JPH09314543A - 硬脆材切断用ブレードおよび装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 主な目的は、硬脆被切断材の高精度切断が可
能で、かつ工具寿命の向上した、従来のバンドソーより
も操作性の良い、ＩＤブレードに匹敵する切断工具、並
びにこのようなバンドソーの使用に適した切断装置を提
供することである。 【構成】（１）切断工具は、無端薄肉帯状金属基板の両
面において、基板幅の半分以上に亘って、５０％以上の
面積占有率で超砥粒が電着により固着されていることを
特徴とするバンドソーである。 （２）切断装置においては上記バンドソーを、一対の水
平配置プーリー間に張架し、下方に台車により供給され
る被切断材に向かって下降させ、切り込みを行う。被切
断材の揺動により、ブレードの接触長さを減少し、切断
負荷を軽減することができる。また縦方向にバンドソー
を駆動し、被切断材を送って切り込ませる構成も提案さ
れる。どの場合もプーリーの一方は固定、他方は可動と
し、中心間距離の調整により張力を調節する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】 本発明は、硬脆被削材の切断、
特にシリコンインゴットのスライシングや、天然石ブロ
ックからの薄板材の高精度かつ効率的切り出しに適する
ソーブレード、およびこれを利用した切断装置に関す
る。

【０００２】 硬脆材の切断加工用として各種の工具が
知られている。これらは形状によりバンドソーや丸鋸、
後者はさらに切れ刃の形成位置により外周切りと内周切
り丸鋸に分けられ、あるいは砥粒粒子の保持方法により
粉末冶金焼結チップ型と電着型とに分けることができ
る。焼結チップ型は本発明の目的とする精密切断には適
さないので、これ以上論じないことにする。

【０００３】 超砥粒粒子を薄手の鋼板製基板に固着し
た硬脆材ブレードとしては、従来内周切り（ＩＤ）ブレ
ード、バンドソー、ワイヤソーなどが知られている。半
導体産業において、シリコンインゴットの切断には主と
してＩＤブレードが使用されているが、シリコンウェハ
は現在主流の６インチから８インチ品へと、大容量化の
ニーズに伴って大口径化が進行しつつあり、将来的には
さらなる大口径化が進むと予想される。

【０００４】 ＩＤブレードは全体として環状を呈し、
中心の孔内に据えた被切断材に対してブレードを一平面
内で水平に送って切断するので、ブレードには被切断材
の口径の３倍以上、実際には４倍近い直径を必要とし、
これに平面性を確保するために、全周囲から大きな引張
り荷重を加えなければならないが、ブレード基板は薄い
ので、わずかなバランスのくずれによってブレード基板
が裂けてしまうという欠点がある。

【０００５】 硬脆材の精密切断に、バンドソーも知ら
れている。これは無端帯状基板の片面の周縁に超砥粒粒
子を電着したものであるが、通常帯材の溶接により作製
されており溶接部の強度が他の部分より小さいのであま
り大きな引張り荷重を加えることができない、また荷重
がＴＤブレードの場合ほどバランスしていないので、Ｉ
Ｄブレードに比べて変形しやすく、この結果精密な切断
加工には不向き、という欠点がある。さらに工具寿命が
比較的短く、頻繁な工具取り替えを必要とするので、そ
の都度機械を止めてブレードの交換をしなければならな
い。

【０００６】 本発明は、上述した従来技術の欠点を解
決すべく成されたものである。すなわちバンドソーブレ
ードにつきものの低効率及び短い工具寿命という欠点を
克服し、ＩＤブレードに匹敵するバンドソーを提供する
ものである。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】 したがって本発明の
主な目的の一つは、硬脆被削材の高精度切断を可能に
し、かつ工具寿命の向上させることにより、従来のバン
ドソーよりも操作性の良い、ＩＤブレードに匹敵する切
断工具を提供することである。

【０００８】 本発明の別の目的は、このようなバンド
ソーの使用に適した切断装置を提供することである。

【０００９】 本発明の第一の発明の要旨は、無端薄
肉帯状金属基板の両面において、基板幅の半分以上に亘
って、５０％以上の面積占有率で超砥粒が電着により固
着されていることを特徴とする電着ソーブレードに存す
る。

【００１０】 本発明の第二の発明の要旨は、次の各部
分を有する硬脆被削材薄切り装置に存する：被削材を挟
む両側に各一対垂直に配設された軸棒からなる案内柱；
案内柱と係合し案内柱に沿って昇降可能でかつ水平に配
設されたフレーム体；フレーム体と係合し、機械的押圧
力により駆動されて被削材の切断面と平行に移動可能な
可動プーリー保持台；フレーム体の非可動部分に保持さ
れた駆動プーリーおよび可動プーリー保持台に固定され
た可動プーリー；固定及び可動プーリー間に張架され、
かつ下方周縁を含む基板幅の半分以上に亘って５０％以
上の面積占有率で超砥粒が電着されているバンドソー；
および切断操作時にバンドソーを被削材に対して押しつ
けかつ切り込みの進行に伴いバンドソーを下降せしめる
押し下げ機構；被削材を載置して被削材に切断面に対し
て平行な移動を与える台車；ならびにプーリーおよび台
車駆動のための駆動機構。

【００１１】 上記基板には基本的に電着により超砥粒
を両側面に固着する。超砥粒の分布密度は、面積占有率
において５０％以上、好ましくは７０％以上とする。上
記面積占有率は、超砥粒粒子を固着したある面積につい
て、超砥粒粒子の投影面積が占める割合（％）で表され
る。

【００１２】 ブレード基板側面の超砥粒粒子は、切断
作用縁およびこれに隣接した帯域に固着されているもの
は、深さ方向への切り込みに順次使用・消費される。す
なわち切り込みはブレードの最下端に位置する超砥粒粒
子によって行われるが、これらの粒子は切断の進行に伴
い刃先が摩耗すると、摩擦の増加により電着金属のマト
リックスから脱落して基板材が露出する。基板は薄い鋼
板で構成されているので、硬質の被削材との摩擦により
比較的容易に摩耗し、すぐ上方に位置していた次の超砥
粒粒子を露出させて、切断作用を再開させる。

【００１３】 上記のように本発明においては、ブレー
ドの切れ刃は、基板材の摩耗・新超砥粒粒子の露出から
なるサイクルで再生される。したがってブレード基板材
に強度を確保のための幅を残せば、残りの基板材の部分
は、超砥粒露出のために摩耗させることができる。すな
わち基板は消耗される部分と、残存する部分とからな
る。

【００１４】 上記から明らかなように、消耗される部
分に固着した超砥粒が、被削材を削って切り込み深さを
増す働きをする。一方残存部分の超砥粒の主な機能は、
ブレードの厚みの均一化、並びにブレードが垂直面から
ずれた場合、特に外側に倒れて隣接石材面に接触した場
合に被削材面を軽く削り取ることにより、接触抵抗の減
少に寄与する。

【００１５】 電着工程に関しては、超砥粒は同一砥粒
種を用いるのが簡便であるが、ブレード幅全体に、刃先
部と同様の高価な砥粒種を用いるのは経済上得策ではな
い。一方で、上記のように異なる基板部位では、砥粒の
作用も異なる。したがってこれらの機能の異なる部位で
は、同一の砥粒種を用いずに、残存部位に、より安価な
低強度、あるいはより細粒の砥粒を配置することができ
る。

【００１６】 なお残存部に固着されている超砥粒粒子
は、使用済みのブレード基板を硝酸などで処理し、基板
から分離除去することによって、容易に回収することが
できる。

【００１７】 超砥粒の粒子分布は、通常の電着操作で
得られる面積占有率がほぼ１００％の単層めっきが簡便
であるが、特に残存部において経済的目的のために超砥
粒粒子の使用を節約することができる。これは例えば、
ガラス粒のような非ダイヤモンド粒子を超砥粒粒子と混
合して電着し、後に非ダイヤモンド粒子を化学的に除去
することによって達成できる。

【００１８】 上記バンドソーは、高度の平面性を確保
するために強い引張り荷重のもとで運転される。しかも
使用に伴い基板が摩耗して幅を減じることになるので、
基板は充分な引張り強さを示ように、材質及び基板寸法
を決定する。

【００１９】 上記において基板の引張り強度を増加さ
せるために厚さを増すことは、切断抵抗の増加や、切り
代乃至被削材の切断ロスを増すので高価な半導体の場合
には特に好ましくなく、従ってバンドソー基板の強度増
加は、主として幅の拡大によって図られる。本発明のバ
ンドソーの場合、基板の初期幅／設計厚さは、材質の強
さによるが、例えば典型的なＳＵＳ３０４種ステンレス
鋼材については、０．３ｍｍの厚さの場合、初期輻６０
ｍｍ以上とするのが好ましい。

【００２０】 本発明のバンドソーの基体材としては、
上記の他に析出硬化型ステンレス鋼や工具鋼等の抗張力
の大きな鋼種が利用可能である。

【００２１】 本発明のソーブレードの刃先乃至切れ刃
として作用する周縁は、基本的には連続した直線状に構
成する。この他にも間欠的に、湾入したチップポケット
を設けたり、一連の先細の鋸刃状突起を周縁に沿って間
隔をおいて設けたる等の従来の切れ刃構成も利用可能で
あるが、これらの突起部を設けた構成においても周縁は
結局摩耗により連続直線的となる。

【００２２】 本発明において、超砥粒は通常のように
ダイヤモンド、およびｃＢＮやｗＢＮ等の高圧相窒化硼
素を指す。説明は専らダイヤモンドについて行うが、本
発明は上記窒化硼素についても同様に適用可能なことは
自明であろう。

【００２３】 本発明はバンドソーブレードの利用を基
礎としているが、このタイプの工具は、薄肉の基体であ
っても十分な幅をとることによって引張り強さを増し、
大きな引張り荷重のもとに高速周回させることによっ
て、シリコン、その他各種半導体材、および御影石のよ
うな硬質石材の切断に利用することができる。

【００２４】 超砥粒の電着は、周縁に沿って切れ刃部
を設けた、長さ対幅の比の大きな薄手の帯鋼材を基体と
して用いる外は、メッキ条件、浴組成等の通常の電着工
具の製作と本質的に異ならない。超砥粒を電着した帯鋼
材は溶接などの接合操作によって両端を接合する。ある
いは比較的短い帯材であれば、接合してループを形成後
に電着に供することができる。

【００２５】 本発明のブレードを用いた切断装置を、
石材切断装置の場合を例にとり、図面によって説明す
る。自明なように、これらは単に説明のために示すもの
であって、本発明を限定するものではないことは理解さ
れるべきである。

【００２６】 図１は本発明によるバンドソーの一例を
示す見取り図、図２〜図４は、バンドソーを水平に駆動
する構成の石材等薄切り装置の例を示す、それぞれ一部
破断立面図、平面図および側面図、また図５は台車の別
の構成例である。図６および図７はバンドソーを垂直方
向に駆動する、切断装置の別の構成例を示すそれぞれ立
面図および側面図である。

【００２７】 特に図２〜図５において、全体を１０と
して示す切断装置は基本的に、被切断材の進行方向に関
して両側方及び前後に間隔を保って固定配置された垂直
支柱１１を有し、これらの支柱１１には、スリーブ部１
２において摺動できるようにプーリ保持盤１３が係合さ
れており、そのガイドを兼ねる。

【００２８】 プーリー保持盤１３は上記支柱に係合し
た本質的に水平な配置のフレーム本体１４、および、フ
レーム本体に係合して水平に移動可能な可動プーリー保
持台１５を有する。フレーム本体１４と可動プーリー保
持台１５にはそれぞれプーリー１６、１７が保持され、
両プーリー間にはバンドソーブレード１８が水平に掛け
られている。

【００２９】 ソーブレード１８は薄肉帯鋼の両側面に
おいて、基板幅の半分以上に亘って、５０％以上の面積
占有率で超砥粒が電着により固着されている。被切断材
に進入していく側のブレード周縁は、部分Ａの詳細図
（ａ）に示すように凹凸のない直線状とするのが簡便で
あるが、その他に（ｂ）や（ｃ）のように湾入部を設け
るとチップポケットとして働くので、摩滅するまでの一
時的にしろ、それなりの効果が得られる。

【００３０】 駆動側プーリー１６に公知の駆動機構１
９により与えられる駆動力を受け、また可動プーリー１
７が例えば油圧作動される押し棒２０により押圧される
ことにより、バンドソー１８は、周縁に沿って高精度で
周回運動をする。被切断材（石材）２１を挟んだ両側に
はさらに、被削材に隣接して一対のガイドローラー２２
が設けられ、バンドソーブレード１８の切断作用部２３
を挟んで両プーリー１６、１７の共有接線から外に押し
出し、このブレードの部分２３の平面性を高く維持する
構成となっている。

【００３１】 プーリー保持盤１３中央の雌ねじ部２４
は、雄ねじを切った昇降軸棒２５と係合し、昇降軸棒２
５の上端は駆動・伝達系２６により駆動され、一方昇降
棒の下端は、特に支持されていない。軸棒の駆動回転に
より保持盤１３が昇降し、これにより石材に切断面内で
の送りを与えるようになっている。保持盤１３の四隅は
それぞれ鋼条（ワイヤ）２７で吊られており、これらは
滑車列２８を介してバランスウェイト２９と連結されて
おり、これによって保持盤１５の昇降の際の駆動力が軽
減され、かつ軸棒２５及びその駆動系２６の軽量化を可
能にしている。

【００３２】 ソーブレードの切断作用部２３に対して
垂直方向に、支柱間に軌道３１が設けられており、これ
に沿って被切断材２１を載置した台車３２が移動し、切
断操作の間被切断材を保持する。

【００３３】 台車３２全体はここに例示するように、
ピローブロック３３と係合した推進軸３４の駆動回転に
より、軌道３１上を順進・逆進させることができる。し
たがって一つの切込みが済むと保持盤１３を一旦上げ
て、推進軸３４の回転により台車３２を前進させて切断
面に垂直な送りを所要量だけ与えた後、同様にして次の
切断操作を行なう。

【００３４】 台車は図２に示した基本的構成の外に、
ブレードと切断材との接触長さを減少させて切断抵抗を
軽減させるために、図５に略示するような構成を採るこ
とができる。この態様においては、台車３２は、矩形の
底盤３５の上方に間をあけて配設した揺動台３６を有
し、この揺動台３６は（切断面）幅の中央の回転軸３７
を軸受け３８により支えられ、軸受けに関して一方に偏
心ローラー３９が石材の長さ方向に台の下を延びてお
り、反対側は弾性要素または構成４０、例えばバネで支
えられる。揺動台３６に固定されたリング４１内で偏心
ローラー３９を駆動回転させることにより、回転軸３７
を中心として揺動台が部分回転し、載置された石材に、
切り込み面内における揺動を与え、このようにしてブレ
ードと被削材との接触長さの減少により切断抵抗を軽減
する構成となっている。

【００３５】 上記においては固定・可動プーリーは水
平方向に整列されバンドソーブレードは水平に駆動され
るが、両プーリーを垂直に整列させた構成も可能であ
る。即ち図６および７に示すように、垂直に立てられた
支柱５１の底部に駆動系５２により駆動されるプーリー
５３が、頂部には追従（可動）プーリー５４が配置され
ている。追従プーリー５４はプーリー保持台５５に取り
付けられ、保持台はさらに支柱上部に設けたガイド部５
６と係合しているので、油圧駆動の押し棒５７の駆動に
より押されてソーブレード５８に張力を与える。

【００３６】 被切断材５９は台車６０に載置され、上
記と同様の推進軸（図示せず）の駆動により、軌道６１
に沿ってソーブレード５８の方へ移動させる。切断位置
に達すると、台車６０の上部台６３を推進軸６４の駆動
によりブレード５８へ送り込む。切り落とされる側の被
切断材端部６５は独立して操作可能な受け台車６６によ
り支えられる。

【００３７】 被切断材が切り落とされる前は、受け台
車６６は上部台６３と共に車輪６７によって棚上６８を
走行できる。受け台車６６の走行を正確に保つために、
受け台車６６の側壁にはフック６９が取り付けられてお
り、支柱側のガイド７０と係合して用いる。切り落とさ
れた後は、台車６０とは独立して操作され、図７の点線
で示した方向に推進して、切断材片７１を回収する。

【００３８】 なおブレードは強度確保に最小限の幅に
達するまでに、適宜新品と交換する。取り外したブレー
ドは酸処理し、超砥粒を基板から分離して回収する。

【００３９】

【実施例１】 図１、２の装置を用いて、薄石板の切り
出しを行なった。厚さ０．３ｍｍ、幅１２０ｍｍ、長さ
７．５ｍのエンドレス鋼板に、基板本体からの突出高さ
が３ｍｍ、前面傾斜角３０°の鋸状切れ刃部をピッチ
６．８ｍｍで設け、その前面および側面に、電着により
８０／１００メッシュのダイヤモンド砥粒を固定して、
バンドソーとした。鋸歯の後部は基板に対して６０°の
傾斜角を持ち、後方の補強に供されている。プーリー間
距離の調整により張力を与えながら、このバンドソーを
７．５ＫＷのモーターを用いて毎分１０００ｍの速度で
駆動した。

【００４０】 １×１．２５ｍ^□の断面を持つ御影石ブ
ロックを台車に載せ、端部を切り落として平面にした
後、プーリー保持盤を上昇させ、台車駆動軸の回転によ
って台車をさらに５．３ｍｍ進めて、再度切り出しを行
なった。昇降軸棒を駆動して保持盤乃至バンドソーを１
５ｍｍ／分の速度で下降させる一方、揺動台を水平に対
して±１°迄、３００回／分の割合で揺動させて、切り
出し操作を行なった。

【００４１】 この切断操作において、無負荷運転時に
比べて＋２Ａ以内の駆動負荷により、厚さ３ｍｍの薄板
を９５％の歩留まりで、毎時１．０８ｍ^２の速度で切り
出すことができた。

【００４２】 なお上記の「前方」・「後方」の用語
は、石材と鋸刃の接触開始端を前方とし、その反対側を
後方とする。

【００４３】

【発明の効果】 以上述べたように、本発明において
は、例えば石材切断装置に適用された場合、厚さが５ｍ
ｍや３ｍｍという、従来に比べて著しく石材部分の薄い
建築用石材を効率的に製造することを可能にするもので
ある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明によるバンドソーの一例を示す見取り図
である。

【図２】本発明による石材等薄切り装置の例を示す一部
破断立面図である。

【図３】図２の装置の平面図である。

【図４】図２、図３の装置の側面図である。

【図５】上記装置に利用可能な台車の別の構成例であ
る。

【図６】本発明による切断装置の別の構成例を示す立面
図である。

【図７】図６の装置の側面図である。

【符号の説明】

１０ 切断装置 １１ 垂直支柱 １２ スリーブ部 １３ プーリー保持盤 １４ フレーム本体 １５ 可動プーリー保持台 １６ プーリー １７ プーリー １８ バンドソーブレード １９ 駆動機構 ２０ 押し棒 ２１ 被切断材（石材） ２２ ガイドローラー ２３ ブレード切断作用部 ２４ プーリー保持盤雌ねじ部 ２５ 昇降軸棒 ２６ 駆動／伝達系 ２７ 錘吊り鋼条 ２８ 滑車列 ２９ バランスウェイト ３１ 被切断材台車軌道 ３２ 被切断材台車 ３３ ピローブロック ３４ 推進軸 ３５ 台車底盤 ３６ 揺動台 ３７ 回転軸 ３８ 軸受け ３９ 偏心ローラー ４０ 弾性要素／構成 ４１ リング ５１ 支柱 ５２ 駆動系 ５３ プーリー（駆動側） ５４ プーリー（追従側） ５５ プーリー保持台 ５６ ガイド部 ５７ 押し棒 ５８ ソーブレード ５９ 被切断材 ６０ 台車 ６１ 軌道 ６３ 上部台 ６４ 上部台推進軸 ６５ 被切断材 ６６ 受け台車 ６７ 受け台車車輪 ６８ 棚 ６９ フック ７０ ガイド ７１ 切断材片

Claims (16)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 無端薄肉帯状金属基板の両面において、
   基板幅の半分以上に亘って、５０％以上の面積占有率で
   超砥粒が電着により固着されていることを特徴とする電
   着ソーブレード。
2. 【請求項２】 超砥粒が上記金属基板の全幅に亘って固
   着されている、請求項１に記載の電着ソーブレード。
3. 【請求項３】 上記面積占有率が７０％以上である、請
   求項１に記載の電着ソーブレード。
4. 【請求項４】 上記超砥粒が周縁部分とその他の部分と
   で粒度が異なる、請求項１に記載の電着ソーブレード。
5. 【請求項５】 上記超砥粒が周縁部分とその他の部分と
   で本質的に同一粒度である、請求項１に記載の電着ソー
   ブレード。
6. 【請求項６】 上記基板の周縁が連続した直線状を呈す
   る、請求項１に記載の電着ソーブレード。
7. 【請求項７】 上記基板の周縁に間欠的に、湾入したチ
   ップポケットを設けてなる、請求項１に記載の電着ソー
   ブレード。
8. 【請求項８】 上記バンドソーの作用周縁がいわゆる鋸
   刃状を呈する、請求項１に記載の電着ソーブレード。
9. 【請求項９】 上記超砥粒がダイヤモンド粒子である、
   請求項１に記載の電着ソーブレード。
10. 【請求項１０】 次の各部分を有する硬脆被削材薄切り
    装置：被削材を挟む両側に各一対垂直に配設された軸棒
    からなる案内柱；案内柱と係合し案内柱に沿って昇降可
    能でかつ水平に配設されたフレーム体；フレーム体と係
    合し、機械的押圧力により駆動されて被削材の切断面と
    平行に移動可能な可動プーリー保持台；フレーム体の非
    可動部分に保持された駆動プーリーおよび可動プーリー
    保持台に固定された可動プーリー；固定及び可動プーリ
    ー間に張架され、かつ下方周縁を含む基板幅の半分以上
    に亘って５０％以上の面積占有率で超砥粒が電着されて
    いるバンドソー；および切断操作時にバンドソーを被削
    材に対して押しつけかつ切り込みの進行に伴いバンドソ
    ーを下降せしめる押し下げ機構；被削材を載置して被削
    材に切断面に対して平行な移動を与える台車；ならびに
    プーリーおよび台車駆動のための駆動機構。
11. 【請求項１１】 上記フレーム体の被削材切断幅の両端
    に隣接して一対のバンドソーガイドローラーを配設しバ
    ンドソーを両プーリーの共有接線よりも外側に押し出し
    て張力を増すようにした、請求項１０に記載の硬脆被削
    材薄切り装置。
12. 【請求項１２】 上記各条線の他端に錘を下げ、各錘の
    重量の総計がフレーム体およびフレーム体に取り付けら
    れた部品の総重量に近くなるようにし、以てフレーム体
    昇降のための駆動力を軽減せしめた、請求項１０に記載
    の硬脆被削材薄切り装置。
13. 【請求項１３】 上記台車が矩形の底盤および、底盤の
    上方に間をあけて配設した揺動台を有し、この揺動台
    は、切断面横幅の中央部を軸受けにより支持される回転
    軸、揺動台の下に回転軸に関して片側に設けた偏心ロー
    ラー、反対側に設けた弾性要素を有し、偏心ローラーの
    駆動回転により、バンドソーの切断面内において回転軸
    を中心として揺動台を部分回転させるようにした、請求
    項１０に記載の硬脆被削材薄切り装置。
14. 【請求項１４】 上記押し下げ機構がフレーム体にネジ
    の噛み合いによって係合しかつ上記案内柱に対して固定
    された軸棒からなる、請求項１０に記載の硬脆被削材薄
    切り装置。
15. 【請求項１５】 次の各部分を有する硬脆被削材薄切り
    装置：被削材を挟む両側に各一対水平に配設された軸棒
    からなる案内柱；案内柱と係合し案内柱に沿って移動可
    能でかつ垂直に配設されたフレーム体；フレーム体と係
    合し、機械的押圧力により駆動されて被削材の切断面と
    平行に移動可能な可動プーリー保持台；フレーム体の非
    可動部分に保持された駆動プーリーおよび可動プーリー
    保持台に固定された可動プーリー；固定及び可動プーリ
    ー間に張架され、かつ下方周縁を含む基板幅の半分以上
    に亘って５０％以上の面積占有率で超砥粒が電着されて
    いるバンドソー；および切断操作時にバンドソーを被削
    材に対して押しつけかつ切り込みの進行に従いバンドソ
    ーを移動せしめる機構；被削材を載置し、被削材に切断
    面に対して垂直な送りを与える台車；ならびにプーリー
    および台車駆動のための駆動機構。
16. 【請求項１６】 上記フレーム体の被削材切断幅の両端
    に隣接して一対のバンドソーガイドローラーを配設しバ
    ンドソーを両プーリーの共有接線よりも外側に押し出し
    て張力を増すようにした、請求項１５に記載の硬脆被削
    材薄切り装置。