JPH0972706A - 角度センサ - Google Patents
角度センサInfo
- Publication number
- JPH0972706A JPH0972706A JP22657395A JP22657395A JPH0972706A JP H0972706 A JPH0972706 A JP H0972706A JP 22657395 A JP22657395 A JP 22657395A JP 22657395 A JP22657395 A JP 22657395A JP H0972706 A JPH0972706 A JP H0972706A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic flux
- permanent magnets
- same
- angle sensor
- columnar
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Indicating Or Recording The Presence, Absence, Or Direction Of Movement (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 回転体の広範囲の角度変化に対応し直線的な
出力を得るに好適な角度センサを提供する。 【解決手段】 永久磁石１、２とヨーク４、５との間の
相対角度の変化により、磁束線７はヨーク４からヨーク
５に向かって貫流し、これに伴い、磁電変換器３は、ヨ
ーク４、５間の磁束密度の大きさに応じた正の出力を発
生する。
出力を得るに好適な角度センサを提供する。 【解決手段】 永久磁石１、２とヨーク４、５との間の
相対角度の変化により、磁束線７はヨーク４からヨーク
５に向かって貫流し、これに伴い、磁電変換器３は、ヨ
ーク４、５間の磁束密度の大きさに応じた正の出力を発
生する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、回転体の角度セ
ンサに係り、特に磁気式の回転角度センサに関する。
ンサに係り、特に磁気式の回転角度センサに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の磁気式回転角度センサとしては、
例えば、図１１に示すようなものがある。断面が一定の
形状を有する円環状の磁性部材３５は、基準位置で磁束
線の方向が直径方向となるように着磁されていて、円環
状の中心に磁電変換器３６が配置されている。磁性部材
３５と磁電変換器３６が相対的に回動することにより、
磁電変換器３６に対して直交する方向に通過する磁束の
成分が変化することを利用して回転角度の変化を検出す
るものである。
例えば、図１１に示すようなものがある。断面が一定の
形状を有する円環状の磁性部材３５は、基準位置で磁束
線の方向が直径方向となるように着磁されていて、円環
状の中心に磁電変換器３６が配置されている。磁性部材
３５と磁電変換器３６が相対的に回動することにより、
磁電変換器３６に対して直交する方向に通過する磁束の
成分が変化することを利用して回転角度の変化を検出す
るものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の角度センサにあっては、磁電変換器３６は磁
性部材３５との相対的な回動により、回転角度に対し
て、円環状の磁性部材３５の前記基準位置における漏洩
磁束密度の、回転角度（θ）に対する余弦（ｃｏｓθ）
成分を検出することになるため、磁電変換器３６を通過
する磁束密度の変化が直線的に変化する範囲を広く取る
ことができないという問題点があった。この発明は、こ
のような従来技術の問題点に着目してなされたもので、
回転体の広範囲の角度変化に応じて直線的な出力を得る
に好適な角度センサを提供することを目的としている。
うな従来の角度センサにあっては、磁電変換器３６は磁
性部材３５との相対的な回動により、回転角度に対し
て、円環状の磁性部材３５の前記基準位置における漏洩
磁束密度の、回転角度（θ）に対する余弦（ｃｏｓθ）
成分を検出することになるため、磁電変換器３６を通過
する磁束密度の変化が直線的に変化する範囲を広く取る
ことができないという問題点があった。この発明は、こ
のような従来技術の問題点に着目してなされたもので、
回転体の広範囲の角度変化に応じて直線的な出力を得る
に好適な角度センサを提供することを目的としている。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めの手段は、特許請求の範囲に記載されている。本発明
は、同極が対向するよう所定の距離をおき、着磁極を並
置して同一の磁束を発生する２つの柱状永久磁石と、こ
の２つの柱状永久磁石で囲まれた空間に設けた軟磁性材
の漏れ磁束集中手段と、この漏れ磁束集中手段の中心部
に配置された磁電変換器と、前記永久磁石若しくは前記
磁束集中手段の一方を他方に対して正逆回転させる回転
機構とを有し、前記磁電変換器を介して漏れ磁束集中手
段を貫流する磁束の変化を検知することにより、前記永
久磁石と前記磁束集中手段の相対回転角度変化の大きさ
と回転の正逆方向を検出することを特徴とする角度セン
サである。
めの手段は、特許請求の範囲に記載されている。本発明
は、同極が対向するよう所定の距離をおき、着磁極を並
置して同一の磁束を発生する２つの柱状永久磁石と、こ
の２つの柱状永久磁石で囲まれた空間に設けた軟磁性材
の漏れ磁束集中手段と、この漏れ磁束集中手段の中心部
に配置された磁電変換器と、前記永久磁石若しくは前記
磁束集中手段の一方を他方に対して正逆回転させる回転
機構とを有し、前記磁電変換器を介して漏れ磁束集中手
段を貫流する磁束の変化を検知することにより、前記永
久磁石と前記磁束集中手段の相対回転角度変化の大きさ
と回転の正逆方向を検出することを特徴とする角度セン
サである。
【０００５】例えば、図１に示すように、互いに同極が
向かい合うように所定の距離を置いて配置された磁界発
生体である２つの永久磁石１、２と、永久磁石１、２で
囲まれた空間におけるこの永久磁石からの漏れ磁束を集
める軟磁性材からなる磁束集中手段（ヨ−ク）４、５
と、この磁束集中手段４、５の中央部に配置される磁電
変換器３とからなる磁気式角度センサの検知部分を構成
し、永久磁石１、２あるいは、磁束集中手段４、５のい
ずれか一方を回転させる回転機構を有し、永久磁石１、
２と磁束集中手段４、５との関係の変化から、磁電変換
器３６を通過する磁束の大きさの変化を利用して出力を
求めるものである。この構成により回転体の回転角度の
広範囲にわたり直線性の優れた出力を有する角度センサ
が得られるものである。
向かい合うように所定の距離を置いて配置された磁界発
生体である２つの永久磁石１、２と、永久磁石１、２で
囲まれた空間におけるこの永久磁石からの漏れ磁束を集
める軟磁性材からなる磁束集中手段（ヨ−ク）４、５
と、この磁束集中手段４、５の中央部に配置される磁電
変換器３とからなる磁気式角度センサの検知部分を構成
し、永久磁石１、２あるいは、磁束集中手段４、５のい
ずれか一方を回転させる回転機構を有し、永久磁石１、
２と磁束集中手段４、５との関係の変化から、磁電変換
器３６を通過する磁束の大きさの変化を利用して出力を
求めるものである。この構成により回転体の回転角度の
広範囲にわたり直線性の優れた出力を有する角度センサ
が得られるものである。
【０００６】
〈実施の形態１〉図１は、この発明の実施の形態１を示
す図である。まず、構成を説明すると、１、２は同一形
状、ほぼ同一の磁束を発生させる柱状の永久磁石であ
り、この柱状体の長手方向に着磁されている。３は磁束
密度を検出するための磁電変換器、４、５は磁束集中手
段、すなわち、同一形状、同一磁気特性を有する軟磁性
材からなるヨークである。
す図である。まず、構成を説明すると、１、２は同一形
状、ほぼ同一の磁束を発生させる柱状の永久磁石であ
り、この柱状体の長手方向に着磁されている。３は磁束
密度を検出するための磁電変換器、４、５は磁束集中手
段、すなわち、同一形状、同一磁気特性を有する軟磁性
材からなるヨークである。
【０００７】永久磁石１、２は、同極、すなわち、Ｎ極
同士、またはＳ極同士が対向する一にあり、かつ、永久
磁石１、２はその長手寸法より僅かに大きい間隔を保っ
て平行に配設されている。ヨーク４、５は永久磁石１２
に囲まれる空間の中央に直線上に配置され、ヨーク４、
５の中心部に磁電変換器３が設けられている。また、永
久磁石１、２、あるいは、ヨーク４、５の何れか一方
を、図示のａ点を中心として回転させる回転機構が備え
られている。これにより、永久磁石１、２とヨーク４、
５との間に相対的な角度の変化を生ずるような回転運動
を与えることができる。
同士、またはＳ極同士が対向する一にあり、かつ、永久
磁石１、２はその長手寸法より僅かに大きい間隔を保っ
て平行に配設されている。ヨーク４、５は永久磁石１２
に囲まれる空間の中央に直線上に配置され、ヨーク４、
５の中心部に磁電変換器３が設けられている。また、永
久磁石１、２、あるいは、ヨーク４、５の何れか一方
を、図示のａ点を中心として回転させる回転機構が備え
られている。これにより、永久磁石１、２とヨーク４、
５との間に相対的な角度の変化を生ずるような回転運動
を与えることができる。
【０００８】図２は、磁電変換器３及びヨーク４、５が
永久磁石１、２のそれぞれの中心を結ぶ線上に位置（回
転角度０度の基準位置とする）しているときの磁束線６
の状態と向きを示している。この状態において、磁束線
６はヨーク４からヨーク５を貫流していないため、磁電
変換器３の検出する磁束密度は０である。
永久磁石１、２のそれぞれの中心を結ぶ線上に位置（回
転角度０度の基準位置とする）しているときの磁束線６
の状態と向きを示している。この状態において、磁束線
６はヨーク４からヨーク５を貫流していないため、磁電
変換器３の検出する磁束密度は０である。
【０００９】次に、図２の状態から図３に示す状態にヨ
ーク４、５が時計方向に回動し、ヨーク４の端部が永久
磁石１のＮ極に、ヨーク５の端部が永久磁石２のＳ極
に、それぞれ接近すると、磁束線７はヨーク４から入っ
てヨーク５に向かって貫流し、これに伴い、磁電変換器
３はヨーク４、５間の磁束密度の大きさに応じた正の出
力を発生する。
ーク４、５が時計方向に回動し、ヨーク４の端部が永久
磁石１のＮ極に、ヨーク５の端部が永久磁石２のＳ極
に、それぞれ接近すると、磁束線７はヨーク４から入っ
てヨーク５に向かって貫流し、これに伴い、磁電変換器
３はヨーク４、５間の磁束密度の大きさに応じた正の出
力を発生する。
【００１０】逆に、ヨーク４、５が反時計方向に回動
し、図４に示すように、ヨーク４の端部が永久磁石１の
Ｓ極に、ヨーク５の端部が永久磁石２のＮ極に、それぞ
れ接近すると、磁束線８はヨーク５から入ってヨーク４
に向かって貫流し、これに伴って磁電変換器３は、ヨー
ク４、５間の磁束密度の大きさに応じた負の出力を発生
する。このように、永久磁石１、２とヨーク４、５とが
相対的に回動するに伴うヨーク４、５間を貫流する磁束
密度の変化を、正負の値として直線的な出力に変換する
磁電変換器３を用いて検出することにより、概ね±４５
度の範囲において回転角度の変化に応じた出力を得るこ
とができる。
し、図４に示すように、ヨーク４の端部が永久磁石１の
Ｓ極に、ヨーク５の端部が永久磁石２のＮ極に、それぞ
れ接近すると、磁束線８はヨーク５から入ってヨーク４
に向かって貫流し、これに伴って磁電変換器３は、ヨー
ク４、５間の磁束密度の大きさに応じた負の出力を発生
する。このように、永久磁石１、２とヨーク４、５とが
相対的に回動するに伴うヨーク４、５間を貫流する磁束
密度の変化を、正負の値として直線的な出力に変換する
磁電変換器３を用いて検出することにより、概ね±４５
度の範囲において回転角度の変化に応じた出力を得るこ
とができる。
【００１１】図５は、本実施の形態を検出部分に用いた
角度センサによって検出された、回転角度に対する磁束
密度の関係を示す特性図であり、磁束密度の変化は、正
負の回転角度に対して概ね−４５度〜＋４５度角度範囲
において、ほぼ、直線的に変化しており、これにより、
磁電変換器３は、広角度にわたって直線性の優れた角度
変化の出力を得ることができる。実施の形態１は、磁束
発生手段に柱状永久磁石を使用するため角度センサを低
原価で提供することができる。
角度センサによって検出された、回転角度に対する磁束
密度の関係を示す特性図であり、磁束密度の変化は、正
負の回転角度に対して概ね−４５度〜＋４５度角度範囲
において、ほぼ、直線的に変化しており、これにより、
磁電変換器３は、広角度にわたって直線性の優れた角度
変化の出力を得ることができる。実施の形態１は、磁束
発生手段に柱状永久磁石を使用するため角度センサを低
原価で提供することができる。
【００１２】〈実施の形態２〉図６は、実施の形態２を
示す図であり、同図において、図１と同一部分は同一の
符号を付して示されている。この実施の形態は、基本的
な作用は図１に示した実施の形態１と同一であり、相違
するところは、ヨーク４、５を貫流する磁束密度をさら
に広角度にわたって直線的に変化させるために、永久磁
石９、１０の形状を円弧状に形成したことである。図６
において、永久磁石９、１０の形状は、ヨーク４、５が
回転する軌跡の円弧に対して同心の円弧を形成している
が、磁電変換器３の回転角度に対する出力特性に応じて
永久磁石９、１０が形成する円弧の曲率を変化させても
よい。本実施の形態は、磁束発生手段に円弧状の永久磁
石を使用するため、実施の形態１に比べてさらに広角度
にわたって直線性の優れた出力が得られ、また、検知磁
束密度の変化量を大きく取ることができるため、永久磁
石を小さくして角度センサの小型化を図ることができ
る。
示す図であり、同図において、図１と同一部分は同一の
符号を付して示されている。この実施の形態は、基本的
な作用は図１に示した実施の形態１と同一であり、相違
するところは、ヨーク４、５を貫流する磁束密度をさら
に広角度にわたって直線的に変化させるために、永久磁
石９、１０の形状を円弧状に形成したことである。図６
において、永久磁石９、１０の形状は、ヨーク４、５が
回転する軌跡の円弧に対して同心の円弧を形成している
が、磁電変換器３の回転角度に対する出力特性に応じて
永久磁石９、１０が形成する円弧の曲率を変化させても
よい。本実施の形態は、磁束発生手段に円弧状の永久磁
石を使用するため、実施の形態１に比べてさらに広角度
にわたって直線性の優れた出力が得られ、また、検知磁
束密度の変化量を大きく取ることができるため、永久磁
石を小さくして角度センサの小型化を図ることができ
る。
【００１３】〈実施の形態３〉図７は、実施の形態３を
示す図であり、同図において図１と同一の部分は同一の
符号を付して示している。本実施の形態は、基本的な作
用は図１に示した実施の形態１と同一であり、相違する
ところは、２つの柱状永久磁石に代えて、永久磁石１
１、１２及び永久磁石１３、１４と、永久磁石１１、１
２及び永久磁石１３、１４の間に磁束伝達手段として２
つの軟磁性材１５、１６を配置した点である。本実施の
形態は、磁束発生手段としての永久磁石に小型のものが
使用できるため、実施の形態１に比べてさらに角度セン
サの原価低減を図ることができる。
示す図であり、同図において図１と同一の部分は同一の
符号を付して示している。本実施の形態は、基本的な作
用は図１に示した実施の形態１と同一であり、相違する
ところは、２つの柱状永久磁石に代えて、永久磁石１
１、１２及び永久磁石１３、１４と、永久磁石１１、１
２及び永久磁石１３、１４の間に磁束伝達手段として２
つの軟磁性材１５、１６を配置した点である。本実施の
形態は、磁束発生手段としての永久磁石に小型のものが
使用できるため、実施の形態１に比べてさらに角度セン
サの原価低減を図ることができる。
【００１４】〈実施の形態４〉図８は、実施の形態４を
示す図であり、同図において図１と同一部分は同一の符
号を付して示している。この実施の形態は、基本的な作
用は図１に示した実施の形態１と同一であり、相違する
ところは、２つの柱状永久磁石に代えて、互いに同極が
向かい合うように、所定の距離をおいて、着磁極を配置
した２つの永久磁石１７、１８の着磁面に、軟磁性材１
９、２０、２１、２２を磁束伝達手段として配置したも
のを使用した点である。本実施の形態は、磁束発生手段
として小型の永久磁石２個を使用しているため、実施の
形態３に比べてさらに低原価の角度センサを実現するこ
とができる。
示す図であり、同図において図１と同一部分は同一の符
号を付して示している。この実施の形態は、基本的な作
用は図１に示した実施の形態１と同一であり、相違する
ところは、２つの柱状永久磁石に代えて、互いに同極が
向かい合うように、所定の距離をおいて、着磁極を配置
した２つの永久磁石１７、１８の着磁面に、軟磁性材１
９、２０、２１、２２を磁束伝達手段として配置したも
のを使用した点である。本実施の形態は、磁束発生手段
として小型の永久磁石２個を使用しているため、実施の
形態３に比べてさらに低原価の角度センサを実現するこ
とができる。
【００１５】〈実施の形態５〉図９は、実施の形態５を
示す図であり、同図において図１と同一部分は同一の符
号を付して示している。この実施の形態は、基本的な作
用は図７に示した実施の形態３と同一であり、相違する
ところは、実施の形態３よりもヨーク４、５間の磁束密
度をさらに広角度にわたって直線的に変化させるため、
軟磁性材２７、２８の形状を円弧状に形成した点であ
る。本実施の形態は、実施の形態３における永久磁石の
間に配置される軟磁性材に円弧状のものを使用するた
め、実施の形態３に比べて広角度にわたって直線性の優
れた出力が得られる。
示す図であり、同図において図１と同一部分は同一の符
号を付して示している。この実施の形態は、基本的な作
用は図７に示した実施の形態３と同一であり、相違する
ところは、実施の形態３よりもヨーク４、５間の磁束密
度をさらに広角度にわたって直線的に変化させるため、
軟磁性材２７、２８の形状を円弧状に形成した点であ
る。本実施の形態は、実施の形態３における永久磁石の
間に配置される軟磁性材に円弧状のものを使用するた
め、実施の形態３に比べて広角度にわたって直線性の優
れた出力が得られる。
【００１６】〈実施の形態６〉図１０は、実施の形態６
を示す図であり、同図において図１と同一部分は同一の
符号を付して示している。この実施の形態は、基本的な
作用は図８に示した実施の形態４と同一であり、相違す
るところは、実施の形態４よりもヨーク４、５間の磁束
密度をさらに広角度にわたって直線的に変化させるた
め、軟磁性材３１、３２、３３、３４の形状を円弧状に
形成した点である。本実施の形態は、実施の形態４にお
ける２つの永久磁石のそれぞれの着磁面に円弧状の軟磁
性材を配置したため、実施の形態４に比べて広角度にわ
たって直線性の優れた出力が得られ、実施の形態５と比
較しても永久磁石の使用個数を少なくすることができ、
実施の形態５よりもさらに原価の低減を図ることができ
る。
を示す図であり、同図において図１と同一部分は同一の
符号を付して示している。この実施の形態は、基本的な
作用は図８に示した実施の形態４と同一であり、相違す
るところは、実施の形態４よりもヨーク４、５間の磁束
密度をさらに広角度にわたって直線的に変化させるた
め、軟磁性材３１、３２、３３、３４の形状を円弧状に
形成した点である。本実施の形態は、実施の形態４にお
ける２つの永久磁石のそれぞれの着磁面に円弧状の軟磁
性材を配置したため、実施の形態４に比べて広角度にわ
たって直線性の優れた出力が得られ、実施の形態５と比
較しても永久磁石の使用個数を少なくすることができ、
実施の形態５よりもさらに原価の低減を図ることができ
る。
【００１７】
【発明の効果】本発明の実施により、互いに同極同士が
向かい合うように所定の距離をおいて着磁極を配置した
２つの磁束発生手段と、この磁束発生手段で囲まれた空
間における磁束発生手段からの漏れ磁束を集める軟磁性
材からなる２つの磁束集中手段と、この磁束集中手段の
中心部に配置される磁電変換器からなる磁気式角度セン
サの検知部分とし、磁束発生手段、あるいは磁束集中手
段の何れか一方を回転させる回転機構を有する構成とし
たため、磁束発生手段と磁束集中手段との相対的な位置
関係が変化することにより、磁電変換器を通過する磁束
の大きさが変化し磁電変換器は、磁束密度の大きさに応
じた出力を発生することから、回転する物体の回転角度
の絶対値を概ね±４５度の範囲で、非接触により測定す
ることができ、広角度にわたって直線性の優れた磁電変
換器の出力が得られるという効果を奏するものである。
向かい合うように所定の距離をおいて着磁極を配置した
２つの磁束発生手段と、この磁束発生手段で囲まれた空
間における磁束発生手段からの漏れ磁束を集める軟磁性
材からなる２つの磁束集中手段と、この磁束集中手段の
中心部に配置される磁電変換器からなる磁気式角度セン
サの検知部分とし、磁束発生手段、あるいは磁束集中手
段の何れか一方を回転させる回転機構を有する構成とし
たため、磁束発生手段と磁束集中手段との相対的な位置
関係が変化することにより、磁電変換器を通過する磁束
の大きさが変化し磁電変換器は、磁束密度の大きさに応
じた出力を発生することから、回転する物体の回転角度
の絶対値を概ね±４５度の範囲で、非接触により測定す
ることができ、広角度にわたって直線性の優れた磁電変
換器の出力が得られるという効果を奏するものである。
【図１】本発明の実施の形態１を示す基本構成図であ
る。
る。
【図２】本発明の実施の形態１の作用を示す図である。
【図３】本発明の実施の形態１図の作用を示す図であ
る。
る。
【図４】本発明の実施の形態１図の作用を示す図であ
る。
る。
【図５】本発明の実施の形態１による角度センサの出力
特性図である。
特性図である。
【図６】本発明の実施の形態２を示す基本構成図であ
る。
る。
【図７】本発明の実施の形態３を示す基本構成図であ
る。
る。
【図８】本発明の実施の形態４を示す基本構成図であ
る。
る。
【図９】本発明の実施の形態５を示す基本構成図であ
る。
る。
【図１０】本発明の実施の形態６を示す基本構成図であ
る。
る。
【図１１】従来の磁気式角度センサの平面図及び斜視図
である。
である。
１〜２、９〜１４、１７〜１８、２３〜２６、２９〜３
０…永久磁石 ３、３６…磁電変換器 ４〜５、１５〜１６、１９〜２２、２７〜２８、３１〜
３４…軟磁性材 ６〜８…磁束線 ３５…磁性部材 ３６…磁電変換器 ３７…回転軸
０…永久磁石 ３、３６…磁電変換器 ４〜５、１５〜１６、１９〜２２、２７〜２８、３１〜
３４…軟磁性材 ６〜８…磁束線 ３５…磁性部材 ３６…磁電変換器 ３７…回転軸
Claims (6)
- 【請求項１】同極が対向するよう所定の距離をおき、着
磁極を並置して同一の磁束を発生する２つの柱状永久磁
石と、 この２つの柱状永久磁石で囲まれた空間に設けた軟磁性
材の漏れ磁束集中手段と、 この漏れ磁束集中手段の中心部に配置された磁電変換器
と、 前記永久磁石若しくは前記磁束集中手段の一方を他方に
対して正逆回転させる回転機構とを有し、 前記磁電変換器を介して漏れ磁束集中手段を貫流する磁
束の変化を検知することにより、前記永久磁石と前記磁
束集中手段の相対回転角度変化の大きさと回転の正逆方
向を検出することを特徴とする角度センサ。 - 【請求項２】前記２つの柱状磁石に代わる２つの円弧状
磁石を互いに対向して配置したことを特徴とする請求項
１記載の角度センサ。 - 【請求項３】対向する２つの柱状軟磁性材の両端に着磁
方向が同一で同一の磁束を発生する永久磁石をそれぞれ
配置したことを特徴とする請求項１記載の角度センサ。 - 【請求項４】所定の距離をおいて並置した着磁方向が同
一の２つの永久磁石の両端にそれぞれ柱状軟磁性材を配
置したことを特徴とする請求項１記載の角度センサ。 - 【請求項５】対向する２つの円弧状軟磁性材の両端に着
磁方向が同一で同一の磁束を発生する永久磁石をそれぞ
れ対向して配置したことを特徴とする請求項１記載の角
度センサ。 - 【請求項６】所定の距離をおいて並置した着磁方向が同
一の２つの永久磁石の両端にそれぞれ円弧状の軟磁性材
を配置したことを特徴とする請求項１記載の角度セン
サ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22657395A JP3264151B2 (ja) | 1995-09-04 | 1995-09-04 | 角度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22657395A JP3264151B2 (ja) | 1995-09-04 | 1995-09-04 | 角度センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0972706A true JPH0972706A (ja) | 1997-03-18 |
| JP3264151B2 JP3264151B2 (ja) | 2002-03-11 |
Family
ID=16847291
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22657395A Expired - Fee Related JP3264151B2 (ja) | 1995-09-04 | 1995-09-04 | 角度センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3264151B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1120626A2 (en) | 2000-01-26 | 2001-08-01 | Denso Corporation | Angular position measuring device |
| US6867584B1 (en) | 2003-11-04 | 2005-03-15 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Non-contact type rotation-angle sensing device |
| US6883494B2 (en) | 2003-07-29 | 2005-04-26 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Intake air control apparatus for an engine |
| US6930477B1 (en) | 2004-02-19 | 2005-08-16 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Rotation angle detection device |
| US7019516B2 (en) * | 2002-06-26 | 2006-03-28 | Nippon Soken, Inc. | Magnetic sensor unit less responsive to leaking magnetic flux |
| JP4769324B2 (ja) * | 2006-11-07 | 2011-09-07 | キー セーフティー システムズ、 インコーポレイテッド | 直線変位センサ |
-
1995
- 1995-09-04 JP JP22657395A patent/JP3264151B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1120626A2 (en) | 2000-01-26 | 2001-08-01 | Denso Corporation | Angular position measuring device |
| EP1120626B1 (en) * | 2000-01-26 | 2011-06-08 | Denso Corporation | Angular position measuring device |
| US7019516B2 (en) * | 2002-06-26 | 2006-03-28 | Nippon Soken, Inc. | Magnetic sensor unit less responsive to leaking magnetic flux |
| US6883494B2 (en) | 2003-07-29 | 2005-04-26 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Intake air control apparatus for an engine |
| US6867584B1 (en) | 2003-11-04 | 2005-03-15 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Non-contact type rotation-angle sensing device |
| DE102004019054B4 (de) * | 2003-11-04 | 2014-05-28 | Mitsubishi Denki K.K. | Drehwinkel-Erfassungsvorrichtung vom kontaktfreien Typ |
| US6930477B1 (en) | 2004-02-19 | 2005-08-16 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Rotation angle detection device |
| JP4769324B2 (ja) * | 2006-11-07 | 2011-09-07 | キー セーフティー システムズ、 インコーポレイテッド | 直線変位センサ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3264151B2 (ja) | 2002-03-11 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2536566Y2 (ja) | 回転センサ | |
| JP4907770B2 (ja) | フラックスゲート・センサを使用する位置エンコーダ | |
| JP4169536B2 (ja) | アクチュエータ | |
| JP2003042709A (ja) | 角度センサ | |
| US5644226A (en) | Magnetic detector having a bias magnet and magnetoresistive elements shifted away from the center of the magnet | |
| JP4947250B2 (ja) | 角度検出装置 | |
| JP4204294B2 (ja) | 回転角検出装置 | |
| JPS6275313A (ja) | 制御信号を発生する装置 | |
| JP3264151B2 (ja) | 角度センサ | |
| JP2000065596A (ja) | 磁気式エンコーダ | |
| JP3609645B2 (ja) | 回転検出センサ | |
| JPH083183Y2 (ja) | 発電機 | |
| JPH11118517A (ja) | 回転体用センサ | |
| JPS6344730Y2 (ja) | ||
| JPS63153421A (ja) | 傾斜角センサ | |
| JP2550085B2 (ja) | 絶対位置検出装置 | |
| JPS5821113A (ja) | 磁電変換素子を用いた傾度計 | |
| JP2001082914A (ja) | 角度検出装置 | |
| JP3136921B2 (ja) | 磁気センサおよび磁気センサを搭載したモータ | |
| JP2613059B2 (ja) | 磁気センサ | |
| JPH10255236A (ja) | 磁気検出装置 | |
| JPS6111982Y2 (ja) | ||
| JPH0344508A (ja) | 磁気検出装置 | |
| JPH09229614A (ja) | 回転体用センサ | |
| JPH0415518A (ja) | 移動検出装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |