JPH05149582A - クリーンルームの空気清浄装置 - Google Patents
クリーンルームの空気清浄装置Info
- Publication number
- JPH05149582A JPH05149582A JP31100091A JP31100091A JPH05149582A JP H05149582 A JPH05149582 A JP H05149582A JP 31100091 A JP31100091 A JP 31100091A JP 31100091 A JP31100091 A JP 31100091A JP H05149582 A JPH05149582 A JP H05149582A
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- Japan
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- clean room
- alkali metal
- adsorbent
- adsorbing
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明はクリーンルーム内に吸着剤から発生
したアルカリ金属が侵入しないよう構成したクリーンル
ームの空気清浄装置を提供することを目的とする。 【構成】 空気清浄装置は過酸化マンガンカリウムを基
剤として吸着剤を有する吸着装置８からの空気を循環調
和機３に供給する。循環調和機３には吸着剤から折出し
たアルカリ金属を吸着するガラス繊維２１が充填された
アルカリ金属吸着装置１８が設けられ、クリーンルーム
２にはガラス繊維によりアルカリ金属が除去された空気
が供給される。
したアルカリ金属が侵入しないよう構成したクリーンル
ームの空気清浄装置を提供することを目的とする。 【構成】 空気清浄装置は過酸化マンガンカリウムを基
剤として吸着剤を有する吸着装置８からの空気を循環調
和機３に供給する。循環調和機３には吸着剤から折出し
たアルカリ金属を吸着するガラス繊維２１が充填された
アルカリ金属吸着装置１８が設けられ、クリーンルーム
２にはガラス繊維によりアルカリ金属が除去された空気
が供給される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はクリーンルームの空気清
浄装置に係り、特に吸着剤から折出したアルカリ金属が
クリーンルームに流入しないよう構成したクリーンルー
ムの空気清浄装置に関する。
浄装置に係り、特に吸着剤から折出したアルカリ金属が
クリーンルームに流入しないよう構成したクリーンルー
ムの空気清浄装置に関する。
【０００２】半導体産業に代表される精密な加工を行う
施設では、その加工を行う作業環境が重要である。その
ため、この種の施設では塵埃等のない高度に清浄化され
たクリーンルーム内で加工が行われる。そして、クリー
ンルームに空気を供給する空気清浄装置により、空気を
調和し、吸着装置により空気を浄化した後ＨＥＰＡフィ
ルタ（高性能エアフィルタ）又はＵＬＰＡフィルタ（高
効率エアフィルタ）で濾過している。しかしながら、ク
リーンルームへ清浄な空気を供給する空気清浄装置では
空気中に含まれている硫化水素を除去するため過酸化マ
ンガンカリウム（ＫＭｎＯ4 ）を基剤とした吸着剤が充
填された吸着装置が設けられている。この吸着装置では
吸着剤に含まれるアルカリ金属（Ｋ：カリウム）が測定
限界以下の微量な値でも、クリーンルーム内の雰囲気を
汚染する可能性があり、信頼性に対する不安がある。特
にクリーンルームではエネルギ節約のため、空気循環方
式を採用しているので、クリーンルーム内に侵入したア
ルカリ金属が蓄積されクリーンルーム内の雰囲気が次第
に汚染される。
施設では、その加工を行う作業環境が重要である。その
ため、この種の施設では塵埃等のない高度に清浄化され
たクリーンルーム内で加工が行われる。そして、クリー
ンルームに空気を供給する空気清浄装置により、空気を
調和し、吸着装置により空気を浄化した後ＨＥＰＡフィ
ルタ（高性能エアフィルタ）又はＵＬＰＡフィルタ（高
効率エアフィルタ）で濾過している。しかしながら、ク
リーンルームへ清浄な空気を供給する空気清浄装置では
空気中に含まれている硫化水素を除去するため過酸化マ
ンガンカリウム（ＫＭｎＯ4 ）を基剤とした吸着剤が充
填された吸着装置が設けられている。この吸着装置では
吸着剤に含まれるアルカリ金属（Ｋ：カリウム）が測定
限界以下の微量な値でも、クリーンルーム内の雰囲気を
汚染する可能性があり、信頼性に対する不安がある。特
にクリーンルームではエネルギ節約のため、空気循環方
式を採用しているので、クリーンルーム内に侵入したア
ルカリ金属が蓄積されクリーンルーム内の雰囲気が次第
に汚染される。
【０００３】
【従来の技術】従来の空気清浄装置としては、例えば、
図２に示すような構成となっている。
図２に示すような構成となっている。
【０００４】同図中、空気清浄装置は、外気を清浄にす
る空気清浄ユニット１と、クリーンルーム２内の空気を
循環させるとともに空気清浄ユニット１からの空気が供
給される循環調和機３とより構成されている。
る空気清浄ユニット１と、クリーンルーム２内の空気を
循環させるとともに空気清浄ユニット１からの空気が供
給される循環調和機３とより構成されている。
【０００５】空気清浄ユニット１は空気中の比較的大き
な粒子を除去するプレフィルタ４と、加湿、水洗を行う
加湿水洗装置５と、除湿装置６と、加熱装置７と、吸着
装置８と、ＨＥＰＡフィルタ９とを直列に接続してな
る。
な粒子を除去するプレフィルタ４と、加湿、水洗を行う
加湿水洗装置５と、除湿装置６と、加熱装置７と、吸着
装置８と、ＨＥＰＡフィルタ９とを直列に接続してな
る。
【０００６】吸着装置８は内部に過酸化マンガンカリウ
ム（ＫＭｎＯ4 ）を基剤としたゼオライト、活性炭等よ
りなる吸着剤が充填されており、空気中に含まれる硫化
水素等を除去する。
ム（ＫＭｎＯ4 ）を基剤としたゼオライト、活性炭等よ
りなる吸着剤が充填されており、空気中に含まれる硫化
水素等を除去する。
【０００７】空気清浄ユニット１からの管路１０は循環
調和機３の空気調整装置１１に給気される。この空気調
整装置１１は送風用のファン１２とともにクリーンルー
ム２の空気を循環させる循環用管路としての給気管路１
３と取出管路１４との間に配設されている。クリーンル
ーム２のアッセンブルフロア１５から取出管路１４を介
して取出された空気は、ファン１２により空気調整装置
１１へ送出され、空気清浄ユニット１からの新鮮な空気
と混合され給気管路１３を通ってクリーンルーム２の天
井側へ給気される。尚、クリーンルーム２の天井にはＵ
ＬＰＡフィルタ１６が設けられ、上記循環路を流れる空
気はＵＬＰＡフィルタ１６により濾過されてクリーンル
ーム２内に供給される。尚、クリーンルーム２内の一部
の空気は排気管路１７より外部に排気され、その排気量
に相当する空気が空気清浄ユニット１よりクリーンルー
ム２へ供給される。
調和機３の空気調整装置１１に給気される。この空気調
整装置１１は送風用のファン１２とともにクリーンルー
ム２の空気を循環させる循環用管路としての給気管路１
３と取出管路１４との間に配設されている。クリーンル
ーム２のアッセンブルフロア１５から取出管路１４を介
して取出された空気は、ファン１２により空気調整装置
１１へ送出され、空気清浄ユニット１からの新鮮な空気
と混合され給気管路１３を通ってクリーンルーム２の天
井側へ給気される。尚、クリーンルーム２の天井にはＵ
ＬＰＡフィルタ１６が設けられ、上記循環路を流れる空
気はＵＬＰＡフィルタ１６により濾過されてクリーンル
ーム２内に供給される。尚、クリーンルーム２内の一部
の空気は排気管路１７より外部に排気され、その排気量
に相当する空気が空気清浄ユニット１よりクリーンルー
ム２へ供給される。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記従来の
空気清浄装置では、空気清浄ユニット１の吸着装置８に
過酸化マンガンカリウム（ＫＭｎＯ4 ）を基剤とした吸
着剤が使用されているため、この吸着剤に含まれている
アルカリ金属（Ｋ：カリウム）が空気とともに循環調和
機３に供給されてしまう。このように吸着剤から折出し
たアルカリ金属は測定限界値以下の微量であるが、上記
したようにクリーンルーム２内の空気が管路１３，１４
及び循環調和機３を介して循環しているため、一度クリ
ーンルーム２内に侵入したアルカリ金属は外部に逃げに
くい。そのため、クリーンルーム２内には次段にアルカ
リ金属が蓄積される可能性がある。
空気清浄装置では、空気清浄ユニット１の吸着装置８に
過酸化マンガンカリウム（ＫＭｎＯ4 ）を基剤とした吸
着剤が使用されているため、この吸着剤に含まれている
アルカリ金属（Ｋ：カリウム）が空気とともに循環調和
機３に供給されてしまう。このように吸着剤から折出し
たアルカリ金属は測定限界値以下の微量であるが、上記
したようにクリーンルーム２内の空気が管路１３，１４
及び循環調和機３を介して循環しているため、一度クリ
ーンルーム２内に侵入したアルカリ金属は外部に逃げに
くい。そのため、クリーンルーム２内には次段にアルカ
リ金属が蓄積される可能性がある。
【０００９】クリーンルーム２内では例えば半導体の製
造装置による精密加工が行なわれており、微粒子だけで
なくアルカリ金属がウェハー等に付着することにより汚
染（ケミカルコンタミネーション）があるとデバイスの
電気的特性が劣化するといった課題がある。
造装置による精密加工が行なわれており、微粒子だけで
なくアルカリ金属がウェハー等に付着することにより汚
染（ケミカルコンタミネーション）があるとデバイスの
電気的特性が劣化するといった課題がある。
【００１０】そこで、本発明は上記の点に鑑みクリーン
ルーム内に吸着剤から発生したアルカリ金属が侵入しな
いようにした空気清浄装置を提供することを目的とす
る。
ルーム内に吸着剤から発生したアルカリ金属が侵入しな
いようにした空気清浄装置を提供することを目的とす
る。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明は、過酸化マンガ
ンカリウムを基剤とした吸着剤を有する吸着装置からの
空気を管路を介してクリーンルームに供給するクリーン
ルームの空気清浄装置において、前記吸着剤より折出し
たアルカリ金属を吸着するガラス繊維が絡んだ状態で充
填されたアルカリ金属吸着装置を前記管路に設けてな
る。
ンカリウムを基剤とした吸着剤を有する吸着装置からの
空気を管路を介してクリーンルームに供給するクリーン
ルームの空気清浄装置において、前記吸着剤より折出し
たアルカリ金属を吸着するガラス繊維が絡んだ状態で充
填されたアルカリ金属吸着装置を前記管路に設けてな
る。
【００１２】
【作用】吸着装置からの管路途中に吸着剤からのアルカ
リ金属を吸着するガラス繊維を有するアルカリ金属吸着
装置が設けられているので、クリーンルーム内がアルカ
リ金属により汚染されることが防止される。
リ金属を吸着するガラス繊維を有するアルカリ金属吸着
装置が設けられているので、クリーンルーム内がアルカ
リ金属により汚染されることが防止される。
【００１３】
【実施例】図１は本発明になるクリーンルームの空気清
浄装置の一実施例を示す。
浄装置の一実施例を示す。
【００１４】同図中、前述した図２と同一部分には同一
符号を付して説明する。
符号を付して説明する。
【００１５】図１において、循環調和機３にはアルカリ
金属吸着装置１８が設けられている。このアルカリ金属
吸着装置１８は上端が空気清浄ユニット１からの管路１
０と接続され、下端が前記クリーンルーム２の循環路に
設けられた空気調整装置１１への管路１９と接続されて
いる。又、アルカリ金属吸着装置１８は円筒状の容器２
０内にガラス繊維２１を充填してなる。ガラス繊維２１
は高純度石英繊維よりなり、容器２０内を流れる空気清
浄ユニット１からの空気との接触面積をできるだけ大き
くするため、複数本のガラス繊維が互いに絡んだ状態と
なるように容器２０内に充填されている。
金属吸着装置１８が設けられている。このアルカリ金属
吸着装置１８は上端が空気清浄ユニット１からの管路１
０と接続され、下端が前記クリーンルーム２の循環路に
設けられた空気調整装置１１への管路１９と接続されて
いる。又、アルカリ金属吸着装置１８は円筒状の容器２
０内にガラス繊維２１を充填してなる。ガラス繊維２１
は高純度石英繊維よりなり、容器２０内を流れる空気清
浄ユニット１からの空気との接触面積をできるだけ大き
くするため、複数本のガラス繊維が互いに絡んだ状態と
なるように容器２０内に充填されている。
【００１６】このガラス繊維２１は融解加工によりきわ
めて細い繊維（約１ミクロン以下）に加工されており、
アルカリの少ない材質により形成されている。そして、
ガラス繊維２１は吸着装置８の吸着剤（過酸化マンガン
カリウム：ＫＭｎＯ4 ）から折出したアルカリ金属等を
吸着する特性を有している。そのため、上記のようにガ
ラス繊維２１が充填された容器２０に空気清浄ユニット
１からの空気が供給されると、空気中に含まれた微量の
アルカリ金属は容器２０内の絡んだガラス繊維２１の表
面を通過する間にガラス繊維２１に吸着される。
めて細い繊維（約１ミクロン以下）に加工されており、
アルカリの少ない材質により形成されている。そして、
ガラス繊維２１は吸着装置８の吸着剤（過酸化マンガン
カリウム：ＫＭｎＯ4 ）から折出したアルカリ金属等を
吸着する特性を有している。そのため、上記のようにガ
ラス繊維２１が充填された容器２０に空気清浄ユニット
１からの空気が供給されると、空気中に含まれた微量の
アルカリ金属は容器２０内の絡んだガラス繊維２１の表
面を通過する間にガラス繊維２１に吸着される。
【００１７】これにより、クリーンルーム２内にアルカ
リ金属が流入することを効果的に防止することができ
る。ひいては、クリーンルーム２内の半導体製造装置
（図示せず）における不良率をより低下させることもで
きる。
リ金属が流入することを効果的に防止することができ
る。ひいては、クリーンルーム２内の半導体製造装置
（図示せず）における不良率をより低下させることもで
きる。
【００１８】尚、容器２０内のガラス繊維２１は、高純
度石英繊維と通常石英繊維とを２重にした構成としても
良い。
度石英繊維と通常石英繊維とを２重にした構成としても
良い。
【００１９】又、使用後のガラス繊維２１は表面分析あ
るいは粉砕して分析することにより、アルカリ金属の吸
着量を測定される。これによりガラス繊維２１が飽和状
態に達したか否かを判別できる。
るいは粉砕して分析することにより、アルカリ金属の吸
着量を測定される。これによりガラス繊維２１が飽和状
態に達したか否かを判別できる。
【００２０】又、ガラス繊維２１は吸着状態により変色
するため、目視により使用状態を判別される。さらに、
ガラス繊維２１が飽和状態に達したか否かは、光度計に
よりガラス繊維２１の光の吸収、散乱、変色により目視
又は自動で観察することにより判断することもできる。
するため、目視により使用状態を判別される。さらに、
ガラス繊維２１が飽和状態に達したか否かは、光度計に
よりガラス繊維２１の光の吸収、散乱、変色により目視
又は自動で観察することにより判断することもできる。
【００２１】従って、アルカリ金属吸着装置１８ではガ
ラス繊維２１が飽和状態になると、容器２０ごと新品の
ものと交換される。
ラス繊維２１が飽和状態になると、容器２０ごと新品の
ものと交換される。
【００２２】尚、上記実施例では循環調和機３にアルカ
リ金属吸着装置１８を設けたが、これに限らず、管路１
０あるいは１３にアルカリ金属吸着装置１８を設ける構
成としても良い。
リ金属吸着装置１８を設けたが、これに限らず、管路１
０あるいは１３にアルカリ金属吸着装置１８を設ける構
成としても良い。
【００２３】
【発明の効果】上述の如く、本発明になる空気清浄装置
は、吸着装置からの管路途中に吸着剤からのアルカリ金
属を吸着するガラス繊維を有するアルカリ金属吸着装置
が設けられているので、クリーンルーム内がアルカリ金
属により汚染されることを効果的に防止することがで
き、それによりクリーンルーム内での不良率を低下させ
ることができる等の特長を有する。
は、吸着装置からの管路途中に吸着剤からのアルカリ金
属を吸着するガラス繊維を有するアルカリ金属吸着装置
が設けられているので、クリーンルーム内がアルカリ金
属により汚染されることを効果的に防止することがで
き、それによりクリーンルーム内での不良率を低下させ
ることができる等の特長を有する。
【図１】本発明になるクリーンルームの空気清浄装置の
一実施例の構成図である。
一実施例の構成図である。
【図２】従来のクリーンルームの空気清浄装置の構成図
である。
である。
１ 空気清浄ユニット ２ クリーンルーム ３ 循環調和機 ８ 吸着装置 １８ アルカリ金属吸着装置 ２０ 容器 ２１ ガラス繊維
Claims (1)
- 【請求項１】 過酸化マンガンカリウムを基剤とした吸
着剤を有する吸着装置（８）からの空気を管路（１０）
を介してクリーンルーム（２）に供給するクリーンルー
ムの空気清浄装置において、 前記吸着剤より折出したアルカリ金属を吸着するガラス
繊維（２１）が絡んだ状態で充填されたアルカリ金属吸
着装置（１８）を前記管路（１０）に設けてなることを
特徴とするクリーンルームの空気清浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31100091A JPH05149582A (ja) | 1991-11-26 | 1991-11-26 | クリーンルームの空気清浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31100091A JPH05149582A (ja) | 1991-11-26 | 1991-11-26 | クリーンルームの空気清浄装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05149582A true JPH05149582A (ja) | 1993-06-15 |
Family
ID=18011923
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31100091A Withdrawn JPH05149582A (ja) | 1991-11-26 | 1991-11-26 | クリーンルームの空気清浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05149582A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3404084A1 (de) * | 1983-02-07 | 1984-08-09 | Sanyo Electric Co., Ltd., Moriguchi, Osaka | Zylindrische batterie |
| JP2009186127A (ja) * | 2008-02-08 | 2009-08-20 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | 清浄空気循環システム、及び清浄空気循環方法 |
-
1991
- 1991-11-26 JP JP31100091A patent/JPH05149582A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3404084A1 (de) * | 1983-02-07 | 1984-08-09 | Sanyo Electric Co., Ltd., Moriguchi, Osaka | Zylindrische batterie |
| JP2009186127A (ja) * | 2008-02-08 | 2009-08-20 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | 清浄空気循環システム、及び清浄空気循環方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990204 |