JP2018090865A - めっき装置、めっき方法およびめっき製品の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】めっき製品の製造コストの増大を抑制することが可能なめっき装置を提供する。【解決手段】めっき装置１００は、めっき浴槽１と第１電極２と保持部７と第２電極３とを備える。めっき浴槽１はめっき液６を保持する。第１電極２はめっき浴槽１に保持されるめっき液６に接触する。保持部７は、めっき液６中においてめっき処理対象物２０を保持する。第２電極３は、保持部７に保持されためっき処理対象物２０に接触する。第２電極３は、基部と絶縁層とを含む。基部は、不溶解性電極材からなり、めっき処理対象物２０と接触する接触部を有する。絶縁層は、基部の表面を被覆する。絶縁層には、接触部を露出させる開口部が形成されている。【選択図】図５

Description

この発明は、めっき装置、めっき方法およびめっき製品の製造方法に関する。

従来、プリント配線板やリードフレームなどにめっき処理を行うめっき装置が知られている。たとえば、特開２０１１−２３１３４４号公報では、プリント配線板へのめっき膜形成工程の効率を向上させるため、めっき液浴中においてプリント配線板と接触する第１位置と、プリント配線板と非接触となる第２位置とを移動可能な給電体を設けることが開示されている。上記特開２０１１―２３１３４４号公報では、当該給電体が第２の位置に移動したときに給電体へ正の電位を印加して、給電体の表面に形成されためっき膜を剥離することが開示されている。

特開２０１１−２３１３４４号公報

しかし、上述した特許文献においては、めっき処理対象物であるプリント配線板と接触する給電体の具体的な構成が詳細には開示されていない。

また、リードフレームなどのめっき処理対象物を保持するため治具を用いる場合、当該治具を介してめっき処理対象物へ給電することが考えられる。しかし、この場合には治具においてめっき処理対象物と給電のために接触する部分にめっき膜が形成される。このようなめっき膜が蓄積するとめっき処理に悪影響を与えるため、当該治具については定期的にめっき膜を剥離する処理やメンテナンスを行う必要があり、めっき処理により製造されるめっき製品の製造コストの増大を招いていた。

この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、めっき製品の製造コストの増大を抑制することが可能なめっき装置、めっき方法およびめっき製品の製造方法を提供することである。

本開示に従っためっき装置は、めっき浴槽と第１電極と保持部と第２電極とを備える。めっき浴槽はめっき液を保持する。第１電極はめっき浴槽に保持されるめっき液に接触する。保持部は、めっき液中においてめっき処理対象物を保持する。第２電極は、保持部に保持されためっき処理対象物に接触する。第２電極は、基部と絶縁層とを含む。基部は、不溶解性電極材からなり、めっき処理対象物と接触する接触部を有する。絶縁層は、基部の表面を被覆する。絶縁層には、接触部を露出させる開口部が形成されている。

本開示に従っためっき方法は、上記めっき装置を用いためっき方法であって、以下の工程を実施する。すなわち、保持部に、めっき液に浸漬した状態でめっき処理対象物を配置する。第２電極を、保持部に保持されためっき処理対象物に接触させる。第１電極と第２電極とに電流を供給することにより、めっき処理対象物の表面にめっき膜を形成する。めっき膜が形成されためっき処理対象物を保持部から取り出す。取り出す工程の後、第１電極および第２電極をめっき液に接触させた状態で、めっき膜を形成する工程とは逆の極性の電流を第１電極および第２電極に供給することにより、第２電極の接触部に形成されていためっき膜を第２電極から除去する。

本開示に従っためっき製品の製造方法では、以下の工程を実施する。すなわち、めっき製品となるべきめっき処理対象物を準備する。めっき処理対象物に、上記めっき方法を用いてめっき膜を形成する。

本開示によれば、保持部にめっき処理対象物を保持して第２電極を接触させることでめっき処理対象物へのめっき処理を実施できる。さらに、第２電極の基部が不溶解性電極材により構成されているので、めっき処理の後に第２電極へめっき処理時とは逆の極性の電流を印加することで、第２電極表面に形成されていためっき膜を剥離することができる。この結果、安定してめっき処理を繰り返すことができ、従来のような治具を用いた場合のようなメンテナンスが不要となるのでめっき製品の製造コストの増大を抑制できる。

本発明の実施の形態１に係るめっき装置の模式図である。 図１に示しためっき装置の第２電極の断面模式図である。 図１に示しためっき装置を用いためっき製品の製造方法を説明するためのフローチャートである。 図３に示しためっき製品の製造方法を説明するための模式図である。 図３のめっき工程を説明するための模式図である。 図５における第２電極とめっき処理対象物との拡大断面模式図である。 図３のめっき工程において、めっき処理対象物の表面および第２電極の表面にめっき膜が形成された状態を説明するための模式図である。 図３の第２電極の接触部の部分拡大模式図である。 図３の電極からめっき膜を剥離する工程を説明するための模式図である。 図３の電極からめっき膜を剥離する工程を説明するための模式図である。 図３の電極からめっき膜を剥離する工程を説明するための模式図である。 図３の電極からめっき膜を剥離する工程を説明するための模式図である。 参考例としてのめっき装置における冶具にめっき処理対象物を設置する工程を説明するための模式図である。 参考例としてのめっき装置におけるめっき処理を説明するための模式図である。 参考例としてのめっき装置における冶具の問題点を説明するための模式図である。 本発明の実施の形態２に係るめっき装置の第２電極の断面模式図である。

以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。以下では、複数の実施の形態について説明するが、各実施の形態で説明された構成を適宜組合わせることは出願当初から予定されている。なお、図中同一又は相当部分には同一符号を付してその説明は繰返さない。

実施の形態１．
＜めっき装置の構成＞
図１は、本発明の実施の形態１に係るめっき装置１００の模式図である。図２は、図１に示しためっき装置１００の第２電極３の断面模式図である。めっき装置１００は、たとえば自動搬送式めっき装置であって、めっき浴槽１と、第１電極２と、保持部７と、第２電極３と、極性切替部４と、電源５と、電極移動部１１と、制御部１２とを主に備える。めっき浴槽１はめっき液６を保持する。１組の第１電極２はめっき浴槽１に保持されるめっき液６に接触する。１組の第１電極２は、保持部７および第２電極３を挟むように、めっき浴槽１の内部に配置されている。第１電極２は板状の形状を有しているが、他の任意の形状でもよい。保持部７は、めっき液６中においてめっき処理対象物２０（図５参照）を保持する。保持部７の構成は、めっき処理対象物２０を保持できれば任意の構造を採用できる。めっき処理対象物２０は単体で搬送され、保持部７に搭載されてもよい。

第２電極３は、保持部７に保持されためっき処理対象物２０に接触する。第２電極３は、基部３１と絶縁層３２とを含む。基部３１は、不溶解性電極材からなり、めっき処理対象物２０と接触する接触部３ａを有する。不溶解性電極材とは、めっき液６中において、形成されるめっき膜を構成する金属より溶解電圧の高い材料を意味する。たとえば、不溶解性電極材として、チタン（Ｔｉ）、白金（Ｐｔ）、あるいはチタンを含む合金、白金を含む合金、もしくはこれらの金属の複合材を用いることができる。不溶解性電極材として、たとえばチタン、チタンを基材とする白金コーティング材料などを用いてもよい。絶縁層３２は、基部３１の表面を被覆する。絶縁層３２には、接触部３ａを露出させる開口部が形成されている。図２に示した接触部３ａは平面であり、その平面形状はたとえば円形状である。接触部３ａの平面形状は多角形状など任意の形状でもよい。

電極移動部１１は、第２電極３を、図１に示しためっき処理用の第１の位置と、めっき処理対象物２０を保持部７に搭載するときあるいは保持部７からめっき処理対象物２０を搬出するときに保持部７上から後退した第２の位置との間で移動可能になっている。電極移動部１１の構成は、任意の構成を採用できる。たとえば、電極移動部１１は第２電極３を移動させるための駆動用モータやアクチュエータを含んでいてもよい。また、電極移動部１１を用いることなく、作業者が第２電極３を第１の位置と第２の位置との間で異動させてもよい。

極性切替部４は、第１〜第５端子４１〜４５を有する。極性切替部４は、第１状態と第２状態とを切替え可能になっている。第１状態では、第１端子４１が第３端子４３および第５端子４５と接続され、また、第２端子４２が第４端子４４と接続されている。第２状態では、第１端子４１が第４端子４４と接続され、第２端子４２が第３端子４３および第５端子４５に接続されている。第３端子４３および第５端子４５はそれぞれ配線８、１０を介して第１電極と接続されている。第４端子４４は配線９を介して第２電極３と接続されている。

電源５は正極端子５１と負極端子５２とを有する。正極端子５１は極性切替部４の第１端子４１と配線を介して接続されている。負極端子５２は極性切替部４の第２端子４２と配線を介して接続されている。電源５は、極性切替部４を介して第１電極２および第２電極３へ電力を供給する。

制御部１２は、電源５、極性切替部４、電極移動部１１にそれぞれ接続されている。制御部１２は、電源５のＯＮ／ＯＦＦ制御、極性切替部４における第１状態と第２状態との切替制御、また第２電極３を第１の位置と第２の位置との間で移動させるように電極移動部１１の駆動制御などを行う。制御部１２は、極性切替部４を制御することにより、第１電極２に供給される電流と第２電極３に供給される電流との極性を反転させることが可能である。また、制御部１２は、第２電極３へ供給する電流の電圧の値を、基部３１を構成する不溶解性電極材の溶解電圧より低い値に制御可能である。

＜めっき装置の作用効果＞
図１および図２に示しためっき装置１００は、上記のような構成を備えているので、めっき処理対象物２０（図５参照）に第２電極３の接触部３ａを接触させて第１電極２と第２電極３とに所定の電流を流すことで、めっき処理対象物２０の表面にめっき膜２１（図７参照）を形成することができる。たとえば、制御部１２により極性切替部４を第１状態に設定することにより、第１電極２を正極とし、第２電極３を負極とすることができる。この結果、第２電極３が接触して給電するめっき処理対象物２０の表面に金属のめっき膜２１を形成することができる。このとき、後述するように第２電極３の接触部３ａ表面にもめっき膜２１が形成される。

ここで、第２電極３の基部３１が不溶解性電極材により構成されているので、第２電極３をめっき液６に接触させた状態で、めっき処理の後に第２電極３へめっき処理時とは逆の極性の電流を印加してもよい。このようにすれば、第２電極３表面に形成されていためっき膜２１（図７参照）を第２電極３から剥離することができる。たとえば、制御部１２により極性切替部４を制御して、第１電極２を負極とし、第２電極３を正極として、第２電極３の表面からめっき膜２１を剥離させることができる。この結果、第２電極３の表面にめっき膜２１が蓄積することを避けることができるので、安定してめっき処理を繰り返すことができる。したがって、従来の治具を用いた場合のようなメンテナンスが不要となるので、めっき製品の製造コストの増大を抑制できる。

また、上記のように制御部１２は、極性切替部４を制御することで第１電極２に供給される電流と第２電極３に供給される電流との極性を反転させることが可能である。このため、めっき処理後に上述のように第２電極３からめっき膜２１を剥離させる処理を容易に行うことができる。

また、上記のように、制御部１２が電源５を制御することで、第２電極３へ供給する電流の電圧の値を不溶解性電極材の溶解電圧より低い値に制御可能である。この場合、第２電極３からめっき膜２１を剥離するために第２電極３へ電流を印加するときに、当該電流の電圧を基部３１の材料である不溶解性電極材の溶解電圧より低くしておくことができる。このため、めっき膜２１を第２電極３から剥離するときに第２電極３の基部３１がめっき液６へ電界溶出することを抑制できる。この結果、第２電極３を長期間安定して使用することができる。

＜めっき方法およびめっき製品の製造方法＞
図３は、図１に示しためっき装置１００を用いためっき製品の製造方法を説明するためのフローチャートである。図４は、図３に示しためっき製品の製造方法を説明するための模式図である。図５は、図３のめっき工程（Ｓ２０）を説明するための模式図である。図６は、図５における第２電極３とめっき処理対象物２０との拡大断面模式図である。図７は、図３のめっき工程（Ｓ２０）において、めっき処理対象物２０の表面および第２電極３の表面にめっき膜２１が形成された状態を説明するための模式図である。図８は、図３の第２電極３の接触部の部分拡大模式図である。図９〜図１２は、図３の電極からめっき膜を剥離する工程（Ｓ３０）を説明するための模式図である。図１０は、工程（Ｓ３０）の初期状態を説明するための模式図である。図１１は、工程（Ｓ３０）の途中段階の状態を説明するための模式図である。図１２は、工程（Ｓ３０）の終了時点での状態を説明するための模式図である。

図３〜図１２を参照しながら、本実施形態に従っためっき製品の製造方法およびめっき方法を説明する。まず、図３に示すように準備工程（Ｓ１０）を実施する。この工程（Ｓ１０）では、めっき製品となるべきめっき処理対象物２０（図４参照）を準備する。そして、図４に示すように、当該めっき処理対象物２０をめっき装置１００の保持部７上に配置する。このとき、めっき処理対象物２０はめっき液６に浸漬された状態となっている。保持部７の構成としては、任意の構成を採用できるが、たとえば図４に示すように保持部７がめっき処理対象物２０を支持するガイド部材７１と、当該ガイド部材７１が接続されめっき処理対象物２０を搭載するベース部とを含んでいてもよい。ガイド部材７１は、図４に示すように少なくとも表面が絶縁層により構成された棒状の部材であってもよい。複数のガイド部材７１が互いに間隔を隔てて上方に延びるようにベース部に接続され、当該ベース部の上方に開口した空間を形成していてもよい。また、ベース部およびガイド部材７１を構成する材料は、絶縁材料であってもよく、たとえば塩化ビニルやフッ素樹脂などの樹脂材料であってもよい。このような絶縁材料を用いることで、保持部７にはめっき膜が形成されず、後述する参考例の冶具１７０（図１３参照）のようなメンテナンスの必要性が低い。

めっき処理対象物２０はたとえばリードフレームなどの電子機器部品であってもよい。めっき処理対象物２０はロボットアームなど任意の構成の搬送装置により保持部７上に搬送される。そして、保持部７上に搭載されためっき処理対象物２０に対して、図５および図６に示すように第２電極３の接触部３ａを接触させる。これは、制御部１２により電極移動部１１を制御して第２電極３の位置を変更することにより実現できる。

次に、図３のめっき工程（Ｓ２０）を実施する。この工程（Ｓ２０）では、制御部１２により極性切替部４が第１状態となっている。そのため、図５に示すように第１電極２が正極となり、第２電極３が負極となる。この結果、図７および図８に示すように、めっき処理対象物２０の表面にめっき膜２１が形成される。このとき、図７に示すように第２電極３の接触部３ａの表面上にも、めっき膜２１が形成される。このとき、図８に示すように、接触部３ａの表面近傍では、不溶解性電極材からなる基部３１の表面に不導体膜３１ａが形成されている。そして、めっき膜２１は当該不導体膜３１ａ上に形成されている。このようにめっき処理対象物２０の表面に所定の厚さのめっき膜２１が形成された後、電源５からの電力供給を停止してめっき膜２１の形成を終了する。その後、制御部１２が電極移動部１１を制御して第２電極３を第２の位置に移動させる。この状態で、保持部７上からめっき膜２１が形成されためっき処理対象物２０を取り出す。

次に、図３の電極からめっき膜を剥離する工程（Ｓ３０）を実施する。この工程（Ｓ３０）では、制御部１２により極性切替部４が第２状態に切替えられている。また、制御部１２が電極移動部１１を制御して第２電極３を第１の位置に移動させる。この結果、図９に示すように第２電極３が正極となり、第１電極２が負極となる。この状態で電源５から第１電極２および第２電極３へ電力を供給する。なお、工程（Ｓ３０）は工程（Ｓ２０）を実施した後必ず行ってもよいし、工程（Ｓ２０）を複数回実施してから工程（Ｓ３０）を実施するようにしてもよい。

この結果、第２電極３に形成されていためっき膜２１を構成する金属は、プラス電解により電解液であるめっき液６へ溶解し、金属イオンとなる。一方、第２電極３の基部３１はチタンや白金などの不溶解性電極材により構成されているので、上述したようにその表面に大気中で薄く安定した不導体膜３１ａが形成されている。この不導体膜３１ａについては、プラス電解による溶解が起こりにくく、めっき膜２１を構成する金属の溶解電圧より高い電圧でなければ電解はほとんど起こらない。また、基部３１を構成する不溶解性電極材は空気に触れると不導体膜３１ａを形成するので、基部３１の接触部３ａにおいてキズや摩耗が生じても不導体膜３１ａが再生する。

ここで、この工程（Ｓ３０）では、基部３１を構成する不溶解性電極材の溶解電圧より低い一定電圧で第２電極３への通電を行うことにより、選択的にめっき膜２１を構成するめっき金属のみを電解除去する事が可能である。以下、図１０〜図１２を参照しながら具体的に説明する。なお、図１０〜図１２では、第２電極３へ供給される電流の電流値と電圧値とを模式的に示すため、それぞれ第２電極に供給される電流の電流値を示す電流計６２と電圧値を示す電圧計６１とが模式的に表示されている。

まず、工程（Ｓ３０）のスタート時には、図１０に示すように第２電極３へ供給する電流は一定電圧となるように制御される。通電開始時には、電流値も所定の値を示す。このように第２電極３を正極となるように電流を流すことで、めっき膜２１を構成する金属がめっき液６中に電解溶解していく。このとき、設定される電圧値は、不溶解性電極材料の溶解電圧以下となるように設定される。

次に、図１１に示すように、時間が経つにつれて、第２電極３の表面からめっき膜２１のめっき金属が除去されていく。この結果、第２電極３に供給される電流の電流値が徐々に下がっていく。なお、当該電流の電圧値は一定となるように制御されている（定電圧制御）。

次に、図１２に示すように、第２電極３の表面からめっき膜２１のめっき金属が電解溶解して消失すると、電解剥離工程は完了する。また、このとき第２電極３に流れる電流の電圧値は、上述のように基部３１を構成する不溶解性電極材の溶解電圧以下、より好ましくは不溶解性電極材の溶解電圧より低い値であるため、第２電極３へ流れる電流は０Ａとなり、めっき膜２１の電解反応は自動的に停止する。なお、このように電解反応が自動的に停止したことを条件として、電極移動部１１により第２電極３を第２の位置に移動させてもよい。

上述しためっき方法を異なる観点から言えば、本実施形態に係るめっき方法は、上記めっき装置１００を用いためっき方法であって、以下の工程を実施する。すなわち、保持部７に、めっき液６に浸漬した状態でめっき処理対象物２０を配置する（Ｓ１０）。第２電極３を、保持部７に保持されためっき処理対象物２０に接触させる（Ｓ１０）。第１電極２と第２電極３とに電流を供給することにより、めっき処理対象物２０の表面にめっき膜２１を形成する（Ｓ２０）。めっき膜２１が形成されためっき処理対象物２０を保持部から取り出す（Ｓ２０）。取り出す工程の後、第１電極２および第２電極３をめっき液６に接触させた状態で、めっき膜２１を形成する工程とは逆の極性の電流を第１電極２および第２電極３に供給することにより、第２電極３の接触部３ａに形成されていためっき膜２１を第２電極３から除去する（Ｓ３０）。

また、異なる観点から言えば、図３に示した本開示に従っためっき製品の製造方法では、以下の工程を実施する。すなわち、めっき製品となるべきめっき処理対象物２０を準備する（Ｓ１０）。めっき処理対象物２０に、上記めっき方法を用いてめっき膜２１を形成する（Ｓ２０〜Ｓ３０）。

＜めっき方法およびめっき製品の製造方法の作用効果＞
このようにすれば、めっき処理対象物２０の表面にめっき膜２１を形成するめっき処理後に、第２電極３からめっき膜２１を除去できるので、第２電極３表面にめっき膜２１が蓄積することを避けることができる。つまり、めっき膜２１をめっき処理対象物２０に形成する工程と、第２電極３からめっき膜２１を除去する工程とを交互に行えば、第２電極３にめっき膜２１が堆積することを防止できる。また、上記方法で用いるめっき装置１００では、めっき処理対象物２０へ電流を供給する第２電極３と、めっき処理対象物２０を保持する保持部７とが別部材とされている。この点で、以下に説明する参考例のように保持具と電流を供給するための電極とを兼ねた冶具を用いる場合とは異なる。

以下、図１３〜図１５を用いて参考例に係るめっき装置およびめっき方法について説明する。なお、図１３は、参考例としてのめっき装置２００における冶具１７０にめっき処理対象物２０を設置する工程を説明するための模式図である。図１４は、参考例としてのめっき装置２００におけるめっき処理を説明するための模式図である。図１５は、参考例としてのめっき装置２００における冶具１７０の問題点を説明するための模式図である。

図１３および図１４に示すめっき装置２００は、めっき浴槽２０１と、第１電極２０２と、冶具１７０と、電源２０５とを主に備える。めっき浴槽２０１はめっき液を保持する。１組の第１電極２０２はめっき浴槽２０１に保持されるめっき液に接触する。１組の第１電極２０２は、めっき処理対象物２０を保持する冶具１７０を挟むように、めっき浴槽１の内部に配置されている。第１電極２０２は板状の形状を有している。冶具１７０は、めっき液６中においてめっき処理対象物２０を保持する。冶具１７０は、図１３に示すように四角形状のベース部１７１と、当該ベース部１７１に接続されめっき処理対象物２０を挟んで保持するための４つの保持部１７２と、当該保持部１７２の先端部においてめっき処理対象物２０と電気的に接触する通電部１７３とを含む。通電部１７３以外の冶具１７０の表面は絶縁コーティングにより覆われている。冶具１７０では、対向配置された通電部１７３の間に挟まれるようにめっき処理対象物２０が保持される。

図１３に示すように、冶具１７０に保持されためっき処理対象物２０は、図１４に示すようにめっき装置２００のめっき浴槽２０１内部に配置される。冶具１７０は電源２０５の負極２５２に電気的に接続される。第１電極２０２は電源２０５の正極２５１に接続される。この結果、電源２０５から第１電極２０２および冶具１７０に電力を供給することにより、めっき処理対象物２０の表面にめっき膜を形成できる。

その後、電源２０５からの電力供給を停止して、冶具１７０ごとめっき処理対象物２０をめっき浴槽２０１から取り出す。そして、冶具１７０からめっき処理対象物２０を取り外す。そして、冶具１７０は次の新たなめっき処理対象物２０を取り付けられ、再度めっき装置２００でのめっき処理に利用される。

ここで、上記参考例における冶具１７０では、特に通電部１７３などにめっき膜が堆積する。このようなめっき膜の堆積はめっき処理工程の品質にも影響を与える可能性がある。したがって、めっき装置２００とは別の装置を準備し、冶具１７０に付着しているめっき膜を定期的に除去することが必要である。

また、上記のように冶具１７０は繰り返し利用されるため、図１５に示すようにベース部１７１の絶縁被膜が劣化または剥離した部分１７５が発生する恐れがある。また、保持部１７２の先端部に位置する通電部１７３は、複数のめっき処理対象物２０を処理するために繰り返し応力を受けたり、上記の付着めっき膜の除去工程を繰り返し実施しるため、図１５に示すように折損するといった可能性もある。この場合、冶具１７０について定期的なメンテナンスや交換が必要である。

つまり、上記参考例に係るめっき装置およびめっき方法では、めっき処理対象物２０を搬送する役割と、当該めっき処理対象物２０に通電するための電極の役割との両方を冶具１７０が有している。このため、別の装置を用いて当該冶具１７０からめっき膜を除去したり、当該冶具１７０のメンテナンスが必要となり、冶具管理のためのコストや手間がかかる。

一方、本実施の形態に係るめっき方法またはめっき製品の製造方法ではそのような別の装置などは不要である。このため、上述した参考例のような冶具１７０を用いた場合よりも、本実施の形態に係る方法ではプロセスコストを低減できる。

また、上述した参考例のめっき装置２００におけるめっき方法のプロセスより、本実施形態に係るめっき方法でのプロセスは簡略化できる。たとえば、参考例のめっき方法では、１）めっき処理対象物を準備する製品投入、２）冶具への製品設置、３）前処理、４）めっき処理、５）後処理、６）乾燥、７）冶具から製品の取外し、８）製品搬出、９）冶具からのめっき膜剥離、１０）冶具の乾燥、といった１０段階のプロセスが必要である。また、参考例のめっき方法では、冶具１７０の交換やメンテナンスも必要になる。

一方、本実施の形態に係るめっき方法では、１）製品投入、２）前処理、３）めっき処理＋第２電極３からのめっき膜剥離処理、４）後処理、５）乾燥、６）製品搬出、といった６段階のプロセスとなる。また、本実施の形態に係るめっき方法では、冶具を利用しないので参考例のような冶具のメンテナンスの必要性は無い。

本実施の形態に係るめっき方法において、めっき膜２１を第２電極３から除去する工程（Ｓ３０）では、第２電極３に供給される電流の電圧の値が、不溶解性電極材の溶解電圧より低い値に設定されている。このため、めっき膜２１の除去処理時に第２電極３の基部３１がめっき液６へ電解溶出することを抑制できる。この結果、第２電極３を長期間安定して使用することができる。

また、本実施の形態に従っためっき製品の製造方法では、めっき処理対象物２０に、上記めっき方法を用いてめっき膜２１を形成している。このため、参考例に示した冶具１７０を用いた場合のように冶具１７０の管理コストなどが不要になるので、より低コストでめっき製品を製造できる。

実施の形態２．
＜めっき装置の構成および作用効果＞
図１６は、本発明の実施の形態２に係るめっき装置の第２電極３の断面模式図である。図１６に示す第２電極３を備えるめっき装置は、第２電極３の構成以外の構成は図１に示しためっき装置１００と同様の構成を備える。本実施形態に係るめっき装置では、第２電極３の接触部３ａが外側に凸の曲面状の形状を有する点で、図１に示しためっき装置１００と異なっている。

本実施形態に係るめっき装置は、基本的に図１に示しためっき装置と同様の効果を得られるとともに、第２電極３の接触部３ａが外側に凸の曲面状となっているので、当該接触部３ａが摩耗した場合であっても、めっき処理対象物２０と確実に接触部３ａが接触することができる。

今回開示された実施の形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施の形態の説明ではなくて請求の範囲によって示され、請求の範囲と均等の意味及び範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

この発明は、リードフレームなどのめっき製品のめっき処理に特に有利に適用できる。

１，２０１ めっき浴槽、２，２０２ 第１電極、３ 第２電極、３ａ 接触部、４ 極性切替部、５，２０５ 電源、６ めっき液、７，１７２ 保持部、８，９ 配線、１１ 電極移動部、１２ 制御部、２０ めっき処理対象物、２１ めっき膜、３１ 基部、３１ａ 不導体膜、３２ 絶縁層、４１ 第１端子、４２ 第２端子、４３ 第３端子、４４ 第４端子、４５ 第５端子、５１ 正極端子、５２ 負極端子、６１ 電圧計、６２ 電流計、７１ ガイド部材、１００，２００ めっき装置、１７０ 冶具、１７１ ベース部、１７３ 通電部、１７５ 部分、２５１ 正極、２５２ 負極。

Claims (7)

1. めっき液を保持するめっき浴槽と、
   前記めっき浴槽に保持される前記めっき液に接触する第１電極と、
   前記めっき液中においてめっき処理対象物を保持する保持部と、
   前記保持部に保持された前記めっき処理対象物に接触する第２電極とを備え、
   前記第２電極は、
   不溶解性電極材からなり、前記めっき処理対象物と接触する接触部を有する基部と、
   前記基部の表面を被覆する絶縁層とを含み、
   前記絶縁層には、前記接触部を露出させる開口部が形成されている、めっき装置。
2. 前記第１電極に供給される電流と前記第２電極に供給される電流との極性を反転させることが可能な制御部をさらに備える、請求項１に記載のめっき装置。
3. 前記制御部は、前記第２電極へ供給する電流の電圧の値を前記不溶解性電極材の溶解電圧より低い値に制御可能である、請求項２に記載のめっき装置。
4. 前記不溶解性電極材は、チタンまたは白金を含む、請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載のめっき装置。
5. 請求項１に記載のめっき装置を用いためっき方法であって、
   前記保持部に、前記めっき液に浸漬した状態で前記めっき処理対象物を配置する工程と、
   前記第２電極を、前記保持部に保持された前記めっき処理対象物に接触させる工程と、
   前記第１電極と前記第２電極とに電流を供給することにより、前記めっき処理対象物の表面にめっき膜を形成する工程と、
   前記めっき膜が形成された前記めっき処理対象物を前記保持部から取り出す工程と、
   前記取り出す工程の後、前記第１電極および前記第２電極を前記めっき液に接触させた状態で、前記めっき膜を形成する工程とは逆の極性の電流を前記第１電極および前記第２電極に供給することにより、前記第２電極の前記接触部に形成されていためっき膜を前記第２電極から除去する工程とを備える、めっき方法。
6. 前記めっき膜を前記第２電極から除去する工程では、前記第２電極に供給される電流の電圧の値が、前記不溶解性電極材の溶解電圧より低い値に設定されている、請求項５に記載のめっき方法。
7. めっき製品となるべきめっき処理対象物を準備する工程と、
   前記めっき処理対象物に、請求項５に記載のめっき方法を用いてめっき膜を形成する工程とを備える、めっき製品の製造方法。
   

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