JPH0964393A - 薄膜光電変換モジュールの製造装置および製造方法 - Google Patents
薄膜光電変換モジュールの製造装置および製造方法Info
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- JPH0964393A JPH0964393A JP7216938A JP21693895A JPH0964393A JP H0964393 A JPH0964393 A JP H0964393A JP 7216938 A JP7216938 A JP 7216938A JP 21693895 A JP21693895 A JP 21693895A JP H0964393 A JPH0964393 A JP H0964393A
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- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
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Abstract
(57)【要約】
【課題】可撓性基板上に形成した薄膜光電変換素子を基
板から切り出して耐候性フィルム上に搭載するときに面
が波立たないようにする。 【解決手段】基板を表面上に素子外形と同形状の刃を有
するロールカッタと吸着ロールの間に挟み、両ロールを
回動させて素子を切り出し、切り出した素子を吸着ロー
ルに真空吸着する。耐候性のフィルム上に素子を搭載す
るときは、吸着ロール内部の吸気室を大気圧にして素子
を吸着ロール面から離す。
板から切り出して耐候性フィルム上に搭載するときに面
が波立たないようにする。 【解決手段】基板を表面上に素子外形と同形状の刃を有
するロールカッタと吸着ロールの間に挟み、両ロールを
回動させて素子を切り出し、切り出した素子を吸着ロー
ルに真空吸着する。耐候性のフィルム上に素子を搭載す
るときは、吸着ロール内部の吸気室を大気圧にして素子
を吸着ロール面から離す。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、可撓性基板を有す
る薄膜光電変換素子の複数個を、可撓性を有する耐候性
フィルムにより挟んで両面を保護した薄膜光電変換モジ
ュールの製造装置および製造方法に関する。
る薄膜光電変換素子の複数個を、可撓性を有する耐候性
フィルムにより挟んで両面を保護した薄膜光電変換モジ
ュールの製造装置および製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】高分子材料フィルムのような可撓性基板
上に背後電極層、光電変換半導体層および透明電極層を
積層してなる薄膜光電変換素子の複数個を接続導線によ
り接続し、両面を保護フィルム等により被覆することに
よって外気の水分やガスの影響より保護してモジュール
化することは、例えば特公平５−５９５９１号公報に公
知である。図２は特願平６−６４２８５号明細書に記載
された薄膜光電変換モジュールの製造装置を示す。この
装置では、エチレンナフタレート（ＰＥＮ）フィルムな
どの絶縁性可撓性フィルム１の送り出しロール２１と、
エチレンビニルアセテート（ＥＶＡ）フィルムなどの透
明な熱接着性樹脂フィルム３１の送り出しロール２２と
を一端にして、それらのフィルムを挟んで熱接着する二
つの加熱ロール４１、４２、絶縁性可撓性フィルムから
の薄膜光電変換素子５の部分の打ち抜き加熱装置６０お
よび巻き取りロール７１が一列上に配置されている。こ
の列と打ち抜き加熱装置６０の部分で直交して、保護フ
ィルムとしての透光性の耐候性フィルム８１の送り出し
ロール２３を一端にし、加熱ロール４３、４４、加熱ロ
ール４５、４６および巻き取りロール７２が一列に配置
されている。打ち抜き加熱装置６０では、絶縁可撓性フ
ィルム１の図では下面となる表面上に可撓性フィルム１
の素子５の形成された部分を素子間に付けられたマーカ
１０で位置を検出して打抜くと共に、その透明電極側に
耐候性フィルム８１をフィルム３１の熱接着性樹脂によ
り加熱接着する。加熱ロール４３、４４は、送り出しロ
ール２４から送り出された導電性テープ９を、基板１の
裏面側に設けられ、表面側の素子電極に接続された補助
電極に、その補助電極の表面上にコートされたはんだを
溶かして接続すると共に耐候性フィルム８１に熱固定す
る。加熱ロール４５、４６は、送り出しロール２５から
送り出された裏面保護フィルム用の耐候性フィルム８２
を、送り出しロール２６から送り出された熱接着性樹脂
フィルム３２を介して熱接着する。
上に背後電極層、光電変換半導体層および透明電極層を
積層してなる薄膜光電変換素子の複数個を接続導線によ
り接続し、両面を保護フィルム等により被覆することに
よって外気の水分やガスの影響より保護してモジュール
化することは、例えば特公平５−５９５９１号公報に公
知である。図２は特願平６−６４２８５号明細書に記載
された薄膜光電変換モジュールの製造装置を示す。この
装置では、エチレンナフタレート（ＰＥＮ）フィルムな
どの絶縁性可撓性フィルム１の送り出しロール２１と、
エチレンビニルアセテート（ＥＶＡ）フィルムなどの透
明な熱接着性樹脂フィルム３１の送り出しロール２２と
を一端にして、それらのフィルムを挟んで熱接着する二
つの加熱ロール４１、４２、絶縁性可撓性フィルムから
の薄膜光電変換素子５の部分の打ち抜き加熱装置６０お
よび巻き取りロール７１が一列上に配置されている。こ
の列と打ち抜き加熱装置６０の部分で直交して、保護フ
ィルムとしての透光性の耐候性フィルム８１の送り出し
ロール２３を一端にし、加熱ロール４３、４４、加熱ロ
ール４５、４６および巻き取りロール７２が一列に配置
されている。打ち抜き加熱装置６０では、絶縁可撓性フ
ィルム１の図では下面となる表面上に可撓性フィルム１
の素子５の形成された部分を素子間に付けられたマーカ
１０で位置を検出して打抜くと共に、その透明電極側に
耐候性フィルム８１をフィルム３１の熱接着性樹脂によ
り加熱接着する。加熱ロール４３、４４は、送り出しロ
ール２４から送り出された導電性テープ９を、基板１の
裏面側に設けられ、表面側の素子電極に接続された補助
電極に、その補助電極の表面上にコートされたはんだを
溶かして接続すると共に耐候性フィルム８１に熱固定す
る。加熱ロール４５、４６は、送り出しロール２５から
送り出された裏面保護フィルム用の耐候性フィルム８２
を、送り出しロール２６から送り出された熱接着性樹脂
フィルム３２を介して熱接着する。
【０００３】この装置を用いれば特性不良の素子の部分
を除いて基板上の素子３５を熱接着性樹脂フィルムごと
に打抜き、受光面に熱接着性樹脂フィルム３１を介して
耐候性保護フィルム８１をラミネートして保護フィルム
により薄い可撓性基板１を補強し、露出した補助電極を
用いての素子間の接続、モジュール化も容易にでき、不
良素子を含まないモジュール形成が行える。また、素子
供給ラインとモジュールベースフィルムの搬送ラインと
が直交した装置構成とすることにより、モジュール組立
が両ラインで連続して実施でき、高い生産効率での薄膜
光電変換モジュール製造が可能である。
を除いて基板上の素子３５を熱接着性樹脂フィルムごと
に打抜き、受光面に熱接着性樹脂フィルム３１を介して
耐候性保護フィルム８１をラミネートして保護フィルム
により薄い可撓性基板１を補強し、露出した補助電極を
用いての素子間の接続、モジュール化も容易にでき、不
良素子を含まないモジュール形成が行える。また、素子
供給ラインとモジュールベースフィルムの搬送ラインと
が直交した装置構成とすることにより、モジュール組立
が両ラインで連続して実施でき、高い生産効率での薄膜
光電変換モジュール製造が可能である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、図２の装置を
用いた場合、薄膜光電変換素子５の受光面を覆う熱接着
性樹脂フィルム３１の表面は、加熱ロール４１、４２の
熱影響により波立ちが多く、最終ラミネート工程でし
わ、気泡の発生の原因となる。また、大面積の素子を打
抜く場合、打抜き型が大形になって、必然的に重量が重
くなり、騒音、振動が発生し、許容範囲内に抑える対策
が必要となる他、抜き型交換等のメンテナンスが厄介な
いし困難になる問題がある。
用いた場合、薄膜光電変換素子５の受光面を覆う熱接着
性樹脂フィルム３１の表面は、加熱ロール４１、４２の
熱影響により波立ちが多く、最終ラミネート工程でし
わ、気泡の発生の原因となる。また、大面積の素子を打
抜く場合、打抜き型が大形になって、必然的に重量が重
くなり、騒音、振動が発生し、許容範囲内に抑える対策
が必要となる他、抜き型交換等のメンテナンスが厄介な
いし困難になる問題がある。
【０００５】本発明の目的は、上述の問題を解決し、素
子の面あるいはその上の熱接着性樹脂フィルム面に波立
ちの生じない薄膜光電変換モジュールの製造装置および
製造方法を提供することにある。
子の面あるいはその上の熱接着性樹脂フィルム面に波立
ちの生じない薄膜光電変換モジュールの製造装置および
製造方法を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明は、複数個の薄膜光電変換素子を形成した
可撓性の絶縁性基板から薄膜光電変換素子の形成部分を
切り出し、切り出した薄膜光電変換素子を相互に接続し
て一方が透光性の第一および第二の保護フィルムの間に
一列に搭載して保護フィルムをラミネートするために用
いる薄膜光電変換モジュールの製造装置において、素子
が形成された基板をその間にはさんで回動可能のロール
カッタと吸着ロールとを備え、ロールカッタは基板から
切り出される素子の外形と同形状の刃を円筒面に有し、
吸着ロールは真空系に接続可能の内部の吸気室に連通す
る多数の吸気孔を円筒面に有するものとする。基板をは
さんでロールカッタが回動することにより、円筒面の刃
と同形状に基板から素子が切り出され、切り出された素
子は真空にした吸気室に連通する吸気孔により吸着ロー
ルに吸着されて波立ちが生じない。そして、吸気室の圧
力を大気圧にすることにより吸着した素子を離して搭載
することができる。吸着ロールの内部の吸気室が複数個
で、各吸着室がそれぞれ別個の制御弁を介して真空系に
接続されたことがよい。これにより素子を局部的に吸着
ロール着脱することができる。ロールカッタと吸着ロー
ルとが、薄膜光電変換素子の複数個を形成した可撓性の
絶縁性基板の送り出しロールから素子の表面に熱接着性
樹脂のフィルムを接着するための加熱手段を経て切り出
されたあとの基板の残り部分の巻き取りロールに至る第
一列の、加熱手段と巻き取りロールの中間部と、第一の
保護フィルムの送り出しロールから、その第一の保護フ
ィルムを第一列で接着された熱接着性樹脂フィルムを介
して素子表面に接着する第一の加熱手段、素子相互間を
接続する導体の固着手段および第二の保護フィルムを熱
接着性樹脂を介して接着する第二の加熱手段を経て巻き
取りロールに至り、第一列に直交する第二列の、送り出
しロールと第一の加熱手段の中間部との交差部に配置さ
れたことが有効である。この装置を用いることにより、
表面を熱接着性樹脂フィルムが被覆していることにより
保護された素子を基板からロールカッタで切り出し、引
きつづいて直交するラインで、第一の保護フィルム上へ
の素子の搭載、素子相互間の導体による接続、第二の保
護フィルムの接着を行うことができる。
めに、本発明は、複数個の薄膜光電変換素子を形成した
可撓性の絶縁性基板から薄膜光電変換素子の形成部分を
切り出し、切り出した薄膜光電変換素子を相互に接続し
て一方が透光性の第一および第二の保護フィルムの間に
一列に搭載して保護フィルムをラミネートするために用
いる薄膜光電変換モジュールの製造装置において、素子
が形成された基板をその間にはさんで回動可能のロール
カッタと吸着ロールとを備え、ロールカッタは基板から
切り出される素子の外形と同形状の刃を円筒面に有し、
吸着ロールは真空系に接続可能の内部の吸気室に連通す
る多数の吸気孔を円筒面に有するものとする。基板をは
さんでロールカッタが回動することにより、円筒面の刃
と同形状に基板から素子が切り出され、切り出された素
子は真空にした吸気室に連通する吸気孔により吸着ロー
ルに吸着されて波立ちが生じない。そして、吸気室の圧
力を大気圧にすることにより吸着した素子を離して搭載
することができる。吸着ロールの内部の吸気室が複数個
で、各吸着室がそれぞれ別個の制御弁を介して真空系に
接続されたことがよい。これにより素子を局部的に吸着
ロール着脱することができる。ロールカッタと吸着ロー
ルとが、薄膜光電変換素子の複数個を形成した可撓性の
絶縁性基板の送り出しロールから素子の表面に熱接着性
樹脂のフィルムを接着するための加熱手段を経て切り出
されたあとの基板の残り部分の巻き取りロールに至る第
一列の、加熱手段と巻き取りロールの中間部と、第一の
保護フィルムの送り出しロールから、その第一の保護フ
ィルムを第一列で接着された熱接着性樹脂フィルムを介
して素子表面に接着する第一の加熱手段、素子相互間を
接続する導体の固着手段および第二の保護フィルムを熱
接着性樹脂を介して接着する第二の加熱手段を経て巻き
取りロールに至り、第一列に直交する第二列の、送り出
しロールと第一の加熱手段の中間部との交差部に配置さ
れたことが有効である。この装置を用いることにより、
表面を熱接着性樹脂フィルムが被覆していることにより
保護された素子を基板からロールカッタで切り出し、引
きつづいて直交するラインで、第一の保護フィルム上へ
の素子の搭載、素子相互間の導体による接続、第二の保
護フィルムの接着を行うことができる。
【０００７】本発明の薄膜光電変換モジュールの製造方
法は、上記のいずれかの製造装置を用い、薄膜光電変換
素子を形成した可撓性の絶縁性基板をはさんでロールカ
ッタおよび吸着ロールを回動させて基板の素子形成部分
を切り出すと共に、切り出された素子を吸気室を真空に
した吸着ロールの表面に吸着するものとする。既に述べ
たように、これによって吸着された素子面に波立ちが生
じない。次に、吸着ロールに吸着した素子の一端が一方
の保護フィルムに対向するように吸着ロールを回動さ
せ、その一端が第一の保護フィルムの所定の位置に対向
するように吸着ロールを移動させ、次いで吸着ロールを
第一の保護フィルムに近付けて素子の一端をその保護フ
ィルムに接触させ、そのあと吸気室の圧力を大気圧にし
た吸着ロールを回動させて素子の表面全面を第一の保護
フィルムに接触させることがよい。これによって第一の
保護フィルムに複数の素子を所定の間隔を介して一列に
搭載することができる。複数の吸気室を備えた薄膜光電
変換モジュールの製造装置を用い、複数の吸気室のう
ち、第一の保護フィルムに対向する吸気孔の連通する吸
気室から順次その圧力を大気圧にすることもよい。これ
により素子が同時に吸着ロール面から離れることによっ
て素子面が波立つことが防止される。
法は、上記のいずれかの製造装置を用い、薄膜光電変換
素子を形成した可撓性の絶縁性基板をはさんでロールカ
ッタおよび吸着ロールを回動させて基板の素子形成部分
を切り出すと共に、切り出された素子を吸気室を真空に
した吸着ロールの表面に吸着するものとする。既に述べ
たように、これによって吸着された素子面に波立ちが生
じない。次に、吸着ロールに吸着した素子の一端が一方
の保護フィルムに対向するように吸着ロールを回動さ
せ、その一端が第一の保護フィルムの所定の位置に対向
するように吸着ロールを移動させ、次いで吸着ロールを
第一の保護フィルムに近付けて素子の一端をその保護フ
ィルムに接触させ、そのあと吸気室の圧力を大気圧にし
た吸着ロールを回動させて素子の表面全面を第一の保護
フィルムに接触させることがよい。これによって第一の
保護フィルムに複数の素子を所定の間隔を介して一列に
搭載することができる。複数の吸気室を備えた薄膜光電
変換モジュールの製造装置を用い、複数の吸気室のう
ち、第一の保護フィルムに対向する吸気孔の連通する吸
気室から順次その圧力を大気圧にすることもよい。これ
により素子が同時に吸着ロール面から離れることによっ
て素子面が波立つことが防止される。
【０００８】
【発明の実施の形態】可撓性の絶縁性基板にはＰＥＮな
どの高分子材料フィルム、熱接着性樹脂フィルムにはＥ
ＶＡフィルム、ポリビニルアセテート（ＰＶＡ）フィル
ムあるいはポリオレフィン系フィルム等を用いる。保護
フィルムとして用いられる耐候性フィルムには、ふっ素
系樹脂のフィルムや、表面を非晶質ＳｉＯx ：Ｈ、非晶
質ＳｉＣx ：Ｈ、非晶質ＳｉＯx Ｃy ：Ｈ、非晶質Ｓｉ
Ｏx Ｎy ：Ｈ、非晶質Ｃ：Ｈ、非晶質ＣＮx ：Ｈ、非晶
質ＣＯx ：Ｈ、ＳｉＮx 、ＳｉＯx 等を用いて保護した
ＰＥＴ（ポリエチレンテレナフタレート）、ＰＥＳ（ポ
リエチレンナフタレート）等の透明プラスチックフィル
ムを用いることが可能である。本発明の装置および方法
は、様々な膜厚のフィルムを用いることが可能である
が、できあがったモジュールを自由に折り曲げ可能な状
態を保つためには、基板となる絶縁性フィルム熱接着性
樹脂フィルム、耐候性フィルムともに、２００μｍ以
下、出来れば１００μｍ以下の膜厚とすることが望まし
い。
どの高分子材料フィルム、熱接着性樹脂フィルムにはＥ
ＶＡフィルム、ポリビニルアセテート（ＰＶＡ）フィル
ムあるいはポリオレフィン系フィルム等を用いる。保護
フィルムとして用いられる耐候性フィルムには、ふっ素
系樹脂のフィルムや、表面を非晶質ＳｉＯx ：Ｈ、非晶
質ＳｉＣx ：Ｈ、非晶質ＳｉＯx Ｃy ：Ｈ、非晶質Ｓｉ
Ｏx Ｎy ：Ｈ、非晶質Ｃ：Ｈ、非晶質ＣＮx ：Ｈ、非晶
質ＣＯx ：Ｈ、ＳｉＮx 、ＳｉＯx 等を用いて保護した
ＰＥＴ（ポリエチレンテレナフタレート）、ＰＥＳ（ポ
リエチレンナフタレート）等の透明プラスチックフィル
ムを用いることが可能である。本発明の装置および方法
は、様々な膜厚のフィルムを用いることが可能である
が、できあがったモジュールを自由に折り曲げ可能な状
態を保つためには、基板となる絶縁性フィルム熱接着性
樹脂フィルム、耐候性フィルムともに、２００μｍ以
下、出来れば１００μｍ以下の膜厚とすることが望まし
い。
【０００９】本発明の実施のための薄膜光電変換素子
は、基板から離れた面を受光面にするものでも基板を通
して入射する光を受けるものでもよい。それに応じて受
光面側の電極層、保護フィルム、熱接着性樹脂を透光性
にするほか、フィルム基板も透光性にする必要が生ず
る。吸着ロールの吸気室を複数するには、円筒内の空間
を円筒軸を通る壁面で分割することにより、任意の数の
吸気室に分割する。
は、基板から離れた面を受光面にするものでも基板を通
して入射する光を受けるものでもよい。それに応じて受
光面側の電極層、保護フィルム、熱接着性樹脂を透光性
にするほか、フィルム基板も透光性にする必要が生ず
る。吸着ロールの吸気室を複数するには、円筒内の空間
を円筒軸を通る壁面で分割することにより、任意の数の
吸気室に分割する。
【００１０】
【実施例】以下図２と共通の部分に同一の符号を付した
図を引用して本発明の一実施例の薄膜光電変換モジュー
ル製造装置について述べる。図１（ａ）に平面図、図１
（ｂ）に正面断面図、図１（ｃ）に右側面断面図を示す
本発明の一実施例の薄膜光電変換モジュール製造装置に
おいては、一端の絶縁性可撓性フィルム（以下基板と記
す）１の送り出しロール２１および熱接着性樹脂フィル
ム３１の送り出しロール２２と他端の巻き取りロール７
１との間に供給装置６が配置されている。この供給装置
６の位置で透光性の耐候フィルム８１の送り出しロール
２３から巻き取りロール７２に至るラインが直交してい
る。しかし、フィルム８１の通る平面は、基板１および
フィルム２２の通る平面より離れて下方にある。供給装
置６は、ロールカッタ６１と吸着ロール６２から構成さ
れ、この二つのロール６１、６２が同期を取り、回動し
ながら移動機構６３、６４によって矢印１１の方向に共
に移動し、基板１から素子５の形成部分を不良素子の部
分を除いて切り出すことができる。図３は吸着ロール６
２の拡大詳細図で図３（ａ）が部分断面図、図３
（ｂ）、（ｃ）はそれぞれ（ａ）のＡ−Ａ線、Ｂ−Ｂ線
断面図である。吸着ロール６２は、それぞれ吸気孔６５
および６６を介して外部と通ずる吸気室６７および６８
を内部に有する。吸気室６７および６８は、それぞれ別
個に吸気管７６、制御弁７７を介して真空ポンプ７８に
接続されていて、独立に制御された減圧状態にすること
ができる。基板１の素子５の部分を基板１から切り出す
工程を図４（ａ）、（ｂ）、（ｃ）の順に示す。基板１
を熱接着性樹脂フィルム３１と共に加熱ロール４１、４
２間に通して搬送することにより熱接着したのち、マー
カ１０を検出し、素子５の切り出し位置に停止する。切
り出しは、基板１を挟んでロールカッタ６１を下方に、
吸着ロール６２を上方に配置して行う。ロールカッタ６
１には、ロール面上に切り出し形状し同一形状の刃７０
があり、ロールカッタ６１が吸着ロール６２と共に矢印
１４方向に回動しながら図１に示した矢印１１の方向に
移動することにより、基板１から素子５の形成部分を図
示しない熱接着性樹脂フィルムと共に切り出す。切り出
された素子５は、最初は吸気室６７を通ずる吸気孔６５
によって吸着され、引きつづき図４（ｂ）、（ｃ）に示
すように吸気室６８に通ずる吸気孔６６によって吸着さ
れる。
図を引用して本発明の一実施例の薄膜光電変換モジュー
ル製造装置について述べる。図１（ａ）に平面図、図１
（ｂ）に正面断面図、図１（ｃ）に右側面断面図を示す
本発明の一実施例の薄膜光電変換モジュール製造装置に
おいては、一端の絶縁性可撓性フィルム（以下基板と記
す）１の送り出しロール２１および熱接着性樹脂フィル
ム３１の送り出しロール２２と他端の巻き取りロール７
１との間に供給装置６が配置されている。この供給装置
６の位置で透光性の耐候フィルム８１の送り出しロール
２３から巻き取りロール７２に至るラインが直交してい
る。しかし、フィルム８１の通る平面は、基板１および
フィルム２２の通る平面より離れて下方にある。供給装
置６は、ロールカッタ６１と吸着ロール６２から構成さ
れ、この二つのロール６１、６２が同期を取り、回動し
ながら移動機構６３、６４によって矢印１１の方向に共
に移動し、基板１から素子５の形成部分を不良素子の部
分を除いて切り出すことができる。図３は吸着ロール６
２の拡大詳細図で図３（ａ）が部分断面図、図３
（ｂ）、（ｃ）はそれぞれ（ａ）のＡ−Ａ線、Ｂ−Ｂ線
断面図である。吸着ロール６２は、それぞれ吸気孔６５
および６６を介して外部と通ずる吸気室６７および６８
を内部に有する。吸気室６７および６８は、それぞれ別
個に吸気管７６、制御弁７７を介して真空ポンプ７８に
接続されていて、独立に制御された減圧状態にすること
ができる。基板１の素子５の部分を基板１から切り出す
工程を図４（ａ）、（ｂ）、（ｃ）の順に示す。基板１
を熱接着性樹脂フィルム３１と共に加熱ロール４１、４
２間に通して搬送することにより熱接着したのち、マー
カ１０を検出し、素子５の切り出し位置に停止する。切
り出しは、基板１を挟んでロールカッタ６１を下方に、
吸着ロール６２を上方に配置して行う。ロールカッタ６
１には、ロール面上に切り出し形状し同一形状の刃７０
があり、ロールカッタ６１が吸着ロール６２と共に矢印
１４方向に回動しながら図１に示した矢印１１の方向に
移動することにより、基板１から素子５の形成部分を図
示しない熱接着性樹脂フィルムと共に切り出す。切り出
された素子５は、最初は吸気室６７を通ずる吸気孔６５
によって吸着され、引きつづき図４（ｂ）、（ｃ）に示
すように吸気室６８に通ずる吸気孔６６によって吸着さ
れる。
【００１１】切り出した良品素子５は、送り出しロール
２３から送り出された耐候性透明フィルム８１上に図５
（ａ）、（ｂ）、（ｃ）の順の工程で供給する。すなわ
ち、図４（ｃ）に示すように素子５を吸着した吸着ロー
ル６２を図１（ｃ）に示す回動機構６９で回動させて素
子５の一端が下方に来るようにしたのち、吸着ロール６
２のみを図１（ｂ）に示す矢印１２の方向に耐候性フィ
ルム８１の搭載位置の真上まで移動させ、その位置で素
子５がフィルム８１面に接するまで矢印１３の方向に下
降させる〔図５（ａ）〕。次に、吸気室６８を真空から
大気に開放すれば耐候性フィルム８１の矢印１５の方向
の搬送により吸着ロール６２が矢印１４方向に回動する
ので、素子５を耐候性フィルム８１上に一端から搭載し
始める〔図５（ｂ）〕。このあと、吸気室６７を真空か
ら大気に開放すれば、ロール６２の自重が加わって素子
５は他端まで、面の波打ちの無い状態で搭載される〔図
５（ｃ）〕。
２３から送り出された耐候性透明フィルム８１上に図５
（ａ）、（ｂ）、（ｃ）の順の工程で供給する。すなわ
ち、図４（ｃ）に示すように素子５を吸着した吸着ロー
ル６２を図１（ｃ）に示す回動機構６９で回動させて素
子５の一端が下方に来るようにしたのち、吸着ロール６
２のみを図１（ｂ）に示す矢印１２の方向に耐候性フィ
ルム８１の搭載位置の真上まで移動させ、その位置で素
子５がフィルム８１面に接するまで矢印１３の方向に下
降させる〔図５（ａ）〕。次に、吸気室６８を真空から
大気に開放すれば耐候性フィルム８１の矢印１５の方向
の搬送により吸着ロール６２が矢印１４方向に回動する
ので、素子５を耐候性フィルム８１上に一端から搭載し
始める〔図５（ｂ）〕。このあと、吸気室６７を真空か
ら大気に開放すれば、ロール６２の自重が加わって素子
５は他端まで、面の波打ちの無い状態で搭載される〔図
５（ｃ）〕。
【００１２】素子５の受光面側は、熱接着性樹脂フィル
ム３１と熱接着しているため、粘性があり、吸着ロール
６２の自重を与えて搭載すれば、耐候性透明フィルム８
１面と密着し、最終熱接着前に位置ずれすることはな
い。素子５を搭載した耐候性フィルム８１が最終加熱工
程の加熱ロール４３、４４に達する直前に、基板１の反
受光面側にある素子５の給電端子に送り出しロール２４
から導電テープ９を供給し、接続してモジュールの集電
配線を行う。また、ここで透光性の耐候性フィルム８１
に薄膜光電変換素子５と導電テープ９を固定するため、
耐候性のある熱接着性樹脂フィルム３２を送りロール２
６から送り出して、加熱ロール４３、４４により熱接着
を行い、最終的には送り出しロール２５から送り出され
た耐候性遮光フィルム８２と一緒に巻き取りロール７２
にモジュールとして巻き取る。これらの工程は、各ロー
ルを一列上に配置することにより連続的に作業できる。
ム３１と熱接着しているため、粘性があり、吸着ロール
６２の自重を与えて搭載すれば、耐候性透明フィルム８
１面と密着し、最終熱接着前に位置ずれすることはな
い。素子５を搭載した耐候性フィルム８１が最終加熱工
程の加熱ロール４３、４４に達する直前に、基板１の反
受光面側にある素子５の給電端子に送り出しロール２４
から導電テープ９を供給し、接続してモジュールの集電
配線を行う。また、ここで透光性の耐候性フィルム８１
に薄膜光電変換素子５と導電テープ９を固定するため、
耐候性のある熱接着性樹脂フィルム３２を送りロール２
６から送り出して、加熱ロール４３、４４により熱接着
を行い、最終的には送り出しロール２５から送り出され
た耐候性遮光フィルム８２と一緒に巻き取りロール７２
にモジュールとして巻き取る。これらの工程は、各ロー
ルを一列上に配置することにより連続的に作業できる。
【００１３】
【発明の効果】本発明によれば、同期をとりながら回転
位置補正が行える吸着ロールとロールカッタを回動して
可撓性基板から薄膜光電変換素子を切り出し、吸着ロー
ルに繰り返し精度良く巻き取り、耐候性保護フィルム面
上に等間隔に搭載する供給装置を備えたことにより、薄
膜光電変換素子面の波打ちがロールの円弧効果によって
解消され、精度良く搭載が行われ、しわ、気泡の無いラ
ミネートが行え、安定したモジュール連続形成を行うこ
とができる。さらに、本発明によれば、吸着ロール内に
複数の吸気室を設け、切り出された薄膜光電変換素子の
巻き始め、巻き終りに合わせて吸気室を各々独立制御し
て真空引きできる真空ポンプと制御弁を備えたことによ
り、併せて吸着された薄膜光電変換素子の位置に合わせ
て真空引きを止めて離脱させることも可能にすることに
よって、素子を精度良く、保護フィルム面上に等間隔に
搭載できる。
位置補正が行える吸着ロールとロールカッタを回動して
可撓性基板から薄膜光電変換素子を切り出し、吸着ロー
ルに繰り返し精度良く巻き取り、耐候性保護フィルム面
上に等間隔に搭載する供給装置を備えたことにより、薄
膜光電変換素子面の波打ちがロールの円弧効果によって
解消され、精度良く搭載が行われ、しわ、気泡の無いラ
ミネートが行え、安定したモジュール連続形成を行うこ
とができる。さらに、本発明によれば、吸着ロール内に
複数の吸気室を設け、切り出された薄膜光電変換素子の
巻き始め、巻き終りに合わせて吸気室を各々独立制御し
て真空引きできる真空ポンプと制御弁を備えたことによ
り、併せて吸着された薄膜光電変換素子の位置に合わせ
て真空引きを止めて離脱させることも可能にすることに
よって、素子を精度良く、保護フィルム面上に等間隔に
搭載できる。
【図１】本発明の一実施例の薄膜光電変換モジュール製
造装置を示し（ａ）は平面図、（ｂ）は正面断面図、
（ｃ）は右側面断面図
造装置を示し（ａ）は平面図、（ｂ）は正面断面図、
（ｃ）は右側面断面図
【図２】従来の薄膜光電変換モジュール製造装置の斜視
図
図
【図３】図１の薄膜光電変換モジュール製造装置の吸着
ロールを拡大して示し、（ａ）は部分断面図、（ｂ）は
（ａ）のＡ−Ａ線断面図、（ｃ）は（ａ）のＢ−Ｂ線断
面図
ロールを拡大して示し、（ａ）は部分断面図、（ｂ）は
（ａ）のＡ−Ａ線断面図、（ｃ）は（ａ）のＢ−Ｂ線断
面図
【図４】図１の薄膜光電変換モジュール製造装置を用い
ての光電変換素子切り出し工程を（ａ）、（ｂ）、
（ｃ）の順に示す断面図
ての光電変換素子切り出し工程を（ａ）、（ｂ）、
（ｃ）の順に示す断面図
【図５】図１の薄膜光電変換モジュール製造装置を用い
ての光電変換素子供給工程を（ａ）、（ｂ）、（ｃ）の
順に示す断面図
ての光電変換素子供給工程を（ａ）、（ｂ）、（ｃ）の
順に示す断面図
１ 絶縁性可撓性フィルム（基板） ２１、２２、２３、２４、２５、２６ 送り出しロー
ル ３１、３２ 熱接着性樹脂フィルム ４１、４２、４３、４４、４５、４６、 加熱ロール ５ 薄膜光電変換素子 ６ 供給装置 ６１ ロールカッタ ６２ 吸着ロール ６３、６４、 移動機構 ６５、６６ 吸気孔 ６９ 回動機構 ６７、６８ 吸気室 ７０ 刃 ７１、７２ 巻き取りロール ８１ 耐候性透明フィルム ８２ 耐候性遮光フィルム ９ 導電テープ
ル ３１、３２ 熱接着性樹脂フィルム ４１、４２、４３、４４、４５、４６、 加熱ロール ５ 薄膜光電変換素子 ６ 供給装置 ６１ ロールカッタ ６２ 吸着ロール ６３、６４、 移動機構 ６５、６６ 吸気孔 ６９ 回動機構 ６７、６８ 吸気室 ７０ 刃 ７１、７２ 巻き取りロール ８１ 耐候性透明フィルム ８２ 耐候性遮光フィルム ９ 導電テープ
Claims (6)
- 【請求項１】複数個の薄膜光電変換素子を形成した可撓
性の絶縁性基板から薄膜光電変換素子の形成部分を切り
出し、切り出した薄膜光電変換素子を相互に接続して一
方が透光性の第一および第二の保護フィルムの間に一列
に搭載して保護フィルムをラミネートするために用いる
薄膜光電変換モジュールの製造装置において、素子が形
成された基板をその間にはさんだ回動可能のロールカッ
タと吸着ロールとを備え、ロールカッタは基板から切り
出される素子の外形と同形状の刃を円筒面に有し、吸着
ロールは真空系に接続可能の内部の吸気室に連通する多
数の吸気孔を円筒面に有することを特徴とする薄膜光電
変換モジュールの製造装置。 - 【請求項２】吸着ロールの内部の吸気室が複数個で、各
吸着室がそれぞれ別個に制御弁を介して真空系に接続さ
れた請求項１記載の薄膜光電変換モジュールの製造装
置。 - 【請求項３】ロールカッタと吸着ロールとが、薄膜光電
変換素子の複数個を形成した可撓性の絶縁性基板の送り
出しロールから、素子の表面に熱接着性樹脂のフィルム
を接着するための加熱手段を経て切り出されたあとの基
板の残り部分の巻き取るロールへ至る第一列の、加熱手
段と巻き取りロールの中間部と、第一の保護フィルムの
送り出しロールから、その第一の保護フィルムを第一列
で接着された熱接着性樹脂フィルムを介して素子表面に
接着する第一の加熱手段、素子相互間を接続する導体の
固着手段および第二の保護フィルムを熱接着性樹脂を介
して接着する第二の加熱手段を経て巻き取りロールに至
り、第一列に直交する第二列の、送り出しロールと第一
の加熱手段の中間部との交差部に配置された請求項１あ
るいは２記載の薄膜光電変換モジュールの製造装置。 - 【請求項４】請求項１ないし３のいずれかの製造装置を
用い、薄膜光電変換素子を形成した可撓性の絶縁性基板
をはさんでロールカッタおよび吸着ロールを回動させて
基板の素子形成部分を切り出すと共に切り出された素子
を吸気室を真空にした吸着ロールの表面に吸着するとこ
とを特徴とする薄膜光電変換モジュールの製造方法。 - 【請求項５】吸着ロールに吸着した素子の一端が第一の
保護フィルムに対向するように吸着ロールを回動させ、
その一端が第一の保護フィルムの所定の位置に対向する
ように吸着ロールを移動させ、次いで吸着ロールを第一
の保護フィルムに近付けて素子の一端をその保護フィル
ムに接触させ、そのあと吸気室の圧力を大気圧にした吸
着ロールを回動させて素子の表面全面を第一の保護フィ
ルムに接触させる請求項４記載の薄膜光電変換モジュー
ルの製造方法。 - 【請求項６】請求項２記載の製造装置を用い、複数の吸
気室のうち、第一の保護フィルムに対向する吸気孔の連
通する吸気室から順次その圧力を大気圧にする請求項５
記載の薄膜光電変換モジュールの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7216938A JPH0964393A (ja) | 1995-08-25 | 1995-08-25 | 薄膜光電変換モジュールの製造装置および製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7216938A JPH0964393A (ja) | 1995-08-25 | 1995-08-25 | 薄膜光電変換モジュールの製造装置および製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0964393A true JPH0964393A (ja) | 1997-03-07 |
Family
ID=16696288
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7216938A Pending JPH0964393A (ja) | 1995-08-25 | 1995-08-25 | 薄膜光電変換モジュールの製造装置および製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0964393A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011176148A (ja) * | 2010-02-24 | 2011-09-08 | Nitto Denko Corp | 太陽電池モジュールの製造方法およびそれを用いて得られた太陽電池モジュール |
| KR102566476B1 (ko) * | 2022-08-19 | 2023-08-14 | 장우영 | 듀얼 방식 포장지 절단 및 분리 장치 |
-
1995
- 1995-08-25 JP JP7216938A patent/JPH0964393A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011176148A (ja) * | 2010-02-24 | 2011-09-08 | Nitto Denko Corp | 太陽電池モジュールの製造方法およびそれを用いて得られた太陽電池モジュール |
| KR102566476B1 (ko) * | 2022-08-19 | 2023-08-14 | 장우영 | 듀얼 방식 포장지 절단 및 분리 장치 |
| KR20240026091A (ko) * | 2022-08-19 | 2024-02-27 | 장우영 | 개선된 듀얼 방식 포장지 절단 및 분리 장치 |
| KR20240026090A (ko) * | 2022-08-19 | 2024-02-27 | 장우영 | 생산성을 향상시킨 듀얼 방식 포장지 절단 및 분리 장치 |
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