JPH09511318A - パルス幅変調手段を有する連続可変水圧トランスミッションの伝達比コントローラ - Google Patents

パルス幅変調手段を有する連続可変水圧トランスミッションの伝達比コントローラ

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JPH09511318A
JPH09511318A JP8523500A JP52350096A JPH09511318A JP H09511318 A JPH09511318 A JP H09511318A JP 8523500 A JP8523500 A JP 8523500A JP 52350096 A JP52350096 A JP 52350096A JP H09511318 A JPH09511318 A JP H09511318A
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ラーキン、ロバート・フランシス
キアー、ウィリアム・アール
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ロッキード・マーチン・コーポレーション
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Abstract

(57)【要約】 制水板(26)の角位置によって決定される連続可変水圧トランスミッションの伝達比を変えるコントローーラであって、ピストン(42)を摺動自在に受けるシリンダ(40)を備え一組のチャンバを形成すすアクチュエータ(30)を含むコントローラ。それぞれのチャンバ(44、46)を選択的に掃気ポンプ圧又は大気圧に連通させるように構成した1組のソレノイドバルブ(32、34)はパルス流によって励起されチャンバ(44、46)内に異なる流体圧を生じさせてピストン(42)を移動させる。ピストンの移動は制水板(26)にリンクされており、このピストン移動に対応する制水板角の調節を生じさせる。制水板角位置の変化はパルス流をパルス幅変調する事によってコントロールされる。

Description

【発明の詳細な説明】 パルス幅変調手段を有する連続可変水圧トランスミッション の伝達比コントローラ 関連出願 本出願に開示される発明は、特に、1993年7月13日出願の米国特許出願 第08/093,192号、1994年11月3日出願の米国特許出願第08/333,688号、1 994年11月21日出願の米国特許出願第08/342,472号、及び1995年1月 30日出願の米国特許出願第08/380,276号に開示される連続可変水圧トランスミ ッションの応用に関する(但し、これに限定されるものではない)。これらの出 願の開示は本願において参照され利用される。
技術分野 本発明は水圧機械に関し、特に、連続(無限)可変伝達比でもって動力を主駆 動装置からロード(被動装置の意、以下、本明細書において同じ)に伝達可能な 水圧トランスミッションに関する。
背景技術 上記米国出願に開示される水圧機械は、中間楔型制水板に対して対向しかつ軸 方向において直線上に位置する水圧ポンプユニットと水圧モータユニットとを含 んでなる。そのポンプユニットは主駆動装置によって駆動される入力シャフトに 連結され、一方、モータユニットは動くことのない機械ハウジングに取り付けら れている。入力シャフトと同軸であり、ロードを駆動するためロードに連結され た出力シャフトは制水板に連結されている。ポンプユニットが主駆動装置によっ て駆動されると、静水圧の流体は制水板に特別形状にした複数のポートを介して ポンプユニットとモータユニットとの間を往復ポンプ輸送される。その結果、3 つのトルク成分−これらはすべて同じ方向に作用する−は制水板に与えられて、 出力シャフトに出力トルクを与えてロードを駆動する。これらのトルク成分のう ちの2つは、回転ポンプユニットによって制水板に与えられる1つの機械的成分 と、モータユニットによって制水板に与えられる1つの水圧機械成分である。第 3の成分は、制水板ポートの周囲上で対向する端面に作用する水圧によって生じ る大きさの異なる力から生じる純粋な水圧成分である。なお、制水板は楔型形状 を呈するため、上記制水板ポートの対向端面の表面積は異なる。
伝達比を変えるため、制水板の出力シャフトの軸に対する角度を伝達比コント ローラによって変化させる。伝達比、即ち、速度比は、1:0の比から1:1の 比まで連続的に可変であるため、主駆動体は、その最も効果的に作動する点にお いて基本的に設定された一定速度でもって作動することができる。伝達比を1: 0(ニュートラル)に設定できることで、クラッチを使用しないことが可能であ る。上記米国特許出願第08/342,472号に開示されるように、制水板の角度を1: 0設定を超える位置にして限定的なリバースレンジの無限可変速度ドライブとす ることが可能であり、また、1:1を超える位置にして無限可変オーバドライブ 速度レンジにすることができる。リバースギヤ機構を必要とせずにリバースドラ イブが可能なである。従来の可変水圧トランスミッションにおいては、作動液の 流量は伝達比の増大に比例して増え、伝達比が最大に設定されたところで最大流 量が生じていたが、このような従来のトランスミッションとは異なり、前記米国 出願に開示された水圧機械における流量は、伝達比の範囲の中間点において最大 となり、その後急に減少して(1:1)の伝達比設定のところで基本的に0とな る。従って、液体の流れによるロスは減少し、従来の高い比率の水圧トランスミ ッションによる泣き声のような耳障りな音をなくすことができる。制水板に多重 のトルク成分を与え、出力速度範囲の上半分における液体流量の減少させ、更に 最適駆動装置入力を採用することができるので、前記米国出願の水圧機械は、高 率で、静かな、連続可変水圧トランスミッションとして車両駆動列に利用できる という特別な利点を備えている。
発明の概要 本発明の目的は、入力に対する出力速度の連続可変伝達比を達成するため連 続可変水圧トランスミッションを制御する改良型伝達比コントローラ提供するこ とにある。
本発明の別の目的は、速度コマンド信号に応答して連続可変水圧トランスミッ ションの伝達比制御を効果的に行う改良型伝達比コントローラを提供することに ある。
本発明の更に別の目的は、上記米国特許出願に開示されるタイプの連続可変水 圧トランスミッションにおける制水板角を変える改良型伝達比コントローラを提 供することにある。
これらの目的を達成するため、主駆動装置から入力トルクを受け取る入力シャ フトと、ロードにに駆動トルクを与える出力シャフトと、水圧ポンプユニットと 、水圧モータユニットと、水圧ポンプユニットと水圧モータユニットの間に配設 されて作動する制水板とを含んでなる連続可変水圧トランスミッションに対する 本発明の伝達比コントローラは、シリンダとシリンダ内に配設したピストンとを 有し第1及び第2チャンバを形成するアクチュエータであって、制水板を駆動す るためにその制水板に連結されたアクチュエータと;前記第1チャンバを流体源 に連結する静止バルブ位置を有し、かつ、第1チャンバを通気させる作動バルブ ピストンを有する第1流体バルブと;前記第2チャンバを流体源に連結する静止 バルブ位置を有し、かつ、第2チャンバを通気させる作動バルブ位置とを有する 第2流体バルブと;速度コマンドに応答して、第1及び第2ソレノイドバルブを 選択的に作動させ前記第1及び第2チャンバ内に異なる流体圧を生じさせてシリ ンダとピストンの制御された相対運動を与えるモジュールと;シリンダとピスト ンの相対運動を制水板の伝達比変更運動に変換する手段とを含んでなる。
さらに、本発明はこれらの目的に従い、水圧ポンプユニットと水圧モータユニ ットの間に配設されて作動する制水板を備える連続可変水圧トランスミッション の入力−出力速度比を制御する方法を供給する。該方法は、シリンダを受けるピ ストンを有して第1及び第2チャンバを形成するアクチュエータを制水板に接続 し;加圧流体源を与え、第1チャンバを加圧流体源に接続する静止バルブ位置を 有し、かつ、前記第1チャンバを通気させる作動バルブ位置を有する第1流体バ ルブを設け;第2チャンバを加圧流体源に接続する静止バルブ位置を有し、かつ 、前記第2チャンバを通気させる作動バルブ位置を有する第2流体バルブを設け ;第1及び第2流体バルブを前記静止位置に維持して前記第1及び第2チャンバ 内の流体圧を等しくする事によって伝達比を設定し;前記第1及び第2バルブの いずれか一方をシフトさせて前記第1及び第2チャンバ内に異なる流体圧を生じ させピストンとシリンダとの相対運動を生じさせることにより伝達比を変化さ せ、ピストンとシリンダの相対運動を制水板の伝達比変更運動に変換するテップ を含んでなる。
本発明のさらに別の利点及び目的は以下に述べる説明に記されかつこの説明か ら部分的に明白であり、あるいは、発明の実施により学ぶことができる。本発明 の目的及び利点は、以下の記載説明、請求の範囲及び添付図面により説明される 装置によって理解される。
これまで述べた一般的な説明及び以下の詳細な説明は例示的かつ説明的なもの であり、請求の範囲に記載される発明の説明を与えるためのものであることが理 解される。
添付の図面は、発明の理解を容易にするものであり、明細書に組み入れられて その一部を構成するものであり、本発明の好ましい実施態様を図示するものであ り、説明と合わせて本発明の原理の説明を容易にするものである。
図面の簡単な説明 図(1つだけ)は、連続可変水圧トランスミッションの実施態様における本発 明の伝達比コントローラの説明図。
好ましい実施態様の詳細な説明 図に番号10で示す本発明の好ましい実施態様の伝達比コントローラは、上記 米国特許出願に開示されるタイプの連続可変水圧トランスミッション(番号12 で示す)に対する応用例として図示されている。このように図に概略的に示すト ランスミッション12は、基本構成要素として、ハウジング14と、このハウジ ング内に回転自在に設けられ同心円上に位置し端と端がほぼ突き合わされた状態 にされた入力シャフト16及び出力シャフト18とを有する。入力シャフト16 は、主駆動装置(図示省略)から受けるトルクを水圧ポンプユニット(番号20 で示す)に与え、一方、水圧モータユニット(22で示す)は、番号24で示す 位置でハウジング14に固定されている。楔型制水板26は、番号28で示すよ うにポンプユニット20とモータユニット22との間に配設されて出力シャフト を駆動するため該出力シャフトに回動自在に連結されている。上記米国特許出願 に開示されるように、制水板26は複数のポートを備え、これらのポートはポン プユニットとモータユニット間において流体を往復させ、制水板にトルク成分を 生じさせる。制水位板は出力シャフト18に連結され、自動車(図示省略)の駆 動ホイールにトルクを与える。上記米国特許出願にまた開示されるように、伝達 比、即ち、入力シャフト16に与える入力速度に対する出力シャフト18に与え る出力速度は、制水板角、即ち、出力シャフト軸19に対する制水板26の角位 置によって決定される。このように、伝達比を変えるために、制水板26は、矢 印27によって示すように連結軸28回りを回動可能に出力シャフト18に取り 付けられ、伝達比を減少させ(時計方向)、あるいは、伝達比を減少させる(反 時計回り)。
伝達比コントローラ10は、ハウジングに14内に配設された水圧アクチュエ ータ30と、アクチュエータのチャンバを加圧下の共通流体源又は大気圧のいず れかに連結するための1組のソレノイド(番号32、34で示す)と、速度コマ ンド信号に応答してソレノイドバルブを選択的に励起させるためにそれに連結さ れたモジュール36とを含む。
アクチュエータ30はシリンダ40を含み、このシリンダ内に出力ピストン4 2が摺動自在に受けられて対向するチャンバ44、46を形成する。ピストン4 2はシリンダ端部壁のシールされた開口を貫通する対向ピストンロッド48によ ってシリンダ40内に摺動自在に設けられている。1つのピストンロッド48の 外端は、図に番号50で示すように、ピストン42の往復動を制水板26の出力 シャフト18への連結軸回りに角移動するように連結されている。
図示のアクチュエータの構造は例示であることを理解されたい。アクチュエー タは、種々の形態、例えば、上記米国特許出願08/333,668に図示される形態をと ることができる。例えば、米国特許第08/333,668号に図示されるように、ピスト ン42は固定され、一方シリンダ40は往復動し、制水板26に連結される。米 国特許出願08/342,472号は、ピストン42が1組の球面ベアリングを備え、これ らのベアリングはそれぞれポンプユニットブロック及びモータユニットブロック を支持することを開示する。球面ベアリングの調和した軸方向の運動はシリンダ ブロックを介して制水板に回転力を与える。リンク50は、米国特許第08/093,1 92号に示すように、制水板に回転力を与えるためにポンプユニット又はモータユ ニットに到達する大径のシリンダ作動部材とすることができる。代替 的に、リンク50は、上記米国特許出願08/333,668に図示されるように出力シャ フト18を真近で囲うシリンダ作動部材を含むことができる。米国特許出願第08 /380,276号は、リンク50が出力シャフト内に組込まれた油圧作動ピストンを備 えることができることを開示する。
ここで、アクチュエータ30についてその図示の形態を考えると、チャンバ4 4は、、流体ライン54を介してソレノイドバルブ32のバルブチャンバ52に 接続され、一方、チャンバ46は、流体ライン58を介してソレノイドバルブ3 4のバルブチャンバ56に接続されている。バルブチャンバ52、56は共通し て流体ライン60、62を介して水だめポンプ64の出力でもって利用できる好 ましい補充流体圧又は制御圧といった流体圧源に連結されている。バルブチャン バ52もまた、流体ライン66を介して、トランスミッション水だめ68に存す る大気圧に通気される。バルブチャンバ56は同様に流体ライン70を介して水 だめ68に通気される。
ソレノイドバルブ32は、また、バルブチャンバ52に摺動自在に受けられる バルブ部材72を含む。軸74はバルブ部材72からバルブチャンバ52の外側 へ延伸し、ソレノイドプランジャ76によって終端する。プランジャ76に巻か れたソレノイドコイル78は、一端において接地され、他端において、コントロ ールモジュール36まで延伸するリード線80に接続されている。バルブ部材7 2は、ばね82によって図示の静止位置に偏移され、それゆえ、アクチュエータ チャンバ44は通常流体ライン54、60、62を介して水だめと連通している 。
ソレノイドバルブ34はソレノイドバルブ32と同じ構成であり、従って、バ ルブチャンバ56に摺動自在に受けられるバルブ部材84を含む。弁軸86はバ ルブ部材84から終端ソレノイドプランジャ88まで延伸する。終端ソレノイド プランジャ88の回りにソレノイドコイルが巻かれている。コイル90の接地さ れていない端部は、リード線92によって制御(コントロール)モジュール36 に接続されている。コイルばね94はバルブ部材84を図示の静止バルブ位置へ 偏移されているので、アクチュエータチャンバ46を流体ライン58、60、6 2を介して水だめポンプ出力に連通させる。
伝達比コントローラ10に関する上記説明から、ソレノイドバルブ32、34 はこれらの静止バルブ位置に存し、アクチュエータチャンバ44、46は水だめ ポンプ出力圧に等しい流体圧の流体で満たされている。アクチュエータピストン 42はこのように特定の制水板角を設定するように所定位置に固定される。コン トロールモジュール36に入力された速度コマンドが伝達比を大きくすることを 要求する場合、ソレノイドバルブ32のソレノイドコイル78は電気的に励起さ れバルブ部材72を想像線で示す通気バルブ位置まで前進させてアクチュエータ チャンバ44を流体ライン54、66を介して水ため68に接続する。ソレノイ ドバルブ34によって水だめポンプ64にいまだ接続されているアクチュエータ チャンバ46内の流体は、今、アクチュエータチャンバ44内の流体圧を越える 。その結果、ピストン42は反時計方向、即ち伝達比増大方向に制水板26を回 転するように左側へ駆動される。制水板がコマンドを受けた大きな伝達比まで回 転されると、コントロールモジュール36はソレノイドコイル78の励起を止め 、ソレノイドバルブ32はばね82によってその静止バルブ位置へ引き戻される 。これにより、アクチュエータチャンバ44を水だめポンプ64に再度連結する 。アクチュエータチャンバ内の流体圧は等しくなりアクチュエータピストン位置 を固定し制水板位置を新たな大きな伝達比に設定する。
速度入力コマンドが伝達比を小さくすることを要求するとき、コントロールモ ジュール36はソレノイドコイル90を励起しバルブ部材84を想像線で示すバ ルブ位置へ前進させて、アクチュエータチャンバ46を水だめ68に通気させる 。チャンバ44内の流体圧はいまアクチュエータチャンバ46内の流体圧を超え 、アクチュエータピストン42は右側へ駆動され、チャンバ44の容積は膨張し 、チャンバ46の容積は収縮する。制水板26は時計方向に回転し伝達比を小さ くする。伝達比が小さくされた速度コマンドを満足させる設定に到達したとき、 ソレノイドバルブ34の励起は泊まり、ばね94はバルブ部材84を実線で示す 位置へ引っ込め、アクチュエータチャンバ46を水だめポンプ出力と再度接続す る。アクチュエータチャンバ46は次に、アクチュエータチャンバと同じ圧力ま で加圧され、アクチュエータピストン42の新たな位置が維持されてコマンドを 受けた小さな伝達比まで制水板角を設定する。
図示のとおり、オリフィス限定装置96を流体ライン60、66、70に設け 、流体流量を調節することにより流体回路の作動パラメータを調整し、これによ りアクチュエータチャンバ内の急激な流体圧変化を防止することができる。この 限定装置は作動温度の変化により生じる流体の粘度変化を緩和することができる 。
本発明の特徴によれば、コントロールモジュール36は、一定のパルス数また は周波数(例えば、6Hz)のパルス流を発生させるパルス幅変調の形態をとり、 パルス幅(デューティサイクル)は入力速度コマンドに応答して変化する。パル スデューティサイクル(パルス周期に対するパルス幅の比)を変えることにより 、ソレノイドバルブ部材の1つ72又は84がチャンバ44又は46をそれぞれ 通気させるため想像線で示す位置にある長さ、即ち、アクチュエータピストン4 2が制水位板角を変えるために移動する速さが、従って、変えられる。即ち、大 きなパルスデューティサイクルで、制水板角の変化率は対応して大きく、また、 その逆である。速度コマンドが一旦満足されると、出力パルス流は停止され制水 位板角をコマンドされた速度(伝達)比に設定する。
ソレノイドバルブ32、34をパルス幅変調により励起するトランスミッショ ン12の伝達比速度を正確に制御することは、自動車への応用に特別な利点を有 する。即ち、伝達比コントローラ10は、車両負荷に連続的にエンジンパワー合 わせることができるだけではなく、急な停止(早い伝達比変化)及び車両重量の 大きい条件(遅い速度比)のようなダイナミック条件に対してまた迅速に対応す ることが可能である。
ソレノイドのパルス幅変調による励起が好ましいが、均一な幅のパルス流の周 波数変調も使用可能であることが理解される。
本発明の趣旨から逸脱することなく本発明の装置に種々の変更や変形が可能で あることは当業者にとって明白である。従って、本発明は、そういった変更変形 が添付の請求の範囲及びその同等物と解されるものの範囲にある限り、それらを 含む。

Claims (16)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 水圧ポンプユニットと、水圧モータユニットと、前記水圧ポ ンプユニットと前記水圧モータユニットとの間に配設された制水板であって、前 記水圧ポンプユニットと前記水圧モータユニットとの間においてポンプ送りされ る流体の流れを通す制水板と、伝達比コントローラとを含んでなる連続可変水圧 トランスミッションの伝達比コントローラであって、 シリンダと前記シリンダ内に配設されたピストンとを備え第1及び第2チャン バを形成するるアクチュエータと、 前記第1チャンバを流体圧源に接続する静止バルブ位置と、前記第1チャンバ を通気する作動バルブ位置とを有する第1流体バルブと、 前記第2チャンバを流体圧源に接続する静止バルブ位置と、前記第2チャンバ を通気する作動バルブ位置とを有する第2流体バルブと、 前記第1及び第2バルブのうちの選択した1つの作動を制御するためコマンド 信号に応答し、前記第1及び第2チャンバ内に異なる流体圧を発生させ前記アク チュエータピストン及びシリンダの相対運動を生じさせるモジュールと、 前記アクチュエータピストンとシリンダの相対運動を前記制水板の伝達比変更 運動に変換させる手段とを、 含んでなるコントローラ。
  2. 【請求項2】 請求項1のコントローラであって、前記モジュールは電気パ ルス流によって選択された流体バルブを作動させ、前記選択されたバルブをパル スの長さの間作動位置にシフトさせ、前記選択された流体バルブをパルス間の各 インタバルの間静止位置へシフトバックさせるコントローラ。
  3. 【請求項3】 請求項2のコントローラであって、前記モジュールは、パル ス流の1つの周波数及び幅を変調して前記制水板の伝達比変更運動の速度を制御 するコントローラ。
  4. 【請求項4】 請求項3のコントローラであって、前記第1及び第2流体バ ルブはソレノイドバルブであり、前記パルス流は現行のパルスパルス流であるコ ントローラ。
  5. 【請求項5】 請求項4のコントローラであって、前記モジュールパルス幅 は前記パルス流を変調させる前記コントローラ。
  6. 【請求項6】 請求項1のコントローラであって、前記前記第1及び第2チ ャンバを前記流体圧源に接続する流体ラインと、前記第1及び第2チャンバを通 気する流体ライン内に含まれる流体の流れ制限装置をさらに含んでなるコントロ ーラ。
  7. 【請求項7】 水圧ポンプユニットと水圧モータユニットとの間に配設され て作動する制水板を含んでなる連続可変水圧トランスミッションの伝達比を制御 する方法であって、 シリンダ内に配設されたピストンを備え第1及び第2チャンバを形成するるア クチュエータを前記制水板に連結し、 加圧流体源を与え、 前記第1チャンバを前記加圧流体圧源に接続する静止バルブ位置と、前記第1 チャンバを通気する作動バルブ位置とを有する第1流体バルブを与え、 前記第2チャンバを前記加圧流体圧源に接続する静止バルブ位置と、前記第2 チャンバを通気する作動バルブ位置とを有する第2流体バルブを与え、 前記第1及び第2バルブを前記それぞれの静止位置に維持して前記第1及び第 2チャンバ内の流体圧を等しくしかつ前記制水板の伝達比設定位置を維持するこ とによって伝達比を設定するステップを 含んでなる方法。
  8. 【請求項8】 請求項7のコントローラであって、前記第1及び第2バルブ は、電流による励起がないときに常時静止位置に偏移され、前記伝達比変更ステ ップは、前記第1及び第2ソレノイドバルブの選択された1つをパルス流によっ て励起させて、前記選択された1つのソレノイドバルブを各パルスの長さの間シ フトさせ、各パルス間の各インタバルの間前記選択されたソレノイドバルブを前 記静止バルブ位置へ戻すステップを含んでなるコントローラ。
  9. 【請求項9】 請求項8のコントローラであって、前記励起ステップは、前 記パルス流のパルス幅を変調させて前記制水板の伝達比変更運動率を制御するス テップを含んでなるコントローラ。
  10. 【請求項10】 請求項9のコントローラであって、前記制水板がコマンド された伝達比設定位置に到達したときに、前記パルス流を終了させるステップを 含んでなるコントローラ。
  11. 【請求項11】 ハウジングと、 前記ハウジング内に回転自在に設けられ主駆動装置からトルクを受ける入力シ ャフトと、 前記入力シャフトによって駆動される水圧ポンプユニットと、 前記ハウジングに固定される水圧モータユニットと、 トルク駆動のため前記出力シャフトに回動自在に連結された楔型の制水板であ って、前記水圧ポンプユニットと前記水圧モータユニットとの間に配設されて作 動し、前記出力シャフトの軸に対する前記制水板の角位置が伝達比を決定する制 水板と、 コントローラとを含んでなる連続可変水圧トランスミッションのコントローラ であって、 シリンダ内に配設された第1及び第2チャンバを形成するピストンを有するア クチュエータと、 前記第1チャンバを流体圧源に接続する静止バルブ位置と、前記第1チャンバ を通気する作動弁位置とを有する第1流体バルブと、 前記第2チャンバを流体圧源に接続する静止バルブ位置と、前記第2チャン バを通気する作動弁位置とを有する第2流体バルブと、 前記第1及び第2バルブのうちの選択した1つの作動を制御するためコマンド 信号に応答し、前記第1及び第2チャンバ内に異なる流体圧を発生させ前記アク チュエータピストン及びシリンダの相対運動を生じさせるモジュールと、 前記アクチュエータピストンとシリンダの相対運動を前記制水板の伝達比変更 運動に変換させる手段とを、 含んでなるコントローラ。
  12. 【請求項12】 請求項11のコントローラであって、前記モジュールは電 気パルス流によって選択された流体バルブを作動させ、前記選択されたバルブを パルスの長さの間作動位置にシフトさせ、前記選択された流体バルブをパルス間 の各インタバルの間静止位置へシフトバックさせるコントローラ。
  13. 【請求項13】 請求項12のコントローラであって、前記モジュールは、 パルス流の1つの周波数及び幅を変調して前記制水板の伝達比変更運動の速度を 制御するコントローラ。
  14. 【請求項14】 請求項13のコントローラであって、前記第1及び第2流 体バルブはソレノイドバルブであり、前記パルス流は現行のパルスパルス流であ るコントローラ。
  15. 【請求項15】 請求項14のコントローラであって、前記モジュールパル ス幅は前記パルス流を変調させるコントローラ。
  16. 【請求項16】 請求項15のコントローラであって、前記前記第1及び第 2チャンバを前記流体圧源に接続する流体ラインと、前記第1及び第2チャンバ を通気する流体ライン内に含まれる流体の流れ制限装置をさらに含んでなるコン トローラ。
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