≦1.00) の組成で示される外側層１６とを交互に繰り返
し積層して硬質積層皮膜１８を設けるとともに、その硬
質積層皮膜１８全体の組成が化学量論的にアルミニウム
リッチなるものとし、且つ全体の平均膜厚Ｄ1 を0.50〜
10.0μm とした。
且つ耐熱性が維持された硬質積層皮膜被覆工具を提供す
る。 【解決手段】 基体１２の表面に、平均層厚が0.01〜0.
50μm の (ＡｌX Ｔｉ1- x ) (Ｎy Ｃ1-y ) (但し、0.
05≦ｘ≦0.50、0.50≦ｙ≦1.00) の組成で示される内側
層１４と、平均層厚が0.01〜0.50μm の (ＡｌZ Ｔｉ
1-Z )(Ｎt Ｃ1-t )( 但し、0.50＜ｚ≦0.80、0.50≦ｔ
≦1.00) の組成で示される外側層１６とを交互に繰り返
し積層して硬質積層皮膜１８を設けるとともに、その硬
質積層皮膜１８全体の組成が化学量論的にアルミニウム
リッチなるものとし、且つ全体の平均膜厚Ｄ1 を0.50〜
10.0μm とした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、高速度工具鋼、超
硬合金、サーメットまたはＣＢＮ焼結体などを母材の材
質とする工具に硬質積層皮膜コーティングを施した硬質
積層皮膜被覆工具に関するものである。
硬合金、サーメットまたはＣＢＮ焼結体などを母材の材
質とする工具に硬質積層皮膜コーティングを施した硬質
積層皮膜被覆工具に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、高速度工具鋼、超硬合金、サーメ
ット、ＣＢＮ焼結体などを使った工具の耐磨耗性向上な
どを目的として、工具基材表面にＴｉ、Ｃｒ、Ｈｆ、Ｚ
ｒなどの窒化物、炭化物、及び炭窒化物の硬質皮膜を物
理蒸着法（ＰＶＤ法）や化学蒸着法（ＣＶＤ法）などを
用いて、0.50〜10.0μm の平均膜厚で被覆することが行
われていた。また、近年、切削速度の高速化に伴い、硬
質皮膜の耐酸化性の向上を目的として、超硬合金にＡｌ
ＴｉＮやＡｌＴｉＣＮなどの硬質皮膜をＰＶＤ法で被覆
した工具が使われるようになり、例えば、特公平４−５
３６４２号公報には、ＡｌとＴｉの複合炭化物固溶体、
複合窒化物固溶体、及び複合炭窒化物固溶体を0.50〜1
0.0μm の厚さで形成することが記載されている。ま
た、特公平５−６７７０５号公報には、皮膜の耐熱性を
更に高める目的で、Ａｌの存在割合が56% 以上、75% 以
下の化学組成から成る耐磨耗性皮膜を、0.80〜10.0μm
の膜厚で形成することが記載されている。更に、特開平
７−９７６７９号公報には、チタンリッチとアルミニウ
ムリッチのＡｌＴｉＮ超薄膜を、0.50〜20.0nmの繰り返
し周期で積層し、積層体の全体組成として化学量論的に
アルミニウムリッチなるものとし、全体の膜厚を0.50〜
10.0μm とした高硬度の超薄膜積層体を形成することが
記載されている。
ット、ＣＢＮ焼結体などを使った工具の耐磨耗性向上な
どを目的として、工具基材表面にＴｉ、Ｃｒ、Ｈｆ、Ｚ
ｒなどの窒化物、炭化物、及び炭窒化物の硬質皮膜を物
理蒸着法（ＰＶＤ法）や化学蒸着法（ＣＶＤ法）などを
用いて、0.50〜10.0μm の平均膜厚で被覆することが行
われていた。また、近年、切削速度の高速化に伴い、硬
質皮膜の耐酸化性の向上を目的として、超硬合金にＡｌ
ＴｉＮやＡｌＴｉＣＮなどの硬質皮膜をＰＶＤ法で被覆
した工具が使われるようになり、例えば、特公平４−５
３６４２号公報には、ＡｌとＴｉの複合炭化物固溶体、
複合窒化物固溶体、及び複合炭窒化物固溶体を0.50〜1
0.0μm の厚さで形成することが記載されている。ま
た、特公平５−６７７０５号公報には、皮膜の耐熱性を
更に高める目的で、Ａｌの存在割合が56% 以上、75% 以
下の化学組成から成る耐磨耗性皮膜を、0.80〜10.0μm
の膜厚で形成することが記載されている。更に、特開平
７−９７６７９号公報には、チタンリッチとアルミニウ
ムリッチのＡｌＴｉＮ超薄膜を、0.50〜20.0nmの繰り返
し周期で積層し、積層体の全体組成として化学量論的に
アルミニウムリッチなるものとし、全体の膜厚を0.50〜
10.0μm とした高硬度の超薄膜積層体を形成することが
記載されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、近年、切削
加工は高速化され、被削材も高硬度化が進んでいるが、
このような用途で硬質皮膜被覆工具を使用すると、皮膜
は磨耗せずに微小に欠けることが多かった。特に、アル
ミニウムリッチなるＡｌＴｉＮ皮膜の場合、皮膜硬さが
２６００Ｈｖ以上となるので、非常に欠け易い。このた
め、本来の耐磨耗性が発揮されなかった。これは、皮膜
が単層や複層、更に前述の超薄膜積層体であっても同様
であり、皮膜が硬くなればなるほど、切削中に皮膜に微
小な欠けが発生し本来の耐磨耗性が発揮できなかった。
加工は高速化され、被削材も高硬度化が進んでいるが、
このような用途で硬質皮膜被覆工具を使用すると、皮膜
は磨耗せずに微小に欠けることが多かった。特に、アル
ミニウムリッチなるＡｌＴｉＮ皮膜の場合、皮膜硬さが
２６００Ｈｖ以上となるので、非常に欠け易い。このた
め、本来の耐磨耗性が発揮されなかった。これは、皮膜
が単層や複層、更に前述の超薄膜積層体であっても同様
であり、皮膜が硬くなればなるほど、切削中に皮膜に微
小な欠けが発生し本来の耐磨耗性が発揮できなかった。
【０００４】本発明は以上のような事情を背景として為
されたものであり、その目的とするところは、耐磨耗性
を損なうことなく靱性を向上させ、且つ耐熱性が維持さ
れた硬質積層皮膜被覆工具を提供することにある。
されたものであり、その目的とするところは、耐磨耗性
を損なうことなく靱性を向上させ、且つ耐熱性が維持さ
れた硬質積層皮膜被覆工具を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、第１発明は、平均層厚が0.01〜0.50μm の (Ａｌ X
Ｔｉ1-x ) (Ｎy Ｃ1-y ) ( 但し、0.05≦ｘ≦0.50、0.
50≦ｙ≦1.00) の組成で示される第１皮膜層と、平均層
厚が0.01〜0.50μm の (ＡｌZ Ｔｉ1-Z )(ＮtＣ1-t )
( 但し、0.50＜ｚ≦0.80、0.50≦ｔ≦1.00) の組成で示
される第２皮膜層とが、基体の表面に交互に繰り返して
積層された硬質積層皮膜被覆工具であって、積層皮膜全
体の組成が化学量論的にアルミニウムリッチで且つ全体
の平均膜厚が0.50〜10.0μm であることを特徴とする。
に、第１発明は、平均層厚が0.01〜0.50μm の (Ａｌ X
Ｔｉ1-x ) (Ｎy Ｃ1-y ) ( 但し、0.05≦ｘ≦0.50、0.
50≦ｙ≦1.00) の組成で示される第１皮膜層と、平均層
厚が0.01〜0.50μm の (ＡｌZ Ｔｉ1-Z )(ＮtＣ1-t )
( 但し、0.50＜ｚ≦0.80、0.50≦ｔ≦1.00) の組成で示
される第２皮膜層とが、基体の表面に交互に繰り返して
積層された硬質積層皮膜被覆工具であって、積層皮膜全
体の組成が化学量論的にアルミニウムリッチで且つ全体
の平均膜厚が0.50〜10.0μm であることを特徴とする。
【０００６】ここで、積層皮膜全体の組成が化学量論的
にアルミニウムリッチであるとは、次式(1) を満たすこ
とをいう。尚、ｘ、ｚは各皮膜層におけるアルミニウム
の混合割合を示し、ｌ1 は第１皮膜層の平均層厚、ｌ2
は第２皮膜層の平均層厚を示している。 （ｘｌ1 ＋ｚｌ2 ）／（ｌ1 ＋ｌ2 ）＞0.5 ・・・(1)
にアルミニウムリッチであるとは、次式(1) を満たすこ
とをいう。尚、ｘ、ｚは各皮膜層におけるアルミニウム
の混合割合を示し、ｌ1 は第１皮膜層の平均層厚、ｌ2
は第２皮膜層の平均層厚を示している。 （ｘｌ1 ＋ｚｌ2 ）／（ｌ1 ＋ｌ2 ）＞0.5 ・・・(1)
【０００７】また、第２発明は、平均層厚が0.01〜0.50
μm の (ＡｌX Ｔｉ1-x ) (Ｎy Ｃ 1-y ) (但し、0.05
≦ｘ≦0.50、0.50≦ｙ≦1.00) の組成で示される第１皮
膜層と、平均層厚が0.01〜0.50μm の (ＡｌZ Ｔ
ｉ1-Z )(Ｎt Ｃ1-t ) ( 但し、0.50＜ｚ≦0.80、0.50≦
ｔ≦1.00) の組成で示される第２皮膜層と、その第１皮
膜層と第２皮膜層との間に介在させられる平均層厚が0.
01〜0.50μm の (Ａｌu Ｔｉ 1-u )(Ｎv Ｃ1-v ) ( 但
し、ｘ＜ｕ＜ｚ、0.50≦ｖ≦1.00) の組成で示される中
間皮膜層とが、基体の表面に繰り返して積層された硬質
積層皮膜被覆工具であって、積層皮膜全体の組成が化学
量論的にアルミニウムリッチで且つ全体の平均膜厚が0.
50〜10.0μm であることを特徴とする。
μm の (ＡｌX Ｔｉ1-x ) (Ｎy Ｃ 1-y ) (但し、0.05
≦ｘ≦0.50、0.50≦ｙ≦1.00) の組成で示される第１皮
膜層と、平均層厚が0.01〜0.50μm の (ＡｌZ Ｔ
ｉ1-Z )(Ｎt Ｃ1-t ) ( 但し、0.50＜ｚ≦0.80、0.50≦
ｔ≦1.00) の組成で示される第２皮膜層と、その第１皮
膜層と第２皮膜層との間に介在させられる平均層厚が0.
01〜0.50μm の (Ａｌu Ｔｉ 1-u )(Ｎv Ｃ1-v ) ( 但
し、ｘ＜ｕ＜ｚ、0.50≦ｖ≦1.00) の組成で示される中
間皮膜層とが、基体の表面に繰り返して積層された硬質
積層皮膜被覆工具であって、積層皮膜全体の組成が化学
量論的にアルミニウムリッチで且つ全体の平均膜厚が0.
50〜10.0μm であることを特徴とする。
【０００８】ここで、積層皮膜全体の組成が化学量論的
にアルミニウムリッチであるとは、次式(2) を満たすこ
とをいう。尚、ｘ、ｚ、ｕは各皮膜におけるアルミニウ
ムの混合割合を示し、ｌ1 は第１皮膜層の平均層厚、ｌ
2 は第２皮膜層の平均層厚、ｌ3 は中間皮膜層の平均層
厚を示している。 （ｘｌ1 ＋ｚｌ2 ＋２ｕｌ3 ）／（ｌ1 ＋ｌ2 ＋２ｌ3 ）＞0.5 ・・・(2)
にアルミニウムリッチであるとは、次式(2) を満たすこ
とをいう。尚、ｘ、ｚ、ｕは各皮膜におけるアルミニウ
ムの混合割合を示し、ｌ1 は第１皮膜層の平均層厚、ｌ
2 は第２皮膜層の平均層厚、ｌ3 は中間皮膜層の平均層
厚を示している。 （ｘｌ1 ＋ｚｌ2 ＋２ｕｌ3 ）／（ｌ1 ＋ｌ2 ＋２ｌ3 ）＞0.5 ・・・(2)
【０００９】
【発明の実施の形態】本発明の硬質積層皮膜は、イオン
プレーティング法やスパッタリング法等に代表される物
理蒸着法（ＰＶＤ法）や、プラズマＣＶＤ、熱ＣＶＤ等
に代表される化学蒸着法（ＣＶＤ法）によって形成され
る。これらのうち、イオンプレーティング法によって行
う場合について説明すると、処理炉内でイオン化した金
属成分をＮ2 雰囲気またはＣＨ4 雰囲気中で反応させ
る。カソードとしては、目的組成そのものから成るＡｌ
x Ｔｉ1-x およびＡｌz Ｔｉ1-z 、またはＡｌx Ｔｉ
1-x、Ａｌz Ｔｉ1-z 、およびＡｌu Ｔｉ1-u をターゲ
ットとし、それらを交互に使用することによって、硬質
積層皮膜が得られる。
プレーティング法やスパッタリング法等に代表される物
理蒸着法（ＰＶＤ法）や、プラズマＣＶＤ、熱ＣＶＤ等
に代表される化学蒸着法（ＣＶＤ法）によって形成され
る。これらのうち、イオンプレーティング法によって行
う場合について説明すると、処理炉内でイオン化した金
属成分をＮ2 雰囲気またはＣＨ4 雰囲気中で反応させ
る。カソードとしては、目的組成そのものから成るＡｌ
x Ｔｉ1-x およびＡｌz Ｔｉ1-z 、またはＡｌx Ｔｉ
1-x、Ａｌz Ｔｉ1-z 、およびＡｌu Ｔｉ1-u をターゲ
ットとし、それらを交互に使用することによって、硬質
積層皮膜が得られる。
【００１０】基体材料としては、高速度工具鋼、超硬合
金、サーメット、ＣＢＮ焼結体など、種々の工具材料を
採用できる。第１皮膜層および第２皮膜層は、チタンリ
ッチの第１皮膜層を内側すなわち基体側とし、アルミニ
ウムリッチの第２皮膜層を外側として、交互に積層する
ことが望ましい。
金、サーメット、ＣＢＮ焼結体など、種々の工具材料を
採用できる。第１皮膜層および第２皮膜層は、チタンリ
ッチの第１皮膜層を内側すなわち基体側とし、アルミニ
ウムリッチの第２皮膜層を外側として、交互に積層する
ことが望ましい。
【００１１】ここで、積層する皮膜の層厚を0.01〜0.50
μm に制限したのは、他の層よりアルミニウムが少ない
ため硬さが低くなるチタンリッチの第１皮膜層について
は、0.01μm 未満では切削加工時に皮膜が受ける衝撃を
吸収できず、0.50μm を超えると、皮膜の耐磨耗性およ
び耐熱性が低下する。また、他の層よりアルミニウムが
多いため硬さが高くなるアルミニウムリッチの第２皮膜
層については、0.01μm 未満では十分な耐磨耗性が得ら
れず、0.50μm を超えると、上下に衝撃を吸収する層が
あっても皮膜の欠けが避けられないからである。
μm に制限したのは、他の層よりアルミニウムが少ない
ため硬さが低くなるチタンリッチの第１皮膜層について
は、0.01μm 未満では切削加工時に皮膜が受ける衝撃を
吸収できず、0.50μm を超えると、皮膜の耐磨耗性およ
び耐熱性が低下する。また、他の層よりアルミニウムが
多いため硬さが高くなるアルミニウムリッチの第２皮膜
層については、0.01μm 未満では十分な耐磨耗性が得ら
れず、0.50μm を超えると、上下に衝撃を吸収する層が
あっても皮膜の欠けが避けられないからである。
【００１２】また、連続して積層する皮膜層の成分が違
い過ぎると、皮膜層同士の界面で欠けが発生して衝撃を
吸収できなくなるので、第２発明のように中間の成分の
中間皮膜を介在させると皮膜全体の靱性が向上する。中
間皮膜層の成分は上下の層の中間であるため、膜厚が0.
01μm 未満では衝撃を吸収できず、膜厚が0.50μm を超
えると皮膜が欠けやすくなる。
い過ぎると、皮膜層同士の界面で欠けが発生して衝撃を
吸収できなくなるので、第２発明のように中間の成分の
中間皮膜を介在させると皮膜全体の靱性が向上する。中
間皮膜層の成分は上下の層の中間であるため、膜厚が0.
01μm 未満では衝撃を吸収できず、膜厚が0.50μm を超
えると皮膜が欠けやすくなる。
【００１３】図１は、第１発明の硬質積層皮膜被覆工具
の一例を説明する断面図で、基体１２の表面上には、内
側層１４と外側層１６とを交互に同数だけ積層した硬質
積層皮膜１８が設けられている。内側層１４は第１皮膜
層に相当するもので、基体１２側に設けられており、そ
の平均層厚は0.01〜0.50μm の範囲内で、組成は (Ａｌ
x Ｔｉ1-x )(Ｎy Ｃ1-y ) (但し、0.05≦ｘ≦0.50、0.
50≦ｙ≦1.00) である一方、外側層１６は第２皮膜層に
相当するもので、平均層厚は0.01〜0.50μm の範囲内
で、組成は (Ａｌz Ｔｉ1-z )(Ｎt Ｃ1-t ) (但し、0.
50＜ｚ≦0.80、0.50≦ｔ≦1.00) である。また、硬質積
層皮膜１８全体の組成は化学量論的にアルミニウムリッ
チで、前記(1) 式を満足するように、上記内側層１４お
よび外側層１６の層厚や混合割合ｘ、ｚは定められてお
り、且つその全体の平均膜厚Ｄ1 は0.50〜10.0μm の範
囲内である。後述の実施例１〜５は、このように内側層
１４および外側層１６が互いに接する状態で交互に積層
した硬質積層皮膜被覆工具の具体例である。
の一例を説明する断面図で、基体１２の表面上には、内
側層１４と外側層１６とを交互に同数だけ積層した硬質
積層皮膜１８が設けられている。内側層１４は第１皮膜
層に相当するもので、基体１２側に設けられており、そ
の平均層厚は0.01〜0.50μm の範囲内で、組成は (Ａｌ
x Ｔｉ1-x )(Ｎy Ｃ1-y ) (但し、0.05≦ｘ≦0.50、0.
50≦ｙ≦1.00) である一方、外側層１６は第２皮膜層に
相当するもので、平均層厚は0.01〜0.50μm の範囲内
で、組成は (Ａｌz Ｔｉ1-z )(Ｎt Ｃ1-t ) (但し、0.
50＜ｚ≦0.80、0.50≦ｔ≦1.00) である。また、硬質積
層皮膜１８全体の組成は化学量論的にアルミニウムリッ
チで、前記(1) 式を満足するように、上記内側層１４お
よび外側層１６の層厚や混合割合ｘ、ｚは定められてお
り、且つその全体の平均膜厚Ｄ1 は0.50〜10.0μm の範
囲内である。後述の実施例１〜５は、このように内側層
１４および外側層１６が互いに接する状態で交互に積層
した硬質積層皮膜被覆工具の具体例である。
【００１４】図２は、第２発明の硬質積層皮膜被覆工具
の一例を説明する断面図で、前記図１の硬質積層皮膜被
覆工具に比較して、内側層１４と外側層１６との間に中
間層２２を介在させた点が異なる。中間層２２は中間皮
膜層に相当するもので、平均層厚は0.01〜0.50μm の範
囲内で、組成は (Ａｌu Ｔｉ1-u )(Ｎv Ｃ1-v ) (但
し、ｘ＜ｕ＜ｚ、0.50≦ｖ≦1.00) である。また、硬質
積層皮膜２４全体の組成は、化学量論的にアルミニウム
リッチで、前記(2) 式を満足するように、内側層１４、
外側層１６、および中間層２２の層厚や混合割合ｘ、
ｚ、ｕは定められており、且つその全体の平均膜厚Ｄ2
は0.50〜10.0μm の範囲内である。後述の実施例６およ
び７は、このような中間層２２を有する硬質積層皮膜被
覆工具の具体例である。
の一例を説明する断面図で、前記図１の硬質積層皮膜被
覆工具に比較して、内側層１４と外側層１６との間に中
間層２２を介在させた点が異なる。中間層２２は中間皮
膜層に相当するもので、平均層厚は0.01〜0.50μm の範
囲内で、組成は (Ａｌu Ｔｉ1-u )(Ｎv Ｃ1-v ) (但
し、ｘ＜ｕ＜ｚ、0.50≦ｖ≦1.00) である。また、硬質
積層皮膜２４全体の組成は、化学量論的にアルミニウム
リッチで、前記(2) 式を満足するように、内側層１４、
外側層１６、および中間層２２の層厚や混合割合ｘ、
ｚ、ｕは定められており、且つその全体の平均膜厚Ｄ2
は0.50〜10.0μm の範囲内である。後述の実施例６およ
び７は、このような中間層２２を有する硬質積層皮膜被
覆工具の具体例である。
【００１５】なお、必要に応じて上記硬質積層皮膜１
８、２４と基体１２との間にＴｉＮ等の界面層を形成し
て母材との密着性を高めたり、硬質積層皮膜１８、２４
の最表面上に更にアルミニウムリッチのＡｌＴｉＮ等か
ら成る表面層を設けたりすることも可能である。
８、２４と基体１２との間にＴｉＮ等の界面層を形成し
て母材との密着性を高めたり、硬質積層皮膜１８、２４
の最表面上に更にアルミニウムリッチのＡｌＴｉＮ等か
ら成る表面層を設けたりすることも可能である。
【００１６】以下、これらの硬質積層皮膜被覆工具の具
体例を説明する。 （実施例１）Ａｌ0.4 Ｔｉ0.6 合金のターゲットとＡｌ
0.7 Ｔｉ0.3 合金のターゲットをカソード電極とするア
ーク方式イオンプレーティング装置の基板ホルダーに、
直径10.0mm、刃長25.0mm、全長80.0mm、刃数６枚の超硬
合金製エンドミル（ＷＣ−１０Ｃｏを主成分としＪＩＳ
Ｚ１０相当）を取り付けた。基板ホルダーは自転させる
とともに基板加熱用のヒーターを設置した。次に、装置
内を6.70×10-3Paまで排気し、ヒーターでエンドミルの
温度を 400℃まで加熱した。その後、エンドミルに-100
0Vの電位をかけ、アーク放電を開始してエンドミルの表
面を十分に洗浄した後、電位を-200V まで落とすととも
にＮ2 ガスを1000cc/minの割合で流して、全体の膜厚3.
00μm 、Ａｌ0.4 Ｔｉ0.6 合金をターゲットとする内側
層（第１皮膜層）の平均層厚0.10μm 、Ａｌ0.7 Ｔｉ
0.3 合金をターゲットとする外側層（第２皮膜層）の平
均層厚0.10μm 、積層周期0.20μm で積層皮膜を形成し
た。厚み寸法は、エンドミルを切断して断面を走査形電
子顕微鏡で観察して測定した。また、オージェ電子分光
法により各皮膜層の組成の定量を行った結果、膜組成は
それぞれＡｌ0.37Ｔｉ0.63Ｎと、Ａｌ0.69Ｔｉ0.31Ｎ
で、カソード成分と殆ど同じであった。積層皮膜全体の
アルミニウムの混合割合は、 (0.37＋0.69) ÷2＝0.53
である。
体例を説明する。 （実施例１）Ａｌ0.4 Ｔｉ0.6 合金のターゲットとＡｌ
0.7 Ｔｉ0.3 合金のターゲットをカソード電極とするア
ーク方式イオンプレーティング装置の基板ホルダーに、
直径10.0mm、刃長25.0mm、全長80.0mm、刃数６枚の超硬
合金製エンドミル（ＷＣ−１０Ｃｏを主成分としＪＩＳ
Ｚ１０相当）を取り付けた。基板ホルダーは自転させる
とともに基板加熱用のヒーターを設置した。次に、装置
内を6.70×10-3Paまで排気し、ヒーターでエンドミルの
温度を 400℃まで加熱した。その後、エンドミルに-100
0Vの電位をかけ、アーク放電を開始してエンドミルの表
面を十分に洗浄した後、電位を-200V まで落とすととも
にＮ2 ガスを1000cc/minの割合で流して、全体の膜厚3.
00μm 、Ａｌ0.4 Ｔｉ0.6 合金をターゲットとする内側
層（第１皮膜層）の平均層厚0.10μm 、Ａｌ0.7 Ｔｉ
0.3 合金をターゲットとする外側層（第２皮膜層）の平
均層厚0.10μm 、積層周期0.20μm で積層皮膜を形成し
た。厚み寸法は、エンドミルを切断して断面を走査形電
子顕微鏡で観察して測定した。また、オージェ電子分光
法により各皮膜層の組成の定量を行った結果、膜組成は
それぞれＡｌ0.37Ｔｉ0.63Ｎと、Ａｌ0.69Ｔｉ0.31Ｎ
で、カソード成分と殆ど同じであった。積層皮膜全体の
アルミニウムの混合割合は、 (0.37＋0.69) ÷2＝0.53
である。
【００１７】（実施例２）内側層成膜時のターゲットと
してＡｌ0.4 Ｔｉ0.6 合金を用い、外側層成膜時のター
ゲットとしてＡｌ0.8 Ｔｉ0.2 合金を用いた以外は、実
施例１と同じ条件で成膜した。膜組成はそれぞれＡｌ
0.39Ｔｉ0.61ＮとＡｌ0.78Ｔｉ0.22Ｎで、積層皮膜全体
のアルミニウムの混合割合は、 (0.39＋0.78) ÷2 ≒0.
59である。
してＡｌ0.4 Ｔｉ0.6 合金を用い、外側層成膜時のター
ゲットとしてＡｌ0.8 Ｔｉ0.2 合金を用いた以外は、実
施例１と同じ条件で成膜した。膜組成はそれぞれＡｌ
0.39Ｔｉ0.61ＮとＡｌ0.78Ｔｉ0.22Ｎで、積層皮膜全体
のアルミニウムの混合割合は、 (0.39＋0.78) ÷2 ≒0.
59である。
【００１８】（実施例３）内側層成膜時のターゲットと
してＡｌ0.3 Ｔｉ0.7 合金を用い、外側層成膜時のター
ゲットとしてＡｌ0.7 Ｔｉ0.3 合金を用いるとともに、
積層皮膜の内側層の平均層厚を0.10μm 、外側層の平均
層厚を0.20μm として積層周期を0.30μmとした以外
は、実施例１と同じ条件で成膜した。膜組成はそれぞれ
Ａｌ0.29Ｔｉ 0.71ＮとＡｌ0.68Ｔｉ0.32Ｎで、積層皮膜
全体のアルミニウムの混合割合は、 (0.29＋0.68×2)÷
3 ＝0.55である。
してＡｌ0.3 Ｔｉ0.7 合金を用い、外側層成膜時のター
ゲットとしてＡｌ0.7 Ｔｉ0.3 合金を用いるとともに、
積層皮膜の内側層の平均層厚を0.10μm 、外側層の平均
層厚を0.20μm として積層周期を0.30μmとした以外
は、実施例１と同じ条件で成膜した。膜組成はそれぞれ
Ａｌ0.29Ｔｉ 0.71ＮとＡｌ0.68Ｔｉ0.32Ｎで、積層皮膜
全体のアルミニウムの混合割合は、 (0.29＋0.68×2)÷
3 ＝0.55である。
【００１９】（実施例４）内側層成膜時のターゲットと
してＡｌ0.3 Ｔｉ0.7 合金を用い、外側層成膜時のター
ゲットとしてＡｌ0.8 Ｔｉ0.2 合金を用いるとともに、
Ｔｉのターゲットを用いて基体表面と積層皮膜との間に
ＴｉＮから成る層厚0.10μm の界面層を形成して母材と
の密着性をさらに高め、積層皮膜の内側層の平均層厚0.
10μm 、外側層の平均層厚0.20μm 、積層周期を0.30μ
m 、積層皮膜の膜厚を3.00μm とし、全体の膜厚を3.10
μm とした以外は、実施例１と同じ条件で成膜した。積
層皮膜全体のアルミニウムの混合割合は、 (0.30＋0.80
×2)÷3 ≒0.63である。
してＡｌ0.3 Ｔｉ0.7 合金を用い、外側層成膜時のター
ゲットとしてＡｌ0.8 Ｔｉ0.2 合金を用いるとともに、
Ｔｉのターゲットを用いて基体表面と積層皮膜との間に
ＴｉＮから成る層厚0.10μm の界面層を形成して母材と
の密着性をさらに高め、積層皮膜の内側層の平均層厚0.
10μm 、外側層の平均層厚0.20μm 、積層周期を0.30μ
m 、積層皮膜の膜厚を3.00μm とし、全体の膜厚を3.10
μm とした以外は、実施例１と同じ条件で成膜した。積
層皮膜全体のアルミニウムの混合割合は、 (0.30＋0.80
×2)÷3 ≒0.63である。
【００２０】（実施例５）内側層成膜時のターゲットと
してＡｌ0.3 Ｔｉ0.7 合金を用い、外側層成膜時のター
ゲットとしてＡｌ0.7 Ｔｉ0.3 合金を用いるとともに、
Ｔｉのターゲットを用いて基体表面と積層皮膜との間に
ＴｉＮから成る層厚0.10μm の界面層を形成して母材と
の密着性をさらに高め、積層皮膜の内側層の平均層厚0.
10μm 、外側層の平均層厚0.20μm 、積層周期を0.30μ
m 、積層皮膜の膜厚を3.00μm とし、最表面にＡｌ0.7
Ｔｉ0.3 Ｎから成る層厚0.50μm の表面層を形成して皮
膜全体のアルミニウム含有量をさらに高め、全体の膜厚
を3.60μm とした以外は、実施例１と同じ条件で成膜し
た。表面層の膜組成は、Ａｌ0.66Ｔｉ0.34Ｎであった。
表面層を除く積層皮膜全体のアルミニウムの混合割合は
（実施例３）と同じである。
してＡｌ0.3 Ｔｉ0.7 合金を用い、外側層成膜時のター
ゲットとしてＡｌ0.7 Ｔｉ0.3 合金を用いるとともに、
Ｔｉのターゲットを用いて基体表面と積層皮膜との間に
ＴｉＮから成る層厚0.10μm の界面層を形成して母材と
の密着性をさらに高め、積層皮膜の内側層の平均層厚0.
10μm 、外側層の平均層厚0.20μm 、積層周期を0.30μ
m 、積層皮膜の膜厚を3.00μm とし、最表面にＡｌ0.7
Ｔｉ0.3 Ｎから成る層厚0.50μm の表面層を形成して皮
膜全体のアルミニウム含有量をさらに高め、全体の膜厚
を3.60μm とした以外は、実施例１と同じ条件で成膜し
た。表面層の膜組成は、Ａｌ0.66Ｔｉ0.34Ｎであった。
表面層を除く積層皮膜全体のアルミニウムの混合割合は
（実施例３）と同じである。
【００２１】（実施例６）Ａｌ0.2 Ｔｉ0.8 合金のター
ゲット、Ａｌ0.5 Ｔｉ0.5 合金のターゲット、及びＡｌ
0.8 Ｔｉ0.2 合金のターゲットを用いて、積層皮膜の内
側層、中間層及び外側層をそれぞれ成膜するとともに、
それらの平均層厚をそれぞれ0.10μm 、0.10μm 、及び
0.20μm とし、積層周期を0.40μm として、全体の膜厚
を3.20μmとした以外は、実施例１と同じ条件で成膜し
た。膜組成はそれぞれＡｌ0.21Ｔｉ 0.79Ｎ、Ａｌ0.48Ｔ
ｉ0.52Ｎ、及びＡｌ0.78Ｔｉ0.22Ｎであった。ここで
は、母材との密着性を高めるため、内側層を低アルミニ
ウム含有量とし、皮膜全体のアルミニウム含有量を高め
るため、外側層を高アルミニウム含有量とした。内側層
と外側層のアルミニウム含有量の差が大き過ぎると皮膜
の靱性が損なわれるため、中間層を採用してアルミニウ
ム含有量の差から生じる機械的性質の差を緩和した。こ
れらの内側層、中間層、外側層から成る積層皮膜全体の
アルミニウムの混合割合は、 (0.21＋0.78×2 ＋0.48×
2)÷5 ＝0.546 である。
ゲット、Ａｌ0.5 Ｔｉ0.5 合金のターゲット、及びＡｌ
0.8 Ｔｉ0.2 合金のターゲットを用いて、積層皮膜の内
側層、中間層及び外側層をそれぞれ成膜するとともに、
それらの平均層厚をそれぞれ0.10μm 、0.10μm 、及び
0.20μm とし、積層周期を0.40μm として、全体の膜厚
を3.20μmとした以外は、実施例１と同じ条件で成膜し
た。膜組成はそれぞれＡｌ0.21Ｔｉ 0.79Ｎ、Ａｌ0.48Ｔ
ｉ0.52Ｎ、及びＡｌ0.78Ｔｉ0.22Ｎであった。ここで
は、母材との密着性を高めるため、内側層を低アルミニ
ウム含有量とし、皮膜全体のアルミニウム含有量を高め
るため、外側層を高アルミニウム含有量とした。内側層
と外側層のアルミニウム含有量の差が大き過ぎると皮膜
の靱性が損なわれるため、中間層を採用してアルミニウ
ム含有量の差から生じる機械的性質の差を緩和した。こ
れらの内側層、中間層、外側層から成る積層皮膜全体の
アルミニウムの混合割合は、 (0.21＋0.78×2 ＋0.48×
2)÷5 ＝0.546 である。
【００２２】（実施例７）内側層成膜時のターゲットと
してＡｌ0.2 Ｔｉ0.8 合金を用い、中間層成膜時のター
ゲットとしてＡｌ0.5 Ｔｉ0.5 合金を用い、外側層成膜
時のターゲットとしてＡｌ0.8 Ｔｉ0.2 合金を用いると
ともに、Ｔｉのターゲットを用いて基体表面と積層皮膜
との間にＴｉＮから成る層厚0.10μm の界面層を形成
し、積層皮膜の内側層、中間層、及び外側層の平均層厚
をそれぞれ0.10μm 、0.10μm 、及び0.20μm とし、積
層周期を0.40μm 、積層皮膜の膜厚を3.20μm として、
最表面にＡｌ0.8 Ｔｉ0.2 Ｎから成る層厚0.50μm の表
面層を形成し、全体の膜厚を3.80μm とした以外は、実
施例１と同じ条件で成膜した。表面層の膜組成は、Ａｌ
0.78Ｔｉ0.22Ｎであった。
してＡｌ0.2 Ｔｉ0.8 合金を用い、中間層成膜時のター
ゲットとしてＡｌ0.5 Ｔｉ0.5 合金を用い、外側層成膜
時のターゲットとしてＡｌ0.8 Ｔｉ0.2 合金を用いると
ともに、Ｔｉのターゲットを用いて基体表面と積層皮膜
との間にＴｉＮから成る層厚0.10μm の界面層を形成
し、積層皮膜の内側層、中間層、及び外側層の平均層厚
をそれぞれ0.10μm 、0.10μm 、及び0.20μm とし、積
層周期を0.40μm 、積層皮膜の膜厚を3.20μm として、
最表面にＡｌ0.8 Ｔｉ0.2 Ｎから成る層厚0.50μm の表
面層を形成し、全体の膜厚を3.80μm とした以外は、実
施例１と同じ条件で成膜した。表面層の膜組成は、Ａｌ
0.78Ｔｉ0.22Ｎであった。
【００２３】次に、実施例１〜７の硬質積層皮膜と従来
の皮膜とを比較するため、次の試料を作製した。
の皮膜とを比較するため、次の試料を作製した。
【００２４】（比較例１）Ａｌ0.5 Ｔｉ0.5 合金のター
ゲットとＴｉのターゲットを用いた以外は、実施例１と
同じ条件で、基体界面にＴｉＮから成る層厚0.10μm の
界面層、表面にＡｌ0.5 Ｔｉ0.5 Ｎから成る層厚3.50μ
m の表面層を成膜した。表面層の膜組成は、Ａｌ0.49Ｔ
ｉ0.51であった。
ゲットとＴｉのターゲットを用いた以外は、実施例１と
同じ条件で、基体界面にＴｉＮから成る層厚0.10μm の
界面層、表面にＡｌ0.5 Ｔｉ0.5 Ｎから成る層厚3.50μ
m の表面層を成膜した。表面層の膜組成は、Ａｌ0.49Ｔ
ｉ0.51であった。
【００２５】（比較例２）Ａｌ0.7 Ｔｉ0.3 合金のター
ゲットとＴｉのターゲットを用いた以外は、実施例１と
同じ条件で、基体界面にＴｉＮから成る層厚0.10μm の
界面層、表面にＡｌ0.7 Ｔｉ0.3 Ｎから成る層厚3.70μ
m の表面層を成膜した。表面層の膜組成は、Ａｌ0.68Ｔ
ｉ0.32であった。
ゲットとＴｉのターゲットを用いた以外は、実施例１と
同じ条件で、基体界面にＴｉＮから成る層厚0.10μm の
界面層、表面にＡｌ0.7 Ｔｉ0.3 Ｎから成る層厚3.70μ
m の表面層を成膜した。表面層の膜組成は、Ａｌ0.68Ｔ
ｉ0.32であった。
【００２６】（比較例３）Ａｌ0.8 Ｔｉ0.2 合金のター
ゲットとＴｉのターゲットを用いた以外は、実施例１と
同じ条件で、基体界面にＴｉＮから成る層厚0.10μm の
界面層、表面にＡｌ0.8 Ｔｉ0.2 Ｎから成る層厚3.70μ
m の表面層を成膜した。表面層の膜組成は、Ａｌ0.67Ｔ
ｉ0.33であった。
ゲットとＴｉのターゲットを用いた以外は、実施例１と
同じ条件で、基体界面にＴｉＮから成る層厚0.10μm の
界面層、表面にＡｌ0.8 Ｔｉ0.2 Ｎから成る層厚3.70μ
m の表面層を成膜した。表面層の膜組成は、Ａｌ0.67Ｔ
ｉ0.33であった。
【００２７】実施例１〜７と比較例１〜３の試料を以下
の切削条件で側面切削を行い、エンドミル外周刃の逃げ
面の磨耗幅が0.10mmに達するまでの切削長さを測定し、
その結果を表１に示した。 （切削条件） 被削材：ＳＫＤ１１（硬さ：６０ＨＲＣ） 切削速度：150m/min 送り量：0.10mm／刃 切込み量：ＡＤ（Axial depth ）＝10.0mm、ＲＤ（Radi
us depth）＝0.50mm 切削油：乾式
の切削条件で側面切削を行い、エンドミル外周刃の逃げ
面の磨耗幅が0.10mmに達するまでの切削長さを測定し、
その結果を表１に示した。 （切削条件） 被削材：ＳＫＤ１１（硬さ：６０ＨＲＣ） 切削速度：150m/min 送り量：0.10mm／刃 切込み量：ＡＤ（Axial depth ）＝10.0mm、ＲＤ（Radi
us depth）＝0.50mm 切削油：乾式
【００２８】
【表１】
【００２９】表１から分かるように、本発明が適用され
たエンドミル（実施例１〜７）は、従来のエンドミル
（比較例１〜３）と比較して優れた耐磨耗性を示した。
すなわち、本発明の硬質積層皮膜被覆工具は、従来の工
具と比べて、外側層（第２皮膜層）のＡｌ含有量を増加
して皮膜の硬さや耐熱性を向上させても、皮膜に微小な
欠けが発生し難く、その外側層のＡｌの含有量や層厚が
増加するのに伴って耐久性も増加し、優れた耐久性を示
すのである。また、中間層（中間皮膜層）を有する実施
例６および７では、中間層が無い実施例１〜５に比較し
てより優れた耐磨耗性が得られる。
たエンドミル（実施例１〜７）は、従来のエンドミル
（比較例１〜３）と比較して優れた耐磨耗性を示した。
すなわち、本発明の硬質積層皮膜被覆工具は、従来の工
具と比べて、外側層（第２皮膜層）のＡｌ含有量を増加
して皮膜の硬さや耐熱性を向上させても、皮膜に微小な
欠けが発生し難く、その外側層のＡｌの含有量や層厚が
増加するのに伴って耐久性も増加し、優れた耐久性を示
すのである。また、中間層（中間皮膜層）を有する実施
例６および７では、中間層が無い実施例１〜５に比較し
てより優れた耐磨耗性が得られる。
【００３０】なお、ここでは超硬合金製エンドミルにつ
いて具体的に説明したが、他の種々の材料製の切削工具
にも本発明は適用され得るし、炭窒化物の固溶体を含む
ＡｌＴｉの硬質積層皮膜を設けることもできるなど、本
発明は当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を加え
た態様で実施することができる。
いて具体的に説明したが、他の種々の材料製の切削工具
にも本発明は適用され得るし、炭窒化物の固溶体を含む
ＡｌＴｉの硬質積層皮膜を設けることもできるなど、本
発明は当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を加え
た態様で実施することができる。
【００３１】
【発明の効果】このように本発明の硬質積層皮膜被覆工
具によれば、第２皮膜層のＡｌ含有量を増加して皮膜の
硬さや耐熱性を向上させても欠けが発生し難く、優れた
耐磨耗性が得られて工具寿命が大幅に向上する。特に、
第１皮膜層と第２皮膜層との間に中間皮膜層を有する第
２発明の場合、一層優れた耐磨耗性が得られる。
具によれば、第２皮膜層のＡｌ含有量を増加して皮膜の
硬さや耐熱性を向上させても欠けが発生し難く、優れた
耐磨耗性が得られて工具寿命が大幅に向上する。特に、
第１皮膜層と第２皮膜層との間に中間皮膜層を有する第
２発明の場合、一層優れた耐磨耗性が得られる。
【図１】第１発明の一実施例を説明する断面図である。
【図２】第２発明の一実施例を説明する断面図である。
１２：基体 １４：内側層（第１皮膜層） １６：外側層（第２皮膜層） １８、２４：硬質積層皮膜 ２２：中間皮膜層
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成１１年２月８日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００８】ここで、積層皮膜全体の組成が化学量論的
にアルミニウムリッチであるとは、次式(2) を満たすこ
とをいう。尚、ｘ、ｚ、ｕは各皮膜層におけるアルミニ
ウムの混合割合を示し、ｌ1 は第１皮膜層の平均層厚、
ｌ2 は第２皮膜層の平均層厚、ｌ3 は中間皮膜層の平均
層厚を示している。 （ｘｌ1 ＋ｚｌ2 ＋２ｕｌ3 ）／（ｌ1 ＋ｌ2 ＋２ｌ3 ）＞0.5 ・・・(2)
にアルミニウムリッチであるとは、次式(2) を満たすこ
とをいう。尚、ｘ、ｚ、ｕは各皮膜層におけるアルミニ
ウムの混合割合を示し、ｌ1 は第１皮膜層の平均層厚、
ｌ2 は第２皮膜層の平均層厚、ｌ3 は中間皮膜層の平均
層厚を示している。 （ｘｌ1 ＋ｚｌ2 ＋２ｕｌ3 ）／（ｌ1 ＋ｌ2 ＋２ｌ3 ）＞0.5 ・・・(2)
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２９】表１から分かるように、本発明が適用され
たエンドミル（実施例１〜７）は、従来のエンドミル
（比較例１〜３）と比較して優れた耐磨耗性を示した。
すなわち、本発明の硬質積層皮膜被覆工具は、従来の工
具と比べて、外側層（第２皮膜層）のＡｌ含有量を増加
して皮膜の硬さや耐熱性を向上させても、アルミニウム
が少ないため硬さが低くなるチタンリッチの内側層（第
１皮膜層）によって衝撃が吸収されるため、皮膜に微小
な欠けが発生し難く、その外側層のＡｌの含有量や層厚
が増加するのに伴って耐久性も増加し、優れた耐久性を
示すのである。また、中間層（中間皮膜層）を有する実
施例６および７では、中間層が無い実施例１〜５に比較
してより優れた耐磨耗性が得られる。
たエンドミル（実施例１〜７）は、従来のエンドミル
（比較例１〜３）と比較して優れた耐磨耗性を示した。
すなわち、本発明の硬質積層皮膜被覆工具は、従来の工
具と比べて、外側層（第２皮膜層）のＡｌ含有量を増加
して皮膜の硬さや耐熱性を向上させても、アルミニウム
が少ないため硬さが低くなるチタンリッチの内側層（第
１皮膜層）によって衝撃が吸収されるため、皮膜に微小
な欠けが発生し難く、その外側層のＡｌの含有量や層厚
が増加するのに伴って耐久性も増加し、優れた耐久性を
示すのである。また、中間層（中間皮膜層）を有する実
施例６および７では、中間層が無い実施例１〜５に比較
してより優れた耐磨耗性が得られる。
Claims (2)
- 【請求項１】 平均層厚が0.01〜0.50μm の (ＡｌX Ｔ
ｉ1-x ) (Ｎy Ｃ1-y )( 但し、0.05≦ｘ≦0.50、0.50
≦ｙ≦1.00) の組成で示される第１皮膜層と、平均層厚
が0.01〜0.50μm の (ＡｌZ Ｔｉ1-Z )(Ｎt Ｃ1-t ) (
但し、0.50＜ｚ≦0.80、0.50≦ｔ≦1.00) の組成で示さ
れる第２皮膜層とが、基体の表面に交互に繰り返して積
層された硬質積層皮膜被覆工具であって、積層皮膜全体
の組成が化学量論的にアルミニウムリッチで且つ全体の
平均膜厚が0.50〜10.0μm であることを特徴とする硬質
積層皮膜被覆工具。 - 【請求項２】 平均層厚が0.01〜0.50μm の (ＡｌX Ｔ
ｉ1-x ) (Ｎy Ｃ1-y )(但し、0.05≦ｘ≦0.50、0.50≦
ｙ≦1.00) の組成で示される第１皮膜層と、平均層厚が
0.01〜0.50μm の (ＡｌZ Ｔｉ1-Z )(Ｎt Ｃ1-t ) ( 但
し、0.50＜ｚ≦0.80、0.50≦ｔ≦1.00) の組成で示され
る第２皮膜層と、該第１皮膜層と該第２皮膜層との間に
介在させられる平均層厚が0.01〜0.50μm の (Ａｌu Ｔ
ｉ1-u )(Ｎv Ｃ1-v ) ( 但し、ｘ＜ｕ＜ｚ、0.50≦ｖ≦
1.00) の組成で示される中間皮膜層とが、基体の表面に
繰り返して積層された硬質積層皮膜被覆工具であって、
積層皮膜全体の組成が化学量論的にアルミニウムリッチ
で且つ全体の平均膜厚が0.50〜10.0μm であることを特
徴とする硬質積層皮膜被覆工具。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2299798A JPH11216601A (ja) | 1998-02-04 | 1998-02-04 | 硬質積層皮膜被覆工具 |
| PCT/JP1998/005763 WO1999040233A1 (en) | 1998-02-04 | 1998-12-18 | Multilayer coated tool |
| CA002285460A CA2285460A1 (en) | 1998-02-04 | 1998-12-18 | Hard multilayer coated tool having increased toughness |
| US09/380,702 US6309738B1 (en) | 1998-02-04 | 1998-12-18 | Hard multilayer coated tool having increased toughness |
| EP98961435A EP0972091A1 (en) | 1998-02-04 | 1998-12-18 | Multilayer coated tool |
| KR1019997009065A KR100313397B1 (ko) | 1998-02-04 | 1999-10-02 | 다층코팅된 공구 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2299798A JPH11216601A (ja) | 1998-02-04 | 1998-02-04 | 硬質積層皮膜被覆工具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11216601A true JPH11216601A (ja) | 1999-08-10 |
Family
ID=12098173
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2299798A Pending JPH11216601A (ja) | 1998-02-04 | 1998-02-04 | 硬質積層皮膜被覆工具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11216601A (ja) |
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003508242A (ja) * | 1999-09-01 | 2003-03-04 | サンドビック アクティエボラーグ | 被覆された溝削りもしくは切断用インサート |
| JP2003508637A (ja) * | 1999-09-06 | 2003-03-04 | サンドビック アクティエボラーグ | 被覆された超硬合金インサート |
| JP2003340606A (ja) * | 2002-05-27 | 2003-12-02 | Mitsubishi Materials Corp | 高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具 |
| JP2003340607A (ja) * | 2002-05-27 | 2003-12-02 | Mitsubishi Materials Corp | 高速重切削条件で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具 |
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