JPH0953848A

JPH0953848A - クリーンルーム用空調機

Info

Publication number: JPH0953848A
Application number: JP7210404A
Authority: JP
Inventors: Koji Kato; 浩二加藤; Akio Tanaka; 明雄田中; Atsushi Saiki; 篤斉木; Junta Hirata; 順太平田; Masataka Kasai; 正隆河西
Original assignee: Hitachi Plant Technologies Ltd
Current assignee: Hitachi Plant Technologies Ltd
Priority date: 1995-08-18
Filing date: 1995-08-18
Publication date: 1997-02-25
Anticipated expiration: 2015-08-18
Also published as: JP3208753B2

Abstract

(57)【要約】【課題】フィルタからの汚染物質の発生を低減するクリ
ーンルーム用空調機の提供。【解決手段】ケーシング３０内には、交換用の新しいＨ
ＥＰＡ前処理フィルタ４８´及びＨＥＰＡフィルタ５０
´を設置するエイジング室５４が設けられ、そのエイジ
ング室５４には、空調室３１のＨＥＰＡフィルタ５０を
通過した空調エアの一部が供給される。エイジング室５
４に供給された空調エアは、交換用の新しいＨＥＰＡ前
処理フィルタ４８´及びＨＥＰＡフィルタ５０´を通過
してクリーンルーム以外の空間に導かれる。１ヵ月程度
通風することにより交換用の新しいＨＥＰＡ前処理フィ
ルタ４８´及びＨＥＰＡフィルタ５０´はエイジングさ
れる。これにより、運転初期段階においてフィルタから
発生する汚染物質がクリーンルーム内に送られることが
ないので、極めて清浄度の高いクリーンルームを提供す
ることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、クリーンルーム用
空調機に係り、特に最終フィルタとして使用される高性
能エアフィルタのエイジングを行なうクリーンルーム用
空調機に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、半導体製造工場では、半導体の集
積度の増大に伴いその生産プロセスは非常に複雑になっ
ており、生産現場となるクリーンルーム内の清浄度も厳
しくなっている。図４は、現状のクリーンルームの空調
システムの構成図である。クリーンルーム１の空調は、
給気、還気、排気の３つに大きく分けられ、内部は高い
清浄度を保つために、常に陽圧になるように風量をコン
トロールされている。

【０００３】このクリーンルーム１に供給する空調エア
は、導入外気を空調機２で温湿度調整及び塵埃除去した
ものを、さらにファンとＨＥＰＡ前処理フィルタと塵埃
除去用ＨＥＰＡフィルタとからなるファンフィルタユニ
ット３で０．０１μｍ以上の粒子を除去してクリーンル
ーム内に供給している。クリーンルーム１への空調エア
の供給は天井部から行い、供給された空調エアは、クリ
ーンルーム１内の作業者４やクリーンルーム１内に設置
された半導体製造装置５及び半導体洗浄装置６等から発
生する塵埃や熱を伴って床下に導かれる。床下に導かれ
た空調エアは、壁部に形成された風路を通り、その風路
に設置されたドライコイルユニット７によって冷却され
て天井部に戻される。そして、その天井部に戻された空
調エアは、空調機２によって給気された空調エアとミキ
シングされ、再びファンフィルタユニット３によって浄
化されて、クリーンルーム１内に供給される。

【０００４】また、前記半導体洗浄装置６では、酸−ア
ルカリや有機溶剤等の薬品を使用するため、これらがク
リーンルーム１内に漏洩しないように、半導体洗浄装置
６近傍の空調エアを排気ダクト８で強制的に吸引し、ク
リーンルーム１外に排気している。図５は、空調機２の
構成図である。同図に示すように、ファン１０、１０に
より吸込口１２から取り入れられた導入外気は、粗塵除
去フィルタ１４→ケミカルフィルタ１６→冷却コイル１
８→再熱コイル２０→加湿器２２→ＨＥＰＡ前処理フィ
ルタ２４→ＨＥＰＡフィルタ２６を通過して、クリーン
ルームに導かれる。この際、導入外気は、ケミカルフィ
ルタ１６通過することにより、含有するＳＯ _XやＮＯ_X
等の有害ガスを除去され、冷却コイル１８を通過するこ
とにより、露点１０℃前後まで冷却除湿される。そし
て、再熱コイル２０を通過することにより、任意の温度
まで加温され、加湿器２２を通過することにより任意の
湿度まで蒸気加湿される。更に、ＨＥＰＡ前処理フィル
タ２４、ＨＥＰＡフィルタ２６を通過することにより、
０．０１μｍ以上の粒子が除去される。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、ファンフィ
ルタユニットと空調機に設けられているＨＥＰＡ前処理
フィルタ及びＨＥＰＡフィルタ等の除塵フィルタは、素
材がガラス繊維からできており、エアが通過するとその
成分である極微量のホウ素が発生するため、クリーンル
ームへ供給する空調エアがホウ素で汚染される。

【０００６】図６は、ＨＥＰＡフィルタの通気時間とホ
ウ素発生量の関係を示すグラフである。同図に示すよう
に、ホウ素の発生量は通気始めに多い傾向を示してい
る。このため、クリーンルームは、通常稼働前１ヵ月ぐ
らいから慣らし運転を実施し、ＨＥＰＡ前処理フィルタ
及びＨＥＰＡフィルタからのホウ素の発生量の低減を図
っている。

【０００７】しかしながら、空調機に設置されたＨＥＰ
Ａ前処理フィルタ及びＨＥＰＡフィルタは、定期点検時
に交換する必要があるため、交換したＨＥＰＡ前処理フ
ィルタ及びＨＥＰＡフィルタは、慣らし（エイジング）
の無い状態で使用される。このため、運転初期段階にお
いて高濃度のホウ素がクリーンルーム内に送られ、その
送られたホウ素が、ウェーハ表面に付着し、ウェーハの
製造不良となる問題があった。

【０００８】本発明はこのような事情を鑑みてなされた
もので、フィルタからの汚染物質の発生を低減できるク
リーンルーム用空調機を提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成するために、クリーンルームに除塵用フィルタを介し
て空調エアを供給するクリーンルーム用空調機におい
て、空調機本体ケーシング内に交換用の新しい除塵用フ
ィルタを設置するエイジング部を設け、該エイジング部
に設置された前記交換用の新しい除塵用フィルタに空調
エアの一部を通過させて前記クリーンルーム以外の空間
に導くことにより前記交換用の新しい除塵用フィルタを
エイジングして除塵用フィルタから発生する汚染物質を
除去することを特徴とする。

【００１０】本発明によれば、空調機本体ケーシング内
には、交換用の新しいフィルタを設置するエイジング部
が設けられ、そのエイジング部には、空調エアの一部が
供給される。そして、エイジング部に供給された空調エ
アは、交換用の新しいフィルタを通過してクリーンルー
ム以外の空間に導かれる。これにより、運転初期段階に
おいてフィルタから発生する汚染物質がクリーンルーム
内に送られることがないので、極めて清浄度の高いクリ
ーンルームを提供することができる。また、空調機の通
常運転時に交換用の新しいフィルタのエイジングを併せ
て行なうことができるので、効率的である。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
るクリーンルーム用空調機の好ましい実施の形態につい
て詳説する。図１は、本発明に係るクリーンルーム用空
調機の第１の実施の形態の構成図である。同図に示すよ
うに、空調機２８のケーシング３０は、内部に空調室３
１とエイジング室５４とが形成されている。空調室３１
の図中左側端部には、外気の吸込口３２が形成され、一
方図中右側端部には、空調室３１内で生成した空調エア
の吹出口３４が形成されている。吹出口３４には、クリ
ーンルームに連通するダクト３６に連結され、このダク
ト３６を介して空調室３１で生成した空調エアがクリー
ンルーム内に供給される。

【００１２】前記空調室３１内の略中央部には、ファン
３８、３８が設置されており、このファン３８、３８を
駆動することにより、吸込口３２から外気が空調室３１
内に導入される。前記ファン３８、３８の上流部には、
吸込口３４側から順に粗塵除去フィルタ４０、ケミカル
フィルタ４２、冷却コイル４４、再熱コイル４６及び加
湿器４７が所定の間隔で設置されている。

【００１３】一方、前記ファン３８、３８の下流部に
は、ＨＥＰＡ前処理フィルタ４８、４８…及びＨＥＰＡ
フィルタ５０、５０…が設置される。前記空調室３１に
は、図中右端上部に取入口５２が形成され、エイジング
室５４に連通されている。エイジング室５４は、空調室
３１に沿って形成されており、図中左側端部に吹出口５
８が形成されている。吹出口５８は、ダクト５６を介し
てクリーンルーム以外の空間、例えば事務室等の空間に
連通されている。また、前記取入口５２及び吹出口５８
には、それぞれダンパ６０、６２が設置されており、こ
のダンパ６０、６２の開閉を操作することにより、エイ
ジング室５４への空調エアの供給及びエイジング室５４
からクリーンルーム以外の空間への空調エアの供給が調
整される。このエイジング室５４内には、交換用の新し
いＨＥＰＡ前処理フィルタ４８´、４８´…及びＨＥＰ
Ａフィルタ５０´、５０´…が設置され、前記取入口５
２からエイジング室５４内に導入された空調エアは、こ
のＨＥＰＡ前処理フィルタ４８´、４８´…及びＨＥＰ
Ａフィルタ５０´、５０´…を通過して、クリーンルー
ム以外の空間に導かれる。そして、前記ＨＥＰＡ前処理
フィルタ４８´、４８´…及びＨＥＰＡフィルタ５０
´、５０´…がエイジングされる。

【００１４】前記のごとく構成される本発明に係るクリ
ーンルーム用空調機の第１実施例の作用は次の通りであ
る。まず、空調室３１内には、１ヵ月程度通気させたＨ
ＥＰＡ前処理フィルタ４８、４８…及びＨＥＰＡフィル
タ５０、５０…を設置する。一方、エイジング室５４内
には、交換用の新しいＨＥＰＡ前処理フィルタ４８´、
４８´…及びＨＥＰＡフィルタ５０´、５０´…を設置
する。

【００１５】次に、この状態でファン３８、３８を駆動
する。ファン３８、３８により吸込口３２から空調室３
１内に導入された外気は、粗塵除去フィルタ４０→ケミ
カルフィルタ４２→冷却コイル４４→再熱コイル４６→
加湿器４７→ＨＥＰＡ前処理フィルタ４８→ＨＥＰＡフ
ィルタ５０を通過して、クリーンルーム内に導かれる。
この際、外気は、ケミカルフィルタ４２通過することに
より、含有するＳＯ_XやＮＯ_X等の有害ガスを除去さ
れ、冷却コイル４４を通過することにより、露点１０℃
前後まで冷却除湿される。そして、再熱コイル４６を通
過することにより、任意の温度まで加温され、加湿器４
７を通過することにより任意の湿度まで蒸気加湿され
る。更に、ＨＥＰＡ前処理フィルタ４８、ＨＥＰＡフィ
ルタ５０を通過することにより、０．０１μｍ以上の粒
子が除去される。

【００１６】一方、ＨＥＰＡフィルタ５０を通過した空
調エアの一部は、取入口５２からエイジング室５４内に
導かれる。エイジング室５４内に導かれた空調エアは、
交換用の新しいＨＥＰＡ前処理フィルタ４８´及びＨＥ
ＰＡフィルタ５０´を通過し、ダクト５８を介してクリ
ーンルーム以外の空間に導かれる。通常１ヵ月程度通風
することにより、新しいＨＥＰＡ前処理フィルタ４８´
及びＨＥＰＡフィルタ５０´からのホウ素の発生量は低
下するので、この状態で空調機２８を１ヵ月程度運転
し、交換用の新しいＨＥＰＡ前処理フィルタ４８´及び
ＨＥＰＡフィルタ５０´からのホウ素の発生量が低下し
た時点で、ダンパ６０、６２を閉める。

【００１７】交換用の新しいＨＥＰＡ前処理フィルタ４
８´及びＨＥＰＡフィルタ５０´はこの状態で保管し、
空調機２８の定期点検時に行なわれるフィルタ交換の際
に、空調室３１内に設置されている今まで使用されてい
たＨＥＰＡ前処理フィルタ４８及びＨＥＰＡフィルタ５
０と交換する。この際、空調室３１内に設置され、今ま
で使用されていたＨＥＰＡ前処理フィルタ４８及びＨＥ
ＰＡフィルタ５０は廃棄する。そして、エイジング室５
４には、再び交換用の新しいＨＥＰＡ前処理フィルタ４
８´及びＨＥＰＡフィルタ５０´を設置する。

【００１８】このように、第１実施例のクリーンルーム
用空調機によれば、ＨＥＰＡ前処理フィルタ４８及びＨ
ＥＰＡフィルタ５０の交換時には、予めエイジングした
ＨＥＰＡ前処理フィルタ４８´及びＨＥＰＡフィルタ５
０´を使用することができるので、従来のように運転初
期段階において発生する高濃度のホウ素がクリーンルー
ム内に送られることがない。したがって、発生したホウ
素によるウェーハの製造不良が生じることがない。ま
た、空調機２８の通常運転時に交換用の新しいフィルタ
のエイジングを併せて行なうことができるので、効率的
である。

【００１９】なお、第１実施例では、エイジング室５４
をケーシング３０内に形成したが、空調エアをクリーン
ルーム以外の空間に導くダクトの途中に形成してもよ
い。図２は、本発明に係るクリーンルーム用空調機の第
２の実施の形態の構成図である。前記第１の実施の形態
のクリーンルーム用空調機２８は、ＨＥＰＡフィルタ４
８を通過した空調エアをエイジング室５４内に導入して
いるが、第２の実施の形態のクリーンルーム用空調機６
１では、以下に述べるように、ＨＥＰＡ前処理フィルタ
４８を通過する前の空調エアをエイジング室５４内に導
入する。なお、前記第１の実施の形態と同一部材、同一
装置には、同一符号を付してその説明を省略する。

【００２０】空調室３１は、前記第１実施例と同様に構
成される。この空調室３１のＨＥＰＡ前処理フィルタ４
８の上流側上部には、取入口５２が形成され、エイジン
グ室５４に連通されている。エイジング室５４は、空調
室３１に沿って形成されており、図中右側端部に吹出口
５８が形成されている。吹出口５８は、ダクト５６を介
してクリーンルーム以外の空間、例えば事務室等の空間
に連通されている。さらに、エイジング室５４の図中右
端下部には、還気口６４が形成され、空調室３１のＨＥ
ＰＡフィルタ５０下流部に連通されている。また、前記
取入口５２、吹出口５８及び還気口６４には、それぞれ
ダンパ６０、６２、６６が設置されており、このダンパ
６０、６２、６６の開閉を操作することにより、空調室
３１からエイジング室５４への空調エアの供給、エイジ
ング室５４からクリーンルームへの空調エアの供給、及
びエイジング室５４から空調室３１への空調エアの供給
が調整される。このエイジング室５４内には、前記第１
実施例と同様に交換用の新しいＨＥＰＡ前処理フィルタ
４８´、４８´…及びＨＥＰＡフィルタ５０´、５０´
…が設置されるが、更にその上流側に塵埃除去用フィル
タ６８、６８が設置されている。そして、前記取入口５
２からエイジング室５４内に導入された空調エアは、こ
の塵埃除去用フィルタ６８、６８を通過したのちＨＥＰ
Ａ前処理フィルタ４８´、４８´…及びＨＥＰＡフィル
タ５０´、５０´…を通過して、クリーンルーム以外の
空間に導かれる。

【００２１】前記のごとく構成される本発明に係るクリ
ーンルーム用空調機の第２実施例の作用は次の通りであ
る。まず、前記第１実施例と同様に空調室３１内には、
１ヵ月程度通気させたＨＥＰＡ前処理フィルタ４８、４
８…及びＨＥＰＡフィルタ５０、５０…を設置する。一
方、エイジング室５４内には、交換用の新しいＨＥＰＡ
前処理フィルタ４８´、４８´…及びＨＥＰＡフィルタ
５０´、５０´…を設置する。

【００２２】次に、この状態でファン３８、３８を駆動
する。この際、取入口５２及び吹出口５８のダンパ６
０、６２はそれぞれ開け、還気口６４のダンパ６６は閉
めておく。ファン３８、３８により吸込口３２から空調
室３１内に導入された外気は、粗塵除去フィルタ４０→
ケミカルフィルタ４２→冷却コイル４４→再熱コイル４
６→加湿器４７→ＨＥＰＡ前処理フィルタ４８→ＨＥＰ
Ａフィルタ５０を通過して、クリーンルーム内に導かれ
る。

【００２３】一方、加湿器４７を通過した空調エアの一
部は、取入口５２からエイジング室５４内に導かれる。
エイジング室５４内に導かれた空調エアは、塵埃除去用
フィルタ６８を通過したのち、交換用の新しいＨＥＰＡ
前処理フィルタ４８´及びＨＥＰＡフィルタ５０´を通
過し、ダクト５８を介してクリーンルーム以外の空間に
導かれる。

【００２４】この状態で空調機６１を１ヵ月程度運転
し、交換用の新しいＨＥＰＡ前処理フィルタ４８´及び
ＨＥＰＡフィルタ５０´からのホウ素の発生量が低下し
た時点で、ダンパ６０、６２を閉める。前記第１の実施
の形態と同様に、交換用の新しいＨＥＰＡ前処理フィル
タ４８´及びＨＥＰＡフィルタ５０´はこの状態で保管
し、空調機６１の定期点検時に行なわれるフィルタ交換
の際に、空調室３１内に設置されている今まで使用され
ていたＨＥＰＡ前処理フィルタ４８及びＨＥＰＡフィル
タ５０と交換する。

【００２５】なお、第２の実施の形態のクリーンルーム
用空調機６１では、空調機６１を１ヵ月程度運転し、交
換用の新しいＨＥＰＡ前処理フィルタ４８´及びＨＥＰ
Ａフィルタ５０´からのホウ素の発生量が低下した時点
で、吹出口５８のダンパ６２を閉め、還気口６４のダン
パ６６を開けることにより、エイジング室５４に導入し
た空調エアを再び空調室３１内に導入し、クリーンルー
ムに導くこともできる。

【００２６】このように、第２の実施の形態のクリーン
ルーム用空調機６１によれば、前記第１の実施の形態の
クリーンルーム用空調機２８と同様に、ＨＥＰＡ前処理
フィルタ４８及びＨＥＰＡフィルタ５０の交換時には、
予めエイジングしたＨＥＰＡ前処理フィルタ４８´及び
ＨＥＰＡフィルタ５０´を使用することができるので、
従来のように運転初期段階において発生する高濃度のホ
ウ素がクリーンルーム内に送られることがない。

【００２７】なお、前記第１及び第２の実施の形態にお
いて、エイジング室５４を通過した空調エアを事務室等
のクリーンルーム以外の空間に導いているが、例えば、
後工程のクリーンルーム等のホウ素汚染の問題のないク
リーンルームや、外気中に導いてもよい。図３は、本発
明に係るクリーンルーム用空調機の第３の実施の形態の
構成図である。

【００２８】前記第１の実施の形態のクリーンルーム用
空調機２８は、エイジング室５４内の交換用の新しいＨ
ＥＰＡフィルタ５０を通過した空調エアはクリーンルー
ム以外の空間に導いているが、第３の実施の形態のクリ
ーンルーム用空調機７０では、以下に述べるように、交
換用の新しいＨＥＰＡ前処理フィルタ４８を通過した空
調エアを再び空調室３１に戻し、循環させる。なお、前
記第１の実施の形態と同一部材、同一装置には、同一符
号を付してその説明を省略する。

【００２９】空調室３１は、前記第１の実施の形態と同
様に構成される。この空調室３１の図中右端上部には、
取入口５２が形成され、エイジング室５４に連通２れて
いる。エイジング室５４は、空調室３１に沿って形成さ
れており、図中右側端部に還気口７２が形成され、空調
室３１のファン３８、３８上流部に連通されている。ま
た、前記取入口５２及び還気口７２には、それぞれダン
パ６０、７４が設置されており、このダンパ６０、７４
の開閉を操作することにより、空調室３１からエイジン
グ室５４への空調エアの供給、及びエイジング室５４か
ら空調室３１への空調エアの供給が調整される。このエ
イジング室５４内には、前記第１の実施の形態と同様に
交換用の新しいＨＥＰＡ前処理フィルタ４８´、４８´
…及びＨＥＰＡフィルタ５０´、５０´…が設置される
が、更にその下流側（図中左側）にホウ素除去用のケミ
カルフィルタ７６が設置されている。そして、前記取入
口５２からエイジング室５４内に導入された空調エア
は、ＨＥＰＡ前処理フィルタ４８´、４８´…及びＨＥ
ＰＡフィルタ５０´、５０´…を通過した後、ケミカル
フィルタを通過して、再び空調室３１のファン３８、３
８上流部に導かれる。

【００３０】前記のごとく構成される本発明に係るクリ
ーンルーム用空調機の第３の実施の形態の作用は次の通
りである。まず、前記第１の実施の形態と同様に空調室
３１内には、１ヵ月程度通気させたＨＥＰＡ前処理フィ
ルタ４８、４８…及びＨＥＰＡフィルタ５０、５０…を
設置する。一方、エイジング室５４内には、交換用の新
しいＨＥＰＡ前処理フィルタ４８´、４８´…及びＨＥ
ＰＡフィルタ５０´、５０´…を設置する。

【００３１】次に、この状態でファン３８、３８を駆動
する。ファン３８、３８により吸込口３２から空調室３
１内に導入された外気は、粗塵除去フィルタ４０→ケミ
カルフィルタ４２→冷却コイル４４→再熱コイル４６→
加湿器４７→ＨＥＰＡ前処理フィルタ４８→ＨＥＰＡフ
ィルタ５０を通過して、クリーンルーム内に導かれる。

【００３２】一方、加湿器４７を通過した空調エアの一
部は、取入口５２からエイジング室５４内に導かれる。
エイジング室５４内に導かれた空調エアは、交換用の新
しいＨＥＰＡ前処理フィルタ４８´及びＨＥＰＡフィル
タ５０´を通過したのち、ケミカルフィルタ７６を通過
して、再び空調室３１に導かれる。この際、ＨＥＰＡ前
処理フィルタ４８´及びＨＥＰＡフィルタ５０´で発生
するホウ素は、ケミカルフィルタ７６で除去される。

【００３３】この状態で空調機７０を１ヵ月程度運転
し、交換用の新しいＨＥＰＡ前処理フィルタ４８´及び
ＨＥＰＡフィルタ５０´からのホウ素の発生量が低下し
た時点で、ダンパ６０、７４を閉める。前記第１の実施
の形態と同様に、交換用の新しいＨＥＰＡ前処理フィル
タ４８´及びＨＥＰＡフィルタ５０´はこの状態で保管
し、空調機７０の定期点検時に行なわれるフィルタ交換
の際に、空調室３１内に設置されている今まで使用され
ていたＨＥＰＡ前処理フィルタ４８及びＨＥＰＡフィル
タ５０と交換する。

【００３４】このように、第３の実施の形態のクリーン
ルーム用空調機によれば、前記第１の実施の形態のクリ
ーンルーム用空調機と同様に、ＨＥＰＡ前処理フィルタ
４８及びＨＥＰＡフィルタ５０の交換時には、予めエイ
ジングしたＨＥＰＡ前処理フィルタ４８´及びＨＥＰＡ
フィルタ５０´を使用することができるので、従来のよ
うに運転初期段階において発生する高濃度のホウ素がク
リーンルーム内に送られることがない。また、第３の実
施の形態のクリーンルーム用空調機７０では、第１の実
施の形態のようにエイジング室５４に導いた空調エアを
クリーンルーム以外の空間に導く必要がないので、装置
自体を簡素化できる。

【００３５】なお、前記第１の実施の形態〜第３の実施
の形態において、ダンパ６０、６２、６６、７４の開閉
は手動により操作しているが、エイジング室５４内にホ
ウ素の発生量を検出するセンサを設け、このセンサと連
動させて自動制御するようにしてもよい。すなわち、セ
ンサの測定値が所定の値になったら、制御装置により自
動でダンパ６０、６２、６６、７４の開閉を操作する。
これにより、交換用のＨＥＰＡ前処理フィルタ４８´、
ＨＥＰＡフィルタ５０´の管理が容易になる。

【００３６】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
運転初期段階においてフィルタから発生する汚染物質が
クリーンルーム内に送られることがないので、極めて清
浄度の高いクリーンルームを提供することができる。ま
た、空調機の通常運転時に交換用の新しいフィルタのエ
イジングを併せて行なうことができるので、効率的であ
るとともに、特別なエイジング装置を必要としない。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るクリーンルーム用空調機の第１の
実施の形態の構成図

【図２】本発明に係るクリーンルーム用空調機の第２の
実施の形態の構成図

【図３】本発明に係るクリーンルーム用空調機の第３の
実施の形態の構成図

【図４】本発明に係るクリーンルーム用空調機が適用さ
れるクリーンルームの説明図

【図５】従来のクリーンルーム用空調機の構成図

【図６】ＨＥＰＡフィルタの通気時間とホウ素発生量の
関係を示すグラフ

【符号の説明】２８、６１、７０…クリーンルーム用空調機３０…ケーシング３１…空調室４８…ＨＥＰＡ前処理フィルタ４８´…交換用の新しいＨＥＰＡ前処理フィルタ５０…ＨＥＰＡフィルタ５０´…交換用の新しいＨＥＰＡフィルタ５４…エイジング室

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者平田順太東京都千代田区内神田１丁目１番14号日立プラント建設株式会社内 (72)発明者河西正隆東京都千代田区内神田１丁目１番14号日立プラント建設株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】クリーンルームに除塵用フィルタを介し
て空調エアを供給するクリーンルーム用空調機におい
て、空調機本体ケーシング内に交換用の新しい除塵用フィル
タを設置するエイジング部を設け、該エイジング部に設
置された前記交換用の新しい除塵用フィルタに空調エア
の一部を通過させて前記クリーンルーム以外の空間に導
くことにより前記交換用の新しい除塵用フィルタをエイ
ジングして除塵用フィルタから発生する汚染物質を除去
することを特徴とするクリーンルーム用空調機。
【請求項２】前記エイジング部に設置された交換用の
新しい除塵用フィルタに通過させた空調エアを再び空調
機内に循環させることを特徴とする請求項１記載のクリ
ーンルーム用空調機。