JPH09511590A - ビーム分割装置 - Google Patents

ビーム分割装置

Info

Publication number
JPH09511590A
JPH09511590A JP8510517A JP51051796A JPH09511590A JP H09511590 A JPH09511590 A JP H09511590A JP 8510517 A JP8510517 A JP 8510517A JP 51051796 A JP51051796 A JP 51051796A JP H09511590 A JPH09511590 A JP H09511590A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
polarization
deflection unit
beam splitter
partial beams
optical axis
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP8510517A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2994040B2 (ja
Inventor
ツェレンカ トーマス
Original Assignee
ライノタイプ−ヘル アクチエンゲゼルシャフト
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by ライノタイプ−ヘル アクチエンゲゼルシャフト filed Critical ライノタイプ−ヘル アクチエンゲゼルシャフト
Publication of JPH09511590A publication Critical patent/JPH09511590A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2994040B2 publication Critical patent/JP2994040B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/10Scanning systems
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/28Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for polarising
    • G02B27/283Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for polarising used for beam splitting or combining
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/003Alignment of optical elements

Abstract

(57)【要約】 本発明は、光ビームを2つの部分ビームに分割するための装置に関する。この装置は、光ビーム(5)を生成するための光源(1)と、第1の偏光変換器(9)と、光軸(3)を中心に回転する偏向ユニット(2)とから成っており、偏向ユニットにおいて光ビーム(5)から2つの部分ビーム(6,7)が生成される。偏向ユニット(2)は、偏光ビームスプリッタ(12)と、後設されている第2の偏光変換器(13)と、有利にはプリズムとして実現されているリフレクタ(14)とを含んでいる。偏向ユニット(2)において、位置調整駆動部(23)を用いて偏光ビームスプリッタ(12)ないし偏向ユニット(2)を傾倒しおよび/またはレンズ(15,16)をシフトすることによって部分ビーム(6,7)の位置ずれの自動補正が実施される。部分ビーム(6,7)の位置ずれはその集束面において測定され、かつ相応の補正値がトランス(24)を用いて回転する偏向ユニット(2)における位置調整駆動部(23)に伝達される。

Description

【発明の詳細な説明】 ビーム分割装置 本発明は、複製技術の分野に関しかつ光ビームを2つの部分ビームに分割する ための装置に係る。 この種のビーム分割装置は例えば、原画走査装置または記録装置に対する光ビ ーム走査装置において使用することができる。 入力スキャナとも称される原画走査装置では、光ビームは走査すべき原画を点 毎および行毎に(即ち、画素毎に走査線に沿って順次)掃引走査しかつ原画によ って反射されたまたは原画を透過した走査光が光電変換器において画像信号に変 換される。 記録器、露光器または出力スキャナとも称される記録装置では、光ビームは画 像信号によって強度変調されかつ強度変調された光ビームは点毎および行毎に感 光性の記録材料の上に案内される。 平床形の走査または記録装置では、原画ないし記録材料に対する保持体は、光 ビーム走査装置に対して相対的に移動する扁平な面であり、光ビームはこの面を 点毎および行毎に掃引走査する。 内部ドラム形の走査または記録装置では、原画ないし記録材料に対する保持体 は、定置の、桶形円筒体部分として形成されている。光ビーム走査装置は桶形円 筒体部分の長手軸線に対して平行に移動し、かつ光ビームはこの長手軸線に対し て垂直に桶形円筒体部分上を半径方向に点毎および行毎にガイドされる。 ドイツ連邦共和国特許出願公開第4128468号公報から既に、内部ドラム 形の記録装置において、光ビームを2つの部分ビームに分割するための装置を備 えた光ビーム走査装置が公知である。ビームスプリッタ装置は実質的に、定置の 光源と、光軸を中心に回転する偏向ユニットとを有している。偏向ユニットは、 偏光ビームスプリッタ、偏光変換器および平面鏡から成っている。 定置の光源から到来する、偏光された光ビームは、回転する偏向ユニットにお いて偏光ビームスプリッタによって2つの部分ビームに分割され、これらは画像 信号によって強度変調される。2つの強度変調された部分ビームは、半径方向に ずらされて偏向ユニットから出て、桶形露光装置に固定されている記録材料にお いて集束されかつ記録材料を点毎および行毎に露光される。2つの強度変調され た部分ビームによって、偏向ユニットの回転毎に、記録材料上の2行が露光され 、これにより高い記録速度が実現される。 高い記録品質も実現するために、2つの部分ビームは、記録面において、2つ の部分ビームが合致している目標位置に対する位置ずれを行方向に対して垂直で ある方向において有していてはならない。即ち、この ような位置ずれがあると、記録材料に露光される行は相互に同じ間隔に延在する ようにならず、結果として目障りな階調値変動が生じることになり、このために 記録品質が著しく低下する。 この公知のビームスプリッタ装置は、部分ビームが偏向ユニットの半回転の後 その都度行方向に対して垂直である方向に位置ずれが生じることなく記録面にお ける行上に到来するように、定置の光源において発生される光ビームを光軸ない し偏向装置の回転軸線の方向に非常に正確に位置整定しなければならないという 欠点を有している。しかし公知のビームスプリッタ装置において光ビームが正確 に配向されていなければ、2つの部分ビームは目標値に関して反対方向に配向さ れている位置ずれを有し、即ち、ビーム位置は、目標位置の左側および右側に位 置し、これにより比較的大きな位置エラーが生じる。しかし正確な位置整定は煩 雑でしかも時間と共に失われるので、場合によっては後からの位置整定が必要に なる。偏光ビームスプリッタおよび平面鏡が偏向ユニットにおいて製造公差に基 づいて相互に正確に配向されていないときも、部分ビームの障害となる位置ずれ が生じる。光学素子の不正確な配向によって生じるエラーを補償するために、公 知のビームスプリッタ装置は例えば、光源と偏向ユニットとの間の光路に配設さ れている、楔形プレートの形の調整設定可能な光学的整定装置を有している。し かしこの形式の整定は比較的煩雑でかつ不正確である。というのは、このような 位置整定は、ビームスプリッタ装置が回転しないときにしか実施することができ ないからである。 それ故に本発明の課題は、ビーム分割装置を、部分ビーム相互の障害となる位 置エラーが自動的に補正されかつ正確なビーム分割が実現されるように改良する ことである。 この課題は本発明によれば各請求項に記載の特徴によって解決される。 次に本発明を第1図ないし第5図に基づいて詳細に説明する。 その際: 第1図は、ビームスプリッタ装置の実施例の概略図であり、 第2図は、ビーム位置補正が行われるビームスプリッタ装置の実施例の概略図で あり、 第3図は、ビーム位置補正が行われるビームスプリッタ装置の別の実施例の概略 図であり、 第4図は、ビームスプリッタ装置に対する用途を示す概略図であり、 第5図は、ビームスプリッタ装置の改良例を示す概略図である。 第1図は、定置の光源1と偏向ユニット2とから成るビームスプリッタ装置の 実施例を示している。定置 の光源1は、例えば半導体レーザダイオードである。偏向ユニット2は光軸3を 中心に回転可能に支承されておりかつモータ4によって駆動される。定置の光源 1において、光軸3に平行に延在している光ビーム5が発生される。光ビーム5 は、偏向ユニット2において光軸3に対して半径方向に延在している2つの部分 ビーム6,7に分割される。 ビーム分割は、偏光されていないまたは偏光された光ビーム5によって実現す ることができる。実施例において、光源1は直線偏光された光ビームを発生し、 それが円偏光された光ビームに変換される。基本的に、直線偏光されたまたは円 偏光された光ビーム5を発生するために、偏光されていない光ビームを発生する いずれの別の光源も偏光子と接続して使用することができる。 光源1と偏向ユニット2との間で光軸3上に、レンズ系8および直線偏光を円 偏光に変換するための第1の偏光変換器9が配設されている。ビーム分割のため に偏光されていないまたは既に円偏光されている光ビームが用いられるときは、 第1の偏光変換器9を省略することができる。 図示の実施例において、レンズ系8は平行な、即ち予め集束されていない光ビ ーム5を発生し、かつ偏光変換器9は波長板、例えば4分の1波長板(λ/4板 )として形成されている。 偏向ユニット2は実質的に、偏光ビームスプリッタ12、第2の偏光変換器1 3およびリフレクタ14から成っている。光エレメントは光軸3上に相前後して 配設されておりかつコンパクトなユニットに、例えば接着によってまとめられて いる。 偏光ビームスプリッタ12は偏光層17を有している。この偏光層から偏光さ れた光ビームが偏光方向に依存して反射されるかまたは透過される。偏光層17 は、通例、種々異なった屈折率を有する複数の誘電体層から形成される。択一的 に、偏光層17は、合成樹脂またはその他の適当な材料から成る偏光されたフィ ルムから形成することができる。偏光層17に対する支持体として、ガラス板ま たは実施例の場合のように、2つの3角形プリズム18,19から構成された立 方体を使用することができ、その際偏光層17は、3角形プリズム18,19の 互いに向かい合った境界面の領域に配設されている。 第2の偏光変換器13は例えば、複屈折板であって、リフレクタ14と共に、 直線偏光された光ビームの偏光面の90°回転を行う。 明細書冒頭で説明した、定置の光源1から出る光ビーム5の、光軸3の方向に おける煩雑な整定を回避するために、リフレクタ14は本発明によれば、相互に 90°の角度において存在する、少なくとも2つ鏡面を有するプリズムとして実 現されている。この種のプ リズムでは、任意の角度で入射する光ビームは180°偏向されて入射光ビーム に対して平行に再びプリズムから出射する。プリズムとして有利には、実施例に おいて図示されているように、屋根形プリズム(Dachkantprisma)またはトリプ ルプリズムないしコーナキューブプリズムを使用することができる。トリプルプ リズムは、1つの頂点に集まっている、相互に90°の関係にある3つの鏡面を 有している。任意の角度でトリプルプリズムに入射する光ビームは3回の反射後 180°だけ偏向されて入射光ビームに対して平行に戻り、その際の方向変換は トリプルプリズムが任意の軸線を中心に回転した場合も変わらない。 部分ビーム6,7を基準面に集束するために、ビームスプリッタ装置は光学手 段を有している。 予め集束されていない光ビーム5が分割される図示の実施例において、第1の 部分ビーム6はそのビーム路に配設されているレンズ15によって基準面に集束 される。これに対して択一的に、レンズ15を、レンズ系8と偏向ユニット2と の間の光ビーム5のビーム路に、例えば回転する偏向ユニット2において第1の 偏光変換器9の後ろまたは偏光ビームスプリッタ12の前に配設することもでき る。第2の部分ビーム7は、そのビーム路に配設されているレンズ16によって 基準面に集束される。これに対して択一的に、レンズ16を回転する偏向ユニッ ト2において偏光ビームス プリッタ12とリフレクタ14との間に配設することもできる。それぞれ1つの レンズに代わって、レンズ組み合わせを使用することもできる。 図示の実施例におけるように、予め集束されていない光ビーム5が分割される 場合、第1および第2の部分ビーム6,7の集束のために使用されるレンズは同 じ光学パラメータを有している。これに対してレンズ系8の相応の構成および配 設によって予め集束された光ビームが分割されるとき、第1および第2の部分ビ ーム6,7の集束のための相応のレンズは異なった光学パラメータを有しており 、この場合集束手段は部分ビーム6,7の一方に対して完全に省略することがで きる。 ビームスプリッタ装置の構成の説明に続いて、その動作について詳細に説明す る。 光源1によって発生された直線偏光された光ビーム5はまず、レンズ系8によ ってコリメートされかつそれから第1の偏光変換器9において円偏光された光ビ ーム5に変換される。光ビーム5のこの円偏光によって、偏光ビームスプリッタ 12の偏光層17の偏光作用が偏光ビームスプリッタ12ないし回転する偏向ユ ニット2のその都度の回転角度に無関係であるようになる。 円偏光された光ビーム5は偏光ビームスプリッタ12の偏光層17に入射しか つそこで2つの直線偏光さ れた光成分に分割され、ここで光ビーム5の光出力はほぼ損失なく半減される。 第1の直線偏光された光成分は偏光層17において反射されかつ第1の部分ビー ム6を形成する。光ビーム5が正確な位置整定に基づいて光軸3の方向に延在し かつ反射層17が45°の角度にあれば、第1の部分ビーム6は光軸3に対して 垂直に偏向ユニット2から出てかつ目標位置において基準面に達する。位置整定 がされていないかまたは位置整定が正確に実施されなかったときは、光ビーム5 は光軸3に対して角度を以て偏光層17に到来する。第1の部分ビーム6は垂直 方向から相応の角度偏差を以て偏向ユニット2から出てかつ目標位置に対して位 置的にずれて基準面に達する。 第2の直線偏光された光成分20は偏光ビームスプリッタ12の偏光層17を 通って、リフレクタ14の方向において第2の偏光変換器13にガイドされ、第 2の偏光変換器は直線偏光された光成分20の偏光状態を変化する。光成分20 ′はリフレクタ14によって反射され、その際偏光状態が再び変化される。反射 された光成分20′は新たに第2の偏光変換器13を通過するが、その方向は逆 である。これにより、リフレクタ14の方向に走行する光成分20の偏光面に対 して偏光面は90°だけ回転されることになり、これによりリフレクタ14から 到来する光成分20′は偏光ビームスプリッタの偏光層17において第2の部分 ビーム7として反射される。 光ビーム5が正確な位置整定に基づいてここでも光軸3の方向に延在していれ ば、第2の部分ビーム7は光軸3に対して垂直方向に偏向ユニット2から出てか つ偏向ユニット2の半回転の後に行上の目標位置において基準面に達する。 これに対して光ビーム5が位置整定が行われていないかまたは不正確であるた めに光軸3に対して角度を以て偏光ビームスプリッタ12に傾いて到来するとき 、透過した光成分はまたこの角度で本発明のリフレクタ14に入射しかつリフレ クタそれ自体から、即ちその都度の角度が維持されて、偏光変換器13および偏 光ビームスプリッタ12の偏光層17に戻される。これにより第2の部分ビーム 7は依然として偏向ユニット2から垂線から角度偏差を以て出ていくが、第2の 部分ビームの角度偏差は、目標位置に関して、第1の部分ビーム6の角度偏差と 同じ方向を有している。 従って角度エラーは本発明のリフレクタ14に基づいて2つの部分ビーム6, 7に対して同じ作用をすることによって、有利にも、2つの部分ビーム6,7の 位置ずれの、例えば記録器の記録品質に対する障害となる影響は低減される。 本発明のリフレクタ14の使用は、更に、リフレクタを偏向ユニット2に組み 込む際に生じる位置公差が、平面鏡の位置公差に比べて部分ビーム6,7の位置 ずれに関して問題ないという利点を有している。 2つの部分ビーム6,7の位置ずれを完全に補正しかつ同時に、場合により存 在する組み込み公差を補正するために、付加的に、回転する光偏向器2において 、2つの部分ビーム6,7が常に基準面における目標位置に存在し、この位置に 2つの部分ビーム6,7が集束されるように、自動ビーム位置補正を実施するこ とが提案される。 これにより、例えば記録器において有利にも、偏向ユニット2に到来する光ビ ーム5の角度エラーおよび偏光ビームスプリッタ12の組み込み公差に無関係に 、即ち煩雑な手動位置調整なしに申し分ない記録品質が実現される。 自動ビーム位置補正は有利には、偏光ビームスプリッタ12の偏光層17の傾 き角度の変化および/またはレンズ15,16の少なくとも1つの、実質的に光 軸3の方向におけるシフトによって行われる。 偏光ビームスプリッタ12の偏光層17の傾き角度の変化は偏光ビームスプリ ッタ12の傾倒によって、または偏光ビームスプリッタ12,偏光変換器13お よびリフレクタ14がコンパクトに相互に1つのユニットにまとめられている場 合は、偏向ユニット2全体の傾倒によって実現される。 第2図には、偏光ビームスプリッタ12,偏光変換器13およびリフレクタ1 4がコンパクトに相互に連 結されておりかつ自動的なビーム位置補正において回転する偏光ユニット2全体 の傾き角度制御が実施され、その結果同時に、偏光層17の傾き角度の変化およ びレンズ15,16のシフトが行われる、ビームスプリッタ装置の実施例が図示 されている。自動的なビーム位置補正によって、リフレクタ14は平面鏡として 、または図示されているように、屋根形プリズムないしトリプルプリズムとして 実現することができる。 偏向ユニット2全体は、光軸3を中心とした支承部21を用いて、円筒体の支 持体22に傾倒可能に支承されている。支持体22はモータ4に連結されている 。支持体22に、偏向ユニット2を傾倒するための位置調整駆動部23および少 なくとも1つのトランス24の巻線24aが組み込まれており、トランスの他方 の巻線24b橋自体22から間隔をおいて定置に配設されている。支承部21, 支持体22および位置調整駆動部23の機械的な構造は、回転対称な質量分配が 得られるように実現されなければならない。位置調整駆動部23は例えば、ピエ ゾ式駆動装置または適当な磁歪式駆動装置である。この種の駆動装置は市販され ているものである。トランス24は例えば、1mWより小さな電力しか必要とし ないピエゾ式駆動装置に対するエネルギー伝送を難なく実現する電磁トランスで ある。 2つの部分ビーム6,7相互の位置ずれの検出およ びビーム位置補正に対する相応の補正値の検出は、種々の形式および方法におい て行うことができる。 部分ビーム6,7相互の、基準面(フォーカス面)での位置ずれは、実施例に 図示されているように、位置測定段25を用いて測定することができる。位置測 定段25は例えば、相互に隔離されている2つの感光面を有する差動ホトダイオ ードとして実現されている。差動ホトダイオードの感光面間の境界線は部分ビー ム6,7の偏向方向に延在しておりかつ2つのビーム6,7に対する目標位置に 存在する。入射する部分ビーム6,7によって生成される、差動ホトダイオード のホト電流は比較段26に供給され、比較段は、部分ビーム6,7の、偏向方向 に対して垂直方向の位置ずれに対する尺度としての位置エラー値を生成する。こ の種の位置測定段は例えばドイツ連邦共和国特許出願公告第0054170号公 報に詳細に記載されている。 位置エラー値は調整増幅器27に供給され、調整増幅器はトランス24の定置 の巻線24aに接続されている。調整増幅器27において、位置エラー値は相応 の補正値に変換され、該補正値が、位置調整駆動部23の位置調整の必要な方向 および大きさを決定する。位置調整駆動部23へのエネルギー伝送のために、補 正値から、1次側の交流電圧が形成されかつこれは定置の巻線24aに供給され る。1次側の交流電圧はト ランス24の回転する巻線24bにおいて2次側の交流電圧を誘起し、2次側の 交流電圧は整流器において直流電圧に変換される。位置調整駆動部23に供給さ れる直流電圧は、2つの部分ビーム6,7が基準面における目標位置にある傾倒 角度に達するまで、偏向ユニットを相応に傾倒するように作用する。 部分ビーム6,7の位置ずれの補正のために必要な補正値は例えば、本来の作 動の前の測定フェーズにおいて求められかつ調整増幅器27に記憶される。それ から作動期間中、記憶された補正値が、2つの部分ビーム6,7の連続的な位置 補正のために位置調整駆動部23に伝送される。 位置測定段を用いた部分ビーム6,7の位置ずれの測定は、ビームスプリッタ 装置に対して別個の測定場所だが、有利には、ビームスプリッタ装置が組み込ま れている機器において行われる。ビームスプリッタ装置が露光器または記録器に 使用されるとき、位置ずれ測定に対する基準面は、露光すべきフィルム材料が配 置されている露光面である。この場合、ビーム位置補正に対する位置エラー値な いし補正値は、位置エラー測定に対して択一的に、記録器(露光器)においてま ず、種々異なった前以て決められた補正値によってフィルムがストリップ形状に 露光されかつ最適な補正値を求めるために露光されたフィルムが視認または測定 技術的に評価されるように求めることもできる。 基本的に、支持体22の周囲に1つのトランス24を設けかつ回転毎に補正値 をピエゾ式駆動装置に伝送しさえすれば十分である。というのは、ピエゾ式駆動 装置は容量特性を有しているからである。しかし、回転対称な質量分布のために 、複数のトランス24ないし支持体22と共に回転する複数の巻線24bおよび 定置の巻線24aを設けると効果的である。 偏向ユニット2が傾けられている場合にレンズ15,16が同時にシフトされ ないようにしたい場合、第2図の偏向ユニット2が構造的に相応に変更される。 このために、レンズ15,16は例えば、一方が開放している円筒体のレンズ保 持体に支承することができ、円筒体のレンズ保持体は偏向ユニット2の構成要素 を取り囲みかつその一方の端面が支持体22の外面に固定されているので、レン ズ保持体は偏向ユニット2の傾倒運動と連動しない。 部分ビーム6,7の位置ずれを作動期間中、位置ずれを連続的に測定しかつ相 応の補正値を回転する偏向ユニット2に伝送することによる連続調整によって補 正することも本発明の範囲内にある。 第3図には、自動ビーム位置補正が位置調整駆動部23を用いた、光軸3の方 向におけるレンズ15,16のシフトによって実施される、ビームスプリッタ装 置に対する別の実施例が図示されている。この実施例においても、リフレクタ1 4は平面鏡としてまたは、 図示されているように、屋根形プリズムないしトリプルプリズムとして実現する ことができる。部分ビーム6,7の位置ずれの測定および相応の補正値の、位置 調整駆動部23への伝送は、第2図に説明したように行われる。 第4図には、本発明のビームスプリッタ装置を内部ドラム原理に従って動作す る記録器(露光器)の走査装置28に使用した例が示されている。このような内 部ドラム記録器では、記録材料29は円筒体部分の内壁に桶形露光部30として 固定されている。走査装置28は桶形露光部30の長手軸線31を中心に回転す る。走査装置28は、第1図に図示のビームスプリッタ装置を有している。部分 ビーム6,7は、画像信号によって輝度変調されかつ露光のために記録材料29 上を点毎および行毎にガイドされる。その際走査装置28は図示されていない駆 動装置を用いて長手軸線31の方向に移動する。光ビーム偏向装置のそれぞれの 回転は、動作領域32ないし動作時間間隔および戻り領域33ないし戻り時間間 隔に分割されている。部分ビーム6ないし7の一方がその都度アクティブであり かつ記録材料29の露光のために動作領域32を行の最初から行の終わりまで掃 引する間、その都度アクティブでない方の部分ビームが、戻り領域33において 次の行の始めまで戻される。2つの部分ビーム6,7を用いた記録により、露光 器の利用度は2倍化される 。 これまで説明してきた、露光器に使用されるビームスプリッタ装置において、 2つの露光用部分ビーム6,7はそれぞれ、ビームスプリッタ装置に供給される 入力光ビーム5の光出力の50%を有している。しかし所定の材料の露光のため にしばしば、一層大きな光出力が必要とされる。一層大きな光出力を得るために 、本発明によれば、戻り時間間隔においてその都度アクティブでない部分ビーム 6ないし7の発生を妨げて、光出力の分配が行われず、かつその都度アクティブ な部分ビーム7ないし6が入力光ビーム5の殆ど完全な光出力を有しているよう にすることが提案される。 第5図には、その都度アクティブな部分ビーム7ないし6の光出力を拡大する ためにその都度の戻り時間間隔における部分ビーム6ないし6が遮断可能である ビームスプリッタ装置の有利な実施例が示されている。 第5図のビームスプリッタ装置は第1図のビームスプリッタ装置とは、定置の 第1の偏光変換器9が制御可能な偏光変換器34によって置換されておりかつ回 転する偏向ユニット2において偏光ビームスプリッタ12の前に偏光変換器35 が配設されており、該偏光変換器は偏光ビームスプリッタ12とは例えば接着に より結合することができる点で相異している。更に、光軸に、プログラミング可 能な回転パルス発生器36 が配設されており、該回転パルス発生器はモータに機械的に連結されておりかつ 2レベルの制御信号を導線37を介して制御可能な偏光変換器34に供給する。 回転パルス発生器36は、偏向ユニット2のそれぞれの回転において、2レベ ルの制御信号が一方の部分ビーム6ないし7の動作領域(第4図の32)の期間 に一方の信号レベルを有しかつ戻り領域(第4図の33)の期間に他方の信号レ ベルをとるようにプログラミング可能である。従って、部分ビーム6,7の動作 領域および戻り領域の長さは有利にはプログラミングの形式によって相互に無関 係に決められる。 制御可能な偏光変換器34は、電光変調器を含んでおり、該変調器は入射した 光ビームの直線偏光を円偏光に変換しかつ導線37における制御信号のその都度 の信号レベルに依存して円偏光の回転方向を切り換える。偏光変換器34は、波 長板、例えば4分の1波長板として実現されている。 光源11から到来する光ビーム5の直線偏光は制御可能な偏光変換器34にお いてまず、円偏光に変換される。それから制御信号のその都度の信号レベルに依 存して、円偏光の回転方向が切り換えられる。円偏光における光ビーム5の直線 偏光の変換および円偏光の回転方向の変化は勿論、別個のユニットにおいて行う こともできる。 それから、偏向ユニット2と共に回転する偏光変換 器35において、光ビーム5の円偏光は、円偏光のその都度の回転方向に依存し て、第1の偏光状態を有する直線偏光、例えば0°の偏光面を有する直線偏光に 、または第2の偏光状態を有する直線偏光、例えば90°の偏光面を有する直線 偏光に変換される。 直線偏光された光ビーム5が第1の偏光状態を有しているとき、光ビーム5は 偏光ビームスプリッタ12の偏光層17にて反射されるが、ここを透過しないの で、光ビーム5のほぼ完全な光出力を有する第1の部分ビーム6のみが生じる。 これに対して直線偏光された光ビーム6が第2の偏光状態を有しているとき、光 ビーム5は偏光ビームスプリッタ12の偏光層17を透過するが、そこでは反射 されないので、光ビーム5のほぼ完全な光出力を有する第2の部分ビーム7のみ が生じる。 本発明のビームスプリッタ装置は、内部ドラム形または平床式の記録装置に使 用することができる。ビームスプリッタ装置を、原画走査装置に使用することも 本発明の範囲内にある。
【手続補正書】特許法第184条の8第1項 【提出日】1996年7月30日 【補正内容】 請求の範囲 1.光軸(3)に沿って光ビーム(5)を生成するための定置の光源(1)と 、 前記光軸(3)において前記光源(1)の前方に配設されている対物レンズ(8 )と、 前記光ビーム(5)が供給される、前記光軸(3)を中心に回転可能な偏向ユニ ット(2)と を備え、該偏向ユニットは、 偏光ビームスプリッタ(12)と、該偏光ビームスプリッタ(12)の後方に前 記光軸(3)に配設されている偏光変換器(13)およびリフレクタ(14)と 、基準面に前記部分ビーム(6,7)を集束する手段とを含んでおり、前記偏光 ビームスプリッタは、偏光された光ビーム(5)を反射された、前記光軸(3) に対して実質的に垂直方向に延在する、第1の部分ビーム(6)としての偏光さ れた光成分と、透過された、実質的に前記光軸(3)の方向に延在する偏光され た光成分(20)とに分割し、前記偏光変換器(13)およびリフレクタ(14 )は、前記透過された光成分(20)を偏光方向に関して90°だけ位相が回転 されて偏光された光成分(20′)に変換し、前記偏光ビームスプリッタ(12 )に戻される回転された偏光された光成分(20″)は該偏光ビームスプリッタ (12)において第2の部分ビーム(7)として反射 される、光ビームを2つの部分ビームに分割するための装置において、 前記部分ビーム(6,7)相互の相対的な位置ずれを補正するために、前記リフ レクタ(14)は相互に90°の角度において存在する少なくとも2つの鏡面を 有するプリズムとして実現されており、該プリズムは前記偏光変換器(13)を 該プリズム(14)の方向に通ってきた光成分(20′)を該偏光変換器(13 )に戻す ことを特徴とする装置。 2.光軸(3)に沿って光ビーム(5)を生成するための定置の光源(1)と 、 前記光軸(3)において前記光源(1)の前方に配設されている対物レンズ(8 )と、 前記光ビーム(5)が供給される、前記光軸(3)を中心に回転可能な偏向ユニ ット(2)と を備え、前記偏向ユニットは、 偏光ビームスプリッタ(12)と、該偏光ビームスプリッタ(12)の後方に前 記光軸(3)に配設されている偏光変換器(13)およびリフレクタ(14)と 基準面に前記部分ビーム(6,7)を集束する手段(15、16)とを含んでお り、前記偏光ビームスプリッタは、偏光された光ビーム(5)を反射された、前 記光軸(3)に対して実質的に垂直方向に延在する、第1の部分ビーム(6)と しての偏光された光成分と 、透過された、実質的に前記光軸(3)の方向に延在する偏光された光成分(2 0)とに分割し、前記偏光変換器(13)およびリフレクタ(14)は、前記透 過された光成分(20)を偏光方向に関して90°だけ位相が回転されて偏光さ れた光成分(20′)に変換し、前記偏光ビームスプリッタ(12)に戻される 回転された偏光された光成分(20″)は該偏光ビームスプリッタ(12)にお いて第2の部分ビーム(7)として反射される、光ビームを2つの部分ビームに 分割するための装置において、 前記部分ビーム(6,7)の、基準面における相対的な位置ずれを検出しかつ該 検出された位置ずれに相応する補正値を求めるための手段(25,26,27) と、 前記補正値を回転する偏向ユニット(2)に伝送するための手段(24)と、 前記部分ビーム(6,7)の相対的な位置ずれを補正する目的で、伝送された補 正値に依存して、前記偏光ビームスプリッタ(12)の、前記光軸(3)に対す る傾き角度を変化させおよび/または部分ビーム(6,7)に対する前記集束手 段(15,16)をシフトさせるための、前記偏向ユニット(2)に設けられた 手段(22,23)と を備えている ことを特徴とする装置。 3.前記リフレクタ(14)は相互に90°の角度において存在する少なくと も2つの鏡面を有するプリズムとして実現されており、該プリズムは前記偏光変 換器(13)を該プリズム(14)の方向に通ってきた光成分(20′)を該偏 光変換器(13)に戻す請求項2記載の装置。 4.前記プリズム(14)は屋根形プリズムとして実現されている 請求項1または3記載の装置。 5.前記プリズム(14)はトリプルプリズムとして実現されている 請求項1または3記載の装置。 6.前記第1の部分ビーム(6)に対する前記集束手段(15,16)は、前 記対物レンズ(8)と前記偏光ビームスプリッタ(12)との間および/または 該第1の部分ビーム(6)の光路に配設されている少なくとも1つのレンズ(1 5)から成っている 請求項1から5までのいずれか1項記載の装置。 7.前記第2の部分ビーム(7)に対する前記集束手段(15,16)は、前 記偏光ビームスプリッタ(12)と前記リフレクタ(14)との間および/また は該第2の部分ビーム(7)の光路に配設されている少なくとも1つのレンズ( 16)から成っている 請求項1から5までのいずれか1項記載の装置。 8.前記部分ビーム(6,7)の、基準面における 相対的な位置ずれを検出しかつ該検出された位置ずれに相応する補正値を求める ための手段(25,26,27)と、 前記補正値を回転する偏向ユニット(2)に伝送するための手段(24)と、 前記部分ビーム(6,7)の相対的な位置ずれを補正する目的で、伝送された補 正値に依存して、前記偏光ビームスプリッタ(12)の、前記光軸(3)に対す る傾き角度を変化させおよび/または部分ビーム(6,7)に対する前記集束手 段(15,16)をシフトさせるための、前記偏向ユニット(2)に設けられた 手段(22,23)と を備えている 請求項1記載の装置。 9.前記偏光ビームスプリッタ(12)の傾き角度を変化させるための手段( 22,23)は該偏光ビームスプリッタ(12)に作用接続されている 請求項2から8までのいずれか1項記載の装置。 10.前記偏光ビームスプリッタ(12)は前記偏向ユニット(2)に連結され ておりかつ 前記偏光ビームスプリッタ(12)の傾き角度を変化させるための手段(22, 23)は前記偏向ユニット(2)に作用接続されている 請求項1から8までのいずれか1項記載の装置。 11.前記部分ビーム(6,7)に対する集束手段( 15,16)をシフトするための手段(22,23)は前記レンズ(15,16 )の少なくとも1つに作用接続されている 請求項2から10までのいずれか1項記載の装置。 12.前記偏光ビームスプリッタ(12)の傾き角度を変化させおよび/または 前記集束手段(15,16)をシフトするための手段(22,23)は、前記補 正値によって制御可能な位置調整駆動部を有している請求項2から11までのい ずれか1項記載の装置。 13.前記位置調整駆動部(23)として、ピエゾ式駆動装置が使用される 請求項12記載の装置。 14.前記位置調整駆動部(23)として、磁歪式駆動装置が使用される 請求項13記載の装置。 15.前記部分ビーム(6,7)の相対的な位置ずれを検出しかつ該検出された 位置ずれに相応する補正値を求めるための手段(25,26,27)は、前記部 分ビーム(6,7)の基準面に配設されている位置測定段(25)を有している 請求項2から14までのいずれか1項記載の装置。 16.前記位置測定段(25)として、差動ホトダイオードが使用される 請求項15記載の装置。 17.前記補正値を前記回転する偏向ユニット(2) に伝送するための手段(24)は、電磁トランスとして実現されている 請求項2から16までのいずれか1項記載の装置。 18.前記光源(1)は円偏光された光ビーム(5)を生成する 請求項1から17までのいずれか1項記載の装置。 19.前記光源(1)は直線偏光された光ビーム(5)を生成しかつ 前記光軸(3)上に前記光源(1)と前記回転する偏光ユニット(2)との間に 、前記光ビーム(5)の直線偏光を円偏光に変換する別の偏光変換器(9)が配 設されている 請求項1から17までのいずれか1項記載の装置。 20.偏光変換器(9,13)は複屈折板、例えば4分の1波長板として実現さ れている 請求項1から19までのいずれか1項記載の装置。 21.その都度アクティブな部分ビーム(6ないし7)の光出力を拡大するため に、 前記光源(1)は円偏光された光ビーム(5)を生成し、 前記偏向ユニット(2)の前に、制御可能な偏光変換器(34)が配設されてお り、該偏光変換器は制御信号に依存して前記光ビーム(5)の円偏光の回転方向 を切り換え、 前記回転する偏向ユニット(2)において前記偏光シ ームスプリッタ(12)の前に別の偏光変換器(35)が配設されており、該偏 光変換器は前記光ビーム(5)の円偏光を該円偏光のその都度の回転方向に依存 して第1の偏光状態または第2の偏光状態を有する直線偏光に変換し、 第1の偏光状態を有する直線偏光された光ビーム(5)は前記偏光ビームスプリ ッタ(12)において前記アクティブな部分ビーム(6ないし7)を生成するた めに反射されるが、アクティブでない部分ビーム(7ないし6)を生成するため に前記偏光ビームスプリッタ(12)を透過せずかつ 第2の偏光状態を有する直線偏光された光ビーム(5)はアクティブな部分ビー ム(6ないし7)を生成するために前記偏光ビームスプリッタ(12)を透過す るが、アクティブでない部分ビーム(7ないし6)を生成するために前記偏光ビ ームスプリッタ(12)において反射されない 請求項1から20までのいずれか1項記載の装置。 22.前記制御可能な偏光変換器(34)は電光変調器として実現されている 請求項21記載の装置。 23.前記偏光変換器(35)は波長板として実現されている 請求項21または22記載の装置。 24.前記制御可能な偏光変換器(35)に対する制 御信号を生成する、前記偏向ユニット(2)に連結されている回転パルス発生器 (36)を備え、前記制御信号は前記偏向ユニット(2)のそれぞれの回転にお いて、一方の部分ビーム(6ないし7)が投入されかつ他方の部分ビーム(7な いし6)が遮断される動作時間間隔を定める 請求項21から23までのいずれか1項記載の装置。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1.光軸(3)に沿って光ビーム(5)を生成するための定置の光源(1)と 、 前記光軸(3)において前記光源(1)の前方に配設されている対物レンズ(8 )と、 前記光ビーム(5)が供給される、前記光軸(3)を中心に回転可能な偏向ユニ ット(2)と を備え、前記偏向ユニットは、 偏光ビームスプリッタ(12)と、該偏光ビームスプリッタ(12)の後方に前 記光軸(3)に配設されている偏光変換器(13)およびリフレクタ(14)と 、基準面にビームを集束する手段とを含んでおり、前記偏光ビームスプリッタは 、偏光された光ビーム(5)を反射された、前記光軸(3)に対して実質的に垂 直方向に延在する、第1の部分ビーム(6)としての偏光された光成分と、透過 された、実質的に前記光軸(3)の方向に延在する偏光された光成分(20)と に分割し、前記偏光変換器(13)およびリフレクタ(14)は、前記透過され た光成分(20)を偏光方向に関して90°だけ位相が回転されて偏光された光 成分(20′)に変換し、前記偏光ビームスプリッタ(12)に戻される回転さ れた偏光された光成分(20″)は該偏光ビームスプリッタ(12)において第 2の部分ビーム(7)として反射される、光ビームを 2つの部分ビームに分割するための装置において、前記部分ビーム(6,7)相 互の相対的な位置ずれを補正するために、前記リフレクタ(14)は少なくとも 2つの鏡面を有するプリズムとして実現されており、該プリズムは前記偏光変換 器(13)を該プリズム(14)の方向に通ってきた光成分(20′)を該偏光 変換器(13)に戻す ことを特徴とする装置。 2.前記プリズム(14)は屋根形プリズムとして実現されている 請求項1記載の装置。 3.前記プリズム(14)はトリプルプリズムとして実現されている 請求項1記載の装置。 4.前記部分ビーム(6,7)の、基準面における位置ずれが検出され、 検出された位置ずれに相応する補正値が回転する偏向ユニット(2)に伝送され かつ 前記部分ビーム(6,7)の位置補正が伝送された補正値に依存して回転する偏 向ユニット(2)において実施される 請求項1から3までのいずれか1項記載の装置。 5.光軸(3)に沿って光ビーム(5)を生成するための定置の光源(1)と 、 前記光軸(3)において前記光源(1)の前方に配設 されている対物レンズ(8)と、 前記光ビーム(5)が供給される、前記光軸(3)を中心に回転可能な偏向ユニ ット(2)と を備え、該偏向ユニットは、 偏光ビームスプリッタ(12)と、該偏光ビームスプリッタ(12)の後方に前 記光軸(3)に配設されている偏光変換器(13)およびリフレクタ(14)と 基準面にビームを集束する手段とを含んでおり、前記偏光ビームスプリッタは、 偏光された光ビーム(5)を反射された、前記光軸(3)に対して実質的に垂直 方向に延在する、第1の部分ビーム(6)としての偏向された光成分と、透過さ れた、実質的に前記光軸(3)の方向に延在する偏光された光成分(20)とに 分割し、前記偏光変換器(13)およびリフレクタ(14)は、前記透過された 光成分(20)を偏光方向に関して90°だけ位相が回転されて偏光された光成 分(20′)に変換し、前記偏光ビームスプリッタ(12)に戻される回転され た偏光された光成分(20″)は該偏光ビームスプリッタ(12)において第2 の部分ビーム(7)として反射される、光ビームを2つの部分ビームに分割する ための装置において、 前記部分ビーム(6,7)の相対的な位置ずれを補正するために、 前記部分ビーム(6,7)の、基準面における位置ずれが検出され、 該検出された位置ずれに相応する補正値が回転する偏向ユニット(2)に伝送さ れ、かつ 前記部分ビーム(6,7)の位置補正は、伝送された補正値に依存して前記回転 する偏向ユニット(2)において実施される ことを特徴とする装置。 6.前記リフレクタ(14)は少なくとも2つの鏡面を有するプリズムとして 実現されており、該プリズムは前記偏光変換器(13)を該プリズム(14)の 方向に通ってきた光成分(20′)を該偏光変換器(13)に戻す 請求項5記載の装置。 7.前記第1の部分ビーム(6)を基準面に集束するために、前記対物レンズ (8)と前記偏光ビームスプリッタ(12)との間および/または前記第1の部 分ビーム(6)の光路に少なくとも1つのレンズ(15)が配設されている 請求項1から6までのいずれか1項記載の装置。 8.前記第2の部分ビーム(7)を基準面に集束するために、前記偏光ビーム スプリッタ(12)と前記リフレクタ(4)との間および/または前記第2の部 分ビーム(7)の光路に少なくとも1つのレンズ(16)が配設されている 請求項1から7までのいずれか1項記載の装置。 9.前記部分ビーム(6,7)の位置補正は、前記 偏向ユニット(2)において補正値に依存して前記偏光ビームスプリッタ(12 )の傾き角度を変化することによって実施される 請求項4から8までのいずれか1項記載の装置。 10.前記偏光ビームスプリッタ(12)の傾き角度の変化は該偏光ビームスプ リッタ(12)の、前記光軸(3)に対する制御された傾倒によって行われる請 求項9記載の装置。 11.前記偏光ビームスプリッタ(12)は前記偏向ユニット(2)に連結され ておりかつ 前記偏光ビームスプリッタ(12)の傾き角度の変化は前記偏向ユニット(2) の、前記光軸(3)に対する制御された傾倒によって行われる 請求項9記載の装置。 12.前記部分ビーム(6,7)の位置補正は前記偏向ユニット(2)において 、前記レンズ(15,16)の少なくとも1つを前記補正値に依存して前記光軸 (3)の方向にシフトすることによって実施される請求項4から11までのいず れか1項記載の装置。 13.前記偏向ビームスプリッタ(12)ないし前記偏向ユニット(2)および /または前記レンズ(15,16)の少なくとも1つはそれぞれ位置調整駆動部 (23)に機械的に連結されており、該位置調整駆動部は前記回転する偏向ユニ ット(2)に伝送される補正値によって制御可能である 請求項4から12までのいずれか1項記載の装置。 14.前記位置調整駆動部(23)として、ピエゾ式駆動装置が使用される 請求項13記載の装置。 15.前記位置調整駆動部(23)として、磁歪式駆動装置が使用される 請求項13記載の装置。 16.前記部分ビーム(6,7)の基準面に配設されている、該部分ビーム(6 ,7)の位置ずれを求めるための位置測定段(25)と、 求められた位置ずれを補正値に変換するための定置の装置(26,27)と、 前記補正値を、前記定置の装置(26,27)から前記位置調整駆動部(23) に伝送するためのトランス(24)と を備えている 請求項4から15までのいずれか1項記載の装置。 17.前記位置測定段(25)として、差動ホトダイオードが使用される 請求項16記載の装置。 18.前記トランス(24)は、電磁トランスとして実現されている 請求項16記載の装置。 19.前記光源(1)は円偏光された光ビーム(5)を生成する 請求項1から18までのいずれか1項記載の装置。 20.前記光源(1)は直線偏光された光ビーム(5)を生成しかつ 前記光軸(3)上に前記光源(1)と前記回転する偏向ユニット(2)との間に 、前記光ビーム(5)の直線偏光を円偏光に変換する別の偏光変換器(9)が配 設されている 請求項1から18までのいずれか1項記載の装置。 21.偏光変換器(9,13)は複屈折板、例えば4分の1波長板として実現さ れている 請求項1から20までのいずれか1項記載の装置。 22.その都度アクティブな部分ビーム(6ないし7)の光出力を拡大するため に、その都度アクティブでない方の部分ビーム(7ないし6)の生成を妨げる請 求項1から21までのいずれか1項記載の装置。 23.前記光ビーム(5)は円偏光されており、 前記偏向ユニット(2)の前に、制御可能な偏光変換器(34)が配設されてお り、該偏光変換器は制御信号に依存して前記光ビーム(5)の円偏光の回転方向 を切り換え、 前記回転する偏向ユニット(2)において前記偏光シームスプリッタ(12)の 前に別の偏光変換器(35)が配設されており、該偏光変換器は前記光ビーム( 5)の円偏光を該円偏光のその都度の回転方向に依存して第1の偏光状態または 第2の偏光状態を有する直 線偏光に変換し、 第1の偏光状態を有する直線偏光された光ビーム(5)は前記偏光ビームスプリ ッタ(12)において前記アクティブな部分ビーム(6ないし7)を生成するた めに反射されるが、アクティブでない部分ビーム(7ないし6)を生成するため に前記偏光ビームスプリッタ(12)を透過せずかつ 第2の偏光状態を有する直線偏光された光ビーム(5)はアクティブな部分ビー ム(6ないし7)を生成するために前記偏光ビームスプリッタ(12)を透過す るが、アクティブでない部分ビーム(7ないし6)を生成するために前記偏光ビ ームスプリッタ(12)において反射されない 請求項22記載の装置。 24.前記制御可能な偏光変換器(34)は電光変調器として実現されている 請求項23記載の装置。 25.前記偏光変換器(35)は波長板として実現されている 請求項23記載の装置。 26.前記制御可能な偏光変換器(35)に対する制御信号は前記偏向ユニット (2)に連結されている回転パルス発生器(36)から得られる 請求項23から25までのいずれか1項記載の装置。 27.前記制御信号によって前記偏向ユニット(2) のそれぞれの回転において、一方の部分ビーム(6ないし7)を投入しかつ他方 の部分ビーム(7ないし6)を遮断する動作時間間隔が確定可能である 請求項26記載の装置。
JP8510517A 1994-09-22 1995-09-13 ビーム分割装置 Expired - Fee Related JP2994040B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE4433763A DE4433763A1 (de) 1994-09-22 1994-09-22 Vorrichtung zur Strahlteilung
DE4433763.9 1994-09-22
PCT/DE1995/001252 WO1996009565A1 (de) 1994-09-22 1995-09-13 Vorrichtung zur strahlteilung

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH09511590A true JPH09511590A (ja) 1997-11-18
JP2994040B2 JP2994040B2 (ja) 1999-12-27

Family

ID=6528844

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP8510517A Expired - Fee Related JP2994040B2 (ja) 1994-09-22 1995-09-13 ビーム分割装置

Country Status (5)

Country Link
US (1) US5883746A (ja)
EP (2) EP0999465B1 (ja)
JP (1) JP2994040B2 (ja)
DE (3) DE4433763A1 (ja)
WO (1) WO1996009565A1 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20140077124A (ko) * 2012-12-13 2014-06-23 보에 테크놀로지 그룹 컴퍼니 리미티드 광학장치 및 디스플레이 장치

Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5909323A (en) * 1996-07-29 1999-06-01 Agfa Corporation Beam alignment correction element assembly
DE19841863B4 (de) * 1998-09-14 2005-06-09 Heidelberger Druckmaschinen Ag Vorrichtung zur Teilung eines Lichtstrahles
US6263129B1 (en) * 1999-07-06 2001-07-17 Avanex Corporation High-isolation dense wavelength division multiplexer utilizing a polarization beam splitter, non-linear interferometers and birefringent plates
DE19951480A1 (de) * 1999-10-26 2001-05-03 Zeiss Carl Jena Gmbh Teilerwechsler in einem Laser-Scanning-Mikroskop und Verfahren zur Korrektur von Toleranzfehlern
US6188520B1 (en) 1999-10-29 2001-02-13 Sharp Laboratories Of America, Inc. Light polarization converter
US6373630B1 (en) 2000-05-05 2002-04-16 Chih-Kung Lee Light beam polarization converter
US6611379B2 (en) 2001-01-25 2003-08-26 Brookhaven Science Associates Llc Beam splitter and method for generating equal optical path length beams
EP1329631A3 (de) * 2002-01-22 2003-10-22 Jenbacher Zündsysteme GmbH Verbrennungsmotor
JP2006091377A (ja) * 2004-09-22 2006-04-06 Fuji Photo Film Co Ltd インナードラム露光装置
US20090034071A1 (en) * 2007-07-31 2009-02-05 Dean Jennings Method for partitioning and incoherently summing a coherent beam
US8077328B2 (en) * 2009-07-06 2011-12-13 Gammex, Inc. Variable color incoherent alignment line and cross-hair generator
US20110187878A1 (en) 2010-02-02 2011-08-04 Primesense Ltd. Synchronization of projected illumination with rolling shutter of image sensor
CN104317030B (zh) * 2014-10-31 2017-04-05 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 利用轴向色差进行快速辅助定心的光学装置
US10447424B2 (en) * 2018-01-18 2019-10-15 Apple Inc. Spatial multiplexing scheme
US10877285B2 (en) 2018-03-28 2020-12-29 Apple Inc. Wavelength-based spatial multiplexing scheme
US11493606B1 (en) 2018-09-12 2022-11-08 Apple Inc. Multi-beam scanning system
DE102019208232A1 (de) 2019-06-05 2020-12-10 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Optische Anordnung und Verfahren zur Korrektur von Zentrierfehlern und/oder Winkelfehlern

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3046584C2 (de) * 1980-12-11 1984-03-15 Dr.-Ing. Rudolf Hell Gmbh, 2300 Kiel Optisch-mechanischer Abtaster
US4917456A (en) * 1988-07-15 1990-04-17 At&T Bell Laboratories Optical crossover network
DE4026333C2 (de) * 1990-08-21 1993-11-18 Spindler & Hoyer Kg Vorrichtungen zur Lage- und Richtungsstabilisierung eines Laserstrahls
DE4128468C2 (de) * 1991-08-28 1997-05-28 Hell Ag Linotype Vorrichtung zur Teilung eines Lichtstrahls

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20140077124A (ko) * 2012-12-13 2014-06-23 보에 테크놀로지 그룹 컴퍼니 리미티드 광학장치 및 디스플레이 장치
US9239508B2 (en) 2012-12-13 2016-01-19 Boe Technology Group Co., Ltd. Optical device and display device with the same

Also Published As

Publication number Publication date
EP0999465B1 (de) 2002-11-20
EP0782716A1 (de) 1997-07-09
EP0999465A1 (de) 2000-05-10
EP0782716B1 (de) 2001-12-12
JP2994040B2 (ja) 1999-12-27
DE59510468D1 (de) 2003-01-02
DE59509949D1 (de) 2002-01-24
WO1996009565A1 (de) 1996-03-28
US5883746A (en) 1999-03-16
DE4433763A1 (de) 1996-05-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH09511590A (ja) ビーム分割装置
JPH07281113A (ja) 走査光学装置
JP4036911B2 (ja) マルチビーム走査装置
US6118471A (en) Beam diameter control method and device
US5426529A (en) Light beam deflection means
US5420714A (en) Device for beam division
JPH0222616A (ja) レーザ走査装置
EP1046941B1 (en) Correcting method of light beam position in a scanning apparatus
US5825469A (en) Auto focus system using twice reflection
JPH02226111A (ja) 光偏向装置
JPS6115119A (ja) レ−ザプリンタ
JP2580824Y2 (ja) 焦点調整装置
JP2627819B2 (ja) 光偏向器
JPH08329488A (ja) 焦点ズレ補正装置
JPS6313168B2 (ja)
JP2565748B2 (ja) 自動追尾方式の光波距離計測装置
JP3521303B2 (ja) 光学走査装置
JPS6363910A (ja) 距離測定装置
JPH0485510A (ja) レーザ光走査装置
JPS6138922A (ja) 光ビ−ム走査装置
JPS58100118A (ja) レ−ザビ−ム走査装置
JP2758420B2 (ja) 反射型レーザ顕微鏡撮像装置
RU2044272C1 (ru) Устройство для измерения дальности
JPH0458211A (ja) 走査光学装置
JPH0287112A (ja) 走査光学装置

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees