JPH09501000A - 改善されたエアベアリングスライダ及びヘッドジンバルアセンブリ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 エアベアリングスライダ（２００）は、階段形状またはテーパ形状に形成された切除部（２１２）を有するマウンティングサイドを有する。階段形状は、エアベアリングスライダ（２００）の背面に隣接する接着面（２１１）と、エアベアリングスライダ（２００）の前面に隣接するノッチ面を含む。ノッチ面の方が接着面よりもエアベアリング面に近接している。テーパ形状は、エアベアリングスライダ（２００）の背面に隣接する接着面（２１１）と、エアベアリングスライダ（２００）の前面に隣接するテーパ面を含み、テーパ面は接着面に対してある角度を有する。切除部（２１２）によって提供される隙間によって、エアベアリングスライダ（２００）と、エアベアリングスライダ（２００）を支持するロードビーム周囲部分の間の干渉が除去される。切り欠き及び／またはエッチング領域が、接着面（２１１）に近接したところに於いて、ロードビーム周囲部分に設けられる。

Description

【発明の詳細な説明】 改善されたエアベアリングスライダ及びヘッドジンバルアセンブリ発明の背景 発明の技術分野 本発明は硬質のディスクを用いた情報記憶装置の分野に関する。より詳細には 、一体に形成されたフレクシャ（flexure）を有するロードビーム（load beam） 上に、読み取り／書き込み磁気記憶要素を支持するための装置及び方法に関する 。従来技術の説明 読み出し／書き込みヘッドを支持するための一体に形成されたフレクシャを有 する一体型ロードビームを用いた磁気ヘッドサスペンションは、従来に於いても 知られている。クリスチャンソン（Christianson）に付与された米国特許第５， ２８２，１０２号明細書には、そのようなサスペンションの一つが開示されてい る。ミネソタ州ハッチンソン（Hutchinson）のハッチンソン・テクノロジー社（ Hutchinson Technology，Inc.）によって刊行された“Type 1650 Product Summa ry（１９９２年９月１４日）”にも、別のサスペンションが開示されている。 従来技術であるハッチンソン・テクノロジーのタイプ１６５０（Type 1650） サスペンション１００（第１Ａ図）は、リフトロッド１９２（第１Ｃ図に図示） 、ロードビーム１０１、及びロードビーム周囲部分１０３及び１０４によって支 持されたフレクシャ１１０を含んでいる。フレクシャ１１０は、ロードビーム１ ０１に於いて、スロット１１２、１１４及び１１６、ウィンドウ１２２、１２４ 、１２６及び１２８を形成するように材料を除去することによって形成される。 フレクシャ１１０は、サポート１３２、１３４、１３６及び１３８を含んでおり 、それらはロードビーム周囲部分１０３及び１０４とロール要素１４２及び１４ ４を 接続している。これらのロール要素によって環状のジンバル要素（gimbal eleme nt）１５０が支持されている。ジンバル要素１５０は、ピッチ要素１５２及び１ ５４によってマウンティングパッド１６０につながっており、そこに従来技術の エアベアリングスライダ（air bearing slider）１７０が支持される（図１Ｂ） 。 エアベアリングスライダ１７０は、エアベアリングサイド１７１と反対側のマ ウンティングサイド１７２とを有する固体ブロックである。エアベアリングサイ ド１７１はチャネル面１７５を有しており、それによって一対のレール１７４Ａ と１７４Ｂが分離されている。各レールは前面１７７に隣接するテーパフラット １７６Ａ及び１７６Ｂを有している。磁気的読み出し／書き込み要素１７８はエ アベアリングスライダ１７０の背面１７９にマウントされる。エアベアリングス ライダ１７０のマウンティングサイド１７２は、第１Ｄ図に示されているように 平坦面となっている。 エアベアリングスライダ１７０がサスペンション１００上にマウントされてい るとき、エアベアリングスライダの角１８４、１８６及び１８８はロードビーム 周囲部分１０３及び１０４に重なる（第１Ｃ図）。この重なりは、非使用状態時 のショック（non-operational shock）に於いてリミットストップとして働くよ うに意図的に設けらる。エアベアリングスライダ１７０の角１８０は、サスペン ション１００によって制約されるようにも制約されないようにもすることができ 、それはエアベアリングスライダ１７０がマウンティングパッド１６０にマウン トされるとき、どのように配置されるかによる。第ＩＢ図を参照されたい。ピッ チ角（Ｘ軸）及びロール角（Ｙ軸）は、角１８４、１８６及び１８８に於けるリ ミットストップによってどちらの方向にも１０°未満に制限される。また、非使 用状態時のショックに於けるエアベアリングスライダ１ ７０のＺ軸方向（第１Ｂ図の座標系１９０を参照されたい）の動きを抑制するた め、ロール要素１４２及び１４４、ピッチ要素１５２及び１５４のスチフネス（ stiffness）は大きく保たれている。 以前はエアベアリングスライダを支持するのに別個のフレクシャが必要とされ ていた。タイプ１６５０サスペンションでは、エアベアリングスライダとロード ビーム周囲部分の間の隙間は、エッチング及び成形（forming）を用いて、以下 のように形成されている。サポート１３２、１３４、１３６及び１３８は、ロー ドビーム周囲部分１０３及び１０４を含む面からスロープ状に抜け出て、フレク シャ１１０を別の面へと持ち上げている。ロール要素１４２及び１４４は、サポ ート１３２、１３４（ロール要素１４２に対して）及びサポート１３６、１３８ （ロール要素１４４に対して）によって、ロードビーム周囲部分１０３及び１０ ４を含む面から距離ｔ_L＝０．０７５ｍｍにある面内に支持されている。従って 、エアベアリングスライダ１７０とロードビーム周囲部分１０３及び１０４との 間には、第１Ｃ図に示されているように、エアベアリングスライダの角１８４、 １８６及び１８８に於いて、名目上の隙間Ｃ_SL＝０．０７５ｍｍが存在する。 更に、ロール要素１４４の一部は、部分１４４Ａ（第１Ｃ図に於いてハッチン グによって示されている）が部分１４４Ｂより薄くなるようにエッチングされて いる。例えば、典型的な（しかし絶対的なものではない）従来用いられている寸 法は、厚さｔ_L＝０．０７５ｍｍのロードビームを厚さｔ_F＝０．０２５ｍｍにエ ッチングすることによって得られ、その結果エアベアリングスライダ１７０とロ ール要素１４２Ａの間の名目上の隙間はエリア１８２に於いてＣ_AZ＝ｔ_L−ｔ_F＝ ０．０５０ｍｍとなっている（第１Ｃ図及び第１Ｄ図、より詳細には第１Ｅ図を 参照方）。ロール要素１４２はロール要素１４４と同様に、部分１４２Ａ及び１ ４ ２Ｂを有している。ジンバル要素１５０は部分１４４Ａ及び１４２Ａと同じ厚さ を有している。上記に示した名目上の隙間は、エアベアリングスライダ１７０が 荷重されていないときの隙間である。 フレクシャ１１０の厚さが減少していることによって、エアベアリングスライ ダ１７０のＺ軸コンプライアンスが増加しており、エアベアリングスライダ１７ ０がディスク上にロードされているとき（エアベアリングによってディスク表面 を飛行しているとき）、サスペンションの予荷重（典型的には３乃至３．５グラ ム）によって隙間Ｃ_SLは減少して０．０２０ｍｍ未満になる。また、（フレクシ ャ１１０のＺ軸方向コンプライアンスのため）隙間Ｃ_AZは減少して０．００５ｍ ｍ未満になる。適用される許容誤差によっては、エアベアリングスライダ１７０ のエッジとロール要素１４２の間に領域１８２に於いて干渉（interference）が 発生し得る（第１Ｃ図）。このような干渉が発生すると、予荷重点がレール１７ ４Ａ及び１７４Ｂのエアベアリング面の圧力中心に対して前方に移動し、エアベ アリングスライダ１７０の飛行特性（flying characteristics）が変化する。極 端な場合、エアベアリングの非安定性によりヘッドクラッシュが起きることもあ る。 上記の干渉の問題は、Ｚ軸ショック荷重によって一層大きくなる。使用モード に於いて、サスペンション１００をディスクへと荷重するようなショックが発生 すると、サスペンション１００の質量荷重によってエアベアリングスライダ１７ ０とロードビーム周囲部分１０３及び１０４の間の隙間が減少する（サスペンシ ョン１００の実行質量はエアベアリングスライダ１７０の質量の約３倍大きい） 。ショックが６０Ｇより大きいと、エアベアリングスライダ１７０の角１８４、 １８６及び１８８に於いて衝突が発生することがあり、それによってエアベアリ ング面１７４Ａ及び１７４Ｂの角がディスクと接触する結果にもなり得る。 干渉の問題は、エアベアリングスライダの隙間Ｃ_AZ及びＣ_SLを大きくすること によって軽減することができる。しかしながら、エアベアリングスライダの隙間 を増加させることは特別なサスペンションの設計を必要とし、大幅な設備の変更 及び多額の費用を要する。発明の要約 本発明の目的の一つは、上述した干渉の問題に対し、高価でなく簡単で効果的 な解決法を与えることである。 本発明によると、マウンティングサイドに切除部を含むエアベアリングスライ ダが提供される。この切除部は、ノッチ（階段形状となる）またはテーパ面（テ ーパ形状となる）をエアベアリングスライダのマウンティングサイドに形成する ことによって設けることができる。階段形状は、エアベアリングスライダの背面 に隣接する接着面と、エアベアリングスライダの前面に隣接するノッチ面を含む 。ノッチ面の方が接着面よりエアベアリング面の近くに位置する。従って、ノッ チの設けられたエアベアリングスライダがサスペンション上にマウントされると き、ノッチ面の方が接着面よりエアベアリングスライダを支持するロードビーム 周囲部分から離れて位置する。 テーパ形状は、エアベアリングスライダの背面に隣接する接着面と、エアベア リングスライダの前面に隣接するテーパ面を有する。テーパ面は、エアベアリン グスライダの厚さが前面に於いて背面より薄くなるように接着面に対してある角 度を持つ。 エアベアリングスライダの切除部によって、エアベアリングスライダとロード ビーム周囲部分の間の干渉が除去される。また、エアベアリングスライダはその 切除部に於いてロードビーム周囲部分と重なり、この重なりによって、ディスク からのアンロード時に於けるエアベアリングスライダの角度変位が制限される。 更に、エアベアリングスライダの切 除部の深さはグラインディング（grinding）時に容易に変えることができ、従来 技術のサスペンションのエアベアリングスライダの隙間を増加させるのに必要で あった大幅な設備変更をすることなく、カスタマイズされた多様なドライブ装置 仕様（ピッチ及びロールスチフネス、グラム荷重、最大角度変位）を実現するこ とができる。 本発明の一実施例では、サスペンションは２つの外側周縁と２つの内側周縁と を含む特有の凹凸状周縁を有するマウンティングパッドを含んでいる。内側周縁 のためフレクシャのピッチ要素を従来技術のピッチ要素より長くすることができ 、ピッチスチフネスがより小さくなっているノッチ面の深さ、フレクシャの厚さ 、及びピッチ要素の長さを制御することにより、角度変位制限機能を維持しつつ 、ピッチ及びロールスチフネスの最適化が可能となっている。 しかしながら、ピッチ及びロールスチフネスが小さくなると、エアベアリング スライダの接着面の角とロードビーム周囲部分の接触が発生し得るようになる。 これは、特に使用状態に於けるＺ軸ショック荷重のもとで起こりやすい。エアベ アリングスライダの接着面の角とロードビーム周囲部分の間の接触の可能性をな くすため、接着面に近接したロードビーム周囲部分に切り欠きが設けられる。切 り欠きは、エアベアリングスライダがＺ軸方向に動くとき接着面が容易にロード ビーム周囲部分を通過できるように設けられる。サスペンションのロードビーム 周囲部分への切り欠きは、新たなエッチアートワーク（etch artwork）を作るこ とによって、エッチング処理を用いて容易に形成することができる。実施態様に よっては、エアベアリングスライダがロードビーム周囲部分と重なるようにして もよく、そのような重なりは、ディスクからのアンロード時に於けるエアベアリ ングスライダの角度変位を制限する。 本発明の別の実施例では、切り欠きは付加的な部分エッチングゾーン に置き換えられる。部分エッチングゾーンは、エアベアリングスライダがＺ軸方 向に動くとき付加的な隙間が生成されるように形成される。付加的な部分エッチ ングゾーンは、エアベアリングスライダのディスクからのアンロード時に於ける エアベアリングスライダの角度変位を制限する働きもする。図面の簡単な説明 第１Ａ図は、一体に形成されたフレクシャを備えたロードビームを有する従来 技術のタイプ１６５０サスペンションの平面図である。 第１Ｂ図、第１Ｃ図及び第１Ｄ図は、それぞれ、フレクシャにエアベアリング スライダがマウントされた従来技術のタイプ１６５０サスペンションの斜視図、 平面図、及び断面図（第１Ｃ図のライン１Ｄ−１Ｄに沿って取られた断面図）で ある。 第１Ｅ図は、第１Ｄ図内の円で囲まれた領域の拡大図である。 第２Ａ図は、本発明に基づくエアベアリングスライダの上面図である。 第２Ｂ図は、第２Ａ図のエアベアリングスライダの正面図である。 第２Ｃ図は、第２Ａ図のエアベアリングスライダの底面図である。 第２Ｄ図は、第２Ｂ図のエアベアリングスライダの側面図である。 第２Ｅ図、第２Ｆ図、第２Ｇ図及び第２Ｈ図は、それぞれ、本発明に基づくエ アベアリングスライダの別の実施例の上面図、側面図、底面図及び背面図である 。 第３Ａ図は、従来技術のタイプ１６５０サスペンション上にマウントされた第 ２Ａ図のエアベアリングスライダの平面図である。 第３Ｂ図は、第３Ａ図のライン３Ｂ−３Ｂに沿って取られた断面図である。 第３Ｃ図は、第３Ｂ図の円で囲まれた領域の拡大図であり、第１Ａ図のサスペ ンションと第２Ａ図のエアベアリングスライダの間の隙間を図 示している。 第３Ｄ図は、従来技術のタイプ１６５０サスペンション上にマウントされた第 ２Ｅ図のエアペアリングスライダの平面図である。 第３Ｅ図は、第３Ｃ図のライン３Ｄ−３Ｄに沿って取られた断面図である。 第３Ｆ図は、第３Ｅ図の円で囲まれた領域の拡大図であり、第１Ａ図のサスペ ンションと第２Ｅ図のエアペアリングスライダの間の隙間を図示している。 第４Ａ図は、本発明に基づくサスペンションの平面図である。 第４Ｂ図は、第４Ａ図のサスペンションのフレクシャの拡大図である。 第４Ｃ図は、第４Ｂ図のライン４Ｃ−４Ｃに沿って取られた断面図である。 第４Ｄ図は、第４Ｂ図のマウンティングパッドの外側及び内側周縁の拡大図で ある。 第４Ｅ図は、第４Ａ図のサスペンション上にマウントされた第２Ａ図のエアベ アリングスライダの平面図である。 第４Ｆ図は、第４Ａ図のサスペンション上にマウントされた第２Ｅ図のエアベ アリングスライダの平面図である。 第５Ａ図は、本発明に基づくサスペンションの別の実施例の平面図である。 第５Ｂ図は、第５Ａ図のライン５Ｂ−５Ｂに沿って取られた断面図である。 第５Ｃ図は、第５Ａ図のサスペンション上にマウントされた第１Ｂ図の従来技 術のエアベアリングスライダの平面図である。 第５Ｄ図は、第５Ｃ図のライン５Ｄ−５Ｄに沿って取られた断面図である。 第５Ｅ図は、第５Ｄ図の円で囲まれた領域の拡大図であり、第２Ａ図のエアベ アリングスライダと第５Ａ図のサスペンションの間の隙間を図示している。 第５Ｆ図は、第５Ａ図のサスペンション上にマウントされた第２Ａ図のエアベ アリングスライダの平面図である。 第５Ｇ図は、第５Ｆ図のライン５Ｇ−５Ｇに沿って取られた断面図である。 第５Ｈ図は、第５Ｇ図の円で囲まれた領域の拡大図であり、第２Ａ図のエアベ アリングスライダと第５Ａ図のサスペンションの間の隙間を図示している。 第６Ａ図は、本発明に基づくサスペンションの別の実施例の平面図である。 第６Ｂ図は、第６Ａ図のライン６Ｂ−６Ｂに沿って取られた断面図である。 第６Ｃ図は、第６Ａ図のサスペンション上にマウントされた第２Ａ図のエアベ アリングスライダの平面図である。 第６Ｄ図は、第６Ｃ図のライン６Ｄ−６Ｄに沿って取られた断面図である。 第６Ｅ図は、第６Ａ図のサスペンション上にマウントされた第２Ａ図のエアベ アリングスライダの斜視図である。 第６Ｆ図は、第６Ａ図のサスペンション上にマウントされた第２Ｅ図のエアベ アリングスライダの平面図である。 第６Ｇ図は、第６Ｆ図のライン６Ｇ−６Ｇに沿って取られた断面図である。 第６Ｈ図は、第６Ａ図のサスペンション上にマウントされた第２Ｅ図のエアベ アリングスライダの斜視図である。好適実施例の詳細な説明 第２Ａ図、第２Ｂ図、第２Ｃ図及び第２Ｄ図は、それぞれ、本発明に基づくエ アベアリングスライダの一実施例２００の上面図、側面図、底面図及び背面図で ある。エアベアリングスライダ２００は、エアベアリングサイド２０１（第２Ａ 図、第２Ｂ図及び第２Ｄ図）と、エアベアリングサイド２０１とは反対側のマウ ンティングサイド２０２（第２Ｂ図、第２Ｃ図及び第２Ｄ図）を有している。エ アベアリングサイド２０１はエアベアリング面を提供する２つのレール２０３Ａ 及び２０３Ｂ（第２Ａ図及び第２Ｄ図）を有しており、これらのレールはチャネ ル面２０４によって分離されている。レール２０３Ａ及び２０３Ｂの各々は、エ アベアリングスライダ２００の前面２０６に隣接するテーパフラット部２０５Ａ 及び２０５Ｂをそれぞれ備えている。前面２０６の反対側は背面２０７であり、 そこには読み出し書き込み要素２９０がマウントされている（第２Ｄ図）。 マウンティングサイド２０２は階段形状２１０を有している。階段形状２１０ は３つの面を含む。即ち、背面２０７に隣接する接着面２１１、前面２０６に隣 接するノッチ面２１２、及びノッチ接続面２１３である（第２Ｂ図）。ノッチ面 ２１２の方が接着面２１１よりエアベアリング面２０３Ａ及び２０３Ｂにより近 接している。従って、ノッチが設けられたエアベアリングスライダ２００がサス ペンション上にマウントされるとき、ノッチ面２１２はエアベアリングスライダ を支持するロードビーム周囲部分から接着面２１１よりも離れることとなる。 接着面２１１は長さｌ_A（第２Ｂ図）と幅Ｗ（第２Ｄ図）を有している。更に 、接着面２１１はレール２０３Ａ及び２０３Ｂのエアベアリング面から第１距離 ｔ_AA（第２Ｄ図）だけ離れている。ノッチ面２１２は長さｌ_N（第２Ｂ図）を有 しており、エアベアリングスライダ２００の全長Ｌ ＝ｌ_N＋ｌ_Aとなっている（第２Ａ図）。ノッチ面２１２はレール２０３Ａ及び２ ０３Ｂのエアベアリング面から距離ｔ_NA（第２Ｂ図）の位置にあり、ノッチ深さ ｄ_N＝ｔ_AA−ｔ_NAとなっている（第２Ｂ図）。ノッチ面２１２は前面２０６に隣 接しており、接着面２１１は背面２０７に隣接している。ノッチ面２１２は半径 ｒ_Nの曲率を有するノッチ接続面２１３によって隣接する接着面２１１に接続さ れている。 エアベアリングスライダ２００のマウンティングサイド２０２は階段形状２１ ０のため４つより多くの角を有している。前方の２つのノッチ面の角２２１及び ２２２（第２Ｃ図）は、前面２０６、ノッチ面２１２及び長手方向側面２０８及 び２０９の交差によってそれぞれ形成されている。後部の接着面の角２２５及び ２２６は、背面２０７、接着面２１１及び長手方向側面２０８及び２０９の交差 によって形成されている。最後に、ノッチと接着面の境に形成された角２２３及 び２２４は、ノッチ接続面２１３、接着面２１１及び長手方向側面２０８及び２ ０９の交差によってそれぞれ形成されている。 本発明の一実施例では、ノッチ面２１２はグラインディングによって形成され る。本発明の一実施例では、エアベアリングスライダ２００は以下の寸法を有し ている。エアベアリングスライダ２００は、幅Ｗ＝１．６００ｍｍ、長さＬ＝２ ．０３２ｍｍ及び厚さｔ_AA＝０．４３２ｍｍを有している。ノッチ面２１２は、 長さｌ_N＝０．６００ｍｍとなるように形成されており、接着面２１１は長さｌ_A ＝１．４３２ｍｍを有している。ノッチ面２１２に於けるエアベアリングスライ ダ２００の厚さはｔ_NA＝０．３５２ｍｍであり、ノッチ深さｄ_N＝０．０８０ｍ ｍとなる。ノッチ接続面２１３は、半径ｒ_N＝０．０８０ｍｍの曲率を有する。 第２Ｅ図、第２Ｆ図、第２Ｇ図及び第２Ｈ図は、それぞれ、本発明に基づくエ アベアリングスライダの別の実施形態２５０の上面図、側面図、 底面図及び背面図である。エアベアリングスライダ２５０は、エアベアリングサ イド２５１（第２Ｅ図、第２Ｆ図及び第２Ｈ図）と、マウンティングサイド２５ ２（第２Ｆ図、第２Ｇ図、及び第２Ｈ図）を有しており、マウンティングサイド ２５２はエアベアリングサイド２５１の反対側に位置する。エアベアリングサイ ド２５１は、エアベアリングスライダ２００（第２Ａ図）のエアベアリングサイ ド２０１に類似している。 マウンティングサイド２５２はテーパ形状２６０を有する。テーパ形状２６０ は２つの面を含む。即ち、背面２５７に隣接する接着面２６１と前面２５６に隣 接するテーパ面２６２である（第２Ｆ図）。 接着面２６１は、長さｌ_A（第２Ｇ図）及び幅Ｗ（第２Ｈ図）を有しており、 それらは第２Ｂ図及び第２Ｄ図の接着面２１１の長さ及び幅（上記に示した）に 等しい。更に、エアベアリングスライダ２５０は、レール２５３Ａ及び２５３Ｂ のエアベアリング面と接着面２６１との間に第１の厚さｔ_AA（第２Ｈ図）を有し ており、これはエアベアリングスライダ２００の対応する距離ｔ_AA（第２Ｄ図） に等しい。 テーパ面２６２は長さｌ_T（第２Ｇ図）を有しており、エアベアリングスライ ダ２５０の全長Ｌ＝ｌ_T＋ｌ_Aとなっている（第２Ｅ図）。この長さはエアベアリ ングスライダ２００の全長に等しい。テーパ面２６２はライン２６３に於いて角 度θで接着面２６１と交差している（第２Ｇ図及び第２Ｆ図）。前面２５６に於 いて、スライダ２５０はテーパ面２６２とレール２５３Ａ及び２５３Ｂのエアベ アリング面との間に第２の厚さｔ_TA（第２Ｆ図のｔ_NAと同一）を有しており、従 ってテーパ深さｄ_T＝ｔ_CA−ｔ_TAである。第２Ｆ図に示されている実施例では、 テーパ深さｄ_Tは、上述したスライダ２００のノッチ深さｄ_Nに等しい。更に、テ ーパ面の長さｌ_Tはエアベアリングスライダ２００のノッチ面の長さｌ_Nに等しい 。従って、角度θは、ｔａｎθ＝（ｄ_T／ｌ_T）によって与えられる。 一実施例では、θ＝０．１３ラジアン（０．８°）である。 上記では、エアベアリングスライダ２５０はエアベアリングスライダ２００と 類似したまたは同じ寸法を有しているが、エアベアリングスライダ２５０は本発 明に従う任意の所望の寸法を取り得る。 製造に用いられる機械加工プロセスにどちらがより適合しているかにより、エ アベアリングスライダ２００またはエアベアリングスライダ２５０のどちらを使 用してもよい。本明細書中で開示されているエアベアリングスライダは、フェラ イト、ＣａＴｉまたはＡｌ₂Ｏ₃−ＴｉＣのような材料を用いて、当業者には公知 のプロセスによって製造することができる。 第３Ａ図及び第３Ｂ図は、従来技術のサスペンション１００上にマウントされ たノッチが設けられたエアベアリングスライダ２００の平面図及び断面図（ライ ン３Ｂ−３Ｂに沿った断面図）である。本発明によると、エポキシのような接着 剤をサスペンションのマウンティングパッドに施し、エアベアリングスライダの 接着面を接着剤と接触するように置くことによってエアベアリングスライダをマ ウントすることができる。エアベアリングスライダ２００がサスペンション１０ ０上にマウントされているとき、ノッチ面２１２の領域２２８とロール要素の領 域１４２Ａとの間には、エアベアリングスライダ・フレクシャ間隔Ｃ_NF（第３Ｃ 図）が存在する。この隙間Ｃ_NFは０．１３０ｍｍに等しく、ノッチ深さｄ_N＝０ ．０８０ｍｍのため従来技術のエアベアリングスライダ・フレクシャ間隔Ｃ_AZよ りも大きい。また、ノッチ面２１２とサスペンション１００の間（エアベアリン グスライダ２００の角２２１、２２２及び２２６とロードビーム周囲部分１０３ 及び１０４の間）のエアベアリングスライダ・ロードビーム間隔Ｃ_NL＝０．１５ ５ｍｍは、ノッチ深さｄ_Nの分だけ従来技術のエアベアリングスライダ・ロード ビーム間隔Ｃ_SLより大 きい。 第３Ｄ図及び第３Ｅ図は、従来技術のサスペンション１００上にマウントされ たテーパ部が設けられたエアベアリングスライダ２５０の平面図及び断面図（ラ イン３Ｅ−３Ｅに沿った断面図）である。テーパ面２６２とロール要素領域１４ ２Ａとの間には、エアベアリングスライダ・フレクシャ間隔Ｃ_TF（第３Ｆ図）が 存在する。この隙間Ｃ_TFは、上述した第３Ｃ図の隙間Ｃ_NFと等しい。更に、エア ベアリングスライダ・ロードビーム間隙Ｃ_TLも、上述した第３Ｃ図の隙間Ｃ_NLに 等しい。 従って、切除部を有するエアベアリングスライダ（例えばエアベアリングスラ イダ２００及び２５０の一方）では、エアベアリングスライダのディスク上への ロード時に於けるエアベアリングスライダのマウンティング面とロードビーム周 囲部分１０３及び１０４との間の干渉が除去されている。また、切除部を有する エアベアリングスライダは、ノッチ面２１２またはテーパ面２６２に於いてロー ドビーム周囲部分１０３及び１０４に重なり、エアベアリングスライダのディス クからのアンロード時、エアベアリングスライダの角度変位が制限される。更に 、エアベアリングスライダの切除部の深さｄ_Nまたはｄ_Tは、カスタマイズされた 多様なドライブ装置設計仕様（ピッチ及びロールスチフネス、グラム荷重、最大 角度変位）に合わせてグラインディング時に容易に変更することが可能であり、 従来技術のサスペンションでエアベアリングスライダの隙間を広げるのに必要と されていた大幅な設備変更も必要ない。 読み出し／書き込み要素の最適な読み出し／書き込み及び信頼性特性を得るの に要求される精度内にエアベアリングスライダの飛行高さ（flying height）を 維持するため、サスペンションのロール及びピッチ捻れスチフネスは小さく（３ ．０μＮｍｍ／ｄｅｇ未満の範囲）保たれなければならない。スライダとサスペ ンションの組合せ（上記）の特性を改 善するため、ピッチ及びロールスチフネスは小さくされ、エアベアリングスライ ダ上により大きなグラム荷重が用いられた。このようにスチフネスを小さくする には、エアベアリングスライダのマウンティングサイドとロードビーム周囲部分 １０３及び１０４の間の隙間をより大きくすることが必要であったが、それはノ ッチ面２１２及びテーパ面２６２のような切除部によって与えられる。第４Ａ図 乃至第４Ｅ図に例示されている実施例では、以下に述べるように、エアベアリン グスライダ２００のノッチによって隙間が付加されている。 第４Ａ図は、本発明に基づくサスペンション４００の平面図である。サスペン ション４００は、リフトロッド４８０、ロードビーム４０１及びロードビーム４ ０１と一体に形成されたフレクシャ４１０を含んでいる。サスペンション４００ は、本明細書中に開示されている他のサスペンションと同様に、例えば３００シ リーズのようなステンレススチールから形成されている。サスペンション４００ は、本明細書中に開示されている他のサスペンションと同様に、Morehouse等に 付与された米国特許第５，２８９，３２５号明細書に開示され権利請求されてい るようなディスクドライブ装置に於いて用いるのに適している。この特許は全体 として本明細書中に引証として加えられる。 フレクシャ４１０は、第４Ｂ図、第４Ｃ図及び第４Ｄ図により詳細に示されて いる。フレクシャ４１０は、フレクシャスロット４１２及び４１４、フレクシャ ウィンドウ４２２及び４２４、及びマウンティングパッドウィンドウ４２６及び ４２８から材料を除去するようにエッチングすることによって形成される。傾斜 サポート４３２及び４３４はロール要素４４２を支持している。同様に、傾斜サ ポート４３６及び４３８はロール要素４４４を支持している。傾斜サポート４３ ２、４３４、４３６及び４３８は第５Ｅ図に図示されている傾斜サポートと同じ 方向に傾 斜しており、それによってマウンティングパッド４６０は（第４Ｂ図に示されて いるように）ロードビーム４０１を含む面より上に持ち上げられている。ロール 要素４４２及び４４４は、環状のジンバル要素４５０を支持している。ジンバル 要素４５０はピッチ要素４５４及び４５６によって、（上述したようなエアベア リングスライダ１００及び２００の一方のような）エアベアリングスライダを支 持するマウンティングパッド４６０に接続されている。 マウンティングパッド４６０は、２つの外側周縁４６２Ａ及び４６２Ｂ（第４ Ｂ図）と、２つの内側周縁４６４Ａ及び４６４Ｂ（第４Ｂ図）とを含む特有の凹 凸状周縁を有している。第４Ｂ図に示されているように、内側周縁４６４Ａと４ ６４Ｂの間の距離ｄ_lは外側周縁４６２Ａと４６２Ｂの間の距離ｄ_oより短い。内 側周縁４６４Ａ（第４Ｄ図によりよく図示されている）は、マウンティングパッ ド４６０の周縁の点線４６６によって囲われた部分である。外側周縁４６２Ａと 内側周縁４６４Ａの間の中間点４６３Ａは、ジンバル要素４５０の内側周縁４５ ２Ａから距離ｄ_WMINの位置にある。また、内側周縁４６４Ａとピッチ要素４５４ の間の共通点４６５Ａは、ジンバル要素４５０の内側周縁４５２Ａから距離ｄ_{WM AX} の位置にある。 マウンティングパッド４６０の周縁は、マウンティングパッド４６０の外側周 縁４６２Ａがジンバル要素４５０の内側周縁４５２Ａから第１の距離にあるよう に形成される。一方、マウンティングパッド４６０の内側周縁４６４Ａはジンバ ル要素４５０の内側周縁４５２Ａから第２の距離にある。中間点４６３Ａでは第 ２の距離と第１の距離は等しいが、第２の距離は第１の距離より内側周縁４６４ Ａの全点に於いてより大きい。このように、マウンティングパッド４６０の凹凸 状周縁は、外側（凸状）周縁４６２Ａ及び４６２Ｂと内側（凹状）周縁４６４Ａ 及び４ ６４Ｂとによって形成される。内側（凹状）周縁４６４Ａ及び４６４Ｂにより、 ピッチ要素４５４及び４５６を従来技術のピッチ要素より長くすることができ、 しかもマウンティングパッド４６０の領域は広く確保される。ピッチ要素４５４ 及び４５６がより長いため、ピッチスチフネスがより小さくなっている。 第４Ｂ図に図示されている実施例では、ロードビーム周囲部分４０３の内側周 縁は直線的な側面４０３Ａ、４０３Ｂ及び４０３Ｃを含んでいる。同様に、ロー ドビーム周囲部分４０４の内側周縁は、直線的な側面４０４Ａ、４０４Ｂ及び４ ０４Ｃを含んでいる。側面４０３Ａ、４０３Ｂ、４０３Ｃ及び４０４Ａ、４０４ Ｂ、４０４Ｃの長さ及び方向は、エアベアリングスライダ２００がマウンティン グパッド４６０上にマウントされたときエアベアリングスライダの角２２１、２ ２２、２２４及び２２６がロードビーム周囲部分４０３及び４０４に重なるよう になっている。この重なりは第４Ｅ図に示されている。 ロードビーム周囲部分４０３及び４０４の形状及び構造は、エアベアリングス ライダ２００がサスペンション４００上にマウントされたとき、Ｚ軸方向の動き がロードビーム周囲部分４０３により、角２２４及び２２６で制約されるように なっている（第４Ｅ図）。マウンティングパッド４６０は、エアベアリングスラ イダ２００の接着面２１１をマウンティングパッド４６０に接合するのに利用さ れるＨ字形の接着剤貯蔵部（adhesive reservoir）４６８を有している（第４Ｂ 図には図示されていない）。“Ｈ”字形の接着剤貯蔵部は、しかしながら、第４ Ａ図、第５Ａ図及び第６Ａ図に示されている。 ノッチ面２１２の深さ、フレクシャ４１０の厚さ、ピッチ要素４５４及び４５ ６の長さを制御することにより、角度変位制限機能を保持しつつ、ピッチ及びロ ールスチフネスの最適化が可能となっている。サスペ ノッチ面２１２の深さ、フレクシャ４１０の厚さ、ピッチ要素４５４及び４５ ６の長さを制御することにより、角度変位制限機能を保持しつつ、ピッチ及びロ ールスチフネスの最適化が可能となっている。サスペンション４００上にマウン トされたエアベアリングスライダ２００（第４Ｅ図）に対するピッチ及びロール スチフネスを、従来技術の構成に於ける値と比較して、以下の表１に示す。 第４Ｆ図は、第４Ａ図のサスペンション４００上にマウントされたエアベアリ ングスライダ２５０を示している。エアベアリングスライダ２５０はロードビー ム周囲部分４０３及び４０４と重なっており、エアベアリングスライダ２００に 対して上述したのと同様に隙間を形成している。 サスペンション４００上にマウントされた切除部を有するエアベアリングスラ イダ（第４Ｅ図及び第４Ｆ図）のピッチ及びロールスチフネスが小さいことによ り、ダイナミックロード時に、アンロード時の“静止時”初期角度から飛行状態 のピッチ及びロールへと適合する能力が向上している。アンロード時（即ち、静 止時の角度では）、エアベアリングスライダは典型的には数千マイクロインチの ピッチ及びロール角オリエンテーション（orientation）を有する。対称的に、 エアベアリングスラ ピッチ及びロールスチフネスが小さいほど、エアベアリングスライダはより素 早く“静止時の”角度から飛行時の角度へと遷移することができる。なぜなら、 ピッチ及びロールスチフネスが小さければ、所望の飛行時角度に到達するのに小 さな力しか必要としないからである。このような微小な力はエアベアリングの確 立時にディスク表面上に初期の段階に存在する。従って、ピッチ及びロールスチ フネスが小さいほど、ダイナミックロード時のＺ軸方向の速度範囲がより広くな る、または許容可能な静止時のピッチ及びロール角の範囲がより広くなる。ピッ チ及びロール静止時角度条件をより広く保ち、製造時に特別な処理や検査が必要 とならないようにすることが望ましい。また、ドライブ装置の速度制御システム の実現がより容易になるため、可能なロード速度範囲を広く保つことが望ましい 。 ピッチ及びロールスチフネスが小さいことにより、エアベアリングスライダの 飛行高さのばらつきも改善される。ロードされていないエアベアリングスライダ の“静止時”角度は均一ではない。エアベアリングスライダの静止時角度の不均 一性は、エアベアリングスライダに於けるそれぞれのフレクシャジンバルへの取 り付け位置及びハンドリング（handling）の差といった要因に起因する。この“ 静止時”角度に（ピッチまたはロール）スチフネスを掛けたものは、エアベアリ ングスライダの飛行時に加えられるモーメントと等価である。静止時角度及びス チフネスが大きくモーメントが大きい場合、飛行時のピッチ及びロール角を所望 の大きさにすることができなくなることがある。従って、小さなピッチ及びロー ルスチフネスは小さなモーメントにつながり、本発明に基づく全てのエアベアリ ングスライダは、均一な飛行高さにすることができる。 しかしながら、ピッチ及びロールスチフネスが小さくなると、Ｚ方向のスチフ ネスも小さくなり、（上述したように）エアベアリングスライ ダ４００が角２２４及び２２６に於いてロードビーム周囲部分４０３及び４０４ に接触し得るようになる。これは、特に使用状態に於けるＺ軸ショック荷重のも とで発生し得る。 第５Ａ図は、本発明に基づくサスペンション５００の平面図である。サスペン ション５００は、上述したサスペンション４００と類似している。サスペンショ ン５００は、リフトロッド５８０、ロードビーム５０１を含んでいる。ロードビ ーム５０１には、ロードビームウィンドウ５０２、フレクシャスロット５１２及 び５１４、傾斜サポート５３２、５３４、５３６及び５３８、ロール要素５４２ 及び５４４、ジンバル要素５５０、マウンティングパッドウィンドウ５２６及び ５２８、及び接着剤貯蔵部５６８を備えたマウンティングパッド５６０が設けら れている。しかしながら、ロードビーム周囲部分５０３及び５０４は、ロードビ ーム周囲部分４０３及び４０４とは以下のように異なる。ロードビーム周囲部分 ５０３及び５０４は、それぞれエッチング領域５７０及び５８０を有している。 エッチング領域５７０はロードビーム周囲部分５０３の内部に側面５７２、５７ ６及び５７９を有しており、ロードビーム周囲部分５０３の内側周縁５０３１を 共有している。 第５Ｅ図に示されているように、エッチング領域５７０は厚さｔ_Eを有してお り、これは厚さｔ_Lのロードビームを深さｄ_E＝ｔ_L−ｔ_Eだけエッチングすること によって形成される。第５Ｃ図を参照されたい。エッチング領域５７０の側面５ ７２、５７６及び５７９は、エアベアリングスライダ１７０がサスペンション５ ００上にマウントされたとき、エアベアリングスライダ１７０とロードビーム周 囲部分５０３の重なりより、エッチング領域５７０の方が大きいように選択され ている。側面５７２と５７９は距離Ｌ_Eだけ離れており、これはエアベアリング スライダ１７０の長さＬ_sより０．０５乃至０．０８ｍｍだけ長い。従って、エ アベア リングスライダ１７０の角１８４及び１８８は、エッチング領域５７０の角５７ ４及び５７８に近接して、エッチング領域５７０の内側に入ることとなる。 同様に、ロードビーム周囲部分５０４のエッチング領域５８０は、側面５８２ 、５８６、５８９を有し、ロードビーム周囲部分５０４の内側周縁５０４Ｉを共 有する。側面５８２と５８９は距離Ｌ_Eだけ離れており、この値はエアベアリン グスライダの長さＬ_Sよりも大きい。また、同様に、エアベアリングスライダ１ ７０の角１８６及び１８０はエッチング領域５８０の角５８４及び５８８に近接 してエッチング領域５８０の内側に入る。 更に、エッチング領域５７０及び５８０の側面５７６及び５８６は互いに距離 Ｗ_L離れており、エアベアリングスライダの幅Ｗ_SはＷ_Lよりも小さくなっている 。従って（１）エアベアリングスライダ１７０をマウントする過程と、（２）ロ ードビーム周囲部分５０３及び５０４をエッチングする過程の２つ過程は、エア ベアリングスライダ１７０の全ての重なり部分がサスペンション５００のエッチ ング領域５７０及び５８０によって完全に囲われるようになされる。 エアベアリングスライダ１７０のマウンティングサイド１７２とサスペンショ ン５００のロール要素５４２との間の領域１８２に於ける隙間Ｃ_AZは、少なくと も従来技術のエアベアリングスライダのフレクシャの隙間に等しい。しかしなが ら、角１８４、１８６、１８８及び１８０とサスペンション５００の間の隙間Ｃ_SEL は、エッチング深さｄ_E＝０．０５０ｍｍだけＣ_AZよりも大きい（第５Ｅ図） 。 ゆえに、本発明に基づくヘッドサスペンションの一実施例では、ロードビーム 周囲部分（例えばロードビーム周囲部分５０３及び５０３の一方）内のエアベア リングスライダによって覆われた領域にエッチング領 域（例えばエッチング領域５７０及び５８０の一方）が存在する。 ヘッドサスペンション５００では、使用状態のショックに於いてロードビーム 周囲部分５０３及び５０４とエアベアリングスライダ１７０とが干渉しないよう になっている。ロードビーム周囲部分５０３及び５０４のエッチング領域５７０ 及び５８０の深さｄ_Eは、エッチング過程に於いて容易に変えることができる。 ロードビーム周囲部分５０３及び５０４をエッチングするこのようなデザインの 利点の一つは、サスペンションが対称に保たれ、サスペンションの共鳴が抑制さ れることである。更に、極めて大きな非使用時のショック、クラッシュストップ インパクト（crush stop impact）或いは製造時の取り扱いなどに於いて、エア ベアリングスライダ１７０の過度の動きが制限される。なぜならエアベアリング スライダ１７０は、エッチング深さｄ_E＝０．０５０ｍｍだけ付加的に設けられ た隙間分だけ移動すると、エッチング領域に於いてサスペンション５００に接触 するからである。このようにエアベアリングスライダが過度に動くのを制限する ことにより、永久変形を防止することができる。 サスペンション５００は従来技術のベアリングスライダ１７０と関連して図示 されているが、当然理解されるように、サスペンション５００は切除部を有する エアベアリングスライダと共に用いても利点がある。第５Ｆ図、第５Ｇ図及び第 ５Ｈ図は、第５Ａ図のサスペンション５００上にマウントされた第２Ａ図のエア ベアリングスライダ２００の平面図、断面図、及び拡大図である。エアベアリン グスライダ２００のマウンティングサイド２０２とサスペンション５００のロー ル要素５４２の間の領域２２８に於ける隙間Ｃ_NFは、ノッチ深さｄ_Nの分だけ同 様の隙間Ｃ_AZよりも大きい。更に、角２２１、２２２、２２６及び２２５とサス ペンション５００の間の隙間Ｃ_NELは、同様の隙間Ｃ_SELよりノッチ深さｄ_Nの 分だけ大きい。同様に、第５Ｉ図、第５Ｊ図及び第５Ｋ図は、第５Ａ図のサスペ ンション５００上にマウントされた第２Ｅ図のベアリングスライダ２５０の平面 図、断面図及び拡大図である。マウンティングサイド２５２とロール要素５４２ の間の隙間Ｃ_TFは、上述したＣ_NFに等しい。角２７１、２７２、２７６及び２７ ５とサスペンション５００の間の隙間Ｃ_TELは上述したＣ_NELに等しい。切除部を 有するエアベアリングスライダとサスペンション５００の組合せでは、エアベア リングスライダに設けられた切除部（例えば階段形状またはテーパ形状）により 隙間が付加されているため、ロードビーム周囲部分５０３及び５０４のエッチン グ領域を比較的小さくすることができる。 第６Ａ図は、本発明に基づくサスペンション６００の平面図である。サスペン ション６００は、上述したサスペンション４００と類似している。サスペンショ ン６００は、ロードビームウィンドウ６０２、フレクシャスロット６１２及び６ １４、傾斜サポート６３２、６３４、６３６及び６３８、ロール要素６４２及び ６４４、ジンバル要素６５０、マウンティングパッドウィンドウ６２６及び６２ ８、及び接着剤貯蔵部６６８の設けられたマウンティングパッド６６０を備えた ロードビーム６０１を含んでいる。 しかしながら、ロードビーム周囲部分６０３及び６０４は、ロードビーム周囲 部分４０３及び４０４とは以下のように異なる。ロードビーム周囲部分６０３及 び６０４は、内側周縁６０３Ｉ及び６０４Ｉに特有の切り欠きを有しており、エ アベアリングスライダ２００の接着面２１１の角２２３、２２４、２２５及び２ ２６とロードビーム周囲部分６０３及び６０４とが接触しないようになっている 。内側周縁６０３Ｉ及び６０４Ｉは、エアベアリングスライダ２００または２５ ０がマウンティングパッド６６０上にマウントされたとき、エアベアリングスラ イダ２０ ０または２５０の接着面２１１または２６１と重ならないように形成されている （第６Ｃ図、第６Ｄ図、第６Ｅ図、第６Ｆ図、第６Ｇ図、及び第６Ｈ図）。これ らの切り欠きは、エアベアリングスライダ２００または２５０がＺ軸方向に動く とき、接着面２１１または２６１がロードビーム周囲部分６０３及び６０４を容 易に通過することができるように形成されている。従って、接着面２１１または ２６１の周縁は内側周縁６０３Ｉ及び６０４Ｉより小さい。 内側周縁６０３Ｉは、側面６０３Ａ、６０３Ｂ、６０３Ｃ、６０３Ｄ及び６０ ３Ｅを含んでいる（第６Ａ図）。側面６０３Ｂ及び６０３Ｄは、エアベアリング スライダ２００または２５０（第２Ｂ図及び第２Ｇ図）の接着面２１１または２ ６１の長さＩ_Aより大きな距離に配置されている。更に、内側周縁６０４Ｉ（第 ６Ａ図）は、側面６０４Ａ、６０４Ｂ、６０４Ｃを含み、更に側面６０４Ｃ上の 点６０４Ｄに切り欠きを含んでいる。点６０４Ｄに於ける側面６０４Ｂと側面６ ０３Ｃの間の距離は、エアベアリングスライダ２００または２５０の幅Ｗ（第２ Ｄ図及び第２Ｈ図参照）より大きい。 第６Ｃ図に示されているように、エアベアリングスライダ２００の角２２３、 ２２４、２２５、及び２２６は、ロードビーム周囲部分６０３及び６０４と重な らないようになっている。従って、エアベアリングスライダ２００の接着面２１ １は、ロードビーム周囲部分６０３及び６０４から何ら制約を受けることなくＺ 軸に沿って自由に移動することができる。エアベアリングスライダ２５０の接着 面２６１もまた、同様にして、Ｚ軸に沿って自由に移動することができる（第６ Ｆ図）。 しかしながら、エアベアリングスライダ２００及び２５０は、ロードビーム周 囲部分６０３及び６０４と、例えばノッチ面２１２及びテーパ面２６２のような 凹部では重なっている。例えば、エアベアリングスラ イダ２００の角２２１及び２２２は、エアベアリングスライダ２００のＺ軸方向 の動きが隙間Ｃ_NLより大きい場合、ロードビーム周囲部分６０３及び６０４に接 触する。ノッチ面２１２に於ける重なりは、エアベアリングスライダ２００のデ ィスクからのアンロード時に於けるエアベアリングスライダ２００の角度変位を 制限するために設けられている（第３Ｃ図参照）。テーパ面２６２に於ける同様 の重なりは、アンロード時に於けるエアベアリングスライダ２５０の角度変位を 制限する。 サスペンション６００のロードビーム周囲部分６０３及び６０４に対する切り 欠きは、新たなエッチアートワークを作ることによって、エッチング処理を用い て容易に形成することができる。 周縁が凹凸状のマウンティングパッドと切り欠きを設けられたロードビーム周 囲部分の両方を有するサスペンション６００と、切除部を有するエアベアリング スライダを用いることにより、ピッチ及びロールスチフネスを大幅に小さくしつ つ、非使用時のショック荷重に対する角度方向リミットストップを同時に提供す ることが可能となっている。エッチングによるサスペンションの製造及びノッチ が設けられたエアベアリングスライダのグラインディングを使用した製造は簡単 であり、広い範囲の設計パラメータに適合することができるとともに、所望の小 さいスチフネスを達成することができる。 本発明を上記に於いて例示的な実施例に基づいて説明してきたが、本発明はそ れらに限定されるものではない。例えば、第６Ｃ図及び第６Ｄ図ではエアベアリ ングスライダ２００がサスペンション６００上にマウントされ示されているが、 従来技術のエアベアリングスライダをサスペンション６００上にマウントするこ ともできる。上述した実施例の様々な変形及び適合化が請求の範囲に記載される 本発明の範囲内に入る。

【手続補正書】 【提出日】１９９６年７月９日 【補正内容】 （補正の内容） (１) 明細書第３ページ第２４行の『Ｃ_AZ』を、 「Ｃ_SF」と訂正する。 (２) 明細書第４ページ第１０行の『Ｃ_AZ』を、 「Ｃ_SF」と訂正する。 (３) 明細書第５ページ第１行の『Ｃ_AZ』を、 「Ｃ_SF」と訂正する。 (４) 明細書第８ページ第４行の『第３Ｃ図のライン３Ｄ−３Ｄ』を、 「第３Ｄ図のライン３Ｅ−３Ｅ」と訂正する。 (５) 明細書第９ページ第１行の『第２Ａ図』を、 「第１Ｂ図」と訂正する。 (６) 明細書第１３ページ第１行の『０．８°』を、 「８°」と訂正する。 (７) 明細書第１３ページ第２２行の『Ｃ_AZ』を、 「Ｃ_SF」と訂正する。 (８) 明細書第１５ページ第２６行の『第５Ｅ図』を、 「第１Ｂ図」と訂正する。 (９) 明細書第１６ページ第１行の『第４Ｂ図』を、 「第４Ｃ図」と訂正する。 (１０) 明細書第２１ページ第２０行の『Ｃ_AZ』を、 「Ｃ_SF」と訂正する。 (１１) 明細書第２１ページ第２０行の『スライダの』を、 「スライダと」と訂正する。 (１２) 明細書第２１ページ第２３行の『Ｃ_AZ』を、 「Ｃ_SF」と訂正する。 (１３) 明細書第２２ページ第２４〜２５行の『Ｃ_AZ』を、 「Ｃ_SF」と訂正する。 (１４) 明細書第２４ページ第１４行の『６０４Ｂ』を、 「６０４Ｂ」と訂正する。 (１５) 請求の範囲を別紙のように訂正する。請求の範囲 １．前面と前記前面と反対側の背面とを含むスライダであって、当該スライダは エアベアリングサイドと前記エアベアリングサイドと反対側のマウンティングサ イドとを更に含み、前記エアベアリングサイドがエアベアリング面を含み、前記 マウンティングサイドが、 サスペンションのマウンティングパッドに当該スライダをマウントするための 接着面であって、該接着面は前記背面に隣接しており、当該スライダが前記背面 に於いて該接着面と前記エアベアリング面との間に第１の厚さを有するような該 接着面と、 前記前面に隣接した切除部であって、当該スライダが前記前面に於いて該切除 部と前記エアベアリング面との間に第２の厚さを有し、前記第２の長さが前記第 １の長さより小さいような該切除部とを含んでいることを特徴とするスライダ。 ２．前記切除部がノッチ面を含んでいることを特徴とする請求項１に記載のスラ イダ。 ３．前記マウンティングサイドが前記第１の長さと前記第２の長さの差に等しい 半径の曲率を有するノッチ接続面をさらに含んでいることを特徴とする請求項２ に記載のスライダ。 ４．前記切除部がテーパ面を含んでいることを特徴とする請求項１に記載のスラ イダ。 ５．前記エアベアリング面が当該スライダの前記前面に隣接するテーパフラット を有していることを特徴とする請求項１に記載のスライダ。 ６．一体に形成されたフレクシャを有するロードビームを含むヘッドサスペンシ ョンであって、前記フレクシャがマウンティングパッドと環状ジンバル要素を含 み、前記ジンバル要素が前記マウンティングパッドを取り囲んでおり、前記ジン バル要素が前記マウンティングパッドに少なくとも２つのピッチ要素によって接 続されており、前記マウンティングパッドが凹凸状の周縁を有していることを特 徴とするヘッドサスペンション。 ７．前記ジンバル要素が内側周縁を含んでおり、前記マウンティングパッドが外 側周縁と内側周縁を含んでおり、前記マウンティングパッドの外側周縁は接続さ れておらず、前記マウンティングパッドの外側周縁が前記ジンバル要素の内側周 縁から第１の距離だけ離れており、前記マウンティングパッドの内側周縁が前記 ピッチ要素に接続されており、前記マウンティングパッドの内側周縁が前記ジン バル要素の内側周縁から第２の距離だけ離れており、前記第２の距離が前記第１ の距離より大きいことを特徴とする請求項６に記載のヘッドサスペンション。 ８．前記ピッチ要素の少なくとも一つが前記マウンティングパッドの長さの１／ ３より長い長さを有することを特徴とする請求項６に記載のヘッドサスペンショ ン。 ９．一体に形成されたフレクシャを有するロードビームを含むヘッドサスペンシ ョンであって、前記ロードビームが第１ロードビーム周囲部分と第２ロードビー ム周囲部分とを含み、前記フレクシャがジンバル要素を含み、前記ジンバル要素 が前記第１ロードビーム周囲部分と前記第２ロードビーム周囲部分によって取り 囲まれており、スライダがＺ軸方向に動くとき前記スライダのマウンティングサ イドの第１の部分が前記第１ロードビーム周囲部分と前記第２ロードビーム周囲 部分の間を通過することができるような距離だけ前記第１ロードビーム周囲部分 の内側周縁が前記第２ロードビーム周囲部分の内側周縁から離れていることを特 徴とするヘッドサスペンション。 １０．前記第１ロードビーム周囲部分の前記内側周縁が、前記スライダのマウン ティングサイドの第２の部分が前記第１及び前記第２ロードビーム周囲部分の少 なくとも一方に前記スライダがＺ軸方向に動くときある点で接触するように、前 記第２ロードビーム周囲部分の内側周縁から十分に小さい距離にあることを特徴 とする請求項９に記載のヘッドサスペンション。 １１．前記ヘッドサスペンションが一体型であり、前記ロードビームと前記フレ クシャが１枚のシート材料から一体に形成されていることを特徴とする請求項１ ０に記載のヘッドサスペンション。 １２．前記一体に形成されたフレクシャが更に接着剤貯蔵部を有するマウンティ ングパッドを含んでいることを特徴とする請求項９に記載のヘッドサスペンショ ン。 １３．前記ピッチ要素の各々が、前記第１及び第２ロードビーム周囲部分の一方 の厚さより薄い厚さを有することを特徴とする請求項９に記載のヘッドサスペン ション。 １４．前記ジンバル要素が、前記第１及び第２ロードビーム周囲部分の一方の厚 さより薄い厚さを有することを特徴とする請求項９に記載のヘッドサスペンショ ン。 １５．前記第１及び第２ロードビーム周囲部分の少なくとも一方が切り欠きを有 しており、前記スライダが前記マウンティングパッド上に支持されたとき前記切 り欠きが前記スライダの周縁に近接することを特徴とする請求項９に記載のヘッ ドサスペンション。 １６．前記切り欠きが、前記スライダと前記ロードビーム周囲部分の間の接触が 起こらないように十分な深さを有しており、それによってダイナミックローディ ングに於いて前記スライダが前記切り欠きの近くで自由にピッチ及びロール動作 できることを特徴とする請求項１５に記載のヘッドサスペンション。 １７．一体に形成されたフレクシャを有するロードビームを含むヘッドサスペン ションであって、前記フレクシャがマウンティングパッドと環状ジンバル要素を 含み、前記ジンバル要素が前記マウンティングパッドを取り囲んでおり、前記ジ ンバル要素が前記マウンティングパッドに少なくとも２つのピッチ要素によって 接続されており、前記マウンティングパッドが凹凸状の周縁を有している該ヘッ ドサスペンションと、 前面と前記前面と反対側の背面とを含むスライダであって、該スライダはエア ベアリングサイドと前記エアベアリングサイドと反対側のマウンティングサイド とを更に含み、前記エアベアリングサイドがエアベアリング面を含み、前記マウ ンティングサイドが切除部と接着面を含んでいる該スライダと、 前記スライダの前記接着面と前記ヘッドサスペンションの前記マウンティング パッドとの間に施され、前記スライダと前記ヘッドサスペンションとを強固に接 合する接着剤とを含むことを特徴とする装置。 １８．前記スライダの前記切除部がノッチ面を含んでいることを特徴とする請求 項１７に記載の装置。 １９．前記スライダの前記切除部がテーパ面を含んでいることを特徴とする請求 項１７に記載の装置。 ２０．前面と前記前面と反対側の背面とを含むスライダであって、該スライダは エアベアリングサイドと前記エアベアリングサイドと反対側のマウンティングサ イドとを更に含み、前記エアベアリングサイドがエアベアリング面を含み、前記 マウンティングサイドが切除部と接着面を含んでいる該スライダと、 一体に形成されたフレクシャを有するロードビームを含むヘッドサスペンショ ンであって、前記ロードビームが第１ロードビーム周囲部分と第２ロードビーム 周囲部分を含み、前記フレクシャがマウンティングパッドとジンバル要素を含み 、前記ジンバル要素が前記第１ロードビーム周囲部分と前記第２ロードビーム周 囲部分によって取り囲まれており、前記スライダがＺ軸方向に動くとき前記スラ イダの接着面が前記第１ロードビーム周囲部分と前記第２ロードビーム周囲部分 の間を通過することができるような距離だけ、前記第１ロードビーム周囲部分の 内側周縁が前記第２ロードビーム周囲部分の内側周縁から離れている該ヘッドサ スペンションと、 前記スライダの前記接着面と前記ヘッドサスペンションの前記マウンティング パッドとの間に施された接着剤とを含むことを特徴とする装置。 ２１．前記スライダの前記切除部がノッチ面を含んでいることを特徴とする請求 項２０に記載の装置。 ２２．前記スライダの前記切除部がテーパ面を含んでいることを特徴とする請求 項２０に記載の装置。 ２３．一体に形成されたフレクシャを有するロードビームを含むヘッドサスペン ションであって、前記ロードビームがロードビーム周囲部分を含み、前記フレク シャが前記ロードビーム周囲部分に近接したジンバル要素とマウンティングパッ ドとを含み、エアベアリングスライダが前記マウンティングパッド上にマウント されるとき前記エアベアリングスライダによって覆われる前記ロードビーム周囲 部分の領域に前記ロードビーム周囲部分がエッチング領域を含んでいることを特 徴とするヘッドサスペンション。 ２４．前記ロードビームが第１ロードビーム周囲部分と第２ロードビーム周囲部 分とを含んでおり、前記ジンバル要素が前記第１ロードビーム周囲部分と前記第 ２ロードビーム周囲部分とによって取り囲まれていることを特徴とする請求項２ ３に記載のヘッドサスペンション。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ケルジック、ゲイリー・エフ アメリカ合衆国コロラド州80503・ロング モント・ハムボルトサークル 2834

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．前面と前記前面と反対側の背面とを含むスライダであって、当該スライダは エアベアリングサイドと前記エアベアリングサイドと反対側のマウンティングサ イドとを更に含み、前記エアベアリングサイドがエアベアリング面を含み、前記 マウンティングサイドが、 サスペンションのマウンティングパッドに当該スライダをマウントするための 接着面であって、該接着面は前記背面に隣接しており、当該スライダが前記背面 に於いて該接着面と前記エアベアリング面との間に第１の厚さを有するような該 接着面と、 前記前面に隣接した切除部であって、当該スライダが前記前面に於いて該切除 部と前記エアベアリング面との間に第２の厚さを有し、前記第２の距離が前記第 １の距離より小さいような該切除部とを含んでいることを特徴とするスライダ。 ２．前記切除部がノッチ面を含んでいることを特徴とする請求項１に記載のスラ イダ。 ３．前記マウンティングサイドが前記第１の距離と前記第２の距離の差に等しい 半径の曲率を有するノッチ接続面をさらに含んでいることを特徴とする請求項２ に記載のスライダ。 ４．前記切除部がテーパ面を含んでいることを特徴とする請求項１に記載のスラ イダ。 ５．前記エアベアリング面が当該スライダの前記前面に隣接するテーパフラット を有していることを特徴とする請求項１に記載のスライダ。 ６．一体に形成されたフレクシャを有するロードビームを含むヘッドサスペンシ ョンであって、前記フレクシャがマウンティングパッドと環状ジンバル要素を含 み、前記ジンバル要素が前記マウンティングパッドを取り囲んでおり、前記ジン バル要素が前記マウンティングパッドに少な くとも２つのピッチ要素によって接続されており、前記マウンティングパッドが 凹凸状の周縁を有していることを特徴とするヘッドサスペンション。 ７．前記ジンバル要素が内側周縁を含んでおり、前記マウンティングパッドが外 側周縁と内側周縁を含んでおり、前記マウンティングパッドの外側周縁は接続さ れておらず、前記マウンティングパッドの外側周縁が前記ジンバル要素の内側周 縁から第１の距離だけ離れており、前記マウンティングパッドの内側周縁が前記 ピッチ要素に接続されており、前記マウンティングパッドの内側周縁が前記ジン バル要素の内側周縁から第２の距離だけ離れており、前記第２の距離が前記第１ の距離より大きいことを特徴とする請求項６に記載のヘッドサスペンション。 ８．前記ピッチ要素の少なくとも一つが前記マウンティングパッドの長さの１／ ３より長い長さを有することを特徴とする請求項６に記載のヘッドサスペンショ ン。 ９．一体に形成されたフレクシャを有するロードビームを含むヘッドサスペンシ ョンであって、前記ロードビームが第１ロードビーム周囲部分と第２ロードビー ム周囲部分とを含み、前記フレクシャがジンバル要素を含み、前記ジンバル要素 が前記第１ロードビーム周囲部分と前記第２ロードビーム周囲部分によって取り 囲まれており、スライダがＺ軸方向に動くとき前記スライダのマウンティングサ イドの第１の部分が前記第１ロードビーム周囲部分と前記第２ロードビーム周囲 部分の間を通過することができるような距離だけ前記第１ロードビーム周囲部分 の内側周縁が前記第２ロードビーム周囲部分の内側周縁から離れていることを特 徴とするヘッドサスペンション。 １０．前記第１ロードビーム周囲部分の前記内側周縁が、前記スライダのマウン ティングサイドの第２の部分が前記第１及び前記第２ロードビ ーム周囲部分の少なくとも一方に前記スライダがＺ軸方向に動くときある点で接 触するように、前記第２ロードビーム周囲部分の内側周縁から十分に小さい距離 にあることを特徴とする請求項９に記載のヘッドサスペンション。 １１．前記ヘッドサスペンションが一体型であり、前記ロードビームと前記フレ クシャが１枚のシート材料から一体に形成されていることを特徴とする請求項１ ０に記載のヘッドサスペンション。 １２．前記一体に形成されたフレクシャが更に接着剤貯蔵部を有するマウンティ ングパッドを含んでいることを特徴とする請求項９に記載のヘッドサスペンショ ン。 １３．前記ピッチ要素の各々が、前記第１及び第２ロードビーム周囲部分の一方 の厚さより薄い厚さを有することを特徴とする請求項９に記載のヘッドサスペン ション。 １４．前記ジンバル要素が、前記第１及び第２ロードビーム周囲部分の一方の厚 さより薄い厚さを有することを特徴とする請求項９に記載のヘッドサスペンショ ン。 １５．前記第１及び第２ロードビーム周囲部分の少なくとも一方が切り欠きを有 しており、前記スライダが前記マウンティングパッド上に支持されたとき前記切 り欠きが前記スライダの周縁に近接することを特徴とする請求項９に記載のヘッ ドサスペンション。 １６．前記切り欠きが、前記スライダと前記ロードビーム周囲部分の間の接触が 起こらないように十分な深さを有しており、それによってダイナミックローディ ングに於いて前記スライダが前記切り欠きの近くで自由にピッチ及びロール動作 できることを特徴とする請求項１５に記載のヘッドサスペンション。 １７．一体に形成されたフレクシャを有するロードビームを含むヘッド サスペンションであって、前記フレクシャがマウンティングパッドと環状ジンバ ル要素を含み、前記ジンバル要素が前記マウンティングパッドを取り囲んでおり 、前記ジンバル要素が前記マウンティングパッドに少なくとも２つのピッチ要素 によって接続されており、前記マウンティングパッドが凹凸状の周縁を有してい る該ヘッドサスペンションと、 前面と前記前面と反対側の背面とを含むスライダであって、該スライダはエア ベアリングサイドと前記エアベアリングサイドと反対側のマウンティングサイド とを更に含み、前記エアベアリングサイドがエアベアリング面を含み、前記マウ ンティングサイドが切除部と接着面を含んでいる該スライダと、 前記スライダの前記接着面と前記ヘッドサスペンションの前記マウンティング パッドとの間に施され、前記スライダと前記ヘッドサスペンションとを強固に接 合する接着剤とを含むことを特徴とする装置。 １８．前記スライダの前記切除部がノッチ面を含んでいることを特徴とする請求 項１７に記載のスライダ。 １９．前記スライダの前記切除部がテーパ面を含んでいることを特徴とする請求 項１７に記載の装置。 ２０．前面と前記前面と反対側の背面とを含むスライダであって、該スライダは エアベアリングサイドと前記エアベアリングサイドと反対側のマウンティングサ イドとを更に含み、前記エアベアリングサイドがエアベアリング面を含み、前記 マウンティングサイドが切除部と接着面を含んでいる該スライダと、 一体に形成されたフレクシャを有するロードビームを含むヘッドサスペンショ ンであって、前記ロードビームが第１ロードビーム周囲部分と第２ロードビーム 周囲部分を含み、前記フレクシャがマウンティングパッドとジンバル要素を含み 、前記ジンバル要素が前記第１ロードビーム 周囲部分と前記第２ロードビーム周囲部分によって取り囲まれており、前記スラ イダがＺ軸方向に動くとき前記スライダの接着面が前記第１ロードビーム周囲部 分と前記第２ロードビーム周囲部分の間を通過することができるような距離だけ 、前記ロードビーム周囲部分の内側周縁が前記第２ロードビーム周囲部分の内側 周縁から離れている該ヘッドサスペンションと、 前記スライダの前記接着面と前記ヘッドサスペンションの前記マウンティング パッドとの間に施された接着剤とを含むことを特徴とする装置。 ２１．前記スライダの前記切除部がノッチ面を含んでいることを特徴とする請求 項２０に記載の装置。 ２２．前記スライダの前記切除部がテーパ面を含んでいることを特徴とする請求 項２０に記載の装置。 ２３．一体に形成されたフレクシャを有するロードビームを含むヘッドサスペン ションであって、前記ロードビームがロードビーム周囲部分を含み、前記フレク シャが前記ロードビーム周囲部分に近接したジンバル要素とマウンティングパッ ドとを含み、エアベアリングスライダが前記マウンティングパッド上にマウント されるとき前記エアベアリングスライダによって覆われる前記ロードビーム周囲 部分の領域に前記ロードビーム周囲部分がエッチング領域を含んでいることを特 徴とするヘッドサスペンション。 ２４．前記ロードビームが第１ロードビーム周囲部分と第２ロードビーム周囲部 分とを含んでおり、前記ジンバル要素が前記第１ロードビーム周囲部分と前記第 ２ロードビーム周囲部分とによって取り囲まれていることを特徴とする請求項２ ３に記載のヘッドサスペンション。