JPH03504A - 精密機器用搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ｉ匪ム且匁 （産業上の利用分野） 本発明は、半導体検査装置等の精密機器用に用いられる
搬送装置に関するものである。

（従来の技術） 精密機器、例えば半導体検査装置の搬入時や据付、レイ
アウトの変更等の際には、検査装置を人力で押しながら
半導体検査装置の底部に取付けたキャスタを社内外の床
等を回転させて移動乃至は搬送するのが通常である。

また、半導体検査装置のセットアツプ時には、装置の底
部に設けたレベルアジャスタを上下に調整しながらセッ
トアツプを行うようにしている。

（発明が解決しようとする課題） しかしながら、半導体検査装置をキャスタで搬送または
移動する際に、床等の凹凸、傾斜或いは障害物等の状態
によって転動する際にキャスタ自体がＷｉ撃を受け、そ
の衝撃力が振動として精密機器に伝達されて精密機器の
測定や加工精度を低下させ、ひいては検査工程等を不能
にする等の悪影響を及ぼすことがある。

本発明は、上記した従来の問題点に鑑みて開発したもの
であり、半導体検査装置等の精密機器の搬送や移動時に
生じる振動が精密機器に伝達されることなく、確実に振
動が遮断され移動や搬送作業時の衝撃による影響を確実
に防止すると共に、精密機器のセットアツプ時において
もレベリングを確実に行うことができる安価な搬送装置
を提供することを目的としている。

発明の構成 （課題を解決するための手段） 上記の目的を達成するため、本発明は、機器本体の下部
に取付部材を設け、この取付部材に上下動可能な防振部
材を介してキャスタを設ける精密機器用搬送装置である
。

また、取付部材は、機器本体に着脱可能に設けるのが好
ましく、防振部材は、空気ばねが特に好ましい。

（作　用） 本発明は上述のように構成したから、半導体検査装置等
の精密機器を搬送する場合は、機器本体の下部に設けた
搬送装置の防振部材を上下動させて、機器本体のレベル
アジャスタの下面を移動する床面より浮上させ、次いで
機器本体を押圧させながら移動させると、キャスタ自体
が床面の衝撃を受けて振動してもキャスタに設けた空気
ばね等の防振部材が振動を吸収して振動を伝達させない
ので、搬送時における衝撃の影響を極力防止することが
できる。

しかも、精密機器を所定位置にセットアツプする場合に
も、防振部材を上下動させてレベリングを確実に行うこ
とが可能となり、しかもセットアツプ後は搬送装置を機
器本体５より取り外すことも容易である。

（実施例） 以下、本発明装置を半導体検査装置に適用した一実施例
について、図面を参照して具体的に説明する。

第１図は、搬送装置の各部分を分離して示した斜視図で
あり、同図において、Ｌ字形状の取付部材１の一片に防
振部材２をボルト等の固着手段で取付け、この防振部材
２の下面をキャスタ３のフラット面４にボルト等の固着
手段で固着する。

この搬送装置を半導体検査装置の機器本体５のＩ）１１
後位置の４カ所に取付ける。この取付は手段は、第２図
に示すように取付部材１の一片を機器本体５の下部にボ
ルト等の固着手段で固着するか、或いは第３図に示すよ
うにＬ字形状の取付部材１を機器本体５の角パイプ等に
支受けするように装着し、ボルト等で固着しても良い。

上記した防振部材２は、本例においては空気ばねを用い
ており、この空気ばね２はピストン構造であって、エア
供給口６より個別的に空気を給排気させるようにしてい
る。防振部材２は、これに限定されることなくオイル等
を上記と同様に供給するようにしても良く、その他、油
圧などの液体を利用したバネ、コイルバネ等の防振部材
を利用するようにしても良い。

また、機器本体５の底部には、機器本体５をセットアツ
プする際に用いるレベルアジャスタ７が設けられている
。半導体検査装置としては、ウエハプローバ、ＩＣチッ
プなどのデバイスプローバ、ＬＣＤプローバなどの筐体
の支持に好敵である。

次に、上記実施例の作用について説明する。

半導体検査装置等の精密機器を搬送する場合は、機器本
体５の下部の市価と後側に取付部材１を第２図または第
３図に示すように装着して搬送装置を固定し、次いで、
空気ばね等の防振部材２を個別的に上下動させ、機器本
体５のレベルアシヤスタフの下面を移動する床面８より
浮上させる。

この状態において機器本体５を押圧して移動させると、
キャスタ３自体が床面８の衝撃を受けて振動しながら回
転移動してもキャスタ３の上部に設けた空気ばね等の防
振部材２が振動を吸収して防振部材２の上部に位置して
いる機器本体５に振動を伝達させないので、機器本体５
は搬送時における衝撃の影響を極力防止することができ
る。

しかも、精密機器を所定位置にセットアツプする場合に
も、防振部材２を上下動させてレベリングを確実に行う
ことが可能となるので、機器本体５をレベルアシヤスタ
フによって高精度にセットアツプすることができる。

また、空気ばね２は、空気の圧縮弾性を用いているので
、固有振動数が小さく、微弱振動にだいしても優れた防
振性能を発揮し、精密機器の搬送装置に最適である。

完−匪件舛未 以上説明したように、本発明によれば次のような有用な
効果がある。

即ち、半導体検査装置等の精密機器の搬送や移動時に生
じる振動が精密機器に伝達されることなく、移動や搬送
作業時の衝撃による影響を確実に防止すると共に、セッ
トアツプ時においてもレベリングを確実に行うことがで
き、簡単な構造の搬送装置によって上記した搬送時の振
動吸収とセットアツプ時のレベリングを兼用して高精度
に行うことが可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明は搬送装置の一実施例を示した分離斜
視図、第２図は同上の搬送装置を精密機器に装着した状
態を示す正面図、第３図は、同上の搬送装置を精密機器
に装着する他側を示す正面図である。 １・・・・取付部材 ２・・・・防振部材 ３・・・・キャスタ ５・・・・機器本体

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）機器本体の下部に取付部材を設け、この取付部材
   に上下動可能な防振部材を介してキャスタを設けたこと
   を特徴とする精密機器用搬送装置。
2. （２）上記した取付部材は、機器本体に着脱可能に設け
   た請求項１記載の精密機器用搬送装置。
3. （３）防振部材は、空気ばねである請求項１または２記
   載の精密機器用搬送装置。