JPH0974125A - 防除振搬送台車 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 防振機能をもった台車の車輪に除振作用をも
たせる。 【解決手段】 上下方向および水平方向の振動を防振す
る搭載板を備えた搬送台車の車輪に除振作用を与え、防
除振搬送台車とする。車輪は、空気を密封した円筒体４
の内部を軸側にサージタンク５、外周側にサージタンク
５とオリフィス７で連通した空気ばね６の同軸２重構造
としたローラ１を要部とし、振動減衰力をもつ共振系を
構成する。車輪がクリーンルームの格子状で凹凸のある
床を通るときの振動周波数を共振系の共振周波数より離
れた周波数に選ぶことにより、車輪が受ける振動を除振
する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、防除振搬送台車に
関し、より詳細には、搬送台車の車輪に除振機能を備え
た防除振搬送台車に関する。

【０００２】

【従来の技術】製品の製造工程においては、材料が加工
され、加工された材料に対する各種の処理が施されて、
これを組立てて完成品が得られるが、これらの工程間に
おいては、物体の場所と位置を変える搬送工程が不可欠
である。製造工程における搬送手段としては、搬送台車
やコンベヤがあり、更に、目的に応じて多様な手段が採
用されるが、製造工程における検査用の機器の搬送に
は、一般に最も簡単な人力による搬送台車が用いられ
る。しかし、簡単な構造の搬送台車であっても、搬送さ
れる物体には簡単な構造のものとは限らず、例えば、顕
微鏡，三次元測定器，ステッパや，その他半導体製造工
程において使用される検査装置等の微弱振動の影響によ
り性能が損なわれる超高精度な測定器等の搬送には、該
測定器を防振機能を備えた搭載台に載置して防振しなが
ら測定器を搬送する搬送台車が用いられる。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】半導体製造工程におい
ては、製品の歩留り，品質および信頼性を向上させるた
めに、雰囲気を無塵化したクリーンルームで作業が行わ
れる。クリーンルームにおいては、雰囲気を無塵化する
ために、格子状の床面を設けて除塵しながら空気の循環
流を形成している。このため、クリーン室内で搬送台車
を走行させる場合は、測定器等の物体を防振機能要有す
る搭載台に載置しても、車輪が床面の格子間を通過する
ごとに上下方向に微少振動する車輪からの振動を物体が
受ける。この振動は微少であっても、振動により悪影響
を及ぼす物体の搬送には無視できない場合がある。

【０００４】本発明は、搬送台車の車輪自体に除振機能
を持たせた走行中の車輪から受ける振動を取り除く防除
振搬送台車を提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、物体を搭載するベースと該ベースに取り付けられた
車輪を有し、前記物体に振動を与えることなく運搬する
台車において、前記車輪は、気体が収容され、オリフィ
スで連通された同軸２重構造の円筒状体で、該円筒状体
は内側円筒部がサージタンク，外側円筒部が空気ばねと
なるローラを有し、前記サージタンク，空気ばねおよび
オリフィスとからなる振動系を構成して振動減衰力をも
たせ、該車輪が走行中床面から受ける振動を取り除き前
記物体を搬送するようにする。

【０００６】請求項２に記載の発明は、複数の前記ロー
ラを一対の側板に軸平行に回転可能に支持し、且つ、前
記側板を前記平行な軸間の軸まわりに回転可能に支持
し、更に、前記複数のローラ間にキャタピラを張設する
ようにして、床面に段差のある場合でも搭載物に対し、
床面から受ける車輪の振動を伝達しないようにする。

【０００７】

【発明の実施の形態】図１は、本発明による防除振搬送
台車の車輪要部の実施の形態の一例を説明するための図
で、図１（Ａ）は軸と直角方向からみた側面図、図１
（Ｂ）は軸方向からみた正面図であり、図中、１はロー
ラ、２は軸、３は軸受、４は円筒体、５はサージタン
ク、６は空気ばね、７はオリフィスである。

【０００８】ローラ１は、車輪の要部となるもので、軸
受３により回転可能に軸支された軸２を軸とし、内部に
気体、例えば、空気が密封された同軸２重構造の円筒体
４である。円筒体４は、側板４ａ，外周面４ｂからな
り、同軸２重構層とするため、内部は軸２と同軸なオリ
フィス７を設けた円筒状の隔壁４ｃで区画され、区画さ
れた軸２側の空気室はサージタンク５となり、外周側の
空気室は空気ばね６となっている。従って、サージタン
ク５と空気ばね６とは、オリフィス７で連通されてい
る。

【０００９】図示のごとく構成されたローラ１は、サー
ジタンク５，オリフィス７および空気ばね６とからなる
振動減衰力をもって共振系となっており、振動減衰力の
大きさは、円筒体４の材質および側板４ａ，外周面４
ｃ，隔壁４ｃの厚さが一定であれば、サージタンク５の
容積の大きさ，オリフィス７の面積に関連して定められ
る。最適な振動減衰力をもたせるため、サージタンク５
の容積およびオリフィス７の面積の大きさは、実験に基
づいて任意に定められ、車輪は、外周面４ｂにゴム等の
可撓性ベルトを巻回するか、または、外周面４ｂ自体を
可撓性にすることにより構成される。

【００１０】ローラ１は、それ自体が振動減衰作用をも
っているので、外周面４ｃが床面の凹凸を通過したと
き、凹凸に応じた振動を受けても、この振動は円筒体４
内で減衰され、軸２に伝達することはない。しかし、車
輪１が１個であり、床面に、例えば大きい段差がある場
合、この段差を乗り越えるとき、車輪１個で減衰するこ
とができない振動が搭載部に伝達される。

【００１１】図２は、本発明による防除振搬送台車の実
施の形態の車輪の第２の例を説明するための側面図で、
図中、１０は側板、１１は支持板、１２は支持軸、１３
は軸受、１４は連結板、１５は回動板、１６はキャタピ
ラ、１７はテンションローラ、１８はテンショナであ
り、図１と同様の作用をする部分には、図１の場合と同
じ参照番号を付してある。

【００１２】図２に示した車輪は、２つのローラ１を軸
受３を介して軸平行に一対の側板１０に軸支し、更に、
側板１０を２つの軸２の中間位置で、平行な２つのロー
ラ１が支持軸１２まわりに回動可能に支持され、支持軸
１２は、側板１０と面平行な一対の支持板１１に軸受１
３を介して軸支されている。一対の支持板１１は、上部
辺１１ａにおいて連結板１４を介して一体に接合され、
連結板１４は支持軸１２と直角な軸まわりに回動可能に
スラストベアリング（図示せず）を有する回動板１５に
支持されている。

【００１３】側板１０により平行に軸支された２つのロ
ーラ１の外周には、ゴム等の可撓材からなるキャタピラ
１６が、エンドレスに巻回されている。なお、キャタピ
ラ１６の床面を走行する面と反対側の面に、面と直角方
向に張力が加えるためのテンションローラ１７が設けら
れ、キャタピラ１６とローラ１との間にスリップが生じ
ないようにしている。なお、テンションローラ１７は、
側板１０に取り付けられた、ばね，ダンパ（図示せず）
を有するテンショナ１８により一定の張力が与えられて
いる。

【００１４】図２に示した車輪は、２つのローラ１に巻
回されたキャタピラ１６のローラ１の間の区間が床面と
接し走行するので、走行する床面に凹凸があっても、台
車に搭載された搭載物に対して及ぼす凹凸による振動の
振幅は、最大振幅が床面の凹凸の高さの半分の振幅に減
衰され、更に、図１に示したローラ１自身の振動減衰効
果により減衰されるので、より有効に除振効果が得られ
る。

【００１５】実施例 次に、請求項２の車輪を有する防除振搬送車の実施例を
説明する。図３は、本発明による防除振搬送台車の実施
例を説明するための図で、図中、２０は防除振搬送台
車、２１はベース、２２はハンドル支持部、２３はハン
ドル、２４は搭載部、２５はワイヤ受けリング、２６は
エアーダンパ、２７は主ばね、２８はボールキャスタ、
２９はダンパ、３０はワイヤ、３１はワイヤ案内板、３
２はワイヤ受け板、３３はコイルばねであり、図１，２
と同様な作用をする部分には、図１，２の場合と同じ参
照番号を付してある。

【００１６】図３に示した防除振搬送台車は、図２に示
す請求項２に記載の車輪を有する台車であり、車輪は、
ベース２１に略正三角形の頂点をすな位置に、回動板１
５を介してベース２１の面と直角な軸まわりに回動可能
に取り付けられている。ベース２１には、一端側に面と
直角に支持されたハンドル支持部２２を介してハンドル
２３が取り付けられ、ハンドル２３を押し進める方向に
従って床面を自由な方向に移動することができる。

【００１７】搬送される物体は、搭載部２４に搭載さ
れ、搭載部２４の形状は、例えば、車輪の取り付け位置
近傍に頂角を有する正三角形状の平板であり、搭載部２
４はベース２１上にピストン２６ａを有するエアダンパ
２６と、ピストン軸２６ｂの他端に固着されたばね受２
６ｃとの間に張設された主ばね２７により上下方向に制
動力が与えられながら振動することなく防振され移動可
能に取り付けられている。

【００１８】また、搭載部２４と、ばね受２６ｃとの間
には、ばね受２６ｃの上部には中央部にボールキャスタ
２８が、外周に環状のダンパ２９が介装され、搭載部２
４がベース２１に対し水平方向に移動可能となってい
る。更に、エアーダンパ２６を囲んだ位置に一端側が搭
載部２４に固着された円筒状のワイヤ受けリング２５が
設けられ、ワイヤ受けリング２５の外側には、車輪側に
向けた３方向に放射状に延び、ベース２１と平行なワイ
ヤ３０の一端が固着され、各々のワイヤ３０はベース２
１に取り付けられたワイヤ案内板３１を貫通した案内孔
３１ａに水平に案内されて他端がワイヤ受け板３２に固
着されている。ワイヤ受け板３２とワイヤ案内板３１と
の間にはコイルばね３３が張設され、コイルばね３３に
より中央のボールキャスタ２８側に向け弾性支持された
搭載部２４は、ダンパ２９の制動を受けて、水平面の任
意方向にも振動することなく防振され、移動可能となっ
ている。

【００１９】図３に示した本発明の防除振搬送台車によ
れば、搬送される物体は、搬送台車のベース２１に直接
搭載されるのではなく、ベース２１に面と直角方向、お
よび面と平行な方向の振動をばねとダンパとにより防振
しながら、また、床面から受ける床面の凹凸による振動
影響を、サージタンク５とオリフィス７および空気ばね
６からなるローラ１の制動力を有する共振系により除振
するので、物体に作用する振動を効果的り取り除くこと
ができる。

【００２０】

【発明の効果】請求項１に対応する効果：物体を搭載す
るベースと該ベースに取り付けられた車輪を有し、前記
物体に振動を与えることなく運搬する台車において、前
記車輪は、気体が収容され、オリフィスで連通された同
軸２重構造の円筒状体で、該円筒状体は内側円筒部がサ
ージタンク，外側円筒部が空気ばねとなるローラとした
ので、前記サージタンク，空気ばねおよびオリフィスと
からなる振動系を構成して振動減衰力をもった共振系と
なっているので、車輪から受ける振動周波数を共振周波
数から離れた値に設定することにより、効果的に除振す
ることができる。

【００２１】請求項２に対応する効果：複数の前記ロー
ラを一対の側板に軸平行に回転可能に支持し、且つ、前
記側板を前記平行な軸間の軸まわりに回転可能に支持
し、更に、前記複数のローラ間にキャタピラを張設した
ので、請求項１の発明の効果に加えて、走行床面に大き
い段差があった場合でも段差影響を半減することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明による防除振搬送台車の車輪の実施の
形態の一例を説明するための図である。

【図２】 本発明による防除振搬送台車の実施の形態の
車輪の第２の例を説明するための側面図である。

【図３】 本発明による防除振搬送台車の実施例を説明
するための図である。

【符号の説明】

１…ローラ、２…軸、３…軸受、４…円筒体、５…サー
ジタンク、６…空気ばね、７…オリフィス、１０…側
板、１１…支持板、１２…支持軸、１３…軸受、１４…
連結板、１５…回動板、１６…キャタピラ、１７…テン
ションローラ、１８…テンショナ、２０…防除振搬送台
車、２１…ベース、２２…ハンドル支持部、２３…ハン
ドル、２４…搭載部、２５…ワイヤ受けリング、２６…
エアーダンパ、２７…主ばね、２８…ボールキャスタ、
２９…ダンパ、３０…ワイヤ、３１…ワイヤ案内板、３
２…ワイヤ受け板、３３…コイルばね。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 物体を搭載するベースと該ベースに取り
   付けられた車輪を有し、前記物体に振動を与えることな
   く運搬する台車において、前記車輪は、気体が収容さ
   れ、オリフィスで連通された同軸２重構造の円筒状体
   で、該円筒状体は内側円筒部がサージタンク，外側円筒
   部が空気ばねとなるローラを有し、前記サージタンク，
   空気ばねおよびオリフィスとからなる振動系を構成して
   振動減衰力をもたせ、該車輪が走行中床面から受ける振
   動を取り除き前記物体を搬送することを特徴とする防除
   振搬送台車。
2. 【請求項２】 前記車輪は複数の前記ローラを一対の側
   板に軸平行に回転可能に支持し、且つ、前記側板を前記
   平行な軸間の軸まわりに回転可能に支持し、更に、前記
   複数のローラ間にキャタピラを張設したことを特徴とす
   る請求項１に記載の防除振搬送台車。