JPH095034A - 画像入力方法及びその装置並びにこれを適用した装着位置検査装置 - Google Patents

画像入力方法及びその装置並びにこれを適用した装着位置検査装置

Info

Publication number
JPH095034A
JPH095034A JP7159273A JP15927395A JPH095034A JP H095034 A JPH095034 A JP H095034A JP 7159273 A JP7159273 A JP 7159273A JP 15927395 A JP15927395 A JP 15927395A JP H095034 A JPH095034 A JP H095034A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
wavelength
lead
image data
light
objects
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP7159273A
Other languages
English (en)
Inventor
Masaki Nakamura
雅樹 中村
Tomoo Suzuki
智夫 鈴木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Toshiba FA Systems Engineering Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Toshiba FA Systems Engineering Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp, Toshiba FA Systems Engineering Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP7159273A priority Critical patent/JPH095034A/ja
Publication of JPH095034A publication Critical patent/JPH095034A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

(57)【要約】 【目的】本発明は、各リードなどの各対象物の画像デー
タを別々に取り込んで各対象物の相対位置を正確に検査
する。 【構成】LCDリード1に対する反射率の高い第1の波
長(緑色)及び反射率の低い第2の波長(青色)を含む
光をLCDリード1及びTCPリード2に同軸落射照明
するとともにこれら波長以外の第3の波長(赤色)の光
を斜光照明し、LCDリード1及びTCPリード2から
の反射光を各波長別に分離してそれぞれ画像データとし
て入力し、これら画像データのうち第1と第2の画像デ
ータとの差画像データを求め、この差画像データと第3
の波長(赤色)による画像データをそれぞれスキャンし
てTCPリード2の位置及びLCDリード1の位置を検
出し、その相対位置を検出する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば液晶ディスプレ
イ(以下、LCDと称する)をテープ・キャリア・パッ
ケージ(以下、TCPと称する)に対して装着した後、
LCDリードとTCPリードとの各画像を入力する画像
入力方法及びその装置、並びにこれらLCDリードに対
するTCPリードの装着位置を検出する装着位置検査装
置に関する。
【0002】
【従来の技術】LCDをTCPに対して装着する際、例
えばこれらLCDリードとTCPリードとが、図6に示
すような位置関係となっていることがある。この場合、
LCDリード1とTCPリード2とは、重なり合ってい
るが、僅かにずれた状態にある。
【0003】これらLCDリード1及びTCPリード2
の相対位置は、LCDをTCPに対して装着した後に確
認する必要があるので、これらLCDリード1に対する
TCPリード2の装着位置の検査が行われる。
【0004】この装着位置の検査は、LCDリード1及
びTCPリード2に対して白色光を照射して画像を入力
し、この画像データからLCDリード1とTCPリード
2との相対位置を検出している。
【0005】この場合、LCDとTCPとの装着後の画
像データは、白色光を照射して取り込んでいるので、図
7(a) に示すようにLCDリード1とTCPリード2と
の重なり合った画像となっている。
【0006】この画像データからLCDリード1とTC
Pリード2との位置関係は、同図(b) に示すように各リ
ード1、2の重なり合っているa−a´部分では測定不
可能である。
【0007】このため、画像データにおけるb−b´部
分及びc−c´部分でそれぞれスキャンしてTCPリー
ド2とLCDリード1と各位置を別々に求め、これら位
置から各リード1、2の重なり合っているa−a´部分
の位置を推測している。
【0008】しかしながら、図6に示すようにLCDリ
ード1とTCPリード2との重なり合っている幅dが変
化すると、その都度、リード位置検出のためのb−b´
部分及びc−c´部分の位置も移動しなければならな
い。
【0009】又、LCDリード1及びTCPリード2
は、図8に示すように曲り部分が形成されていたり、図
9に示すように例えばTCPリード2が傾いて装着され
ている場合がある。
【0010】このような形状のLCDリード1及びTC
Pリード2に対し、上記方法によるb−b´部分及びc
−c´部分から相対位置を検出すると、各リード1、2
の曲りや傾斜により検出誤差が生じる。
【0011】従って、圧着後のLCDとTCPとの配線
パターンの相対位置の誤差を最小限にするためには、a
−a´部分においてLCDリード1とTCPリード2と
の各位置を検出しなければならないが、図7に示す画像
データではLCDリード1とTCPリード2との各位置
をそれぞれ別々に検出することが困難である。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】以上のようにLCDリ
ード1とTCPリード2との重なり合っている幅dが変
化すると、その都度、リード位置検出のためのb−b´
部分及びc−c´部分の位置も移動しなければならな
い。
【0013】又、LCDリード1及びTCPリード2に
曲り部分や傾斜して装着されていれば、これら曲りや傾
斜により検出誤差が生じる。そこで本発明は、各リード
などの各対象物の画像データを別々に取り込むことがで
きる画像入力方法及びその装置を提供することを目的と
する。
【0014】又、本発明は、各リードなどの各対象物の
画像データを別々に取り込んで各対象物の相対位置を正
確に検査できる装着位置検査装置を提供することを目的
とする。
【0015】
【課題を解決するための手段】請求項1によれば、第1
と第2の対象物との画像を入力する画像入力方法におい
て、第1の対象物に対する反射率の高い波長の第1の
光、及び第1の対象物に対する反射率の低い波長の第2
の光を第1及び第2の対象物に同軸落射照明し、第1及
び第2の光に含まれない波長の第3の光を第1及び第2
の対象物に斜光照明し、第1及び第2の対象物からの反
射光を第1、第2及び第3の光の各波長別に分離して画
像入力する、ようにして上記目的を達成しようとする画
像入力方法である。
【0016】請求項2によれば、第1と第2の対象物と
の画像を入力する画像入力装置において、第1の対象物
に対する反射率の高い第1の波長、及び第1の対象物に
対する反射率の低い第2の波長を含む光を第1及び第2
の対象物に対して同軸落射照明する同軸落射照明系と、
第1及び第2の波長以外の波長の光を第1及び第2の対
象物に斜光照明する斜光照明系と、第1及び第2の対象
物からの反射光を第1、第2及び第3の各波長別に分離
してそれぞれの画像データを入力する画像入力手段と、
を備えて上記目的を達成しようとする画像入力装置であ
る。
【0017】請求項3によれば、第1と第2の対象物と
の画像を入力してこれら対象物の位置関係を検出する装
着位置検査装置において、第1の対象物に対する反射率
の高い第1の波長、及び第1の対象物に対する反射率の
低い第2の波長を含む光を第1及び第2の対象物に対し
て同軸落射照明する同軸落射照明系と、第1及び第2の
波長以外の波長の光を第1及び第2の対象物に斜光照明
する斜光照明系と、第1及び第2の対象物からの反射光
を第1、第2及び第3の各波長別に分離してそれぞれの
画像データを入力する画像入力手段と、この画像入力手
段により画像入力された第1の波長による画像データと
第2の波長による画像データとの差画像データを求める
差画像演算手段と、この差画像演算手段により求められ
た差画像データと第3の波長による画像データとに基づ
いて第1と第2の対象物との相対位置を検出する位置検
出手段と、を備えて上記目的を達成しようとする画像入
力装置である。
【0018】請求項4によれば、第1と第2の対象物と
の画像を入力してこれら対象物の位置関係を検出する装
着位置検査装置において、第1の対象物に対する反射率
の高い第1の波長、及び第1の対象物に対する反射率の
低い第2の波長を含む光を第1及び第2の対象物に対し
て同軸落射照明する同軸落射照明系と、第1及び第2の
波長以外の波長の光を第1及び第2の対象物に斜光照明
する斜光照明系と、第1及び第2の対象物からの反射光
を第1、第2及び第3の各波長別に分離してそれぞれの
画像データを入力する画像入力手段と、同軸落射照明に
おいて第1の波長による第2の対象物に対する反射率が
低い場合、画像入力手段により入力された第1と第3と
の各波長による各画像データに基づいて第1と第2の対
象物との相対位置を検出する位置検出手段と、を備えて
上記目的を達成しようとする装着位置検査装置である。
【0019】請求項5によれば、第1の対象物が液晶デ
ィスプレイのリードであり、第2の対象物がテープ・キ
ャリア・パッケージのリードである装着位置検査装置で
ある。
【0020】
【作用】請求項1によれば、第1の対象物に対する反射
率の高い波長及び反射率の低い波長を含む光を第1及び
第2の対象物に同軸落射照明し、これと共に第1及び第
2の光に含まれない波長の第3の光を第1及び第2の対
象物に斜光照明する。
【0021】そして、これら第1及び第2の対象物から
の反射光を第1、第2及び第3の光の各波長別に分離し
てそれぞれ画像データとして入力する。これら画像入力
した波長別の各画像データであれば、各リードなどの各
対象物の画像データを別々に得ることができる。
【0022】請求項2によれば、第1の対象物に対する
反射率の高い第1の波長及び反射率の低い第2の波長を
含む光を同軸落射照明系から第1及び第2の対象物に対
して同軸落射照明し、これと共に第1及び第2の波長以
外の波長の光を斜光照明系から第1及び第2の対象物に
対して斜光照明する。
【0023】そして、これら第1及び第2の対象物から
の反射光を画像入力手段によって第1、第2及び第3の
各波長別に分離してそれぞれの画像データを入力する。
これら画像入力した波長別の各画像データであれば、各
リードなどの各対象物の画像データを別々に得ることが
できる。
【0024】請求項3によれば、第1の対象物に対する
反射率の高い第1の波長及び反射率の低い第2の波長を
含む光を同軸落射照明系から第1及び第2の対象物に対
して同軸落射照明し、これと共に第1及び第2の波長以
外の波長の光を斜光照明系から第1及び第2の対象物に
対して斜光照明する。
【0025】これら第1及び第2の対象物からの反射光
を画像入力手段によって第1、第2及び第3の各波長別
に分離してそれぞれの画像データを入力する。そして、
これら画像データのうち差画像演算手段により第1の波
長による画像データと第2の波長による画像データとの
差を求めることにより第1の対象物のみの差画像データ
が求められる。
【0026】又、第3の波長による画像データは、第2
の対象物のみが撮像されたものである。従って、位置検
出手段により上記差画像データと第3の波長による画像
データとに基づいて第1と第2の対象物との相対位置が
検出される。
【0027】請求項4によれば、第1の対象物に対する
反射率の高い第1の波長及び反射率の低い第2の波長を
含む光を同軸落射照明系から第1及び第2の対象物に対
して同軸落射照明し、これと共に第1及び第2の波長以
外の波長の光を斜光照明系から第1及び第2の対象物に
対して斜光照明する。
【0028】そして、これら第1及び第2の対象物から
の反射光を画像入力手段によって第1、第2及び第3の
各波長別に分離してそれぞれの画像データを入力する。
ここで、同軸落射照明において第1の波長による第2の
対象物に対する反射率が低い場合、第1の波長の光によ
る画像データは第1の対象物のみが撮像されたものとな
る。
【0029】従って、位置検出手段により第1と第3と
の各波長による各画像データに基づいて第1と第2の対
象物との相対位置が検出される。請求項5によれば、第
1の対象物が液晶ディスプレイのリードであり、第2の
対象物がテープ・キャリア・パッケージのリードであ
り、これらリードの相対位置が検出される。
【0030】
【実施例】以下、本発明の第1の実施例について図面を
参照して説明する。本発明の画像入力方法は、第1の対
象物であるLCDリードと第2の対象物であるTCPリ
ードとの画像を入力する場合、LCDリードに対する反
射率の高い波長(例えば、緑色)の第1の光、及びLC
Dリードに対する反射率の低い波長(例えば、青色)の
第2の光をLCDリード及びTCPリードに同軸落射照
明し、緑色及び青色に含まれない波長(例えば、赤色)
の第3の光をLCDリード及びTCPリードに対して斜
光照明し、これらLCDリード及びTCPリードからの
反射光を緑色、青色、赤色の各波長別に分離して画像入
力するものである。
【0031】図1は本発明の請求項1〜5に対応する画
像入力方法を適用した装着位置検査装置の構成図であ
る。TCP10上には、LCDガラス11が配置され、
例えばTCP10に対してLCDガラス11を装着した
状態にある。
【0032】このうちTCP10の上面には、銅箔やは
んだ、又は銅にはんだ鍍金して形成されるTCPリード
2がパターニングされている。又、LCDガラス11の
下面には、ITO(インジウム・チタン・オキサイド)
により形成される薄い半透過性の膜でであるLCDリー
ド1がパターニングされている。
【0033】これらTCP10及びLCDガラス11の
上方には、同軸落射照明系20、斜光照明系21、2
2、及び画像入力手段23が配置されている。このうち
同軸落射照明系20は、画像入力手段23の撮影レンズ
系24内のハーフミラー25を通してTCP10及びL
CDガラス11に対して落射照明するものとなってい
る。
【0034】この同軸落射照明系20は、LCDリード
1に対して反射率の高い第1の波長(緑色)の光、及び
LCDリード1に対して反射率の低い第2の波長(青
色)の光を、画像入力手段23の撮像光軸に対して同軸
上に落射照明する機能を有している。
【0035】各斜光照明系21、22は、TCP10及
びLCDガラス11に対して所定の傾斜角で、第1の波
長(緑色)の光、第2の波長(青色)の光の以外の第3
の波長(赤色)の光を斜光照明する機能を有している。
【0036】これら同軸落射照明系20及び各斜光照明
系21、22により照射光の波長分布は、例えば図2に
示す特性を示す。すなわち、LCDリード1に対して照
射する光には第1の波長(緑色)及び第2の波長(青
色)が含まれた領域で、TCPリード2に照射する光に
は第3の波長(赤色)が含まれた領域となっている。
【0037】又、LCDリード1からの反射光は、ほぼ
第1の波長(緑色)の領域となっている。画像入力手段
23は、撮影レンズ系24を通して光学的波長分離装置
26が光学的に接続され、さらにこの光学的波長分離装
置26に対して3台のCCDカメラ27〜29が光学的
に接続されている。
【0038】光学的波長分離装置26は、例えばダイク
ロイックミラーが用いられ、撮影レンズ系24を通して
入力される光を第1の波長(緑色)、第2の波長(青
色)、第3の波長(赤色)の各波長別に分離し、それぞ
れ3台のCCDカメラ27〜29に入射させる機能を有
している。
【0039】3台の各CCDカメラ27〜29の出力端
子には、それぞれ画像メモリ30〜32が接続されてい
る。差画像演算部33は、画像入力手段23により画像
入力されて各画像メモリ30〜32に記憶された各画像
データのうち、第1の波長(緑色)による画像データと
第2の波長(青色)による画像データとの差画像データ
を求める機能を有している。
【0040】位置検出部34は、差画像演算部33によ
り求められた差画像データと、各画像メモリ30〜32
に記憶された各画像データのうち第3の波長(赤色)に
よる画像データとに基づいてLCDリード1とTCPリ
ード2との相対位置を検出する機能を有している。
【0041】又、この位置検出部34は、同軸落射照明
において第1の波長(緑色)によるTCPリード2に対
する反射率が低い場合、画像入力手段23により画像入
力された第1と第3との各波長(緑色、赤色)による各
画像データに基づいてLCDリード1とTCPリード2
との相対位置を検出する機能を有している。
【0042】次に上記の如く構成された装置の作用につ
いて説明する。 (a) 同軸落射照明に対してTCPリード2の反射率が高
い場合 同軸落射照明系20は、撮影レンズ系24内のハーフミ
ラー25を通し、図3に示すようにLCDリード1に対
して反射率の高い第1の波長(緑色)の光、及びLCD
リード1に対して反射率の低い第2の波長(青色)の光
を、LCDリード1及びTCPリード2に対して同軸落
射照明する。
【0043】これと共に各斜光照明系21、22は、第
3の波長(赤色)の光をTCP10及びLCDガラス1
1に対して所定の傾斜角で斜光照明する。ここで、一般
にLCDリード1は、薄い半透過性の膜であるITOに
より形成されているので干渉フィルターと同じ働きを
し、反射光は特定の波長にピークを持つものとなる。そ
して、LCDリード1の表面は、鏡面に近いので、入射
角と反射角とはほぼ等しくなる。
【0044】これに対してTCPリード2は、その表面
が平滑でないので、一方向からの入射光に対しては散乱
反射する。従って、同軸落射照明系20から照射された
第1の波長(緑色)の光について見ると、この第1の波
長(緑色)の光は、LCDリード1及びTCPリード2
のいずれでも反射し、撮影レンズ系24に入射し、ダイ
クロイックミラー26で分離され、例えばCCDカメラ
27に入射する。
【0045】このCCDカメラ27は、第1の波長(緑
色)によるLCDリード1及びTCPリード2からの反
射光、つまり図4(a) に示すLCDリード1及びTCP
リード2の画像を撮像してその画像信号を出力する。こ
の画像信号は、画像メモリ30に送られて画像データと
して記憶される。
【0046】又、同軸落射照明系20から照射された第
2の波長(青色)の光について見ると、この第2の波長
(青色)の光は、TCPリード2でしか反射せず、これ
が撮影レンズ系24を通し、ダイクロイックミラー26
で分離され、例えばCCDカメラ28に入射する。
【0047】このCCDカメラ28は、第2の波長(青
色)によるTCPリード2からの反射光、つまり図4
(b) に示すLCDリード1で欠けた部分のあるTCPリ
ード2の画像を撮像してその画像信号を出力する。この
画像信号は、画像メモリ31に送られて画像データとし
て記憶される。
【0048】一方、各斜光照明系21、22から斜光照
明された第3の波長(赤色)の光について見ると、この
第3の波長(赤色)の光は、LCDリード1の表面にお
いて正反射するため、LCDリード1からの反射光は撮
影レンズ系24の方向に反射しない。
【0049】これに対して第3の波長(赤色)を斜光照
明したときのTCPリード2からの反射光は、散乱光と
なるので、これが撮影レンズ系24に入射し、ダイクロ
イックミラー26で分離され、例えばCCDカメラ29
に入射する。
【0050】このCCDカメラ29は、第3の波長(赤
色)によるTCPリード2からの反射光、つまり図4
(c) に示すTCPリード2のみの画像を撮像してその画
像信号を出力する。この画像信号は、画像メモリ32に
送られて画像データとして記憶される。
【0051】このように第1及び第2の波長(緑色、青
色)の光を同軸落射照射し、同時に第3の波長(赤色)
の光を斜光照明することにより、これら波長の各画像デ
ータが同時に得られる。
【0052】差画像演算部33は、これら画像メモリ3
0〜32に記憶された各画像データのうち、第1の波長
(緑色)による画像データ及び第2の波長(青色)によ
る画像データを読み出し、これら画像データの差、すな
わち図4(a) の画像データと同図(b) の画像データとの
差演算を行う。
【0053】この差演算により得られる差画像データ
は、図4(d) に示す画像であり、LCDリード1の部分
だけを分離したものとなる。位置検出部34は、差画像
演算部33により求められた差画像データを受け取ると
共に、各画像メモリ30〜32に記憶された各画像デー
タのうち第3の波長(赤色)による画像データ{図4
(c) }を読み出す。
【0054】そして、この位置検出部34は、第3の波
長(赤色)による画像データ{図4(c) }をスキャンし
てTCPリード2の位置を検出し、かつ差画像データ
{図4(d) }をスキャンしてLCDリード1の位置を検
出し、これら位置からTCPリード2とLCDリード1
との相対位置を検出する。
【0055】このとき、位置検出部34は、これら画像
データ{図4(c) }及び差画像データ{図4(d) }に対
して同一スキャンラインでスキャンし、TCPリード
2、LCDリード1の各位置を検出する。 (b) 同軸落射照明に対してTCPリード2の反射率が低
い場合 この場合、同軸落射照明系20は、LCDリード1に対
して反射率の高い第1の波長(緑色)の光のみを、LC
Dリード1及びTCPリード2に対して同軸落射照明す
る。
【0056】これと共に各斜光照明系21、22は、第
3の波長(赤色)の光をTCP10及びLCDガラス1
1に対して所定の傾斜角で斜光照明する。ここで、同軸
落射照明系20から照射された第1の波長(緑色)の光
について見ると、この第1の波長(緑色)の光は、LC
Dリード1において反射し、TCPリード2では殆ど反
射せず、LCDリード1からの反射光が撮影レンズ系2
4に入射し、ダイクロイックミラー26で分離され、例
えばCCDカメラ27に入射する。
【0057】このCCDカメラ27は、第1の波長(緑
色)によるLCDリード1のみからの反射光、つまり図
5(a) に示すLCDリード1の画像を撮像してその画像
信号を出力する。この画像信号は、画像メモリ30に送
られて画像データとして記憶される。
【0058】一方、各斜光照明系21、22から斜光照
明された第3の波長(赤色)の光について見ると、この
第3の波長(赤色)の光は、上記同様にLCDリード1
の表面において正反射するため、LCDリード1から撮
影レンズ系24の方向には反射しない。
【0059】これに対して第3の波長(赤色)を斜光照
明したときのTCPリード2からの反射光は、散乱光と
なるので、これが撮影レンズ系24に入射し、ダイクロ
イックミラー26で分離され、例えばCCDカメラ29
に入射する。
【0060】このCCDカメラ29は、第3の波長(赤
色)によるTCPリード2からの反射光、つまり図5
(b) に示すTCPリード2のみの画像を撮像してその画
像信号を出力する。この画像信号は、画像メモリ32に
送られて画像データとして記憶される。
【0061】位置検出部34は、これら画像メモリ3
0、32に記憶された各画像データ、つまり第1の波長
(緑色)による画像データ{図5(a) }、及び第3の波
長による画像データ{図5(b) }を読み出し、これら画
像データをそれぞれ同一スキャンラインでスキャンし、
TCPリード2の位置及びLCDリード1の位置を検出
し、これらリード1、2の各位置からTCPリード2と
LCDリード1との相対位置を検出する。
【0062】このように上記一実施例においては、LC
Dリード1に対する反射率の高い波長(緑色)及び反射
率の低い波長(青色)を含む光を同軸落射照明し、これ
ら波長以外の第3の波長(赤色)の光を斜光照明し、L
CDリード1及びTCPリード2からの反射光を各波長
別に分離してそれぞれ画像データとして入力するように
したので、これら波長別の各画像データであれば、これ
ら画像データを画像処理することによりLCDリード1
及びTCPリード2の各画像データを別々に得ることが
できる。
【0063】すなわち、これら画像データのうち第1の
波長(緑色)による画像データと第2の波長(青色)に
よる画像データとの差を求めることによりLCDリード
1のみの差画像データを得ることができ、第3の波長
(赤色)による画像データは、TCPリード2のみとな
っている。
【0064】従って、これら差画像データと第3の波長
(赤色)による画像データとをそれぞれスキャンすれ
ば、TCPリード2の位置及びLCDリード1の位置を
それぞれ個別に検出でき、これら位置からTCPリード
2とLCDリード1との相対位置を検出できる。
【0065】この場合、これら画像データをそれぞれ同
一スキャンライン上でスキャンして検出できるので、T
CPリード2とLCDリード1との相対位置を精度高く
検出できる。
【0066】一方、同軸落射照明に対してTCPリード
2の反射率が低い場合、第1の波長(緑色)の同軸落射
照明及び第3の波長(赤色)の斜光照明を行うだけで、
LCDリード1のみの画像データとTCPリード2のみ
の画像データとを容易にかつ直接に得ることができる。
【0067】従って、これらLCDリード1とTCPリ
ード2との各画像データに対してそれぞれ同一スキャン
ライン上でスキャンすることにより、これら画像データ
から直接かつ高速にTCPリード2とLCDリード1と
の相対位置を精度高く検出できる。
【0068】以上説明したようなLCDリード1及びT
CPリード2の相対位置の検出であれば、TCP10と
LCD11との装着後の装着位置検査において、LCD
リード1に対するTCPリード2の装着位置を高精度に
検査できる。
【0069】又、これらTCP10とLCD11との装
着後の装着位置検査に限らず、装着前の装着位置合わせ
検査、熱圧着後のTCP10の変形量検査にも適用でき
る。なお、本発明は、上記一実施例に限定されるもので
なく次の通り変形してもよい。
【0070】例えば、LCDリード1とTCPリード2
との位置関係の検出に限らず、半導体素子を内蔵したパ
ッケージの各リードとこれを装着する部分の各リードと
の位置合わせにも適用できる。
【0071】又、画像入力手段としてはダイクロイック
ミラー26及び3台のCCDカメラ27〜29を用いて
いるが、これらを1台のカラーテレビジョンカメラに代
えてもよい。
【0072】この場合、撮影レンズ系24を通ってくる
画像を1台のカラーテレビジョンカメラにより撮像し、
この後に映像信号を画像処理して各波長別の各画像デー
タに色分解することになる。
【0073】
【発明の効果】以上詳記したように請求項1の本発明に
よれば、各リードなどの各対象物の画像データを別々に
取り込むことができる画像入力方法を提供できる。又、
請求項2の本発明によれば、各リードなどの各対象物の
画像データを別々に取り込むことができる画像入力装置
を提供できる。
【0074】又、請求項3の本発明によれば、各リード
などの各対象物の画像データを別々に取り込んで各対象
物の相対位置を正確に検査できる装着位置検査装置を提
供できる。
【0075】又、請求項4の本発明によれば、同軸落射
照明に対して第2の対象物の反射率が低い場合には、第
1の波長の同軸落射照明及び第3の波長の斜光照明を行
うだけで、各リードなどの各対象物の画像データを別々
に取り込んで各対象物の相対位置を正確に検査できる装
着位置検査装置を提供できる。
【0076】又、請求項5の本発明によれば、LCDリ
ードとTCPリードの各画像データを別々に取り込み、
これらLCDリードとTCPリードとの相対位置を高精
度に検査できる装着位置検査装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係わる画像入力方法を適用した装着位
置検査装置の一実施例を示す構成図。
【図2】照射光の波長分布図。
【図3】同軸落射照明及び斜光照明のときの反射状態を
示す模式図。
【図4】同軸落射照明及び斜光照明のときの各画像を示
す模式図。
【図5】同軸落射照明に対してTCPリードの反射率が
低い場合における各画像を示す模式図。
【図6】LCDリードとTCPリードの水平方向の位置
関係を示す図。
【図7】従来におけるLCDリードとTCPリードの相
対位置の検出方法を示す図。
【図8】LCDリードとTCPリードとの装着例を示す
図。
【図9】LCDリードとTCPリードとの装着例を示す
図。
【符号の説明】
1…LCDリード、2…TCPリード、10…TCP、
11…LCDガラス、20…同軸落射照明系、21,2
2…斜光照明系、23…画像入力手段、24…撮影レン
ズ系、25…ハーフミラー、26…光学的波長分離装置
(ダイクロイックミラー)、27〜29…CCDカメ
ラ、30〜32…画像メモリ、33…差画像演算部、3
4…位置検出部。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 鈴木 智夫 東京都府中市晴見町2丁目24番地の1 東 芝エフエーシステムエンジニアリング株式 会社内

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 第1と第2の対象物との画像を入力する
    画像入力方法において、 前記第1の対象物に対する反射率の高い第1の波長の
    光、及び前記第1の対象物に対する反射率の低い第2の
    波長の光を前記第1及び第2の対象物に同軸落射照明
    し、 前記第1及び第2の波長に含まれない第3の波長の光を
    前記第1及び第2の対象物に斜光照明し、 前記第1及び第2の対象物からの反射光を前記第1、第
    2及び第3の各波長別に分離して画像入力する、ことを
    特徴とする画像入力方法。
  2. 【請求項2】 第1と第2の対象物との画像を入力する
    画像入力装置において、 前記第1の対象物に対する反射率の高い第1の波長、及
    び前記第1の対象物に対する反射率の低い第2の波長を
    含む光を前記第1及び第2の対象物に対して同軸落射照
    明する同軸落射照明系と、 前記第1及び第2の波長以外の波長の光を前記第1及び
    第2の対象物に斜光照明する斜光照明系と、 前記第1及び第2の対象物からの反射光を前記第1、第
    2及び第3の各波長別に分離してそれぞれの画像データ
    を入力する画像入力手段と、を具備したことを特徴とす
    る画像入力装置。
  3. 【請求項3】 第1と第2の対象物との画像を入力して
    これら対象物の位置関係を検出する装着位置検査装置に
    おいて、 前記第1の対象物に対する反射率の高い第1の波長、及
    び前記第1の対象物に対する反射率の低い第2の波長を
    含む光を前記第1及び第2の対象物に対して同軸落射照
    明する同軸落射照明系と、 前記第1及び第2の波長以外の波長の光を前記第1及び
    第2の対象物に斜光照明する斜光照明系と、 前記第1及び第2の対象物からの反射光を前記第1、第
    2及び第3の各波長別に分離してそれぞれの画像データ
    を入力する画像入力手段と、 この画像入力手段により画像入力された前記第1の波長
    による画像データと前記第2の波長による画像データと
    の差画像データを求める差画像演算手段と、 この差画像演算手段により求められた差画像データと前
    記第3の波長による画像データとに基づいて前記第1と
    第2の対象物との相対位置を検出する位置検出手段と、
    を具備したことを特徴とする装着位置検査装置。
  4. 【請求項4】 第1と第2の対象物との画像を入力して
    これら対象物の位置関係を検出する装着位置検査装置に
    おいて、 前記第1の対象物に対する反射率の高い第1の波長、及
    び前記第1の対象物に対する反射率の低い第2の波長を
    含む光を前記第1及び第2の対象物に対して同軸落射照
    明する同軸落射照明系と、 前記第1及び第2の波長以外の波長の光を前記第1及び
    第2の対象物に斜光照明する斜光照明系と、 前記第1及び第2の対象物からの反射光を前記第1、第
    2及び第3の各波長別に分離してそれぞれの画像データ
    を入力する画像入力手段と、 前記同軸落射照明において前記第1の波長による前記第
    2の対象物に対する反射率が低い場合、前記画像入力手
    段により入力された前記第1と第3との各波長による各
    画像データに基づいて前記第1と第2の対象物との相対
    位置を検出する位置検出手段と、を具備したことを特徴
    とする装着位置検査装置。
  5. 【請求項5】 前記第1の対象物が液晶ディスプレイの
    リードであり、前記第2の対象物がテープ・キャリア・
    パッケージのリードであることを特徴とする請求項3又
    は4記載の装着位置検査装置。
JP7159273A 1995-06-26 1995-06-26 画像入力方法及びその装置並びにこれを適用した装着位置検査装置 Pending JPH095034A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7159273A JPH095034A (ja) 1995-06-26 1995-06-26 画像入力方法及びその装置並びにこれを適用した装着位置検査装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7159273A JPH095034A (ja) 1995-06-26 1995-06-26 画像入力方法及びその装置並びにこれを適用した装着位置検査装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH095034A true JPH095034A (ja) 1997-01-10

Family

ID=15690185

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP7159273A Pending JPH095034A (ja) 1995-06-26 1995-06-26 画像入力方法及びその装置並びにこれを適用した装着位置検査装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH095034A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6331883B1 (en) 1997-11-19 2001-12-18 Kabushiki Kaisha Toshiba Flat panel display device and manufacturing method thereof
JP2011054110A (ja) * 2009-09-04 2011-03-17 Mitsutoyo Corp 画像処理型測定機および画像処理測定方法

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6331883B1 (en) 1997-11-19 2001-12-18 Kabushiki Kaisha Toshiba Flat panel display device and manufacturing method thereof
US6545737B2 (en) 1997-11-19 2003-04-08 Kabushiki Kaisha Toshiba Flat panel display device and manufacturing method thereof
JP2011054110A (ja) * 2009-09-04 2011-03-17 Mitsutoyo Corp 画像処理型測定機および画像処理測定方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7907270B2 (en) Inspection apparatus and method, and production method for pattern substrates
US4608494A (en) Component alignment apparatus
JP4990630B2 (ja) 表面検査装置及び表面検査方法
KR100777428B1 (ko) 화상처리 장치 및 방법
JP2004279178A (ja) 光学式膜計測装置
JP2005127989A (ja) 傷検出装置および傷検出プログラム
JP2000009591A (ja) 検査装置
JPH0875661A (ja) 欠陥検出装置
JPH0797022B2 (ja) 形状測定装置、形状測定方法、および形状測定装置の校正方法
US8079714B2 (en) Projector and method for acquiring coordinate of bright spot
JPH08247736A (ja) 実装基板検査装置
JPH095034A (ja) 画像入力方法及びその装置並びにこれを適用した装着位置検査装置
JPH0357241A (ja) 自動外観検査装置
JP4285613B2 (ja) 検査装置及び検査方法並びにパターン基板の製造方法
JP3223483B2 (ja) 欠陥検査方法とその装置
KR20060003709A (ko) 반도체 안착상태 및 외관형상 검사장치
JP3316829B2 (ja) 比較検査方法とその装置
JPH08186808A (ja) 画像処理方法及びその装置
JPH06160057A (ja) 電子部品のリード形状検査装置
JPH05332739A (ja) 外観検査装置
JPH10247669A (ja) ボンディングワイヤ検査装置および方法
JPH08136876A (ja) 基板検査装置
JPS6048683B2 (ja) 物体表面状態検査方法とその検査装置
JP3398754B2 (ja) 集積回路チップ浮き上がり検査装置
JPH10132704A (ja) 光学検査装置