JPH097526A - 隔壁形成ガラス基板とその製造方法 - Google Patents
隔壁形成ガラス基板とその製造方法Info
- Publication number
- JPH097526A JPH097526A JP7159265A JP15926595A JPH097526A JP H097526 A JPH097526 A JP H097526A JP 7159265 A JP7159265 A JP 7159265A JP 15926595 A JP15926595 A JP 15926595A JP H097526 A JPH097526 A JP H097526A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass
- partitioning wall
- fine particle
- glass substrate
- thin plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
- Gas-Filled Discharge Tubes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】ガラス基板上に隔壁を形成するためのコストを
低減し、隔壁幅の微細化を可能とする方法を提供する。 【構成】ガラス基板１表面に、厚さ２μｍ以下の薄板状
の低融点ガラス微粉を主成分とし感光性樹脂を含む塗布
液を塗り、フォトマスクを通して部分的に感光させ現像
し、焼成する。
低減し、隔壁幅の微細化を可能とする方法を提供する。 【構成】ガラス基板１表面に、厚さ２μｍ以下の薄板状
の低融点ガラス微粉を主成分とし感光性樹脂を含む塗布
液を塗り、フォトマスクを通して部分的に感光させ現像
し、焼成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、プラズマディスプレイ
装置あるいはプラズマ放電により走査を行う液晶表示装
置に適した隔壁形成ガラス基板とその製造方法に関す
る。
装置あるいはプラズマ放電により走査を行う液晶表示装
置に適した隔壁形成ガラス基板とその製造方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、プラズマディスプレイ装置あるい
はプラズマ放電により走査を行う液晶表示装置として使
用されるガラス基板表面への隔壁形成は、低融点ガラス
ペーストをスクリーン印刷により塗布したあと焼成する
ことにより製造されていた。しかし、プラズマ放電の安
定性を確保する必要性から隔壁の高さは０．２ｍｍ前後
が必要とされ、しかもディスプレ表示画面の明るさを確
保する必要性から隔壁の幅は０．１ｍｍ前後とすること
が必要であることから、一回のスクリーン印刷では難し
く、通常多層印刷を行って隔壁を形成していた。そのた
め、コスト高となり、また、大きな面積にわたって位置
ズレが生ずることがないように形成する必要上、隔壁幅
を狭くすることに限界があった。
はプラズマ放電により走査を行う液晶表示装置として使
用されるガラス基板表面への隔壁形成は、低融点ガラス
ペーストをスクリーン印刷により塗布したあと焼成する
ことにより製造されていた。しかし、プラズマ放電の安
定性を確保する必要性から隔壁の高さは０．２ｍｍ前後
が必要とされ、しかもディスプレ表示画面の明るさを確
保する必要性から隔壁の幅は０．１ｍｍ前後とすること
が必要であることから、一回のスクリーン印刷では難し
く、通常多層印刷を行って隔壁を形成していた。そのた
め、コスト高となり、また、大きな面積にわたって位置
ズレが生ずることがないように形成する必要上、隔壁幅
を狭くすることに限界があった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、従来
技術が有する前述の欠点を解消しようとするものであ
り、薄い隔壁幅を有する隔壁形成ガラス基板を低コスト
に提供することにある。
技術が有する前述の欠点を解消しようとするものであ
り、薄い隔壁幅を有する隔壁形成ガラス基板を低コスト
に提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、前述の課題を
解決すべくなされたものであり、ガラス基板上に形成さ
れた隔壁層が、主として薄板状ガラス粉体の焼結体から
なることを特徴とする隔壁形成ガラス基板、および、ガ
ラス基板表面に、そのガラスよりも低い軟化点を有する
ガラスの粉体を焼成した隔壁を形成する方法において、
その粉体が主として薄板状であり、主としてその粉体と
感光性樹脂および有機溶剤とからなる塗布液を塗布・乾
燥した後に、フォトリソグラフィー法により不要部分を
現像・除去してから、焼成することを特徴とする隔壁形
成ガラス基板の製造方法を提供する。
解決すべくなされたものであり、ガラス基板上に形成さ
れた隔壁層が、主として薄板状ガラス粉体の焼結体から
なることを特徴とする隔壁形成ガラス基板、および、ガ
ラス基板表面に、そのガラスよりも低い軟化点を有する
ガラスの粉体を焼成した隔壁を形成する方法において、
その粉体が主として薄板状であり、主としてその粉体と
感光性樹脂および有機溶剤とからなる塗布液を塗布・乾
燥した後に、フォトリソグラフィー法により不要部分を
現像・除去してから、焼成することを特徴とする隔壁形
成ガラス基板の製造方法を提供する。
【０００５】以下、図面に従って本発明の隔壁形成ガラ
ス基板とその製造方法について説明する。
ス基板とその製造方法について説明する。
【０００６】図１において、１はガラス基板、２は隔
壁、３は隔壁内部の拡大図である。
壁、３は隔壁内部の拡大図である。
【０００７】本発明のガラス基板は、厚さ１〜４ｍｍの
ソーダ石灰シリカ系ガラスを始めとする各種ガラスが使
用できる。
ソーダ石灰シリカ系ガラスを始めとする各種ガラスが使
用できる。
【０００８】隔壁を構成する低融点ガラスとしては、例
えば酸化鉛、酸化ビスマス、酸化亜鉛などのいずれか少
なくとも一種を主成分とする組成からなるガラスが使用
できる。このガラスは、使用するガラス基板の軟化点よ
り十分低い温度で軟化することが必要である。また、低
融点ガラスは熱膨張係数がガラス基板にほぼ等しいこと
が、ガラス基板を変形させないために望ましい。
えば酸化鉛、酸化ビスマス、酸化亜鉛などのいずれか少
なくとも一種を主成分とする組成からなるガラスが使用
できる。このガラスは、使用するガラス基板の軟化点よ
り十分低い温度で軟化することが必要である。また、低
融点ガラスは熱膨張係数がガラス基板にほぼ等しいこと
が、ガラス基板を変形させないために望ましい。
【０００９】本発明では、ガラス基板上に形成された隔
壁層が、主として薄板状ガラス粉体の焼結体からなる。
とくに、厚さ２μｍ以下の薄板状ガラスからなる粉体と
することが、露光工程での紫外光の散乱を抑制するため
に望ましい。
壁層が、主として薄板状ガラス粉体の焼結体からなる。
とくに、厚さ２μｍ以下の薄板状ガラスからなる粉体と
することが、露光工程での紫外光の散乱を抑制するため
に望ましい。
【００１０】厚さ２μｍ以下の薄板状ガラスからなる粉
体は、溶融状態のガラスを風船状に膨らまして薄膜を作
り、これを粉砕することにより製造できるが、この方法
に限定されるものではない。
体は、溶融状態のガラスを風船状に膨らまして薄膜を作
り、これを粉砕することにより製造できるが、この方法
に限定されるものではない。
【００１１】図２は本発明による製造工程の一例を表
す。薄板状ガラスからなる微粉体を主成分とし、これに
感光性樹脂および有機溶剤を配合してなる塗布液を塗布
・乾燥して得られた塗布層４が形成されたガラス基板１
にフォトマスク５を介した紫外光６などの光が照射さ
れ、塗布層４を構成する感光性樹脂が感光する（図２
（ａ））。これを現像することにより塗布層４の不要部
分を取り除き、ついで電気炉等にて焼成し、焼結するこ
とにより隔壁形成ガラス基板を得る（図２（ｂ））。
す。薄板状ガラスからなる微粉体を主成分とし、これに
感光性樹脂および有機溶剤を配合してなる塗布液を塗布
・乾燥して得られた塗布層４が形成されたガラス基板１
にフォトマスク５を介した紫外光６などの光が照射さ
れ、塗布層４を構成する感光性樹脂が感光する（図２
（ａ））。これを現像することにより塗布層４の不要部
分を取り除き、ついで電気炉等にて焼成し、焼結するこ
とにより隔壁形成ガラス基板を得る（図２（ｂ））。
【００１２】本発明において、塗布液中のガラス微粉と
して薄板状ガラス微粉を用いると、塗布の際ガラス微粉
がガラス基板と平行な方向に配列されるため、露光工程
で紫外光が照射部以外の方向に拡がりにくく、かつ厚さ
方向での紫外光の減衰が少なくなるため、高さが高く幅
が狭い微細な隔壁が形成できる。
して薄板状ガラス微粉を用いると、塗布の際ガラス微粉
がガラス基板と平行な方向に配列されるため、露光工程
で紫外光が照射部以外の方向に拡がりにくく、かつ厚さ
方向での紫外光の減衰が少なくなるため、高さが高く幅
が狭い微細な隔壁が形成できる。
【００１３】図３（ｂ）は、従来の通常のガラス微粉か
らなる塗布液を使用して露光している場合の露光の様子
を表す。本発明の方法（図３（ａ））に比べてガラス微
粉での散乱が多いため、パターンの微細化あるいは厚さ
方向に渡っての形状の均一性の点で劣ることになる。
らなる塗布液を使用して露光している場合の露光の様子
を表す。本発明の方法（図３（ａ））に比べてガラス微
粉での散乱が多いため、パターンの微細化あるいは厚さ
方向に渡っての形状の均一性の点で劣ることになる。
【００１４】塗布液としては、薄板状ガラスからなる微
粉体を主成分とし、感光性樹脂および有機溶剤とを配合
したものが使用できる。
粉体を主成分とし、感光性樹脂および有機溶剤とを配合
したものが使用できる。
【００１５】感光性樹脂としては、ポジ型、ネガ型のい
ずれも使用でき、例えば、ビスアジドゴム系、ケイ皮酸
エステル系、ｏ−キノンジアジド系の樹脂が使用でき
る。
ずれも使用でき、例えば、ビスアジドゴム系、ケイ皮酸
エステル系、ｏ−キノンジアジド系の樹脂が使用でき
る。
【００１６】塗布液の塗布は、薄板状の低融点ガラス微
粉体がガラス基板に平行に積層状態で堆積させることが
できる方法、例えば、塗布液をスプレー法により、膜厚
をモニターしながら塗布する方法、塗布液をスリット状
のノズルを通して帯状に流出させることにより塗布する
方法などが使用できる。
粉体がガラス基板に平行に積層状態で堆積させることが
できる方法、例えば、塗布液をスプレー法により、膜厚
をモニターしながら塗布する方法、塗布液をスリット状
のノズルを通して帯状に流出させることにより塗布する
方法などが使用できる。
【００１７】
【実施例】軟化点４００℃、結晶化温度５１５℃、熱膨
張係数８．４×１０-6／℃の酸化鉛を主成分の一つとす
るガラスを高温に加熱して金属チューブの先端に付け、
他端より空気を送りガラスを風船状に膨らまし、これを
ボールミルにて粉砕することにより、厚さ１μｍ以下の
薄板状ガラス微粉を作製した。これに市販のポジ型フォ
トレジスト（富士ハント社、商品名「ＨＰＲ−１１８
２」）とシンナーを体積比で各々約１０％と５０％添加
混合して塗布液に調製した。
張係数８．４×１０-6／℃の酸化鉛を主成分の一つとす
るガラスを高温に加熱して金属チューブの先端に付け、
他端より空気を送りガラスを風船状に膨らまし、これを
ボールミルにて粉砕することにより、厚さ１μｍ以下の
薄板状ガラス微粉を作製した。これに市販のポジ型フォ
トレジスト（富士ハント社、商品名「ＨＰＲ−１１８
２」）とシンナーを体積比で各々約１０％と５０％添加
混合して塗布液に調製した。
【００１８】この塗布液をスプレーにて、縦６０ｃｍ、
横１ｍ、厚さ２ｍｍのソーダ石灰ガラス基板表面に均一
に塗布して厚さ０．３ｍｍの塗布層を得た。この上に、
パターンが形成されたフォトマスクを重ね、ポリエチレ
ン製の袋の中に納め、袋内を真空吸引することにより両
者を密着させ、その状態で高圧水銀灯を照射することに
よりパターン露光した。これを袋から取り出したのちに
アルカリ液にて現像して、不要な塗布層を取り除き、ガ
ラス基板を炉中にて昇温し、有機溶剤と感光性樹脂を蒸
発させてから更に５２０℃まで昇温して粉末ガラスを焼
成して焼結させるとともに・結晶化させた。
横１ｍ、厚さ２ｍｍのソーダ石灰ガラス基板表面に均一
に塗布して厚さ０．３ｍｍの塗布層を得た。この上に、
パターンが形成されたフォトマスクを重ね、ポリエチレ
ン製の袋の中に納め、袋内を真空吸引することにより両
者を密着させ、その状態で高圧水銀灯を照射することに
よりパターン露光した。これを袋から取り出したのちに
アルカリ液にて現像して、不要な塗布層を取り除き、ガ
ラス基板を炉中にて昇温し、有機溶剤と感光性樹脂を蒸
発させてから更に５２０℃まで昇温して粉末ガラスを焼
成して焼結させるとともに・結晶化させた。
【００１９】こうして、ガラス基板表面に厚さ約８０μ
ｍ、高さ２００μｍの隔壁を、縦横方向にわたってピッ
チ２２５μｍで全面均一に形成することができた。
ｍ、高さ２００μｍの隔壁を、縦横方向にわたってピッ
チ２２５μｍで全面均一に形成することができた。
【００２０】
【発明の効果】本発明の製品、方法およびこの方法によ
り得られる表示装置用のガラス基板は、次のような優れ
た効果を有する。
り得られる表示装置用のガラス基板は、次のような優れ
た効果を有する。
【００２１】（１）工程が簡略であり、かつ、パターン
の微細化が可能となるため、製造コストの低減とディス
プレイとしての精細度・明るさが確保できる。
の微細化が可能となるため、製造コストの低減とディス
プレイとしての精細度・明るさが確保できる。
【００２２】（２）隔壁の形成されていない箇所の基板
表面が平滑であるため、裏面からの光を液晶パネル側に
有効に導くことができる。
表面が平滑であるため、裏面からの光を液晶パネル側に
有効に導くことができる。
【００２３】（３）従来よりも隔壁部の機械強度が強い
ため隔壁の高さを高くできる。
ため隔壁の高さを高くできる。
【図１】本発明の一実施例に係る側面図。
【図２】本発明の一実施例に係る隔壁形成工程。
【図３】（ａ）は本発明の実施例に係る露光工程、
（ｂ）は比較例に係る露光工程を示す模式図。
（ｂ）は比較例に係る露光工程を示す模式図。
１：ガラス基板 ２：隔壁 ３：隔壁内部の拡大模式図 ４：塗布層 ５：フォトマスク
Claims (2)
- 【請求項１】ガラス基板上に形成された隔壁層が、主と
して薄板状ガラス粉体の焼結体からなることを特徴とす
る隔壁形成ガラス基板。 - 【請求項２】ガラス基板表面に、そのガラスよりも低い
軟化点を有するガラスの粉体を焼成した隔壁を形成する
方法において、その粉体が主として薄板状であり、主と
してその粉体と感光性樹脂および有機溶剤とからなる塗
布液を塗布・乾燥した後に、フォトリソグラフィー法に
より不要部分を現像・除去してから、焼成することを特
徴とする隔壁形成ガラス基板の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7159265A JPH097526A (ja) | 1995-06-26 | 1995-06-26 | 隔壁形成ガラス基板とその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7159265A JPH097526A (ja) | 1995-06-26 | 1995-06-26 | 隔壁形成ガラス基板とその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH097526A true JPH097526A (ja) | 1997-01-10 |
Family
ID=15689999
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7159265A Pending JPH097526A (ja) | 1995-06-26 | 1995-06-26 | 隔壁形成ガラス基板とその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH097526A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104144952A (zh) * | 2012-02-22 | 2014-11-12 | 日本爱克兰工业株式会社 | 吸放湿性聚合物以及含有该聚合物而得到的原材料 |
-
1995
- 1995-06-26 JP JP7159265A patent/JPH097526A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104144952A (zh) * | 2012-02-22 | 2014-11-12 | 日本爱克兰工业株式会社 | 吸放湿性聚合物以及含有该聚合物而得到的原材料 |
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