JPH09501016A - 馴染み性の良好な伝熱性界面材料 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 伝熱性界面材料であって、ポリマーバインダー（２）、一つあるいは二つ以上の伝熱性フィラー（１）および拡張された金属メッシュ層（３）から形成されており、さらに、拡張された金属メッシュ層の少なくとも一部が、ポリマーバインダーの主要面の一つに部分的に埋没していることを特徴とする、前記伝熱性界面材料が開示されている。好適には、ポリマーバインダーは、感圧性接着剤であり、さらに好適には、伝熱性界面材料がテープ状あるいは自己接着性のパッド状である。

Description

【発明の詳細な説明】 馴染み性の良好な伝熱性界面材料 本発明は、熱源からヒートシンクに至る熱エネルギー移動が可能な、馴染み性 の良い伝熱性界面材料に関する。さらに具体的には、本発明は、伝熱性材料であ って、馴染み性に優れ、当該伝熱性材料を介して、接合される被着体に、良好か つより均一に接合可能な伝熱性材料に関する。 本発明の背景 本発明は、伝熱性界面材料であって、例えば電子部品等の熱源とヒートシンク の間に使用されるものである。本発明の最も一般的具体例は、半導体素子とヒー トシンクの間に使用され、半導体から発せられた熱を除去可能とするものである 。 かかる材料の典型としては、シリコーン、熱可塑性ゴム、アクリル、あるいは ウレタンのバインダーに一つまたはそれ以上の伝熱性材料が充填されており、熱 移動界面に使用されるものである。このような製品の一つとしては、伝熱性材料 チョーサーム（商標ＣＨＯ−ＴＨＥＲＭ、チョメリックス社より入手可能）があ り、シリコーンまたはウレタンバインダーにフィラーとしてアルミナあるいはボ ロンナイトライドが充填されている。 熱源とヒートシンクの間に熱伝導性材料を配置するに当たり、伝熱性材料を介 して、接合する被着体どおしが良好で、確実な接合をするように、相当の注意を 払わなければならない。しかしながら、しばしば、被着体の一つは、接合面に対 して馴染み性に乏しく、すなわち製造上、高低差が生じたり、取り扱いや輸送あ るいはアプリケーションにおいて、若干捩れたり、曲がったり、あるいは揺れた りするなどの問題を生じていた。 このことは、伝熱性界面材料に対して、直接接触しない点や面積が生じること となり、結果として空気に暴露されることとなる。空気は、本質的に伝熱性を阻 害し、空気が存在することにより、伝熱性材料熱源を通しての熱源からヒートシ ンクまでの伝熱特性を低下させるものである。 ＵＳＰ４６５４７５４には、かかる問題を解決するための二つの手段が記載さ れている。第一の手段は、一連の金属製バネあるいは熱リンク材料を用いて、適 合する圧力に応じて、接合する被着体間に反発力を生じさせるようにするもので ある。 また、第二の手段は、ディンプル付き伝熱性パッドを使用し、接合する被着体 間に適合することにより生じた接合圧力に応じて、ディンプルが圧縮されたり、 移動したりするようにしたものである。これらの両方とも、不規則なスペースを 有する被着体間に適合するように作られている。 しかしながら、被着体の条件に応じて修正することは製造や使用する際に高価 になり、また、被着体のすべての面積に対して、一定でかつ均一な伝熱性を提供 することは困難である。 従って、伝熱性材料を介して、接合する被着体間に生じる馴染み性の問題を最 小限にするような伝熱性材料が必要とされていたのである。 本発明の目的および概略 本発明は、伝熱性材料と、当該伝熱性材料が配置される被着体の界面での馴染 み性を供与する手段を含む伝熱性材料を提供することを目的とする。馴染み性を 供与する手段としては、拡張された金属メッシュであり、特に好適には、かかる 拡張された金属メッシュが伝熱性材料の両方の主要面において埋没されてゆり、 圧力が伝熱性材料と、接合されるヒートシンクあるいは熱源との間に適用された 場合に、当該伝熱性材料が、接合される表面間のスペースに馴染むように設けら れていることである。 さらに、本発明は、馴染み性の良好な伝熱性界面材料であって、拡張された金 属メッシュを含む、ポリマーバインダーおよび伝熱性フィラーからなる伝熱性界 面材料の提供も目的とする。 拡張された金属メッシュは、比較的低圧下で変形し、適用される界面間におい て、形状に沿って変形するものである。このことにより、材料が層間に一定圧力 を必要とすることなく、エアギャップを最小限にすることが可能となる。 すなわち、本発明は先行技術と異なるものであり、被着体における伝熱性材料 の馴染み性の確立の仕方や保持の仕方が異なり、５００ｐｓｉまでの一定圧力に よっても被着体を保持することができるものである。 一方、このような適応圧力なしには、先行技術の材料では、馴染むことなく、 エアギャップが生じ、均一な伝熱性を損ない、過熱点ができたり、あるいは熱源 を過熱させてしまうこととなるのである。 好適には、伝熱性材料は、感圧性接着剤、例えばアクリル、シリコーン系感圧 性接着剤からなるポリマーバインダーを有するものである。感圧接着性の伝熱性 材料は、直接、当該伝熱性材料を熱源やヒートシンクに対して、他の保持手段で ある、スクリュー、リベット、クランプ等を使用することなく接合できるためで ある。また、大きさや形状等により、そのような材料に予め保持することができ ない電子部品に対しても、感圧接着性の伝熱性材料を使用することが可能なため である。 さらに、感圧接着性の伝熱性材料であれば、かかる自動アプリケーション化や 伝熱性電気集合体やパッケージングの組み込みが可能となるためである。 本発明の目的は、ポリマーバインダーと伝熱性フィラーの混合物を含む伝熱性 材料であって、当該材料が、これらに埋没された拡張された金属メッシュ層を有 するものを提供することにある。 本発明の別な目的は、伝熱性のフォーム安定性シートの提供であって、かかる フォーム安定性シートは、アクリルレジン、シリコーンゴム、フロロシリコーン ゴム、熱可塑性ゴムおよびポリウレタンからなるグループから選択されたポリマ ーバインダーと伝熱性フィラーおよび拡張された金属メッシュからなり、かかる 拡張された金属メッシュは、少なくとも伝熱性材料の主要面の一つに埋没されて いるものを提供することにある。 さらに本発明の別な目的は、伝熱性の界面構造の提供であって、感圧接着性の ポリマーバインダーと一つまたはそれ以上の伝熱性フィラーおよび拡張された金 属メッシュからなり、かかる拡張された金属メッシュは、少なくとも伝熱性材料 の主要面の一つに埋没されているものから形成された構造を提供することにある 。 図面の説明 図１は、本発明の伝熱性材料の第一の好適な態様の断面図である。 図２は、本発明の伝熱性材料の別の好適な態様の断面図である。 図３は、熱源とヒートシンクの間にある、図２に示された、本発明の伝熱性材 料を示す断面図である。 本発明の詳細な説明 本発明の好適な態様は、伝熱性材料をシート状にフォーム安定化させるポリマ ーバインダー、一つまたは二つ以上の伝熱性フィラー、および拡張された金属メ ッシュ層であって、少なくとも当該材料の主要面の一つに埋没されているもので ある。このような構成を、図１に示す。 かかる態様において、材料の第１の主要面３は、熱拡散部、例えばヒートシン クに接合されており、第２の主要面４は、熱源に接合されている。 図２は、伝熱性材料の別の好適な態様を示しており、ここで、拡張された金属 メッシュ２２は、界面材料として、完全に二つの主要面２４と２５の間に埋没さ れている。 図２に示されるように、態様は、基本的に三層構造、あるいは三層域からなり 、２つの外側層２１と２３を有しており、レジンおよびフィラーから形成されて おり、さらに他のもう一層２２は、レジン、フィラーおよび拡張された金属メッ シュから形成されている。 さらに、本発明の他の好適な態様は、例えば、電子部品の熱エネルギー発生手 段、および、ヒートシンクおよびヒートスプレッダー等の熱エネルギー拡散手段 、並びに熱エネルギー移動手段としての、当該熱エネルギー発生手段と熱エネル ギー拡散手段の間に配置され、当該熱エネルギー発生手段からの熱エネルギーを 熱エネルギー拡散手段へ伝える、伝熱性ポリマー材料からなる、集合体である。 かかる集合体は、図３に示してある。 図３の集合体は、熱発生手段３５として、典型的には半導体等の電子部品を示 し、図２に示される態様から形成された、熱エネルギー移動手段であって、レジ ンおよびフィラーからなる二つの外側層３２および３４を有し、さらに内側、す なわち中間層３３に拡張された金属メッシュを、レジン／フィラーマトリクスと ともに、内部に埋め込まれるように含んでいる。 熱エネルギー拡散手段３１は、熱エネルギー移動手段の外側表面層に接合され ている。 図３からわかるように、熱拡散手段３１は、この場合ヒートシンクであり、馴 染み性が悪く、あるいは高い点３６を有しており、熱エネルギー移動手段に対し て、下方に圧力を加えることとなるが、拡張された金属メッシュが、部位３７で 、追従して折り曲がることとなる。拡張された金属メッシュは、このような不均 一なものに追従し、当該熱エネルギー移動手段が、ヒートシンクの表面に馴染み 、被着体表面全体を通して、均一で、一定の熱移動が可能となるものである。こ のことは、高温点の発生原因や、熱源手段３５から、熱拡散手段３１への熱エネ ルギーの不十分な熱移動を防止させることとなるものである。 かかる伝熱性材料としては、種々の周知のポリマーバインダーを選んで使用で きるが、例えば、アクリルレジン、シリコーンゴム、フロロシリコーンゴム、ク レイトン（商標）等の熱可塑性ゴム、種々のポリウレタンレジンであって、一つ または二つ以上の伝熱性フィラーを含むものである。 このような、シリコーン熱可塑性ゴムやウレタンから形成された材料としては 、ＵＳＰ４５７４８７９、ＵＳＰ４８６９９５４に開示されており、これ以降も 参照される。 さらに、好適には、伝熱性材料のポリマーバインダーとしては、感圧性接着剤 であり、例えば、シリコーンまたはアクリル系粘着剤が好適であり、それに、一 つまたは二つ以上の伝熱性フィラーおよび拡張された金属メッシュを含むもので ある。このようなポリマーは、特に、周知で、市販されて入手可能なものだから である。また、好適な態様としては、アクリル系粘着剤であって、周知で、市販 されて入手可能であり、ＵＳＰ５２１３８６８に開示されており、これ以降も参 照される。 本発明に好適に使用可能な伝熱性フィラーとしては、所望の伝熱性を有する材 料を提供可能な粒子状固形物である。これらのフィラーは、伝熱性であるととも に、電気絶縁性であることが好適である。 このような粒子の具体例としては、限定されるものではないが、例えば、酸化 アルミニウム、アルミニウムナイトライド、ボロンナイトライド、酸化マグネシ ウム、酸化亜鉛、銀、金、銅、あるいは金属被覆物であり、銀被覆銅、銀被覆ア ルミニウム等が該等する。 これらの粒子は、伝熱性材料の表面を変形させないよう、十分に小さいもので あるべきである。好適には、フィラーの大きさとしては、約１〜１００マイクロ ンであり、より好適には、約５〜２５マイクロンである。 そして、フィラーは、所望の伝熱性を得るために十分な量、バインダー中に含 まれるべきである。 好適には、フィラーは、最終製品である伝熱性材料の約１０〜８５重量％の範 囲であり、さらに好適には、約４０〜７５重量％の範囲であり、最適には、約６ ８重量％である。 そして、より好適なフィラーの種類は、ボロンナイトライド、酸化マグネシウ ムであり、最適には、ボロンナイトライドとともに酸化アルミニウムを使用する ことである。 その他、本発明において、製品の馴染み性または伝熱性を損なわない範囲で添 加剤を追加することも可能である。例えば、バインダーを混練する際に溶剤や、 あるいはフィラーに対して、カップリング剤を使用することも、混合やアプリケ ーションが容易になる点で好適である。 そしてもし、所望するならば、材料に対して、顔料、難燃剤、および／又は酸 化防止剤を添加することも好適である。 使用するのに好適な拡張された金属メッシュの具体例としては、これらに制限 されるものではないが、アルミニウム、銅、銀、鉄、すず銅、ニッケルメッキ銅 、すずメッキ、銅クラッド鉄、および他のメッキ金属あるいはクラッド金属等が 挙げられる。 使用される材料の種類にかかわらず、所望の馴染み性を得るために、実際的に は金属メッシュを薄くすべきである。また、このような材料は、周知であり、し かも市販されていて入手可能なものが好適である。 典型的には、これらのメッシュは、薄くて、約０．００５インチ（０．１２７ ｍｍ）、０．０３０インチ（０．７６ｍｍ）の厚さであり、一般的に、ダイアモ ンド型の開口部を有しており、その数は約２５〜２６００開口部／インチ²であ る。このような製品は、種々の市場、例えば、イクスメット（Ｅｘｍｅｔ）やデ ルカー（Ｄｅｌｋｅｒ）から入手可能である。 拡張された金属メッシュは伝熱性材料中に完全に埋没されていても良く、ある いは少なくとも一部が伝熱性材料中に埋没されていても良い。好適には、伝熱性 材料は、三層あるいは、それ以上の層または領域を有しており、中間層としては 、拡張された金属メッシュ／伝熱性レジンからなり、外層は、単に伝熱性材料か らなっている。 本発明の伝熱性材料が、感圧性接着剤から成型されている時は、連続テープに 成型したり、ディスクリートタイプの部品を含むテープにしたり、あるいは個別 のパッドあるいは小片とすることも可能であり、好適である。 本発明の伝熱性材料は、種々の方法により成型することが可能である。本発明 の材料の一つの製法は、レジンバインダーと選択されたフィラーまたは複数のフ ィラーを結合し、そして、均一な状態になるまで、ゆっくりと溶剤を添加し、成 分を完全に混合するものである。それから材料を、拡張された金属メッシュ層を 含むガラス板、マイラー（商標）フィルム、あるいはコート紙等の剥離シートに キャストする。それから加熱して、溶剤を飛散させ、伝熱性材料を成型させるも のである。 本発明の材料の別な製法は、希薄な溶液が得られるように、十分な量の溶剤と ともに、添加成分を完全に混合するものである。それから、液状物を、拡張され た金属メッシュ層の表面上にスプレーしたり、あるいはコートしたりして、その 後、硬化させるべく、加熱するものである。 なお、別な方法は、金属メッシュが浸漬されるものと同様の液状組成物を、ク リップとして使用して、所望の材料を得るものである。 さらに、本発明の材料の別な製法は、金型成型である。この方法は、特に、本 質的に肉厚の伝熱性層を所望する際や、あるいは、特別な形状を有する伝熱性材 料をを所望する際に有効である。 伝熱性材料の金型成型において、成分を混合し、拡張された金属メッシュが所 定の箇所に入れられた、予め用意された金型に注ぎ込むものである。好適には、 金型内を、成分を混合添加する前に、剥離処理しておくことである。それから、 金型を加熱するか、あるいは、さもなければ、金型の形状に成型するために、外 部からエネルギーを付加するものである。分割タイプの金型を使用するかわりに 、接触した表面の一つの部分で、伝熱材料が直接その場で成型される金型が好適 である。 その他、本発明の材料の別な製法は、感圧性接着剤を用いて、３層以上の材料 に積層するものであり、中間層には、伝熱性レジンマトリクスが充填されている 拡張された金属メッシュがあり、該金属層の片側にそれぞれ、伝熱性材料からな る外側層が成型されており、凝集力の高い層状物を形成している。 外側層は、連続的に作られており、まず片面に伝熱性材料が充填され、硬化さ れた後、反対側にも同じプロセスを繰り返すことにより、成型されるものである 。 但し、さらに好適には、金属層の両側に同時に適用するものである。材料が接 着剤の場合には、外側表面は、剥離層、例えば、コート紙、箔あるいは、プラス チックフィルムによって覆われているのが好適である。 伝熱性製品は、連続的、あるいは非連続的なテープに形成することも可能であ り、その他、シート状、パッド状にしたり、あるいはそれから、所望の形状に切 断することも可能である。さらに、その他、最初は所望の形状に成型しておき、 それからさらに成型したり、あるいは上述したように所定の場所に載置すること も可能である。 そして、もし望むならば、一つまたは両主要面に、付加的に空気抜きの構造を 設けることも好適である。例えば、今後も引用されるが、ＵＳＰ５２１３８６８ に記載されるように、エンボス加工をしたり、あるいはスルーホール加工したり することも好適である。 得られた伝熱性材料は、十分に柔らかく、界面となる表面に馴染むことが可能 である。かかる硬さに関して、好適には、ショアーＡ硬度で、９０未満であり、 より好適には、約１０である。 本発明に基づく典型的な製品の示す特性は、次のとおりである。 厚さ：１〜２０ｍｉｌであり、より好適には、約５〜８ｍｉｌである。 硬度：ショアーＡ硬度で、１０〜９０（ＡＳＴＭＤ−２２４０準拠）である。 熱インピーダンス：０．１〜１．００℃／ｗ（チョメリックスＮｏ．２７）で ある。 熱伝導率：０．５〜２Ｗ／ｍ−Ｋ（チョメリックスＮｏ．２８）である。 この発明は、参考的に好適な態様として示されているものの、本発明における 他の態様でも、同様な結果は得られるものである。 従って、本発明の精神あるいは権利範囲内において、同一視可能なものは、本 発明の変更および修正に関しても、かかる技術分野における当業者にとっては自 明なものであり、かかる本発明の変更および修正も添付の請求の範囲に含まれる ものである。

【手続補正書】特許法第１８４条の８ 【提出日】１９９５年８月９日 【補正内容】 ３４条補正 （請求の範囲１１項〜３０項） １１． 馴染み性の良い、伝熱性界面材料であって、第１の外表面を有する第１ の外層、第２の外表面を有する第２の外層および、該第１の外層と該第２の外層 の間に内側層を含み、 該第１の外層と該第２の外層のそれぞれが、少なくとも１つの伝熱性フィラーを 包含するポリマーバインダーを含み、 該内側層は、少なくとも１つの伝熱性フィラーを包含するポリマーバインダーお よび拡張された金属メッシュを含み、 そして、該伝熱性界面材料は、当該第１の外層から該第２の外層に対して良好な 伝熱性を示し、当該伝熱性界面材料が良好な熱接触をすべき接合表面に馴染むも のであり、 該２つの外層と内側層のポリマーバインダーが、アクリルレジン、シリコーン、 フロロシリコーンゴム、およびポリウレタンからなるグループから選ばれたもの であり、 さらに２つの外層と内側層のポリマーバインダーが、感圧性接着剤を含むもので ある、前記伝熱性界面材料。 １２． 削除 １３． 削除 １４． 前記２つの外層と内側層に包含されるフィラーの一つが、酸化アルミニ ウム、アルミニウムナイトライド、ボロンナイトライド、酸化マグネシウム、酸 化亜鉛、銀、金、銅、銀被覆銅、銀被覆アルミニウムおよびこれらの混合物から なるグループから選択されたものであり、 前記感圧性接着剤が、アクリルレジン、シリコーンおよびポリウレタンから選択 されたものである、請求項１１に記載の伝熱性界面材料。 １５． 前記フィラーが、前記伝熱性界面材料の約１０〜８５重量％であること を特徴とする、請求項１１に記載の伝熱性界面材料。 １６． 前記フィラーが、前記伝熱性界面材料の約４０〜７５重量％であること を特徴とする、請求項１１に記載の伝熱性界面材料。 １７． 前記伝熱性界面材料の厚さが、約１〜２０ｍｉｌであることを特徴とす る、請求項１１に記載の伝熱性界面材料。 １８． 前記伝熱性界面材料の厚さが、約５〜８ｍｉｌであることを特徴とする 、請求項１１に記載の伝熱性界面材料。 １９． 前記伝熱性界面材料の硬度が、ショアーＡ硬度で、約１０〜９０である ことを特徴とする、請求項１１に記載の伝熱性界面材料。 ２０． 馴染み性の良い伝熱性界面材料であって、当該伝熱性界面材料が接合さ れる、第１と第２の伝熱性界面間において、伝熱することを特徴とする、前記馴 染み性の良い伝熱性界面材料。 ２１． 削除 ２２． 削除 ２３． 伝熱性界面材料に包含される少なくともフィラーの一つが、酸化アルミ ニウム、アルミニウムナイトライド、ボロンナイトライド、酸化マグネシウム、 酸化亜鉛、銀、金、銅、銀被覆銅、銀被覆アルミニウムおよびこれらの混合物か らなるグループから選択されたことを特徴とする、請求項２０に記載の伝熱性界 面材料。 ２４． 伝熱性界面材料に包含されるフィラーが、前記伝熱性界面材料の約１０ 〜８５重量％であることを特徴とする、請求項２０に記載の伝熱性界面材料。 ２５． 伝熱性界面材料に包含されるフィラーが、前記伝熱性界面材料の約４０ 〜７５重量％であることを特徴とする、請求項２０に記載の伝熱性界面材料。 ２６． 前記伝熱性界面材料の厚さが、約１〜２０ｍｉｌであることを特徴とす る、請求項２０に記載の伝熱性界面材料。 ２７． 前記伝熱性界面材料の厚さが、約５〜８ｍｉｌであることを特徴とする 、請求項２０に記載の伝熱性界面材料。 ２８． 前記伝熱性界面材料の硬度が、ショアーＡ硬度で、約１０〜９０である ことを特徴とする、請求項２０に記載の伝熱性界面材料。 ２９． 電気部品集合体において、ヒートシンク、熱源、および当該熱源と当該 ヒートシンクの間において、当該熱源から当該ヒートシンクへの熱エネルギーの 移動手段を含み、 そして、当該熱エネルギーの移動手段が、ポリマーバインダー、当該ポリマーバ インダー中に分散されている少なくとも一つの伝熱性フィラー、および拡張され た金属メッシュを含み、 さらに、当該拡張された金属メッシュは、少なくとも当該ポリマーバインダー中 に少なくとも一部埋設されていて、当該ポリマーバインダーが感圧性接着剤であ ることを特徴とする、前記電気部品集合体。 ３０． 削除

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ Ｃ０９Ｊ 183/04 ＪＧＧ 7729−4Ｊ Ｃ０９Ｊ 183/04 ＪＧＧ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １． 電気部品集合体であって、熱エネルギーの拡散手段、熱エネルギーを発す る電子部品、および該熱エネルギーの拡散手段と該熱エネルギーを発する電子部 品との間に配置され、電子部品から発せられた熱エネルギーを、拡散手段に対し て移動させる、熱エネルギーの移動手段を含み、そして、当該熱エネルギーの移 動手段が、ポリマーバインダー、バインダー中に分散された伝熱性フィラーおよ び拡張された金属メッシュ層からなり、さらに該拡張された金属メッシュ層が、 シートの主要面において、少なくとも部分的に埋没されている前記電気部品集合 体。 ２． 前記熱エネルギーの拡散手段が、ヒートシンクおよびヒートスプレッダー からなるグループから選択された、請求の範囲１に記載の電気部品集合体。 ３． 前記電子部品が、半導体、トランスフォーマー、ＤＣ−ＤＣ変換器、マル チチップモジュール、および電気部品予備集合体からなるグループから選択され た、請求の範囲１に記載の電気部品集合体。 ４． 前記熱エネルギーの移動手段が、表面の少なくとも一面に形成されたエン ボスあるいはスルーホールからなるグループから選択された、空気除去手段を有 する請求の範囲１に記載の電気部品集合体。 ５． ポリマーバインダー、伝熱性フィラーおよび拡張された金属メッシュ層か らなり、さらに該拡張された金属メッシュ層が、シートの主要面において、少な くとも部分的に埋没されているフォーム安定性シートを含む伝熱性材料。 ６． アクリルレジン、シリコーンラバー、フロロシリコーンラバー、熱可塑性 ラバー、およびポリウレタンからなるグループから選択されたポリマーバインダ ー、一つまたはそれ以上の伝熱性フィラーおよび拡張された金属メッシュからな り、さらに該拡張された金属メッシュが、シートの主要面の一つにおいて、少な くとも部分的に埋没されている伝熱性材料。 ７． ポリマーバインダー、伝熱性フィラーおよび拡張された金属メッシュ層を 含む伝熱性材料であって、該拡張された金属メッシュが、シート内に、完全に埋 没されている伝熱性材料。 ８． 前記ポリマーバインダーが、感圧性アクリルレジンであって、前記一つま たはそれ以上の伝熱性フィラーが、酸化アルミニウム、ボロンナイトライド、酸 化マグネシウム、酸化亜鉛、およびそれらの混合物からなるグループより選択さ れた、請求の範囲７に記載の伝熱性材料。 ９． 前記拡張された金属メッシュが、ポリマーバインダーの中央付近に位置し ている、請求の範囲７に記載の伝熱性材料。 １０． 伝熱性界面構造であって、レジンとレジン中に分散された伝熱性フィラ ーから形成された伝熱性レジンからなる第１の層、該第１の層を覆う拡張された 金属メッシュ層であって、少なくとも第１の層に部分的に埋没している層、およ びレジンとレジン中に分散された伝熱性フィラーから形成された伝熱性レジンか らなる第２の層であって、該第２の層も拡張された金属メッシュ層により覆われ ており、さらに拡張された金属メッシュ層を部分的に埋没させているものである 、前記伝熱性界面構造。