JPH0953197A - 電解めっき方法、被めっき物収容具 - Google Patents

電解めっき方法、被めっき物収容具

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JPH0953197A
JPH0953197A JP20630995A JP20630995A JPH0953197A JP H0953197 A JPH0953197 A JP H0953197A JP 20630995 A JP20630995 A JP 20630995A JP 20630995 A JP20630995 A JP 20630995A JP H0953197 A JPH0953197 A JP H0953197A
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plated
conductive metal
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copper plate
power supply
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JP20630995A
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English (en)
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Takuji Asai
倬次 浅井
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Ibiden Co Ltd
Original Assignee
Ibiden Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 均一でムラのないめっき膜を確実にかつ効率
よく形成することができる電解めっき方法を提供するこ
と。 【解決手段】 被めっき物収容具5には、被めっき物と
しての銅板2が収容され、かつ複数箇所にカソード用給
電部が設けられている。この収容具5は、電解めっき液
6中に設けられた一対のアノード4間に配置される。給
電部及びアノード4間には通電がなされる。通電時に収
容具5は駆動される。その際、銅板2同士の対峙する二
面が非接触となるように、銅板2の移動を規制する。ま
た、銅板2の周囲に設けられた給電部としての給電ピン
31と銅板2とが接触する位置を変更しながら通電す
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、電解めっき方法、
及びその方法を実施する際に使用される電解めっき装置
における被めっき物収容具に関するものである。
【0002】
【従来の技術】プリント配線板に搭載されたLSIチッ
プ等は、通電時に大きな熱を発生する。このような熱は
LSIチップの誤動作や破壊の原因となることから、プ
リント配線板には何らかの放熱対策が必要であると考え
られている。そのため、従来においては、プリント配線
板にヒートスラグを取り付け、そのヒートスラグ上にL
SIチップを搭載するという構造が採られている。ここ
で、一般的なヒートスラグとしては、例えば銅板の外表
面全体または一部にめっき膜を形成したものが知られて
いる。以下、このような場合に使用される従来の電解め
っき装置を、図11(a)〜図11(c)に基づいて説
明する。
【0003】図11(a)に示される第1の装置は、い
わゆるカゴめっき装置71である。この装置71では、
複数枚の銅板72を電解めっき液内に保持するための手
段として、導電性の金網からなるカゴ73が使用され
る。カソードを兼ねるこのカゴ73は、一対のアノード
74間において揺動可能に設けられる。そして、このカ
ゴ73とアノード74との間に直流電流を通電すること
により、銅板72にめっきが施されるようになってい
る。
【0004】図11(b)に示される第2の装置は、い
わゆるバレルめっき装置75である。この装置75で
は、複数枚の銅板72を電解めっき液内に保持するため
の手段として、導電金属製のバレル76が使用される。
このバレル76は、電解めっき液を内部に流通させるた
めの多数の貫通孔77を備えた中空六角筒状の金属製部
材である。なお、バレル76内にはデングラーと呼ばれ
る図示しないカソードが設けられている。このバレル7
6は、一対のアノード74間において回転可能に設けら
れる。そして、このバレル76とアノード74との間に
直流電流を通電することにより、銅板72にめっきが施
されるようになっている。
【0005】図11(c)に示される第3の装置は、い
わゆる引っ掛けめっき装置78である。この装置78で
は、前二者とは異なり、複数枚の銅板72を電解めっき
液内に保持するための手段として、引っ掛けまたはラッ
クと呼ばれる導電金属製の治具79が使用される。この
治具79は、銅板72を挟持するための一対の固定用ピ
ン80を多数個備えている。カソードを兼ねるこの治具
79は、一対のアノード74間に設けられる。そして、
この治具79とアノード74との間に直流電流を通電す
ることによって、銅板72にめっきが施されるようにな
っている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上述した従
来の電解めっき装置71,75,78には、次のような
いくつかの問題があった。
【0007】カゴ73の揺動を行う第1の装置71で
は、カゴ73の内壁面に銅板72が衝突したり、銅板7
2同士が衝突したりすることが避けられない。このた
め、特に銅板72の表裏面のめっき膜に傷が付いたり、
擦れによってめっき膜に部分的なてかり(光沢)が発生
しやすい。従って、均一なめっき膜を得ることができな
かった。なお、バレル76の回転を行う第2の装置75
についても同種の問題が起こっていた。
【0008】また、第1の装置71や第2の装置75で
は、カゴ73やバレル76自体が金属製であることか
ら、めっきが付着してしまう場合がある。よって、付着
しためっき膜を定期的に剥離する必要があり、器具の保
守作業が面倒であった。そして、このことが生産性を低
下させる一つの原因となっていた。
【0009】第3の装置78では、固定用ピン80に銅
板72を取り付けたり、それを取り外したりする作業が
極めて煩雑であった。しかも、従来においては前記作業
を人手に頼っていたため、生産性に劣っていた。
【0010】また、第3の装置78では、給電部である
固定用ピン80に対して常時接触している部分に、めっ
きムラや焼けが発生しやすかった。さらに、固定用ピン
80は強度的に弱く、壊れやすかった。
【0011】本発明は上記の課題を解決するためなされ
たものであり、その第1の目的は、均一でムラのないめ
っき膜を確実に得ることができるとともに、生産性の向
上を図ることができる電解めっき方法及びそのための装
置における被めっき物収容具を提供することにある。本
発明の第2の目的は、器具の保守が容易な被めっき物収
容具を提供することにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、請求項1に記載の発明は、被めっき物が収容され
かつ複数箇所にカソード用給電部が設けられた被めっき
物収容具を、電解めっき液中に設けられたアノードに対
向配置した状態で、前記給電部及びアノード間に通電を
行うことにより、前記被めっき物にめっき膜を形成する
電解めっき方法であって、前記被めっき物の移動を規制
しつつ前記被めっき物収容具を駆動することにより、前
記各被めっき物の周囲に設けられた前記給電部に対する
前記被めっき物の接触位置を変更しながら通電を行う電
解めっき方法をその要旨とする。
【0013】請求項2に記載の発明は、被めっき物が収
容されかつ複数箇所にカソード用給電部が設けられた被
めっき物収容具と、電解めっき液中に設けられるアノー
ドとを備え、前記アノードに前記被めっき物収容具を対
向配置した状態で前記給電部及びアノード間に通電を行
うことにより、前記被めっき物にめっき膜を形成する電
解めっき装置における前記被めっき物収容具であって、
前記給電部は、前記被めっき物収容具の駆動時に前記被
めっき物の移動を規制する導電性の移動規制部材であ
り、前記被めっき物は、前記移動規制部材によって区画
される個々の収容スペース内に移動可能に収容される被
めっき物収容具をその要旨とする。
【0014】請求項3に記載の発明は、請求項2におい
て、前記被めっき物収容具は、前記移動規制部材及び前
記収容スペースを備える本体と、その本体を回動可能に
支持するスタンドとからなることをその要旨とする。
【0015】請求項4に記載の発明では、請求項3にお
いて、前記本体は、樹脂板間に導電金属板を挟持してな
る基材、その基材の片側面に突設された複数の導電金属
製の給電ピン及び前記各給電ピンに対して前記導電金属
板を介して電気的に接続された導電金属製の回動軸を備
えるホルダと、そのホルダのピン突出面側に前記基材か
ら所定間隔を隔てた状態で装着される樹脂製のカバーと
によって構成されていることをその要旨とする。
【0016】請求項5に記載の発明では、請求項3にお
いて、前記本体は、一対の導電金属製のプレートと、そ
れらのプレート間にて互いに所定間隔を隔てた状態で配
置された複数枚の樹脂製のプレートと、前記各プレート
を貫通する複数本の導電金属製の給電ロッドと、前記各
給電ロッドに対して前記導電金属製のプレートを介して
電気的に接続された導電金属製の回動軸と、前記被めっ
き物を個々の収容スペース内に保持する保持部材とを備
えることをその要旨とする。
【0017】請求項1〜5に記載の発明によると、被め
っき物の移動が規制されることにより、隣接する被めっ
き物同士の接触・衝突が回避される。このため、めっき
膜の傷付きや擦れによるめっき膜の部分的なてかりが防
止される。また、給電部に対する被めっき物の接触位置
を変更しながら通電が行われることから、めっきムラや
焼けが防止される。
【0018】請求項2に記載の発明によると、個々の収
容スペース内を移動した被めっき物の一部が複数ある導
電性の移動規制部材のうちのいずれかに接触したとき、
その接触した移動規制部材を介して被めっき物への給電
が行われる。また、この被めっき物が別の位置に移動し
たときには、被めっき物において今までとは異なる部分
が移動規制部材に接触する。よって、被めっき物の接触
位置が変更されることになり、あらたにその部分から被
めっき物への給電が行われる。
【0019】請求項3に記載の発明によると、スタンド
に支持された本体が回動すると、被めっき物がその収容
スペース内をいずれかの方向に移動する。その結果、被
めっき物において今までとは異なる部分が移動規制部材
に接触する。
【0020】請求項4に記載の発明によると、被めっき
物は、複数本の給電ピン、基材及びカバーによって区画
される収容スペース内に移動可能に収容される。また、
そのような被めっき物には、回動軸、導電金属板及び給
電ピンを介して給電が行われる。
【0021】請求項5に記載の発明によると、被めっき
物は、複数本の給電ロッドと複数枚の樹脂製のプレート
とによって区画される収容スペース内に移動可能に収容
される。また、そのような被めっき物には、回動軸、導
電金属製のプレート及び給電ロッドを介して給電が行わ
れる。
【0022】
【発明の実施の形態】
〔第1の実施形態〕以下、本発明を電解めっき方法及び
そのための電解めっき装置に具体化した一実施形態を図
1〜図5に基づき詳細に説明する。
【0023】この電解めっき装置1は、例えばプリント
配線板用のヒートスラグとなる正方形状の銅板2の外表
面に対して、電解ニッケルめっき膜を形成するため等に
使用される。図1,図4に示されるように、この電解め
っき装置1は、大まかにいって、めっき槽3、一対のア
ノード4、被めっき物収容具5及び図示しない駆動手段
によって構成されている。以下、それぞれの部分の構成
等について説明する。
【0024】図4に示されるように、めっき槽3は、電
解ニッケルめっき液6を満たしておくための容器であ
る。本実施形態では、このめっき槽3の材質として、め
っき液6やめっき前処理液に不溶の金属材料が選択され
ている。なお、電解ニッケルめっき液6としては一般的
な組成のもの、例えば無光沢ニッケルめっき浴、ワット
浴、スルファミン酸浴、ウッドストライク浴、イマージ
ョンニッケル浴等が使用される。これらの浴は、通常、
ニッケルイオン源、アノード溶解剤、pH緩衝剤、表面
状態や内部応力に変化を与える添加剤等を含んでいる。
【0025】図4に示されるように、電解ニッケルめっ
き液6で満たされためっき槽3内には、一対のアノード
4が浸漬される。前記一対のアノード4は、互いに対向
した状態で配置される。また、このようなアノード4と
しては、例えば高純度の電解ニッケル板、S含有ニッケ
ル板、白金板、白金めっきが施されたチタニウム板等が
使用される。そして、これらのアノード4は、めっき槽
3の外部にある図示しない直流電源のプラス端子側に電
気的に接続されている。
【0026】図1〜図4に示されるように、本実施形態
における被めっき物収容具5は、主として、被めっき物
である銅板2を収容するための本体11と、その本体1
1を回動可能に支持するスタンド12とによって構成さ
れている。
【0027】スタンド12を構成するベース板13に
は、2本の支持柱14が所定間隔を隔た状態で立設され
ている。なお、ベース板13及び両支持柱14は、電解
ニッケルめっき液6に強く、かつめっきが付着しにくい
材料によって形成されている。本実施形態では、そのよ
うな材料として塩化ビニル板が選択されている。前記支
持柱14の上端部には、それぞれ軸受け孔15が透設さ
れている。これらの軸受け孔15内には、導電金属製の
回動軸16が回動可能に挿通されるようになっている。
また、前記各支持柱14の上端部内面側には、前記回動
軸16の外周面を支承する導電金属製の軸受け金具17
が設けられている。これらの軸受け金具17の一部に
は、図示しないリード線が接続されている。そして、こ
れらのリード線は、めっき槽3の外部にある図示しない
直流電源のマイナス端子側に電気的に接続されている。
また、前記回動軸16のうちの1つには、図示しない無
端状ベルト等の伝達手段を介して、同じく図示しないモ
ータ等の駆動手段からの駆動力が伝達されるようになっ
ている。
【0028】図1,図3に示されるように、本体11は
正方形状の外形を呈しており、ホルダ21とカバー22
とに大別される。ホルダ21を構成する正方形状の基材
23は、1枚の導電金属板をコアとしてその両面に2枚
の樹脂板(本実施形態では塩化ビニル板)を積層してな
る。このような構成を採用した理由の一つは、金属部分
の露出面積を少なくすることにより、その部分へのめっ
きの付着を回避するためである。基材23の片側面にお
いてその相対する2辺には、樹脂材料によってそれぞれ
肉厚部24が設けられている。この肉厚部24の上面に
は、カバー22の底面を支持するための段部24aが形
成されている。前記基材23には、正方形状をした複数
の窓部25がその表裏面を貫通するように形成されてい
る。前記窓部25は、この基材23において25個(=
5個×5列)存在している。なお、図3(b)に示され
るように、これらの窓部25の大きさは、銅板2の大き
さよりも若干小さくなるように設計されている。窓部2
5をこのような大きさに設定した理由は、収容スペース
内への電解ニッケルめっき液6の流通をある程度良好に
し、かつ収容スペース内からの銅板2の脱落を防止する
ためである。
【0029】一方、図1,図2に示されるように、正方
形状をしたカバー22側にも、同様に25個の窓部26
が形成されている。同様に、これらの窓部26の大きさ
は、銅板2の大きさよりも若干小さくなるように設計さ
れている。窓部26の大きさをこのように設定した理由
は、窓部25のときのそれと同様である。また、このカ
バー22も樹脂板(本実施形態では塩化ビニル板)を用
いて作製されている。前記カバー22は、肉厚部24の
段部24aに対して取り付けられる。このとき、カバー
22と基材23とは平行になり、両者22,23の間に
は少なくとも銅板2の厚さ以上の間隔が確保される。
【0030】各々の肉厚部24の両端には、カバー22
をホルダ21に固定する固定金具27を取り付けるため
の取付穴28が設けられている。これらの取付穴28に
は、前記固定金具27の一部が挿入されている。ゆえ
に、各固定金具27は、取付穴28を中心として回動可
能となっている。固定金具27は、金属線材を略L字状
に屈曲させることによって形成されている。
【0031】また、両肉厚部24の側面中央部には、そ
れぞれ導電金属製の回動軸29が突設されている。これ
らの回動軸29は、前記スタンド12側の回動軸16に
対して連結可能となっている。また、基材23のコアで
ある導電金属板と各回動軸29とは、肉厚部24の内部
において接合されている。従って、両者は互いに電気的
に接続されている。
【0032】図2,図3(a),図3(b)に示される
ように、基材23には多数のねじ孔30が形成されてい
る。これらのねじ孔30内には、導電金属製の給電ピン
31の基端部に設けられたねじ部が螺合されている。従
って、ホルダ21において肉厚部24が形成された面側
(図2の上側)には、複数本の導電金属製の給電ピン3
1が突出した状態となっている。これらの給電ピン31
は円柱状であって、その周面は前記ねじ部を除いて平滑
になっている。給電ピン31の先端部の突出量は、前記
基材23とカバー22との間隔とほぼ等しい。なお、個
々の窓部25は、6本の給電ピン31によって包囲され
ていると把握することができる。
【0033】移動規制部材である6本の給電ピン31、
基材23及びカバー22は、銅板2を収容するための合
計25個の収容スペースを区画するようになっている。
これらの収容スペース内には、1枚ずつ銅板2が収容さ
れる。また、収容スペースの大きさは、銅板2を移動可
能に収容しうるように、銅板2の大きさよりもいくぶん
大きく設計されている。基材23及びカバー22は、銅
板2のZ軸方向(即ち、被めっき物収容具5の厚さ方
向)への移動を規制する役割を担っている。一方、前記
各給電ピン31は、銅板2のX,Y軸方向(即ち、被め
っき物収容具5の厚さ方向に直交する方向)への移動を
規制する移動規制部材としての役割を担っている。な
お、本体11の回動時において、これらの給電ピン31
の周面には、銅板2の対峙する二面(即ち、表面及び裏
面)以外の面(即ち、4つの側面)が接触する。その反
面、銅板2の表面及び裏面は、前記周面に対して常に非
接触となる。
【0034】図3(a)に示されるように、この実施形
態では、基材23のコア材である導電金属板と前記各給
電ピン31とが接触した状態となっている。従って、各
給電ピン31と回動軸29とは、電気的に接続されてい
ることになる。そのため、回動軸29に通電がなされる
と、導電金属板を介して各給電ピン31にカソード電流
が供給されるようになっている。つまり、この実施形態
においては、各給電ピン31は、上記の移動規制部材と
しての役割ばかりでなく、カソード給電部としての役割
をも担っている。
【0035】次に、このように構成された被めっき物収
容具5の使用方法について説明する。まず、カバー22
を取り外した状態の本体11を水平に載置し、各収容ス
ペース内に銅板2をセットする。この場合、銅板2のセ
ットは、人手によって行われてもよく、真空チャック等
の把持装置によって機械的にかつ自動的に行われてもよ
い。全ての銅板2のセットが完了した後、本体11の上
面にカバー22を被せる。そして、4つの固定金具27
を回動させることによって、その先端屈曲部分をカバー
22の外縁部に係止させる。その結果、カバー22が本
体11に対して確実に固定される。即ち、このときには
25個の収容スペースが形成され、それらの中に1つず
つ銅板2が収容された状態となる。
【0036】次いで、本体11をスタンド22に取り付
ける。つまり、本体11から突出する回動軸29を、ス
タンド12側の回動軸16に連結する。さらに、このよ
うに組み付けられた被めっき物収容具5をめっき槽3内
にセットする。その際、被めっき物収容具5は、図4に
示されるように、一対のアノード4のちょうど中間地点
に配置される。また、この配置状態においては、本体1
1が回動するときの中心軸線は、両アノード4同士を最
短距離で結ぶ線分に対して直交する。
【0037】そして、めっき槽3内に電解ニッケルめっ
き6を満たした状態で通電を開始すると、銅板2の周囲
に配置された給電ピン31からの給電によって、銅板2
の外面に電解ニッケルめっきが析出する。
【0038】さて、図5(a),図5(b)には、本体
11を回動させた場合に銅板2が収容スペース内を動く
様子が概略的に示されている。図5(a)の回動状態で
は、銅板2の周囲にある6本の給電ピン31(31A,
31B,31C)のうち、同図の下側に位置する2本の
給電ピン31Aのみが銅板2の側面の1つに接触してい
る。従って、この状態においては、前記2本の給電ピン
31Aは相対的に他の給電ピン31B,31Cよりも下
方にあるものと考えられる。そして、銅板2には、これ
らの給電ピン31Aを介して給電がなされることにな
る。ここで、本体11が回動することによって、図5
(a)の回動状態から図5(b)の回動状態になったと
仮定する。この場合、先ほどまで最も下方にあった給電
ピン31Aが上方に位置し、逆に最も上方にあった給電
ピン31Bが下方に位置するようになった状態を想定し
ている。すると、銅板2が収容スペース内を所定方向へ
移動する結果、今まで接触していた給電ピン31Aから
銅板2の一側面が離れる。また、所定方向に移動した銅
板2は、図5(b)に示されるように、別の2本の給電
ピン31Bの周面に当接する。よって、銅板2のそれ以
上の移動が規制される。そして、このとき給電ピン31
Bに接触する側面は、少なくともこれまで給電ピン31
Aに接触していた側面とは別のものとなる。そして、銅
板2には、これらの給電ピン31Bを介して給電がなさ
れることになる。なお、銅板2が移動する際の短い時間
を除いては、常に銅板2のいずれかの側面が給電ピン3
1A〜31Cに接触した状態となる。よって、給電ピン
31A〜31Cからの給電も殆ど途絶えることがない。
勿論、電解ニッケルめっき液6が攪拌されていたり、被
めっき物収容具5が水平に載置されていないような場合
には、銅板2が給電ピン31Cの周面にも当接しうる。
つまり、本実施形態においては、給電部及び移動規制部
材である給電ピン31と銅板2とが接触する際の銅板2
における位置が、通電時において少なくとも何回か変更
されることになる。
【0039】なお、銅板2が収容スペース内を移動する
場合、銅板2の対峙する二面である表裏面は、基材23
またはカバー22に接触することはあっても、給電部で
ある給電ピン31にじかに接触することはない。従っ
て、給電ピン31から銅板2の表裏面への給電はなされ
ない。また、収容スペースが個別になっていることか
ら、隣接する銅板2のいずれの面も互いに接触すること
はない。
【0040】さて、以下に本実施形態において示した電
解めっき方法及び装置の特徴を列挙する。 (イ)この方法では、銅板2同士の対峙する二面が非接
触となるように銅板2の移動を規制しつつ本体11を回
動させるとともに、それらの周囲に設けられた各給電ピ
ン31と銅板2との接触位置を変更しながら通電を行
う。そのため、この電解めっき装置1では、銅板2の移
動を規制する手段として給電ピン31を設け、それらに
よって区画される収容スペース内に銅板2を移動可能に
収容している。従って、隣接する銅板2のいずれの面も
互いに接触・衝突することがない。ゆえに、銅板2の表
裏面のめっき膜に傷が付いたり、擦れによってめっき膜
に部分的なてかりが発生することもない。よって、従来
の方法及び装置による場合に比べて、より均一なめっき
膜を確実に得ることができる。
【0041】(ロ)この電解めっき装置1では、個々の
銅板2が収容スペース内に移動可能収容されていること
から、給電ピン31と銅板2との接触位置の変更を図り
ながら通電が行われる。このため、給電部である給電ピ
ン31が銅板2の特定の部分に常時接触した状態になる
ことがない。従って、固定用ピンを用いる引っ掛けめっ
き装置において問題とされていためっきムラや焼けの発
生が確実に回避される。よって、得られるめっき膜も均
一で外観に優れたものとなる。さらに、固定用ピンを用
いないこの電解めっき装置1であると、銅板2の装着時
に給電部が弾性変形するということもない。このため、
引っ掛けめっき装置に比べて強度的に強く、壊れにくい
という利点がある。また、その結果として電解ニッケル
めっき液6中での銅板2の脱落という自体も回避され
る。
【0042】(ハ)この電解めっき装置1では、水平に
載置されたホルダ21のあらかじめ区画された箇所に銅
板2を置き、その後にカバー22を被せることとしてい
る。従って、引っ掛けめっき装置等に比べて、銅板2の
取り付け・取り出し作業が楽になる。また、この被めっ
き物収容具5のような構成であれば、取り付け・取り出
し作業の自動化も比較的容易に実現することができる。
よって、従来に比べて生産性の向上を図ることができ
る。
【0043】(ニ)この電解めっき装置1では、給電ピ
ン31、回動軸16,29、固定金具27等のような一
部の部材を除き、本体11及びスタンド12を構成する
主要な部材は、めっき膜が付着しにくい物質を材料とし
て形成されている。この構成であると、そもそも電解ニ
ッケルめっきが付着しうる部分が少なくなるため、めっ
き膜の剥離等といった保守作業がよりいっそう容易にな
る。特に、この電解めっき装置1では、前記材料として
塩化ビニル板が選択されている。塩化ビニル板はめっき
金属であるニッケルよりも軟質であるため、銅板2の表
裏面と塩化ビニル板とが接触した場合でもめっき膜に傷
が付かない。また、塩化ビニル板であると容易に加工す
ることができるため、コスト性に優れている。 〔第2の実施形態〕次に、第2の実施形態の装置を図6
〜図9に基づき説明する。
【0044】本実施形態の電解めっき装置41の被めっ
き物収容具42は、図8に示されるように、上記の被め
っき物収容具5とは異なる構成の本体43を、スタンド
12に回動可能に支持させてなるものである。本体43
以外の構成については、特に第1の実施形態のそれと基
本的に変わりがないので、ここではその詳細な説明を省
略する。
【0045】図6〜図8に示されるように、本体43
は、一対のサイドプレート44、6枚の区画プレート4
5、給電用金属棒としての7本の給電ロッド46、回動
軸47及び保持部材としての給電ストッパ48等を備え
ている。
【0046】サイドプレート44及び区画プレート45
は、ともに略正方形状の外形を有している。ただし、サ
イドプレート44は導電金属製である反面、区画プレー
ト45は樹脂製(本実施形態では塩化ビニル板製)であ
る。各区画プレート45は、一対のサイドプレート44
間において互いに所定間隔を隔てた状態で配置されてい
る。なお、この間隔は、少なくとも被めっき物である銅
板2の厚さ以上に設定されている。両サイドプレート4
4の中心部には、導電金属製の回動軸47が突設されて
いる。
【0047】サイドプレート44及び区画プレート45
は、これらの四隅を貫通する4本の固定ロッド49によ
って固定されている。これらの固定ロッド49は金属製
であり、その両端にねじ部を備えている。両端のねじ部
には、それぞれナット50が螺合されている。また、各
固定ロッド49は、円筒状をした樹脂製(本実施形態で
は塩化ビニル製)のカラー51によって被覆されてい
る。これらのカラー51は、区画プレート45間の間隔
を一定に保持するための役割を果たしている。
【0048】カソード給電部としての給電ロッド46
も、前記固定ロッド49と同じくサイドプレート44及
び区画プレート45を貫通している。これらの給電ロッ
ド46は導電金属製であり、その両端にねじ部を備えて
いる。両端のねじ部には、それぞれロッドエンド52が
螺合されている。また、これらの給電ロッド46は、回
動軸47を包囲するように略U字状に配列されている。
そして、これらの7本の給電ロッド46及び隣接する2
枚の区画プレート45によって、銅板2を収容するため
の1つの収容スペースが区画されている。なお、本実施
形態では、このような収容スペースが合計6つ区画され
ている。従って、この被めっき物収容具42では、最大
6枚の銅板2が各収容スペース内に移動可能に収容され
る。
【0049】サイドプレート44の上端縁には、給電ス
トッパ48を回動可能に取り付けるための取付穴53が
設けられている。サイドプレート44及び区画プレート
45の上端縁中央部には、係止溝54が形成されてい
る。前記給電ストッパ48は、これらの係止溝54に係
止されることにより、収容スペース内に銅板2を保持す
る。
【0050】各区画プレート45は、銅板2のZ軸方向
(即ち、被めっき物収容具42の回動軸線の方向)への
移動を規制する役割を担っている。一方、前記各給電ロ
ッド46は、銅板2のX,Y軸方向(即ち、前記回動軸
線に直交する方向)への移動を規制する移動規制部材と
しての役割を担っている。なお、本体43の回動時にお
いて、これらの給電ロッド46の周面には、銅板2の対
峙する二面(即ち、表面及び裏面)以外の面(即ち、4
つの側面)が接触する。その反面、銅板2の表面及び裏
面は、前記周面に対して常に非接触となる。
【0051】図8に示されるように、この実施形態で
は、回動軸47とサイドプレート44とが接触し、かつ
各給電ロッド46とサイドプレート44とが接触してい
る。従って、各給電ロッド46と回動軸47とは、サイ
ドプレート44を介して電気的に接続された状態となっ
ている。つまり、各給電ロッド46は、移動規制部材と
しての役割ばかりでなく、カソード給電部としての役割
をも担っている。また、給電ストッパ48も、移動規制
部材及びカソード給電部としての役割を果たしている。
【0052】次に、このように構成された被めっき物収
容具42の使用方法について説明する。まず、給電スト
ッパ48の係合を解除した状態で、各収容スペース内に
銅板2をセットする。この場合、銅板2のセットは、人
手によって行われてもよく、真空チャック等によって機
械的にかつ自動的に行われてもよい。全ての銅板2のセ
ットが完了した後、給電ストッパ48を係止状態にし、
さらに本体43をスタンド12に取り付ける。そして、
第1の実施形態において説明した方法に準じて、本体4
3を回動させながら電解ニッケルめっきを実施する。
【0053】さて、図9(a),図9(b)には、本体
43を回動させた場合に銅板2が収容スペース内を動く
様子が概略的に示されている。図9(a)の回動状態で
は、銅板2の周囲にある7本の給電ロッド46(反時計
回りに46A〜46G)のうちの3本、即ち46B,4
6C,46Dが銅板2の側面に接触している。従って、
この銅板2には、それらの給電ロッド46B〜46Dを
介して給電がなされる。ここで、本体43が回動するこ
とによって、図9(b)の状態になったと仮定する。す
ると、銅板2が収容スペース内を所定方向へ移動する結
果、銅板2が今まで接触していた給電ロッド46B〜4
6Dから離れ、別の給電ロッド46D〜46Fに当接す
る。つまり、給電部及び移動規制部材である給電ロッド
46と銅板2とが接触する際の銅板2における位置が、
通電時において何回か変更される。
【0054】以上詳述したように、本実施形態において
も第1の実施形態と同様の作用効果を奏することがわか
る。よって、均一でムラのないめっき膜を確実に得るこ
とができるとともに、生産性の向上を図ることができ
る。また、器具の保守も従来に比べて容易になる。
【0055】なお、本発明は例えば次のように変更する
ことが可能である。 (1)図10(a),図10(b)には、収容スペース
を5個持つ別の実施形態における電解めっき装置61の
被めっき物収容具62が示されている。なお、第1の実
施形態と同一の構成部材については、同じ番号を付すの
みとする。この被めっき物収容具62を構成する本体6
3は、第1のカバー64及び第2のカバー65によって
構成されている。これらのカバー64,65は、いずれ
も塩化ビニル製である。各窓部25,26の周囲には3
本の給電ピン67と給電ストッパ66とが配置されてお
り、それらによって各々収容スペースが区画されてい
る。そして、各収容スペース内に銅板2を収容した後、
係止溝に68に給電ストッパ66が係止されるようにな
っている。以上のような別の実施形態であっても、第1
の実施形態のときと同様の作用効果を奏する。なお、こ
の構成であると、一回の処理量がやや少なくなるもの
の、個々の銅板2について電極間距離のばらつきが小さ
くなるという利点がある。このため、得られる製品毎の
めっき厚等のばらつきが極めて小さくなる。
【0056】(2)駆動手段は特に必須というわけでは
なく、例えば本体11,43,63を人手によって回動
させることとしてもよい。この場合、回動はめっき工程
を通じて連続的に行われてもよく、また間欠的に数回程
度行われることとしてもよい。さらに、本体11,4
3,63を回転させても構わない。
【0057】(3)本体11の回転の仕方としては、本
体11の表裏面に平行な線分を中心軸として回転させる
(いわば風車状に回転させる)実施形態1とは異なるも
のであってもよい。例えば、本体11の表裏面を貫く線
分(即ち、本体11の厚さ方向に延びる線分)を中心軸
として、いわばコマ状に回転させてもよい。なお、この
場合においては本体11の表裏面がアノード4に常時対
向させることがよい。また、前記のように本体11を配
置するとともに、本体11を上下方向または左右方向に
動かしてもよい。勿論、上下または左右という直線的な
動きと、回転または回動運動とを組み合わせてもよい。
【0058】(4)被めっき物は正方形状の銅板2のみ
に限定されることはなく、例えば長方形状その他の多角
形状や円形状などの金属板材であってもよい。勿論、単
純な形状をした金属板材ばかりでなく、ある程度複雑な
形状をしたものであってもよい。さらに、被めっき物は
金属以外のもの、例えばめっき析出のための処理などが
施された樹脂板やセラミックス板等であってもよい。
【0059】(5)例えば、上述した各実施形態の本体
11,43,63に代え、例えば複数の収容スペースを
備える金網製ホルダ等を使用し、その収容スペース内に
銅板2を個別にかつ移動可能に収容することとしてもよ
い。
【0060】(6)本体11,43,63やスタンド1
2に使用されている樹脂材料は、塩化ビニル以外のもの
に変更されることが勿論可能である。例えば、樹脂材料
としてはアクリルやポリエチレン等が使用可能である。
また、めっきが付着しにくく、めっき膜よりも軟質の物
質であれば、フッ素樹脂コーティングした金属材料を使
用することも許容される。
【0061】ここで、特許請求の範囲に記載された技術
的思想のほかに、前述した実施形態によって把握される
技術的思想をその効果とともに以下に列挙する。 (1) 請求項3において、前記給電部等の導電金属部
分を除く前記本体及び前記スタンドを構成する主たる部
材は、めっき膜が付着しにくい物質を材料として形成さ
れていること。この構成であると、そもそもめっきが付
着する部分が少ないため、めっき膜の剥離等といった保
守作業がより容易になる。
【0062】(2) 請求項3、技術的思想1のいずれ
かにおいて、前記形成材料は塩化ビニルであること。こ
の構成であると、加工性及びコスト性を向上できる。な
お、本明細書中において使用した技術用語を次のように
定義する。
【0063】「樹脂材料: 塩化ビニルをいうほか、例
えばアクリルやポリエチレン等のような樹脂をいう。」
【0064】
【発明の効果】以上詳述したように、請求項1に記載の
発明によれば、均一でムラのないめっき膜を確実に得る
ことができるとともに、生産性の向上を図ることができ
る電解めっき方法を提供することができる。請求項2〜
請求項5に記載の発明によれば、均一でムラのないめっ
き膜を確実に得ることができるとともに、生産性の向上
を図ることができる被めっき物収容具を提供することが
できる。特に請求項4,5に記載の発明によると、器具
の保守が容易な被めっき物収容具を提供することができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1の実施形態の電解めっき装置における被め
っき物収容具を示す部分破断正面図。
【図2】同被めっき物収容具の本体を示す分解斜視図。
【図3】(a)は本体を構成するホルダの部分破断平面
図、(b)はその部分破断正面図。
【図4】同じく電解めっき装置の使用状態を説明する概
略図。
【図5】(a),(b)は、同電解めっき装置の使用時
における被めっき物の動きの様子を説明するための概略
図。
【図6】第2の実施形態の電解めっき装置における被め
っき物収容具の本体を示す斜視図。
【図7】同じくその断面図。
【図8】同じく被めっき物収容具の正面図。
【図9】(a),(b)は、同電解めっき装置の使用時
における被めっき物の動きの様子を説明するための概略
図。
【図10】(a)は別の実施形態の電解めっき装置にお
ける被めっき物収容具を示す部分破断正面図、(b)は
その本体の部分平面図。
【図11】(a)〜(c)は、従来の電解めっき装置に
おける被めっき物収容具または固定具を示す概略図。
【符号の説明】
1,41,61…電解めっき装置、2…被めっき物とし
ての銅板、4…アノード、5,42,62…被めっき物
収容具、6…電解めっき液、11,43,63…本体、
12…スタンド、21…ホルダ、22…カバー、23…
基材、29,47…回動軸、31,67…カソード用給
電部(移動規制部材)としての給電ピン、44…導電金
属製のプレートとしてのサイドプレート、45…樹脂製
のプレートとしての区画プレート、46…カソード用給
電部(移動規制部材)としての給電ロッド、48…保持
部材としての給電ストッパ。

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】被めっき物が収容されかつ複数箇所にカソ
    ード用給電部が設けられた被めっき物収容具を、電解め
    っき液中に設けられたアノードに対向配置した状態で、
    前記給電部及びアノード間に通電を行うことにより、前
    記被めっき物にめっき膜を形成する電解めっき方法であ
    って、 前記被めっき物の移動を規制しつつ前記被めっき物収容
    具を駆動することにより、前記各被めっき物の周囲に設
    けられた前記給電部に対する前記被めっき物の接触位置
    を変更しながら通電を行う電解めっき方法。
  2. 【請求項2】被めっき物が収容されかつ複数箇所にカソ
    ード用給電部が設けられた被めっき物収容具と、電解め
    っき液中に設けられるアノードとを備え、前記アノード
    に前記被めっき物収容具を対向配置した状態で前記給電
    部及びアノード間に通電を行うことにより、前記被めっ
    き物にめっき膜を形成する電解めっき装置における前記
    被めっき物収容具であって、 前記給電部は、前記被めっき物収容具の駆動時に前記被
    めっき物の移動を規制する導電性の移動規制部材であ
    り、前記被めっき物は、前記移動規制部材によって区画
    される個々の収容スペース内に移動可能に収容される被
    めっき物収容具。
  3. 【請求項3】前記被めっき物収容具は、前記移動規制部
    材及び前記収容スペースを備える本体と、その本体を回
    動可能に支持するスタンドとからなる請求項2に記載の
    被めっき物収容具。
  4. 【請求項4】前記本体は、樹脂板間に導電金属板を挟持
    してなる基材、その基材の片側面に突設された複数の導
    電金属製の給電ピン及び前記各給電ピンに対して前記導
    電金属板を介して電気的に接続された導電金属製の回動
    軸を備えるホルダと、そのホルダのピン突出面側に前記
    基材から所定間隔を隔てた状態で装着される樹脂製のカ
    バーとによって構成されている請求項3に記載の被めっ
    き物収容具。
  5. 【請求項5】前記本体は、一対の導電金属製のプレート
    と、それらのプレート間にて互いに所定間隔を隔てた状
    態で配置された複数枚の樹脂製のプレートと、前記各プ
    レートを貫通する複数本の導電金属製の給電ロッドと、
    前記各給電ロッドに対して前記導電金属製のプレートを
    介して電気的に接続された導電金属製の回動軸と、前記
    被めっき物を個々の収容スペース内に保持する保持部材
    とを備える請求項3に記載の被めっき物収容具。
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