JPH093661A - エッチング装置 - Google Patents
エッチング装置Info
- Publication number
- JPH093661A JPH093661A JP15152295A JP15152295A JPH093661A JP H093661 A JPH093661 A JP H093661A JP 15152295 A JP15152295 A JP 15152295A JP 15152295 A JP15152295 A JP 15152295A JP H093661 A JPH093661 A JP H093661A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- etching
- base material
- metal base
- spray
- teflon
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- ing And Chemical Polishing (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】エッチング時の寸法調整にあたっての不便、不
具合を解消し、簡明な構造にて容易に寸法調整を行うこ
とができるようにする。 【構成】エッチングチャンバー内を連続して搬送される
長尺帯状の金属基板に対し、複数のスプレーノズルより
エッチング液をスプレーするスプレーエッチング装置に
おいて、エッチングチャンバー内の金属基板とスプレー
ノズルとの間に、一方の端辺がエッチングチャンバー内
の金属基材搬入口側付近と接続し、もう一方の端辺が金
属基材搬送方向に適宜平行移動可能な、少なくとも金属
基材を覆う幅を持つスライド式の遮蔽板もしくは遮蔽シ
ートを設け、前記遮蔽板もしくは遮蔽シートが展張した
領域で金属基材へのエッチング液の接触を妨げることに
より、金属基材のエッチング時間の調整を行う。
具合を解消し、簡明な構造にて容易に寸法調整を行うこ
とができるようにする。 【構成】エッチングチャンバー内を連続して搬送される
長尺帯状の金属基板に対し、複数のスプレーノズルより
エッチング液をスプレーするスプレーエッチング装置に
おいて、エッチングチャンバー内の金属基板とスプレー
ノズルとの間に、一方の端辺がエッチングチャンバー内
の金属基材搬入口側付近と接続し、もう一方の端辺が金
属基材搬送方向に適宜平行移動可能な、少なくとも金属
基材を覆う幅を持つスライド式の遮蔽板もしくは遮蔽シ
ートを設け、前記遮蔽板もしくは遮蔽シートが展張した
領域で金属基材へのエッチング液の接触を妨げることに
より、金属基材のエッチング時間の調整を行う。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体集積回路装置用
リードフレームやカラーテレビジョン用シャドウマスク
等の金属部品を製造する工程において、パターニングさ
れた保護膜を形成した長尺帯状の金属基材に対しエッチ
ング処理を行う装置に関する。
リードフレームやカラーテレビジョン用シャドウマスク
等の金属部品を製造する工程において、パターニングさ
れた保護膜を形成した長尺帯状の金属基材に対しエッチ
ング処理を行う装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】連続して搬送される長尺帯状の金属基材
に、例えば塩化第二鉄溶液等のエッチング液をスプレー
することによりエッチングパターンを形成する、コンベ
ア式のスプレーエッチング装置においては、従来、エッ
チング寸法の調整は主としてコンベアの運転スピードを
変える、すなわち、金属基材の搬送速度を変化させるこ
とにより調整していた。このため、金属基材表面に所定
パターンに従って金属基材を一部露出したエッチング防
止膜を形成するエッチング防止膜形成工程と、長尺帯状
の金属基材をエッチングした後エッチング防止膜を剥膜
する処理を行う剥膜工程とを連続した一貫ラインとする
ことが困難であった。
に、例えば塩化第二鉄溶液等のエッチング液をスプレー
することによりエッチングパターンを形成する、コンベ
ア式のスプレーエッチング装置においては、従来、エッ
チング寸法の調整は主としてコンベアの運転スピードを
変える、すなわち、金属基材の搬送速度を変化させるこ
とにより調整していた。このため、金属基材表面に所定
パターンに従って金属基材を一部露出したエッチング防
止膜を形成するエッチング防止膜形成工程と、長尺帯状
の金属基材をエッチングした後エッチング防止膜を剥膜
する処理を行う剥膜工程とを連続した一貫ラインとする
ことが困難であった。
【０００３】また、板状金属の表裏のエッチングパター
ン寸法の不整合を調整する場合には、表裏どちらかのス
プレーを部分的に止める方法が採られていた。しかしこ
の方法では前述の不整合の調整が段階的になってしま
い、大まかな調整段階の寸法しか得ることができなかっ
た。
ン寸法の不整合を調整する場合には、表裏どちらかのス
プレーを部分的に止める方法が採られていた。しかしこ
の方法では前述の不整合の調整が段階的になってしま
い、大まかな調整段階の寸法しか得ることができなかっ
た。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記のよう
なエッチング時のエッチングパターン寸法の調整にあた
っての不便、不具合を解消し、簡易な構造にて容易にエ
ッチングパターン寸法の調整を行うことができるように
する。
なエッチング時のエッチングパターン寸法の調整にあた
っての不便、不具合を解消し、簡易な構造にて容易にエ
ッチングパターン寸法の調整を行うことができるように
する。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、エッチングチ
ャンバー内を連続して搬送される長尺帯状の金属基板に
対し、複数のスプレーノズルよりエッチング液をスプレ
ーするスプレーエッチング装置において、エッチングチ
ャンバー内の金属基板とスプレーノズルとの間に、一方
の端辺がエッチングチャンバー内の金属基材搬入口側付
近と接続し、もう一方の端辺が金属基材搬送方向に適宜
平行移動可能な、少なくとも金属基材を覆う幅を持つス
ライド式の遮蔽板もしくは遮蔽シートを設け、前記遮蔽
板もしくは遮蔽シートが展張した領域で金属基材へのエ
ッチング液の接触を妨げることにより、金属基材のエッ
チング時間の調整を行うことを特徴とするエッチング装
置である。
ャンバー内を連続して搬送される長尺帯状の金属基板に
対し、複数のスプレーノズルよりエッチング液をスプレ
ーするスプレーエッチング装置において、エッチングチ
ャンバー内の金属基板とスプレーノズルとの間に、一方
の端辺がエッチングチャンバー内の金属基材搬入口側付
近と接続し、もう一方の端辺が金属基材搬送方向に適宜
平行移動可能な、少なくとも金属基材を覆う幅を持つス
ライド式の遮蔽板もしくは遮蔽シートを設け、前記遮蔽
板もしくは遮蔽シートが展張した領域で金属基材へのエ
ッチング液の接触を妨げることにより、金属基材のエッ
チング時間の調整を行うことを特徴とするエッチング装
置である。
【０００６】すなわち、水平方向に長尺帯状の金属基材
が搬送される水平型の両面スプレーエッチング装置にお
いては、図１のように、エッチングチャンバー１内に基
材２を通して搬送させながら、シャワーパイプ３を通じ
て供給されるエッチング液５をスプレーノズル４より噴
射させて基材２に吹き付け、エッチングするものであ
る。ここで本発明では、従来行っていた、基材２の搬送
速度やスプレーノズル４の開閉によるエッチング時間の
調節は行わず、図１に示すテフロンシート６のような、
基材とスプレーノズルとの間に設置した遮蔽板もしくは
遮蔽シートの連続可変的な移動・伸縮により金属基材の
エッチング時間の調節を行う。すなわち、前記遮蔽板も
しくは遮蔽シートを引き延ばしたときには、前記遮蔽板
もしくは遮蔽シートが傘となり、金属基材へのエッチン
グ液の接触を妨げられる。すなわち、遮蔽された領域分
だけエッチング工程の距離が短くなり、エッチング時間
を短くしたのと同じ効果を持つものである。逆に前記遮
蔽板もしくは遮蔽シートを順次縮小することにより、エ
ッチング工程の距離が順次長くなるといえ、、これはエ
ッチング時間を長くしたのと同じ効果を持つものといえ
る。
が搬送される水平型の両面スプレーエッチング装置にお
いては、図１のように、エッチングチャンバー１内に基
材２を通して搬送させながら、シャワーパイプ３を通じ
て供給されるエッチング液５をスプレーノズル４より噴
射させて基材２に吹き付け、エッチングするものであ
る。ここで本発明では、従来行っていた、基材２の搬送
速度やスプレーノズル４の開閉によるエッチング時間の
調節は行わず、図１に示すテフロンシート６のような、
基材とスプレーノズルとの間に設置した遮蔽板もしくは
遮蔽シートの連続可変的な移動・伸縮により金属基材の
エッチング時間の調節を行う。すなわち、前記遮蔽板も
しくは遮蔽シートを引き延ばしたときには、前記遮蔽板
もしくは遮蔽シートが傘となり、金属基材へのエッチン
グ液の接触を妨げられる。すなわち、遮蔽された領域分
だけエッチング工程の距離が短くなり、エッチング時間
を短くしたのと同じ効果を持つものである。逆に前記遮
蔽板もしくは遮蔽シートを順次縮小することにより、エ
ッチング工程の距離が順次長くなるといえ、、これはエ
ッチング時間を長くしたのと同じ効果を持つものといえ
る。
【０００７】
【作用】上記の手段によれば、エッチング時間の調整が
表裏面独立に、連続的に可変可能であるため、エッチン
グ寸法の調整および基材表裏の寸法の不整合の調整に関
して精度が高まる。
表裏面独立に、連続的に可変可能であるため、エッチン
グ寸法の調整および基材表裏の寸法の不整合の調整に関
して精度が高まる。
【０００８】
【実施例】本発明の水平型の両面スプレーエッチング装
置の一実施例を以下に示す。 ＜実施例＞金属の薄板よりなる基材２として、金属ロー
ルより供給された長尺帯状の４２アロイ合金（鉄−ニッ
ケル合金）を用いた。次いで、基材２の両面にポリビニ
ルアルコールおよび重クロム酸アンモニウムよりなる感
光性樹脂層を塗布形成後、パターン露光、現像および硬
膜処理を行い、所定パターンに従って基材２表面を一部
露出したエッチング防止膜を形成し、これを前工程とし
た。次いで前工程の終了した基材２は、連続したコンベ
アのラインによりエッチングチャンバー１内部を通るよ
うに配置されている。次いで図１に示すように、エッチ
ングチャンバー１内で基材２を搬送させながら、シャワ
ーパイプ３を通じて供給される塩化第２鉄溶液を用いた
エッチング液５をスプレーノズル４より噴射させて基材
２に吹き付け、エッチングするものであるが、この際、
本発明によりテフロンシート６を基材２とその表裏両面
側のスプレーノズル４とのそれぞれの間に設置し、遮蔽
シートとして、エッチング工程内の所望する距離の間エ
ッチング液５が基材２にまで達するのを防ぐ。
置の一実施例を以下に示す。 ＜実施例＞金属の薄板よりなる基材２として、金属ロー
ルより供給された長尺帯状の４２アロイ合金（鉄−ニッ
ケル合金）を用いた。次いで、基材２の両面にポリビニ
ルアルコールおよび重クロム酸アンモニウムよりなる感
光性樹脂層を塗布形成後、パターン露光、現像および硬
膜処理を行い、所定パターンに従って基材２表面を一部
露出したエッチング防止膜を形成し、これを前工程とし
た。次いで前工程の終了した基材２は、連続したコンベ
アのラインによりエッチングチャンバー１内部を通るよ
うに配置されている。次いで図１に示すように、エッチ
ングチャンバー１内で基材２を搬送させながら、シャワ
ーパイプ３を通じて供給される塩化第２鉄溶液を用いた
エッチング液５をスプレーノズル４より噴射させて基材
２に吹き付け、エッチングするものであるが、この際、
本発明によりテフロンシート６を基材２とその表裏両面
側のスプレーノズル４とのそれぞれの間に設置し、遮蔽
シートとして、エッチング工程内の所望する距離の間エ
ッチング液５が基材２にまで達するのを防ぐ。
【０００９】このテフロンシート６は、その一端の辺を
支持棒７に固定され、その支持棒７がガイドレール８に
沿ってチタンワイヤー９により引っ張られることによ
り、巻取り部１０から引き出されてエッチング液５を遮
蔽する部分の面積が拡大し、逆に巻取りモーター１１を
動作させてテフロンシート６を巻取り部１０に巻き取る
ことにより遮蔽部分の面積が縮小する。この機構は基材
２に対し表裏の両側に、面対称形に同様に設けた。この
ような機構により、エッチング量の調整が基材２の双方
の面それぞれ独立に、かつ連続可変的に可能である。
支持棒７に固定され、その支持棒７がガイドレール８に
沿ってチタンワイヤー９により引っ張られることによ
り、巻取り部１０から引き出されてエッチング液５を遮
蔽する部分の面積が拡大し、逆に巻取りモーター１１を
動作させてテフロンシート６を巻取り部１０に巻き取る
ことにより遮蔽部分の面積が縮小する。この機構は基材
２に対し表裏の両側に、面対称形に同様に設けた。この
ような機構により、エッチング量の調整が基材２の双方
の面それぞれ独立に、かつ連続可変的に可能である。
【００１０】上記の機構を利用して、エッチング量の調
整、および表裏の寸法の不整合の調整を、高精度に、か
つコンベアのスピードを一定に保ったまま行うことがで
きた。このため、このエッチング工程を終えた基材２
を、引き続きインラインにて結ばれた次工程、すなわち
エッチング防止膜をアルカリ液により剥膜、除去する処
理工程へと送ることができた。
整、および表裏の寸法の不整合の調整を、高精度に、か
つコンベアのスピードを一定に保ったまま行うことがで
きた。このため、このエッチング工程を終えた基材２
を、引き続きインラインにて結ばれた次工程、すなわち
エッチング防止膜をアルカリ液により剥膜、除去する処
理工程へと送ることができた。
【００１１】
【発明の効果】エッチング寸法の精度が高まり、基材表
裏の寸法の不整合も低減される。また、コンベアのスピ
ードが一定に保たれるので、前後の工程と連結した一貫
ラインとすることができる。
裏の寸法の不整合も低減される。また、コンベアのスピ
ードが一定に保たれるので、前後の工程と連結した一貫
ラインとすることができる。
【００１２】
【図１】本発明によるエッチング装置の一実施例の要部
を側面より見た説明図である。
を側面より見た説明図である。
【図２】本発明によるエッチング装置の一実施例の要部
を上面より見た説明図である。
を上面より見た説明図である。
１ エッチングチャンバー ２ 基材 ３ シャワーパイプ ４ スプレーノズル ５ エッチング液 ６ テフロンシート ７ 支持棒 ８ ガイドレール ９ チタンワイヤー １０ 巻取り部 １１ 巻取りモーター
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 掛橋 達朗 静岡県沼津市大塚32番１ 株式会社トッパ ン・エレクトロニクス富士内 (72)発明者 堀井 和之 静岡県沼津市大塚32番１ 株式会社トッパ ン・エレクトロニクス富士内
Claims (1)
- 【請求項１】エッチングチャンバー内を連続して搬送さ
れる長尺帯状の金属基板に対し、複数のスプレーノズル
よりエッチング液をスプレーするスプレーエッチング装
置において、エッチングチャンバー内の金属基板とスプ
レーノズルとの間に、一方の端辺がエッチングチャンバ
ー内の金属基材搬入口側付近と接続し、もう一方の端辺
が金属基材搬送方向に適宜平行移動可能な、少なくとも
金属基材を覆う幅を持つスライド式の遮蔽板もしくは遮
蔽シートを設け、前記遮蔽板もしくは遮蔽シートが展張
した領域で金属基材へのエッチング液の接触を妨げるこ
とにより、金属基材のエッチング時間の調整を行うこと
を特徴とするエッチング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15152295A JPH093661A (ja) | 1995-06-19 | 1995-06-19 | エッチング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15152295A JPH093661A (ja) | 1995-06-19 | 1995-06-19 | エッチング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH093661A true JPH093661A (ja) | 1997-01-07 |
Family
ID=15520360
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15152295A Pending JPH093661A (ja) | 1995-06-19 | 1995-06-19 | エッチング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH093661A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012066176A (ja) * | 2010-09-22 | 2012-04-05 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
| CN107032625A (zh) * | 2016-02-03 | 2017-08-11 | 阳程科技股份有限公司 | 片材表面处理方法及结构 |
| CN109371398A (zh) * | 2018-11-27 | 2019-02-22 | 胡旭燕 | 一种具有双面雕刻结构的可调节智能雕刻蚀刻设备 |
| KR20190054686A (ko) * | 2017-11-14 | 2019-05-22 | 주식회사 포스코 | 롤 표면에 상이한 깊이를 부여하는 에칭장치 및 에칭방법 |
| CN112399723A (zh) * | 2020-10-23 | 2021-02-23 | 武汉大学 | 一种柔性pcb板的高精细蚀刻生产系统及方法 |
| CN117448820A (zh) * | 2023-12-25 | 2024-01-26 | 山东方霖铝业科技有限公司 | 一种全铝家具用铝材的蚀刻装置 |
-
1995
- 1995-06-19 JP JP15152295A patent/JPH093661A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012066176A (ja) * | 2010-09-22 | 2012-04-05 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
| CN107032625A (zh) * | 2016-02-03 | 2017-08-11 | 阳程科技股份有限公司 | 片材表面处理方法及结构 |
| KR20190054686A (ko) * | 2017-11-14 | 2019-05-22 | 주식회사 포스코 | 롤 표면에 상이한 깊이를 부여하는 에칭장치 및 에칭방법 |
| CN109371398A (zh) * | 2018-11-27 | 2019-02-22 | 胡旭燕 | 一种具有双面雕刻结构的可调节智能雕刻蚀刻设备 |
| CN112399723A (zh) * | 2020-10-23 | 2021-02-23 | 武汉大学 | 一种柔性pcb板的高精细蚀刻生产系统及方法 |
| CN117448820A (zh) * | 2023-12-25 | 2024-01-26 | 山东方霖铝业科技有限公司 | 一种全铝家具用铝材的蚀刻装置 |
| CN117448820B (zh) * | 2023-12-25 | 2024-03-05 | 山东方霖铝业科技有限公司 | 一种全铝家具用铝材的蚀刻装置 |
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