JPH09327860A - マイクロレンズアレイの製造方法および圧子押圧装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】焦点板において、モアレ縞の生じにくいマイク
ロレンズアレイの製造方法および圧子押圧装置の提供。 【解決手段】 圧子１を金型母材５の表面に押圧して複
数の圧痕を形成し、圧痕の形状を光学部材に転写して複
数の微小凸曲面を形成するマイクロレンズアレイの製造
方法において、圧痕を形成する際に、圧子１の押し込み
深さを不規則に変える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、一眼レフカメラの
焦点板等に形成されるマイクロレンズアレイの製造方法
および圧子押圧装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】マイクロレンズアレイを用いた一般的な
例として、一眼レフカメラの焦点板があげられる。図１
３は一眼レフカメラの基本的な構成を示す断面図であ
り、焦点板３０はマイクロレンズアレイからなるマット
面３０ａと、輪帯構造をしたフレネルレンズ面３０ｂと
で構成されている。マイクロレンズアレイは多数のマイ
クロレンズから成り、撮影レンズ３１を通過した後に主
ミラー３２で反射された光束はマット面３０ａにより拡
散された後、フレネルレンズ面３０ｂにより撮影レンズ
３１の光軸外の結像光束が光軸方向へ偏向される。焦点
板３０で拡散された光束はコンデンサレンズ３３，ペン
タプリズム３４を通過してファインダ光学系３５に達
し、ファインダを覗いている撮影者によって観察され
る。

【０００３】焦点板３０はカメラのピント合わせに用い
られ、撮影者がファインダから覗いた時にザラツキ感の
ない適度なボケ味を有することが要求される。この適度
なボケ味を出すためには、焦点板３０の各マイクロレン
ズが同一形状を有して規則正しく整列していて、かつ、
マイクロレンズの分布にムラがないように形成されてい
ることが重要となる。ただし、規則性が非常に良く、か
つムラが全くない状況だと、この規則性がフレネルレン
ズの輪帯構造との干渉を引き起こしモアレ縞が発生す
る。逆に、規則性が全くなくムラが強い場合には、にじ
みや部分的に暗く見えるという問題が生じる。

【０００４】ところで、マイクロレンズアレイの製造方
法としては、圧痕法を利用したものが知られている。圧
痕法では、図１４に示すように金型母材５の表面に圧子
１を所定の荷重で繰り返し押圧して圧痕５ａを所定の間
隔で多数形成し、それを金型としてアクリル等の光学用
樹脂を用いた射出成形，圧縮成形，注型成形等によりマ
イクロレンズアレイ４０が作製される。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た方法で多数の圧痕を形成した場合には圧痕深さが同一
となるため、このようにして形成されたマイクロレンズ
アレイを具備する焦点板を用いた場合には、モアレ縞が
発生し易いという欠点があった。

【０００６】本発明の目的は、焦点板において、モアレ
縞の生じにくいマイクロレンズアレイの製造方法および
圧子押圧装置を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】発明の実施の形態を示す
図１に対応付けて説明する。 （１）請求項１の発明は、圧子１を型母材５の表面に押
圧して複数の圧痕を形成し、圧痕の形状を光学部材に転
写して複数の微小凸曲面を形成するマイクロレンズアレ
イの製造方法に適用され、圧痕を形成する際に、圧子１
の押し込み深さを不規則に変えることによって上述の目
的を達成する。 （２）請求項２の発明は、圧子１を光学材料からなる被
加工部材の表面に押圧し、複数の微小凹曲面を形成する
マイクロレンズアレイの製造方法に適用され、微小凹曲
面を形成する際に、圧子１の押し込み深さを不規則に変
えることによって上述の目的を達成する。 （３）請求項３の発明は、請求項１または２に記載の製
造方法において、１回の圧子押圧操作毎に押し込み深さ
を変える。 （４）請求項４の発明は、請求項１〜３のいずれかに記
載の製造方法において、型母材５または被加工部材を圧
子１の押し込み方向（ｚ方向）と直交する面（ｘｙ面）
内で駆動しつつ、押し込み深さを時間的に一定の周期で
変える。 （５）請求項５の発明は、請求項１〜４のいずれかに記
載の製造方法において、圧子１に与える押し込み力を制
御することにより押し込み深さを変える。 （６）請求項６の発明は、請求項１〜５のいずれかに記
載の製造方法に用いられる圧子押圧装置であって、圧子
１を型母材５または被加工部材に押圧する圧子駆動装置
２と、各圧痕または各微小凹曲面を形成する際、圧子１
の押し込み深さが不規則にまたは一定の周期で変化する
ように圧子駆動装置２を制御する制御手段２２とを備え
て上述の目的を達成する。 （７）請求項７の発明は、請求項１〜５のいずれかに記
載の製造方法により作製されるマイクロレンズアレイに
適用され、マイクロレンズアレイに形成される複数の微
小凸曲面の曲率半径が、押し込み深さに応じてそれぞれ
異なる。 （８）請求項８の発明は、請求項１〜５のいずれかに記
載の製造方法において、圧痕または微小凹曲面を形成す
る際に、圧子１の押圧方向の軸に関して圧子１を所定角
度回転させてから型母材５または被加工部材の表面に押
圧する工程を含む。 （９）請求項９の発明による一眼レフカメラは、請求項
１〜６のいずれかに記載の製造方法により作製されるマ
イクロレンズアレイが形成された焦点板を備える。

【０００８】（１）請求項１〜３の発明では、圧子１の
押し込み深さを不規則に変えて圧痕の深さの規則性を生
じさせない。 （２）請求項７の発明では、微小凸曲面の曲率半径の大
きさが、マイクロレンズアレイ全体においてばらつく。 （３）請求項８の発明では、圧痕の深さが不規則になる
とともに、圧子１を回転することにより圧痕の歪みの方
向がばらつく。

【０００９】なお、本発明の構成を説明する上記課題を
解決するための手段の項では、本発明を分かり易くする
ために発明の実施の形態の図を用いたが、これにより本
発明が発明の実施の形態に限定されるものではない。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、図１〜図１２を参照して本
発明の実施の形態を説明する。 −第１の実施の形態− 図１は本発明によるマイクロレンズアレイの製造方法の
一実施の形態を説明するための図であって、その製造方
法に用いられる圧子押圧装置の概略図である。金型母材
５は機械式あるいは接着等の固定方法によりＸＹステー
ジ６上に載置される。７Ｘ，７ＹはＸＹステージ６を駆
動するステージ移動用モータであり、ステージ駆動回路
２０により制御される。８Ｘ，８ＹはＸＹステージ６の
位置を検出するデジタルマイクロメータであり、デジタ
ルマイクロメータ８Ｘ，８Ｙの出力に基づいてＸＹステ
ージ６の移動量がステージ移動量検知回路２１により検
出される。

【００１１】２は圧子押圧装置の臥体４に固定されたム
ービングコイル装置であり、図２にその詳細な断面を示
す。ムービングコイル装置２のシャフト１１には、先端
部分が円錐形をした圧子１が取り付けられている。ムー
ビングコイル装置２は、圧子１が取り付けられたシャフ
ト１１を回転するためのモータ３を備えている。図１に
示すように、モータ３はステッピングモータであり、回
転角割り出し回路２３からのパルス数により回転角が制
御される。２２はムービングコイル装置２のシャフトを
上下方向に駆動するためのムービングコイル駆動回路、
２４は各回路２０，２１，２２，２３に対して所定の指
示を与えるコンピュータである。コンピュータ２４には
入力装置により、作業条件（回転角度や圧痕ピッチ等）
を入力することができる。

【００１２】図２において、１２はシャフト１１に外挿
するように設けられた円筒状の永久磁石であり、ベース
板１０ｃに固定されている。１３はシャフト１１に取り
付けられ、永久磁石１２に外挿するように設けられたコ
イル支持枠であり、コイル１４が環状に巻き付けられて
いる。１５はコイル１４に外挿するように設けられた環
状の永久磁石であり、ベース板１０ａに固定されてい
る。

【００１３】９ａ，９ｂは板バネであり、板バネ９ａの
基端は、ベース板１０ｃに固定されたブロック１７に押
さえ板１７ａとボルトにより固定されている。板バネ９
ａの先端は、ピン１８ａによりシャフト１１と一体とな
っている連結リング１８とともに押え板１６ａとブロッ
ク１６とで挟み込むことによりシャフト１１と連結され
ている。一方、板バネ９ｂの基端は、ベース板１０ａに
固定されたブロック１７に押え板１７ａとボルトにより
固定されている。板バネ９ｂの先端は、連結リング１８
とともに押さえ板１３ａと支持枠１３とで挟み込むこと
により、シャフト１１と連結されている。したがって、
シャフト１１は板バネ９ａ，９ｂによって鉛直線上を往
復移動可能に弾性支持されているが、シャフト１１自体
は回転できるようになっている。シャフト１１の上端は
ジョイント１９を介して圧子回転用モータ３に接続され
ている。ジョイント１９は回転（ラジアル）方向に対し
て剛性をもち、上下（スラスト）方向に関してはフレキ
シブルな構造になっているため、モータ３の回転はシャ
フト１１に伝わるが、シャフト１１の上下方向の動きは
モータ３に伝わることはない。

【００１４】次に、図３を用いてムービングコイル装置
２のシャフト駆動部の詳細を説明する。図３に示すよう
に、永久磁石１５は下部がＳ極、上部がＮ極に、一方、
永久磁石１２は下部がＮ極、上部がＳ極に着磁されてお
り、シャフト１１の中心軸では矢印Ｂで示すように磁力
線の向きは鉛直下方である。ここで、コイル１４で発生
する磁力線がシャフト１１の中心軸で矢印Ｂのように鉛
直下向きとなるように電流を与えると、コイル１４に対
して鉛直下向きの力が働いてシャフト１１が鉛直下方へ
移動する。一方、逆向きの電流をコイル１４に与える
と、鉛直上方の力が働いてシャフト１１が鉛直上方へ移
動する。ムービングコイル駆動回路２２は可変パルス電
流発生器を有しており、周期的に極性が変化するパルス
波形状の電流をコイル１４へ出力することにより圧子１
を高速で上下動させることができる。この上下動の周期
は０．１〜５０Ｈｚにすることができる。なお、上下の
ストロークは５０μｍ程度である。また、コイル１４に
供給する電流の大きさ変えることにより、圧子１の押し
付け力を変えることができる。なお、ＸＹステージ６，
ムービングコイル装置２およびモータ３は、コンピュー
タ２４の指令に基づいて、回路２０〜２３により制御さ
れる。図１の圧子押圧装置を使用して、金型母材５に連
続的に圧痕を形成することにより、図４，５に示すよう
な金型母材５が作製される。

【００１５】従来のマイクロレンズアレイ製造方法で
は、ムービングコイル装置２に付与する印加電圧（Ｖ）
を一定としマイクロレンズアレイを形成するため、圧子
の押圧力が一定となり圧痕の深さが同一となる。ところ
が、金型母材５として良く用いられるマルテンサイト系
ステンレス鋼は他の金型材料に比べ緻密かつ均質である
が結晶質であるため、圧子１で圧痕を形成した場合、圧
子１の形状がそのまま金型母材５に転写されずに、結晶
粒界により硬度が変化する部分で圧痕の曲率半径が不規
則に変化する。その結果、マイクロレンズアレイの形状
がランダム性を有することとなり、マイクロレンズの規
則性に起因する欠点（例えば、ボケ味が不適切であった
り、焦点板に形成されたフレネルレンズとの干渉）が軽
減されることがわかった。

【００１６】しかしながら、結晶質の材料を用いても全
て上述したような不規則性が得られるわけではない。特
に、非晶質な材料を金型母材５として使用した場合、ほ
ぼ均一に圧子１の形状が転写されるため、その金型母材
５を金型として焦点板を作製した場合、規則性を原因と
するフレネルレンズとの干渉によりモアレ縞が発生した
り、色ムラが生じたりすることが判明した。

【００１７】本実施の形態では、圧子１の押し込みを制
御して圧痕の曲率半径に不規則性を与えるにより、上述
したような欠点を解消する。以下、その詳細を説明す
る。図６は、圧子１の押し込み力と金型母材５に形成さ
れた圧痕の曲率半径との関係を説明する図である。押し
込み力はムービングコイル装置２のコイル１４に与える
電圧に依存しており、Ｖ１＜Ｖ２＜Ｖ３なる電圧Ｖ１，
Ｖ２，Ｖ３を与えたときの押し込み力Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３
は、Ｆ１＜Ｆ２＜Ｆ３となる。このとき、圧痕の深さＨ
１，Ｈ２，Ｈ３は押し込み力に比例して深くなり、Ｈ１
＜Ｈ２＜Ｈ３となる。

【００１８】金型母材５に形成された圧痕形状の全てが
マイクロレンズの光学的性能を支配するわけではなく、
図６の領域φがその性能を左右する。この領域φの曲率
半径ｒは、圧子１の曲率半径Ｒとの間に次式（１）の関
係が成り立つ。

【数１】ｒ＝ｋ×Ｒ …（１） ここで、ｋは転写係数であり実験により求められる。押
し込み力Ｆと転写係数ｋは反比例の関係にあり、押し込
み力Ｆを増加させると転写係数ｋは減少する。なお、押
し込み力Ｆは転写係数ｋが０．９〜０．５程度となるよ
うに設定するのが良い。圧子を製作する際には、式
（１）のｒに光学設計上必要とされるマイクロレンズの
曲率半径を代入して得られるＲを設計値として用いる。

【００１９】本実施の形態では、ムービングコイル装置
２のコイル１４に一定の周期（例えば正弦波形的な周
期）で変化する電圧を与え、所定の時間間隔Δｔで圧子
１を金型母材５に押圧する。このとき、ＸＹステージ６
は圧子１による押圧に連動してステップ移動する。電圧
の周期τに対して、時間間隔Δｔを

【数２】Δｔ＝α×τ …（２） としたとき（ただし、αは任意の定数）、例えば、電圧
Ｖが図７に示すように正弦的に変化し、α＝２／５とし
た場合について説明する。時刻ｔ＝０において最初に押
圧した後、時刻ｔ＝２τ／５，４τ／５，６τ／５，…
において２番目，３番目，４番目，…の押圧を行う。こ
の場合、図７からも分かるように、押圧時の電圧値は押
圧を５回行う毎に同一のパターンとなり、すなわち、押
し込み力Ｆは５回周期で変化することになる。また、上
述したようにαをＭ／Ｎなる有理数とすれば、押圧時の
電圧値がＮ個周期で同一となり、Ｎを小さくするか大き
くするかによってこの周期を交えることができる。

【００２０】図８は作製された金型母材５の一例を示す
図であり、ここでは５種類の深さの圧痕５ａについて図
示しており、同一マークの圧痕５ａの深さは同一であ
る。この図からもわかるように、本実施の形態の製造方
法によれば、金型母材５に形成される圧痕の曲率半径お
よび深さのばらつきの程度（不規則性）を変えることが
でき、これを型として作製した焦点板のマイクロレンズ
アレイに適度な不規則性を与えることができる。その結
果、焦点板に形成したフレネルレンズ面との干渉による
モアレ縞の発生を抑制することができる。また、従来の
圧子押圧装置では、圧子１の押し込み深さを変える場
合、その都度ムービングコイル駆動回路２２に与える押
し込み深さに関する指示値（例えば、コイル１４に付与
する電圧値）を設定する必要がり、煩雑であるととも
に、金型作製に時間がかかるという問題点があった。し
かし、発明の実施の形態によれば、コイル１４に一定の
周期を有する電圧を与えて圧子１を上下動させながら、
連続的に圧痕を形成するため、金型製作時間を短縮する
ことができる。

【００２１】なお、コイル１４に与える電圧は、光学的
に必要とされる領域φの曲率半径と深さが光学設計上許
容値内で変化するように設定される。また、例えば、１
行当り１００個ずつ格子状に並んだ圧痕を形成するよう
な場合、上述したように

【数３】Δｔ＝２τ／５ …（３） （α＝２／
５の場合） とした場合、押圧時の電圧値は５個周期で変化するた
め、１行目ごとの深さのパターンが同一なってしまう。
そこで、深さパターンが同一とならないように、押圧時
の時間間隔Δｔはマイクロレンズの縦横の数に応じて決
定される。

【００２２】図９は、マイクロレンズを透過する光とマ
イクロレンズの曲率半径との関係を示す図である。マイ
クロレンズの曲率半径が比較的大きいものは屈折の影響
が少ないため直進する光の量が多く明るい光学系とな
り、曲率半径が小さいものはレンズ表面を透過する際の
屈折の影響が高いため、周辺部に向かう拡散光が多く中
心部透過光量が少ない暗い光学系となる。ところで、図
４に示した５ｂは圧痕５ａの内接円の内で最大径のもの
を示しており、その直径をλ、圧痕係数をｅとすると圧
痕の曲率半径ｒとの間に次式（４）が成り立つ。

【数４】ｒ＝λ×ｅ …（４） 圧痕係数ｅが０．７以下であれば、さほど問題なく圧子
１の形状を金型母材５に転写することが確認されている
が、圧痕係数ｅが１に近い値のマイクロレンズになる
と、設計値通りの曲率半径λを得るためには押し込み力
Ｆを強くする必要がある。特に、１眼レフカメラに搭載
される焦点板などでは、光学設計上マイクロレンズアレ
イに必要な性能として、圧痕係数ｅが１に近いものを重
要視する場合がある。このような場合、上述したように
押し込み力Ｆが強くなるため転写係数ｋが小さくなり、
それに伴って曲率半径が小さくなる。そのため、マイク
ロレンズの中心部透過光量が少なくなり、暗い焦点板と
なる。

【００２３】そこで、図４に示すように、圧痕５ａ間に
隙間５ｃを設けることにより、焦点板が暗くなるのを防
止することができる。それは、この隙間５ｃは平面で構
成されるので、その部分を透過した光は直進光となり、
焦点板の明るさが増大するからである。

【００２４】−第２の実施の形態− 第１の実施の形態で説明した圧子１の先端部分の最終的
な形状創成は全て研磨にて行なわれるが、結晶方位の影
響で部分的な硬度差により完全な球面とならず、歪んだ
形状を示す場合が多い。図１０は圧子１の先端部分を示
す図であり、光干渉を用いた非接触形状測定装置により
測定したものである。図１０では、圧子１の軸方向（す
なわち圧子の押圧方向）をｚ軸とし、曲線１０１は圧子
先端部分の等高線を表している。なお、等高線の間隔は
λ／２（λは光源光の波長）である。圧子先端形状が完
全な球面であれば、ｚ軸を含む面（紙面に垂直な面）で
断面したときの曲率半径は断面の方向によらず同一とな
る。しかし、圧子先端形状が歪んでいる場合には、図１
０のＸ−Ｘ’断面およびＹ−Ｙ’断面の図からもわかる
ように、断面の方向によって曲率半径が異なる。

【００２５】図１１（ａ）は、このように先端形状が歪
んだ圧子１を用いて、第１の実施の形態に示す方法で複
数の圧痕を形成したときの金型母材５の平面図である。
５１は圧痕５ａの等高線を示している。等高線５１の様
子からも分かるように、圧痕５ａの中心より図示左側は
曲率半径が大きく右側は小さい。さらに、各圧痕５ａは
歪みの方向が同一方向に揃っている。図１１（ｂ）は、
図１１（ａ）に示す金型母材５を型として形成された焦
点板を使用し、点光源を撮影した場合にファインダ光学
系から観察される明暗を模式的に示した図である。焦点
板に形成されたマイクロレンズの曲率半径の大きい部分
（圧痕５ａの曲率半径の大きい部分）では光の屈折が抑
えられ、逆に曲率半径の小さい部分ではより強く屈折を
生じさせる。そのため、図１１（ｂ）に示すように、フ
ァインダの中心より左側に一番明るい部分があり、そこ
から遠ざかるにつれて徐々に暗くなり、右上隅および右
下隅に極端に暗い部分が生じる。その結果、一般的な被
写体の場合には、明るさのむら（不均一性）が生じる。

【００２６】そこで、第２の実施の形態では、各圧痕を
形成する際に、圧子１を所定角度回転させてから金型母
材５に押圧する。例えば、１番目の圧痕を形成したら圧
子１を３０度回転して２番目の圧痕を形成し、さらに３
０度回転して３番目の圧痕を形成し、同様にして４番目
以降の圧痕を形成する。なお、圧子１の押し込み力Ｆに
ついては、第１の実施の形態と同様に変化させる。図１
２（ａ）はこのように圧子１を所定角度回転させながら
圧痕５ａを形成した金型母材５の平面図であり、図１２
（ｂ）は図１１（ｂ）と同様の図である。図１２（ａ）
の場合には、圧痕５ａの歪みの方向はばらついており、
図１２（ｂ）に示すようにファインダの中心部に明部が
位置し、中心から遠ざかるにつれて暗くなるという対称
性が得られる。すなわち、本実施の形態によるマイクロ
レンズアレイの製造方法によれば、第１の実施の形態と
同様の効果を得ることができるとともに、明るさが均一
な焦点板を得ることができる。

【００２７】ここで、図１２（ａ）に示す各行の圧痕５
ａの歪み方向の変化のパターンが同一となると、歪み方
向に関する方向性が生じるようになるので、各行の歪み
方向の変化のパターンが同一とならないように圧子１を
回転させる。このような圧子の回転は、図２に示すモー
タ３により圧子１が取り付けられたシャフト１１を回動
することにより行われる。その際、モータ３による回転
は回転角割出し回路２３によって制御される。

【００２８】以上説明した発明の実施の形態では、各圧
痕の形成ごとにコイル１４に与える電圧値や圧子１の回
転角度を変えたが、方向性が生じない範囲であれば、２
つおき、３つおき等、複数の圧痕ごとに圧子を回転させ
ても良い。また、コイル１４に周期的に変化する電圧を
与えたり、圧子１を一定の角度で回転したが、コンピュ
ータ２４で乱数を発生し、ムービングコイル駆動回路２
２により乱数に応じた電圧値でムービングコイル装置を
制御したり、回転角割出し回路２３により乱数に応じた
回転角度でモータ３を制御したりしてもよい。

【００２９】また、金型母材５に形成された圧痕の形状
を光学部材に転写してマイクロレンズアレイを作製した
が、上述した圧子押圧装置を用いて光学部材に圧痕を直
接形成するようにしてもよい。この場合、マイクロレン
ズアレイは多数の微小凹曲面から成るが、金型を用いて
製作された微小凸曲面から成るマイクロレンズアレイと
同様の拡散性を有する。

【００３０】上述した発明の実施の形態と特許請求の範
囲の事項との対応において、ムービングコイル装置２は
圧子駆動装置を、ムービングコイル駆動回路２２は制御
手段をそれぞれ構成する。

【００３１】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
型母材または被加工部材に形成される圧痕の深さまたは
形状が不規則にばらつくため、型母材を型として作製さ
れたマイクロレンズアレイ、または被加工部材から形成
されるマイクロレンズアレイは透過光の方向性が小さく
拡散性が向上する。特に、請求項８の発明によれば圧痕
の歪の方向もばらつくため、焦点板の明るさが均一とな
る。請求項９の発明によれば、モアレ縞の発生を防ぐこ
とができ、ピント合わせのしやすいカメラを得ることが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】圧子押圧装置の概略を示す斜視図。

【図２】ムービングコイル装置２の詳細を示す断面図。

【図３】ムービングコイル装置２の動作を説明する図。

【図４】圧痕が形成された金型母材５の斜視図。

【図５】圧痕が形成された金型母材５の斜視図。

【図６】圧子の押し込み力と圧痕の曲率半径との関係を
説明する図。

【図７】圧子押圧時の電圧値の変化を説明する図。

【図８】金型母材５に形成された圧痕を説明する図。

【図９】マイクロレンズアレイの機能を説明する図。

【図１０】圧子の先端形状を説明する図。

【図１１】焦点板を説明する図であり、（ａ）は金型母
材５の平面図、（ｂ）はファインダ光学系から観察され
る明暗を模式的に示した図。

【図１２】第２の実施の形態による焦点板を説明する図
であり、（ａ）は金型母材５の平面図、（ｂ）はファイ
ンダ光学系から観察される明暗を模式的に示した図。

【図１３】カメラの断面図。

【図１４】圧子１，圧痕５ａおよびマイクロレンズアレ
イ４０の関係を示す図。

【符号の説明】

１ 圧子 ５ 金型母材 ５ａ 圧痕 ５ｂ 内接円 ６ ＸＹステージ ２２ ムービングコイル駆動回路 ２３ 回転角割出し回路 ３０ 焦点板 ４０ マイクロレンズアレイ

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 圧子を型母材の表面に押圧して複数の圧
   痕を形成し、前記圧痕の形状を光学部材に転写して複数
   の微小凸曲面を形成するマイクロレンズアレイの製造方
   法において、 前記圧痕を形成する際に、前記圧子の押し込み深さを不
   規則に変えることを特徴とするマイクロレンズアレイの
   製造方法。
2. 【請求項２】 圧子を光学材料からなる被加工部材の表
   面に押圧し、複数の微小凹曲面を形成するマイクロレン
   ズアレイの製造方法において、 前記微小凹曲面を形成する際に、前記圧子の押し込み深
   さを不規則に変えることを特徴とするマイクロレンズア
   レイの製造方法。
3. 【請求項３】 請求項１または２に記載の製造方法にお
   いて、 １回の圧子押圧操作毎に前記押し込み深さを変えること
   を特徴とするマイクロレンズアレイの製造方法。
4. 【請求項４】 請求項１〜３のいずれかに記載の製造方
   法において、 前記型母材または被加工部材を前記圧子の押し込み方向
   と直交する面内で駆動しつつ、前記押し込み深さを時間
   的に一定の周期で変えることを特徴とするマイクロレン
   ズアレイの製造方法。
5. 【請求項５】 請求項１〜４のいずれかに記載の製造方
   法において、 前記圧子に与える押し込み力を制御することにより前記
   押し込み深さを変えることを特徴とするマイクロレンズ
   アレイの製造方法。
6. 【請求項６】 請求項１〜５のいずれかに記載の製造方
   法に用いられる圧子押圧装置であって、 前記圧子を前記型母材または被加工部材に押圧する圧子
   駆動装置と、 前記各圧痕または各微小凹曲面を形成する際、前記圧子
   の押し込み深さが不規則にまたは一定の周期で変化する
   ように圧子駆動装置を制御する制御手段とを備えること
   を特徴とする圧子押圧装置。
7. 【請求項７】 請求項１〜５のいずれかに記載の製造方
   法により作製されるマイクロレンズアレイにおいて、 前記マイクロレンズアレイに形成される複数の微小凸曲
   面の曲率半径が、前記押し込み深さに応じてそれぞれ異
   なることを特徴とするマイクロレンズアレイ。
8. 【請求項８】 請求項１〜５のいずれかに記載の製造方
   法において、 前記圧痕または微小凹曲面を形成する際に、前記圧子の
   押圧方向の軸に関して前記圧子を所定角度回転させてか
   ら前記型母材または被加工部材の表面に押圧する工程を
   含むことを特徴とするマイクロレンズアレイの製造方
   法。
9. 【請求項９】 請求項１〜６のいずれかに記載の製造方
   法により作製されるマイクロレンズアレイが形成された
   焦点板を備えることを特徴とする一眼レフカメラ。