JPH09509762A

JPH09509762A - プラズマでアドレスされた液晶ディスプレイ用チャネル配置

Info

Publication number: JPH09509762A
Application number: JP8519636A
Authority: JP
Inventors: アドリアヌスエルイェーブルフマンス; ヘレプットヘンリエルイェーエルファン; ペトルスエフヘーボンガエルツ; トーマスエフバザック; ケヴィンジェイイルシジン; ポールシーマーティン; ジャコブブロイニンク; カレルエルベルトクェイク; ババーアリカーン
Original assignee: フィリップスエレクトロニクスネムローゼフェンノートシャップ; テクトロニクスインコーポレイテッド
Priority date: 1994-12-21
Filing date: 1995-12-04
Publication date: 1997-09-30
Also published as: KR970701405A; KR100395837B1; DE69511846D1; EP0746836A1; EP0746836B1; DE69511846T2; WO1996019790A1; US5696569A

Abstract

(57)【要約】電気光学物質の層、電気光学物質の層と結合し電気光学層の部分を活性化するデータ電圧を受け取るように用いられるデータ電極、及び前記電気光学部を選択的にスイッチングするためのデータ電極に対し概して横方向に延在する複数のプラズマチャネルを含むプラズマでアドレスされたディスプレイ装置である。これらのプラズマチャネルは、それぞれ間隔を空けて延在するカソード及びアノードプラズマ電極及びイオン化可能な気体充填剤を含む。性能を向上させ、有効開口を拡げ、安定な放電を提供するために、チャネルが、実質的に平坦な底面部、及び湾曲させた側壁面部とともに配置され、これらの側壁面部上に、電極の間の間隔が増加し、これらの電極面が９０°程度の角を形成するように電極が堆積されている。他の特徴には、ブラックマスクを設け、減極することがある入射光を遮蔽すること、及び単一マスクを用いて電極を形成する新規な方法が含まれる。

Description

【発明の詳細な説明】プラズマでアドレスされた液晶ディスプレイ用チャネル配置本発明は、一般に“ＰＡＬＣ”ディスプレイ装置と称せられるプラズマでアドレスされた液晶ディスプレイパネルに関する。代表的に、これらの装置は、インジウム−スズ酸化物が一般的に用いられることから、一般に”ＩＴＯ”カラム又は電極と称せられる平行な透明カラム電極が堆積され、その電極の上に色フィルター層が堆積された第１の基板；すべてのＩＴＯカラムを横切るディスプレイの行に対応する平行な封止されたプラズマチャネルを含み、各カラムがヘリウムのような低圧イオン化可能な気体で満たされ、及び気体をイオン化してプラズマを生じさせるためのチャネルに沿う空間を空けられたカソード電極及びアノード電極を含み、これらのチャネルが薄い透明絶縁体により閉塞されている第２の基板；及びこれらの基板間に位置する電気光学物質、例えば液晶（ＬＣ）物質を含んでいる。この構造は、アクティブマトリックス液晶ディスプレイのように振る舞い、各ピクセルでの薄膜トランジスタスイッチは、行スイッチとして作用するプラズマチャネルにより置換され、ＬＣピクセル素子の行を選択的にアドレスされる。操作において、表示すべき画像を示す連続するラインのデータ信号をカラム位置でサンプリングし、サンプリングされたデータ電圧をそれぞれＩＴＯカラムに印加する。１種以外のすべての行プラズマチャネルは、消イオンされたか又は誘導されない状態で存在する。１種のイオン化された選択チャネルのプラズマは誘導され、事実上、ＬＣ層のピクセルの行の隣接する側面上に基準電位を確立し、各ＬＣピクセルをデータ信号の印加したカラム電位まで充電させる。イオン化されたチャネルは止められ、ＬＣピクセル充電を絶縁され、フレーム期間の間にデータ電圧を蓄積する。次の行のデータがＩＴＯカラム上に現れる場合、連続するプラズマチャネルの行のみがイオン化され、連続する行のＬＣピクセル、等の中にデータ電位を貯蔵する。良く知られているように、背面光又は入射光に対する各ＬＣピクセルの減衰はピクセルを横切る蓄積した電圧の関数である。より一層詳細な説明は、Buzak et al.の、“A 16-Inch Full Color Plasma Addressed L iquid Crystal Display”、Digest of Tech．Papers，1993 SID Int．Symp.，So c．for Info．Displ．pp．883〜886に与えられている。理想的なプラズマチャネルにより、短時間（プラズマ形成時間）に、低電圧でチャネルの全長にわたりプラズマを確立することができる。イオン化電圧を切った後、同時に、理想的なチャネルにより、所定の時間の間、プラズマを十分な誘導状態に維持することができる。これにより、液晶ピクセル（データのセットアップ及び捕捉時間）で要求されるデータ信号電圧まで充電する時間をピクセル電気容量のために与えられる。この後、プラズマは所定の時間（プラズマ減衰時間）を経て誘導されなくなり、その結果、データラインのスイッチを切った後、ピクセル電圧は充電されない。現在の技術状態では、理想的なケースは、チャネルの長さにわたり確立されるプラズマを要求し、十分な誘導状態を維持してデータを最大限有効な行アドレス時間の半分未満でＬＣピクセル上に書き込めるようにする。その後、プラズマは誘導されないようにしなければならない。このことにより、ライン時間の残りを有用なクロストーク減少技術に用いることができる。ＰＡＬＣパネルにおける現在の状態の技術的知見は、チャネルの高さが所定の値を有していなければならないことである。特に、安定な放電を得るために、チャネルの高さｈが、プラズマ電極を構成する金属ラインの間の間隔ｄの少なくとも７５％でなければならない。このことをチャネルの外形に適用する。この外形において、金属ラインはほぼ平坦な表面上に平行に存在する。また、異なる外形のものが知られている。このものは、チャネルの側壁が相互に直立し、平行であり、２種の平行な金属ラインが互いに対立する側壁上で向かい合う場合、その際には、高さｈは、著しく小さくてもよいが、なお安定な気体放電を得るために、間隔ｄの少なくとも２５％である必要がある。小ピッチｐのプラズマチャネルを設け、及びチャネルの平坦面上に電極を配置することを所望する場合、チャネルのエッチング時間を短くするが、その際、チャネルの高さｈが小さすぎて安定な気体の放電を維持することができない。さらに、その際、一般に”開口”又は”開口率”と称される、過度に小さな光学的に有効なピクセル領域が得られる。”開口”はＬＣピクセルの可視部対ピクセルの全体の寸法の比である。例えば、２１インチのワークステーションのパネルでは、例えは、（１２８０×３）カラム（色当たり１）及び１０２４行を有し、及びチャネルピッチｐ＝３１２．５μｍ、高さｈ＝１００μｍ、並びに電極幅ｗ＝５０μｍ、電極間の間隔ｄ＝１００μｍを有する。このことは、有効な使用できる幅のパーセントを、１００／３１２．５×１００＝３２％に制限する。１１１μ ｍのＩＴＯカラムピッチｐ、５μｍのブラックマスク（周囲）の重複（クロストークを避けるため）、及び８６μｍのＩＴＯカラム幅ｗでは、有効ピクセル領域又は開口が２１．９％にすぎず、極めて小さい。本発明の目的は、優れたＰＡＬＣディスプレイ装置を提供することにある。本発明の他の目的は、より一層大きな光学的に有効なピクセル領域を有し、及び安定な気体放電を与えるＰＡＬＣディスプレイ装置を提供することにある。本発明の最初の観点によれば、ＰＡＬＣディスプレイ装置は浅いプラズマチャネルを含み、各チャネルは実質的に平坦な底部及び角を形成したか又は湾曲した側面を有し、角を形成したか又は湾曲した側面上に配列したカソード電極及びアノード電極を有する。この構成の利点は、より一層大きな開口によりディスプレイの輝度が増加することである。本発明のこの観点の好適例によれば、電極が相互に関して実質的に９０°の角度を形成するように電極を配置する。この構成により、電極間の間隔を拡げることができ、チャネルの高さを低くすることができる一方、なお安定な放電を与えることができる。本発明の他の観点によれば、ＰＡＬＣディスプレイ装置は、各チャネルが、幅ｃの、平坦底部に両側を接する湾曲したか又は角を形成した側面を有し、及び幅ｂの隣接するプラズマチャネルの間にリッジを形成する高さｈにまで上昇する実質的に平坦な底部を含む断面を有し、隣接するプラズマチャネルがピッチｐを有し、前記プラズマ電極がそれぞれ幅ｗを有し、幅ｄの間隔を空けられ、ｃ、ｈ、ｂ、ｐ、ｗ及びｄの値が（ｉ）０．０３ｐ≦ｂ≦０．１ｐ（ｉｉ）０．２８ｐ≦ｈ≦０．３４ｐ（ｉｉｉ）０．１ｐ≦ｗ≦０．２５ｐ（ｉｖ）０．６ｐ≦ｄ≦０．７５ｐであることを特徴とする。本発明の第２の観点による好適例では、それぞれの電極面が実質的に平坦な底面部と角度φを形成する。この角度は４０〜６０°の範囲内である。本発明の更に他の観点によれば、ブラックマスキングを配置内に設ける。このマスキングは、減極及びコントラストの損失を起こすことがある、チャネルの側壁上の入射する光を遮蔽する。本発明のさらなる他の観点によれば、電極フィルムをパターンニングするために単一のマスクだけを使用して電極を側壁上に設けるための新規な方法を記載する。本発明を特徴付ける新規な種々の特徴は、特に添付し本発明の開示の一部を形成する請求の範囲において指摘する。本発明、本発明の実施による利点及び本発明の使用により達成される所定の目的のより一層好ましい理解のために、添付図面及び説明的事項を参照する必要がある。これらは、本発明の好適例を例示し説明するものであり、同様な参照番号又は記号は同一又は同様の成分を意味する。図面には：図１は、通常のフラットパネルディスプレイシステムの概略ブロック線図である。図２は、通常のＰＡＬＣディスプレイ装置の一部を透視した図である。図３は、本発明の特徴に従う一例の形態のＰＡＬＣディスプレイ装置のチャネルの断面図である。図４は、本発明の他の形態のＰＡＬＣディスプレイ装置の断面図である。図５Ａは、本発明の特徴に従うブラックマスキングの配置の一例の形態を示すチャネルプレートの一部の概略側面図である。図５Ｂは、図５Ａで示すチャネルプレートの一部の概略上面図である。図６Ａは、本発明の特徴に従う電極を製造するための方法の一例の形態において、どのようにレジストを露光するかを示すチャネルプレートの一部の概略側面図である。図６Ｂは、レジストを露光するのに使用したマスクと得られた電極の関係を示す、図５Ａに示したチャネルプレートの一部の概略上面図である。図１には、フラットパネルディスプレイシステム１０を示す。このシステムは、代表的なＰＡＬＣディスプレイ装置であり、操作電子回路構成である。図１に示すフラットパネルディスプレイシステムはディスプレイ表面１４を有するディスプレイパネル１２を含む。このディスプレイパネル１２は、公称上同一のデータ貯蔵素子又はディスプレイ素子１６の矩形のプレーナ配列により形成されたパターンを含む。これらの素子１６は、縦方向及び横方向に予め決められた距離だけ隔てて相互に間隔を空けられている。配列中の各ディスプレイ素子１６には、縦のカラムに配列された薄くて、狭い電極１８と横の行に配列された延びた、狭いチャネル２０とのオーバーラッピング部がある。（電極１８は、以降時々“カラム電極”と称する）。チャネル２０のそれぞれの行におけるディスプレイ素子１６は、データの１種のラインを示す。カラム電極１８及びチャネル２０の幅は、ディスプレイ素子１６の寸法により決まる。ディスプレイ素子１６は、代表的に矩形である。カラム電極１８は、第１の電気的に不導電性の、光学的に透明な基板３４の主要表面上に堆積される。また、チャネルの行は、通常、第２の透明基板３６中に組み込む。当業者は、所定のシステム、例えば、直視又は映写型のいずれの反射ディスプレイも、唯一の基板が光学的に透明であることが要求されると認めるであろう。カラム電極１８は、アナログ電圧タイプのデータ駆動信号を受け取る。この信号は、データドライバ又は駆動回路２４の異なる種類の出力増幅器２３（図２）により平行出力導体２２′上で現像される。また、チャネル２０は、電圧パルスタイプのデータストローブ信号を受け取る。この信号は、データストローブ又はストローブ手段又はストローブ回路２８の異なる種類の出力増幅器２１（図２）により平行出力導体２６′上で現像される。それぞれのチャネル２０には、基準電極３０（図２）が含まれる。基準電位、例えばアースは各チャネルに共通し、データストローブ２８が適用される。ディスプレイ表面１４の全領域上に画像を合成するために、ディスプレイシステム１０はスキャン制御回路３２を用いる。この回路３２は、データドライバ２４とデータストローブ２８の機能を調和させる。結果として、ディスプレイパネル１２のディスプレイ素子１６のすべてのカラムが行スキャン様式における行により行にアドレスされる。ディスプレイパネル１２には、種々の種類の電気光学物質を用いることができる。例えば、入射光線の分極状態を変化させるような物質を用いる場合、ディスプレイパネル１２を一対の光偏光フィルタの間に配置する。このフィルタはディスプレイパネル１２と共同して、それらのフィルタを介して伝搬する光の輝度を変化させる。電気光学物質としてスキャッタリング液晶セルを用いることにより、偏光フィルタを用いる必要はなくなる。しかし、すべてのかかる物質又は物質の層は、本明細書では電気光学物質と称するその物質を横切る電圧に応じて、透過するか又は反射する光を減衰させる。ＬＣ物質が、現在最も一般的な例であるので、詳細な説明ではＬＣ物質に言及するが、本発明はこれらの物質に限定されるものではない。色フィルタ（図示していない）をディスプレイパネル１２内に配置し、制御し得る色強度の多色画像を現像することができる。映写ディスプレイのために、更に色を３種の別々の単色パネル１２を用いることにより達成することができる。それぞれのパネルは１種の原色を制御する。図２は、ＬＣ物質を用いるかかるディスプレイパネルのＰＡＬＣバージョンを例示する。３種のカラム電極１８のみを示す。行電極２０は、多数の平行な、延ばされ封止したチャネルにより構成され、ＬＣ物質の層４２が下にある（図２）。それぞれのチャネル２０をイオン化可能な気体４４で満たし、薄い誘電シート４５、代表的にガラスを用いて閉塞する。更に、このチャネル２０は、内部チャネル表面上に、第１の間隔を空けた延びた電極及び第２の間隔を空けた延びた電極３０、３１を含む。これらの電極は、各チャネルの全長にわたり延在する。第１の電極３０は、アースされ、一般にカソードと称される。第２の電極３１は、アノードと称される。その理由は、この電極がカソード電極に関して、カソード電極３０から電子を放出し気体をイオン化するのに十分な陽性ストローブパルスを供給されるからである。上述したように、各チャネル２０は、順に、ストローブパルスを用いて気体をイオン化し、プラズマ及び上記ＬＣ層４２中のピクセルの行に対するアースされたライン接続を形成する。ストローブパルスを終了させた場合、及び減極が起こった後、次のチャネルをストローブし接続する。カラム電極１８は、それぞれピクセルのすべてのカラムを横切るため、プラズマ行接続の１種だけを同時にオンすることにより、同時にクロストークを避けることができる。図３は、チャネル２０を備えているＰＡＬＣディスプレイ装置のちょうど基板の部分を示している。この基板３６は、典型的にはガラス製であるが、引用した特許および文献に記載されているようにしてエッチングされたチャネル２０を備えており、陽極３０および陰極３１は、典型的には、このチャネルの表面上に気相堆積される。従来技術の典型的なチャネルの配置は、半円筒形状であり、湾曲した横に並ぶ側面上に電極を備えているか、または、直角に並ぶ、鉛直な側壁面上の電極を備えている平坦な底部を備えている。双方の配置ともに、上記したように、不満足な結果をもたらす。本発明の特徴に従って、図３の例に示すように、実質的に平坦な底面部分５０および湾曲した横に並ぶ側壁面５２を備えているチャネルの配置によって、チャネルの高さが低減する。上記したように、このチャネルのピッチはｐであり、このチャネルの高さはｈであり、この電極の幅はｗであり、電極間の間隔はｄであり、ｃは平坦な底部５０の幅である。明記されるように、電極３０、３１は、湾曲した側壁が湾曲しはじめる場所の直前から始まる。しかし、上記した典型的な寸法において、記載したように、開口率は最適ではない。本発明の特徴に従って、チャネル６０の配置を図４に示した配置に変更した場合に、改善された結果を得ることができる。図４において、カソード３０とアノード３１との間の間隔ｄは、平坦な底面部分６４を広げることによって増大し、これによって電極が、チャネルの湾曲面部分６２の上まで更に再配置される。電極を示す金属線３０、３１の側壁面６２上の場所を選択することによって、電極表面６６が、下方へと延びるものとすると、底面（即ち、水平面）の平坦部分６４の外側外延に対して、約４０°〜６０°の角度、好ましくは４５°の角度を、従って９０°のオーダーの前記の表面間の角度を、それぞれ形成するであろう。これは、光学的に有効なピクセル面積の一層の増大をもたらす。ｄの値を２００ μｍとすると、２００／３１２．５×７６／１１１×１００＝４３．８％の開孔率が得られ、これは従来の装置に比べて、極めて著しい向上であり、アクティブマトリックスＬＣＤに対して非常に適合している。更に、本発明の他の特徴に従って、湾曲した側壁６２に隣接するチャネルの湾曲部分を、黒色のマスクまたは包囲物によって遮蔽することによって、偏光した光がこれらの部分に到達するのを防止することができる。なぜなら、これらの湾曲した部分において、光の偏光解消が生ずるからである。理解できるであろうように、通常のＬＣＤパネルの一形態は、入射光に対する偏光子（図示しない）を備えており、このＬＣ材料は、偏光光を、印加電圧に対応して、光の偏光面を回転させることによって変調し、出力側偏光子（図示しない）による選択的な遮蔽を可能とする。このようなディスプレイによれば、この偏光した光が湾曲した面から反射するときには、その偏光が解消され、従って出力偏光子によっては適切に制御されない。本発明の他の特徴に従って、ブラックマスクを使用することによって、隣接するチャネルのチャネル側壁上に、少なくとも隣接するチャネルのそれぞれ最も近い電極の間で、光が入射するのを防止する。図４に破線で示すように、ブラックマスク７０を、チャネルの全長に沿って設けることができ、このチャネル６０のリッジと湾曲部分とを−少なくとも壁部６２を含むように−遮蔽する。ブラックマスク７０は、望ましくない光の偏光解消を抑制し、ディスプレイのコントラストを増大させるであろう。この特徴によって得られる利点は、チャネルの底部の幅ｄが延びることであり、これは開口の寸法に対する作用が最小限であることを意味している。引用した１９９３年のＳＩＤダイジェスト論文に説明されているように、典型的には、チャネルのリッジおよび色フィルター部材に対するブラックマスクを、ＩＴＯ電極の形成および色フィルターの処理の後に、基板３４上に設ける。このように、図４に示すブラックマスク７０もまた、これと同様に設けることができる。しかし、このマスク７０は、もし望むならば、薄い誘電性シート４５上に設け得ることも、理解されるであろう。図５Ａおよび図５Ｂは、いくつかの隣接するチャネル６０に対するブラックマスク７０の配置を図示しており、図５Ａはちょうど電極３０、３１およびマスク７０の断面図であり、図５Ｂはその平面図である。図５Ｂは、一行のピクセルを輪郭付けるのに使用するブラックマスク縞７１をも示している。このチャネルの底面の光学的に使用される部分は、平坦部分６４と、電極３０、３１の縁部にまで至る隣接する湾曲部分６８とを備えているが、ほぼ平坦であり、光の偏光解消はここではほとんど生じないであろう。金属線３０、３１は、ここでは、約９０°の角度の下で互いに対向しているので、このチャネルの高さｈは、平坦面上に横たわっている金属線の場合におけるよりも低くなりうるが、この底面に対して垂直に延びる側壁上に電極があるような配置におけるよりも高くなりうる。この場合において必要な高さｈは、この間隔ｄの約５０％であろう。これは，上記した例についてはｈ＝１００μｍをもたらす。本発明は、上記した特定例には限定されない。一般的には、所望のピッチｐを与えたとき、ｂは、隣接するチャネルの間の側壁によって形成されるリッジの幅を示し、φは、電極の表面６６が、平坦な底部６４との間で形成する角度であり、他の値の好ましい範囲は次の通りである。（１）０．０３ｐ≦ｂ≦０．１ｐ（ｉｉ）０．２８ｐ≦ｈ≦０．３４ｐ（ｉｉｉ）０．１ｐ≦ｗ≦０．２５ｐ（ｉｖ）０．６ｐ≦ｄ≦０．７５ｐ（ｖ）４０° ≦φ≦６０° （ｖｉ）０．２２ｐ≦ｃ≦０．４１ｐ上記した範囲内のパラメーターｂによると、無駄になる空間が少なく、薄いチャネルリッジが得られるという利点がある。上記したように、上記した範囲内のパラメーターｈによると、チャネルのエッチング時間を短縮できるという利点がある。上記した範囲内のパラメーターｃおよびｄによると、開口が増大し、偏光解消の発生が少なくなり、光の出力とコントラスト結果との増大が得られるという利点がある。上記した範囲内のパラメーターφによると、チャネルの高さを減少させうるという利点がある。上記した範囲内のパラメーターｗによると、安定した放電が可能であるという利点がある。幾つかの好適な実施例は（角度以外のすべての値は、μｍ単位である）、（１）ｐ＝３１２のときに、φ＝６０°、ｂ＝２０、ｄ＝２１５、ｈ＝９０、ｗ＝７８、およびｃ＝１１２；（２）ｐ＝５００のときに、φ＝４０°、ｂ＝５０、ｄ＝３０４、ｈ＝１６０、ｗ＝５０、およびｃ＝１３０。底部６４の平面度は、好ましくは、高さｈの百分率で表したときに、ショートレンジでは±１％の裕度の範囲内であり、ロングレンジ（ほぼチャネルの長さまたはパネルの寸法）では±５％の裕度の範囲内である。この表面は光学的に平坦であってよく、ガラス基板３６中のチャネルをエッチングするための通常のウエットエッチングプロセスの結果として滑らかに変化する。引用した特許文献および刊行物に記載されているすべての方法が、本発明のパネル用のチャネルおよび電極を作製するのに好適でありえる。図４に示すように、チャネル６０を、平坦な底部６４および湾曲した側壁と共にエッチングするのに好適な方法は、幅広いマスク開口を使用して標準的なウエットエッチング技術を採用することであり、一般的には、この幅広いマスク開口の上側に平坦な底部６４が配置されるように幅広いマスク開口を配置し、深さｈまで下方へとエッチングする。典型的には、前記電極３０、３１を形成するには、全チャネルプレートの上に電極材料の膜を気相法によって堆積し、気相堆積された電極層の上に適当なエッチレジストをスプレー塗布するかまたはスピン塗布し、このレジストをマスクを通して通常の近接印刷技術で露光し、このレジストを現像し、最後に露光された電極金属をエッチングし、レジストの残留物を剥離させる。典型的には、この露光を垂直方向に行い、この光線をチャネル平面に対して垂直方向に投射させる。この既知のプロセスは、図３および図４に示したチャネルの配置には特には適合してはいない。なぜなら、これらの電極が、湾曲した側壁上まで配置されているからである。本発明の他の特徴に従い、このレジストの露光を、レジストの一方の側面を露光する一方の方向に対して約４５°の角度の下に行い、次いでマスクを前記テーブルに対して１８０°回転させ、次いでレジストの他方の側面を、他方の方向に対して約４５°の角度で露光する。これは、最も簡単な形でも２つの異なる方向からの２回の露光を必要とするけれども、一つしかマスクを必要としないという重要な利点を有しており、従ってマスクのアライメイント問題を回避できる。図６Ａは、幾つかのチャネル６０を備えているチャネルプレート７５と、露光マスク７６とを示しており、露光マスク７６は、レジストで被覆された電極膜７８に達する放射のためのスリット７７を備えている。矢印８０、８１は、マスクの回転の前後において露光放射ビームが入射する、マスク面に対して２つの実質的に４５°の角度を示している。例えば、実際には、最初にチャネルの一方の側面にビーム８０が照射され、マスクが回転し、このレジストにビーム８１が照射されるであろう。このマスク７６が回転すると、次いで、チャネルのマスクスリット７７に対する位置が、図６Ｂに示す実線７７から、破線７７’へと変化する。図６Ｂは、マスクスリット７７に対する正極３０および負極３１の位置を示しており、スリット７７を備えている一つのマスクを使用して、双方の電極を形成する方法を示しており、双方の電極は、細長い末端部分を備えており、細長い末端部分は、互いに分枝しており、これに対する接続を形成している。本発明は、コンピューターのモニター、ワークステーションまたはＴＶ用途に使用されている、典型的には小さいチャネルピッチを有している、すべての種類のＰＡＬＣディスプレイに適用できる。本発明の好適な実施形態について説明してきたけれども、上記において概説した原理の範囲内で本発明を変更することは、本技術分野に習熟した者には自明であり、従って本発明は、好適な実施形態には限定されることはなく、このような変更形態を包含することを意図していることが、理解されるべきである。別の言葉で述べれば、本発明は、プラズマでアドレスされた電気光学ディスプレイ装置に関するものであり、この装置は、電気光学材料の層、この電気光学層に結合されたデータ電極であって、この電気光学層の活性化部分に対するデータ電圧を受けるのに適合したデータ電極、およびこのデータ電極に対してほぼ横方向に延び、前記電気光学部分に対して選択的にスイッチングするための複数のプラズマチャネルを備えている。これらのプラズマチャネルは、それぞれ、離された細長い陰極プラズマ電極と陽極プラズマ電極とを備えており、イオン化可能な気体状充填物を備えている。性能を向上させ、有効な開口を増大させ、安定な放電をもたらすために、各チャネルに実質的に平坦な底面部分と、湾曲した側壁面部分とを設け、湾曲した側壁面部分の上に電極を堆積させることによって、各電極の間の間隔が増大し、電極の表面が、９０°のオーダーの角度を形成するようにする。他の特徴としては、ブラックマスクを設けて、変更解消しうる入射光を遮蔽することを含み、１つのマスクを使用して前記電極を形成する新規な方法を含む。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者ブルフマンスアドリアヌスエルイェーオランダ国 5655 カーアーアインドーフェンフィフェルホーフ３ (72)発明者ファンヘレプットヘンリエルイェーエルオランダ国 5626 ベーヴェーアインドーフェンアハトセロープ 21 (72)発明者ボンガエルツペトルスエフヘーオランダ国 5581 セーエスワーレベルテリンディスラーン 15 (72)発明者バザックトーマスエフアメリカ合衆国オレゴン州 97007 ビーヴァートンエスダブリューストーンクリークドライブ 9755 (72)発明者イルシジンケヴィンジェイアメリカ合衆国オレゴン州 97007 ビーヴァートンエスダブリューハージスロード 16728 (72)発明者マーティンポールシーアメリカ合衆国ワシントン州 98685 ヴァンクーヴァーエヌダブリュートゥエンティフォースアヴェニュー 11803 (72)発明者ブロイニンクジャコブオランダ国 5644 デーセーアインドーフェントレブラーン 23 (72)発明者クェイクカレルエルベルトオランダ国 5551 エムエルドンメレンクロンペンマケルウェット 10 (72)発明者カーンババーアリアメリカ合衆国ニューヨーク州 10562 オシニングブラッケンロード 15

Claims

【特許請求の範囲】１．電気光学物質の層、電気光学層に結合し電気光学層の活性化部分のためのデータ電圧を受け取るのに適用されるデータ電極、及び前記電気光学部を選択的にスイッチングするためのデータ電極に対し概して横方向に拡がる複数の延在したプラズマチャネルを含み、前記プラズマチャネルが、それぞれ、底面部及び両側に位置する側壁面部並びにチャネルの表面部上の間隔を空けたカソードプラズマ電極及びアノードプラズマ電極並びにイオン化可能な気体充填剤を含むプラズマアドレスされたディスプレイ装置であって、それぞれのチャネルが、側壁部上に位置するカソード電極及びアノード電極を有する湾曲したか又は角を形成した側壁面部により両側に延びた実質的に平坦な底面部を有するように配置されていることを特徴とする、プラズマアドレスされたディスプレイ装置。２．電極が距離を隔てて間隔を空けられ、縦方向の側壁を有する構造に比べてより一層大きな開口を生じることを特徴とする、請求項１記載の装置。３．電極の表面が角を形成し、チャネルの高さｈが、半円筒形であるチャネル配置のチャネル高さに比べて減少していることを特徴とする、請求項１記載の装置。４．それぞれのチャネルが、幅ｃの、実質的に平坦な底部の両側を形成する湾曲したか又は角を形成した側面を有し、かつ幅ｂの隣接するプラズマチャネル間にリッジを形成する高さｈにまで上昇する平坦な底部の側面を含む断面を有し、隣接するプラズマチャネルがピッチｐを有し、前記プラズマ電極がそれぞれ、幅ｗを有し、かつ幅ｄの間隔を空けられ、ｂ及びｐの値が、（ｉ）０．０３ｐ≦ｂ≦０．１ｐであることを特徴とする、請求項１記載の装置。５．それぞれのチャネルが、幅ｃの、実質的に平坦な底部の両側を形成する湾曲したか又は角を形成した側面を有し、かつ幅ｂの隣接するプラズマチャネル間にリッジを形成する高さｈにまで上昇する平坦な底部の側面を含む断面を有し、隣接するプラズマチャネルがピッチｐを有し、前記プラズマ電極がそれぞれ、幅ｗを有し、かつ幅ｄの間隔を空けられ、ｈ及びｐの値が、（ｉ）０．２８ｐ≦ｈ≦０．３４ｐであることを特徴とする、請求項１記載の装置。６．それぞれのチャネルが、幅ｃの、実質的に平坦な底部の両側を形成する湾曲したか又は角を形成した側面を有し、かつ幅ｂの隣接するプラズマチャネル間にリッジを形成する高さｈにまで上昇する平坦な底部の側面を含む断面を有し、隣接するプラズマチャネルがピッチｐを有し、前記プラズマ電極がそれぞれ、幅ｗを有し、かつ幅ｄの間隔を空けられ、ｐ及びｗの値が、（ｉ）０．１ｐ≦ｗ≦０．２５ｐであることを特徴とする、請求項１記載の装置。７．それぞれのチャネルが、幅ｃの、実質的に平坦な底部の両側を形成する湾曲したか又は角を形成した側面を有し、かつ幅ｂの隣接するプラズマチャネル間にリッジを形成する高さｈにまで上昇する平坦な底部の側面を含む断面を有し、隣接するプラズマチャネルがピッチｐを有し、前記プラズマ電極がそれぞれ、幅ｗを有し、かつ幅ｄの間隔を空けられ、ｐ及びｄの値が、（ｉ）０．６ｐ≦ｄ≦０．７５ｐであることを特徴とする、請求項１記載の装置。８．それぞれの電極面が４０〜６０°の範囲内で平坦底面部と角φを形成していることを特徴とする、請求項１記載の装置。９．チャネルの湾曲したか又は角度を形成した側壁面部の少なくとも一部を被覆するためにブラックマスキングが設けられていることを特徴とする、請求項１記載の装置。 10．側壁面部がチャネル間のリッジを形成している請求項１記載の装置において、ブラックマスキングが、湾曲したか又は角を形成した側壁部及びリッジ上に入射する光を遮蔽するような位置に設置されていることを特徴とする、プラズマアドレスされたディスプレイ装置。