JPH09312131A - 真空容器の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は、特に平板状の画像形成装置などの
真空容器の排気管の接合部の内径を狭めることなく、簡
単な工程により容器に排気管を固定することができる真
空容器の製造方法を提供することを目的とする。 【解決手段】 貫通孔を有する容器に真空排気用の管
（以下、排気管という。）を固着して真空容器を製造す
る方法において、前記排気管として、固着部側の端の外
径が他方の端に比べ太い管を用い、かつ、該排気管と前
記容器に、該排気管が自立できるような嵌合部を設け、
前記容器に前記排気管を自立させた後に、前記排気管と
容器を固着するか、または、前記排気管として、容器と
の固着面にテーパー部を設けた管を用いて、前記容器に
排気管を固着する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、真空容器の製造方
法およびそれに用いられる排気管に関するものであり、
特に、電子放出素子を使用する各種の平面型画像表示装
置やプラズマ画像表示装置の真空容器の製造に用いられ
る。

【０００２】

【従来の技術】真空容器は、真空排気ラインに接続する
ための排気管が備えられている。特公昭６３−６１７４
１号公報に記載されているように、主としてガラス部材
で構成された容器に、ガラス製の管をフリットガラスで
固着して真空容器を製造している。

【０００３】このような真空容器を用いた画像形成装置
を図２１（ａ）に示す。容器は、背面板１、前面板２、
枠３がフリットガラス７、８により固着されて形成され
ている。排気管４は、背面板に設けられた貫通孔６と連
通するようにフリットガラス５で固着されている。

【０００４】この排気管の固着は、フリット粉末にビー
クルを加えたフリットペーストをリング状の形に仮焼成
したタブレットガラスを固着部に配置するか、またはフ
リットペーストを固着部に塗布・乾燥した後、図２１に
示すように、排気管を貫通孔の位置に合わせ、次いで全
体を加熱してフリットガラスを溶融して行う。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の製造方
法では、接合部の内径が狭まることがあり、この結果特
に平板状の画像形成装置などの内部を真空排気しようと
するときに、排気抵抗が大きくなり十分な排気ができな
かったり、排気工程に時間がかかったりする場合があっ
た。この原因としては主として次の２つの原因が考えら
れる。

【０００６】第１の原因として、従来の製造方法では、
排気管として、固着部側端から他方の端（排気ラインを
接続する側の端である。以下、排気ライン側端とい
う。）まで外径が同じものを使用している。このため固
着時に管が倒れやすいので、排気ライン側端近傍を適当
な保持治具で固定しなければならないが、固着部側がふ
らつくため容器の貫通孔に対し位置ずれを起こすことが
あり、この結果接合部の内径が狭まる。また、排気管保
持治具をつけたりはずしたりする必要があるため、製造
工程数が多くなるという問題点もあった。

【０００７】第２の原因として、加熱して固着する際
に、溶融したフリットガラスが排気管の自重や印加され
た荷重によって、図２１（ａ）のはみ出し部１１のよう
に、管の内部にはみ出すことがあり、この結果接合部の
内径が狭まる。

【０００８】本発明は、接合部の内径を狭めることな
く、簡単な工程により容器に排気管を固定することがで
きる真空容器の製造方法を提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】即ち本発明は、貫通孔を
有する容器に真空排気用の管（以下、排気管または単に
管という。）を固着して真空容器を製造する方法におい
て、前記排気管として、固着部側の端の外径が他方の端
に比べ太い管を用い、かつ、該排気管と前記容器に、該
排気管の移動を拘束するような嵌合部を設け、前記容器
に前記排気管を自立させた後に、前記排気管と容器を固
着することを特徴とする真空容器の製造方法に関する。

【００１０】また本願の別の発明は、貫通孔を有する容
器に排気管を固着して真空容器を製造する方法におい
て、前記排気管として、容器との固着面にテーパー部ま
たは曲面部を設けた管を用いて、前記容器に排気管を固
着することを特徴とする真空容器の製造方法に関する。

【００１１】上記の製造方法は、複数の電子放出素子が
設けられた背面板と、蛍光膜を有する前面板を具備する
画像形成装置の製造方法にとくに好ましい。

【００１２】本発明では、排気管の固着部側端の外径を
太し、且つ嵌合部を設けることで、排気管が自立するこ
とができる。その結果保持治具を必要としないので容器
の貫通孔と排気管の位置ずれが起きることがない。この
ため、接合部の内径が狭まり排気抵抗が大きくなり十分
な排気ができなかったり、排気工程に時間がかかったり
することがない。また、この方法によれば、保持治具等
を必要としないので、製造工程が簡略化されるという効
果も達成される。

【００１３】また、本願の別の発明では、排気管とし
て、容器との固着面にテーパー部を設けた管を用いるこ
とで、熔解したフリットガラスの逃げ場を設け、管の内
側にフリットガラスがはみ出すのを防ぐ。このため、排
気抵抗が大きくなり十分な排気ができなかったり、排気
工程に時間がかかったりすることがない。

【００１４】

【発明の実施の形態】本発明の１例は図１（ａ）に示す
ように、容器は背面板１、前面板２、枠３がフリットガ
ラス７、８により固着されて形成されている。排気管４
は、固着部側端の外径（ｄ１）が排気ライン側端の外径
（ｄ２）より太くなっており、排気管が自立し易いよう
になっている。また、排気管と容器の背面板１が嵌合す
るように、背面板の貫通孔６の上部は、径ｄ１でざぐり
が段差状に形成されており容器側嵌合部１０ｂとなって
いる。尚、ざぐりの径ｄ１は、正確には、排気管が差し
込めるようにｄ１より少し大きいことは当然であり、後
述する他の例でも同様である。この例では、排気管を背
面板に取り付ける例を示したが、枠や前面板に取り付け
ても良い。また、取り付ける本数は、１本でも複数でも
よい。

【００１５】固着の方法は、フリット粉末にビークルを
加えたフリットペースト（フリット粉末と溶剤およびバ
インダーを混合したもの）をリング状の形に仮焼成した
タブレットガラスを固着部に配置するか、またはフリッ
トペーストを固着部に塗布・乾燥した後、背面板の嵌合
部１０ｂに、排気管の嵌合部１０ａあわせて自立させ、
次いで全体を加熱してフリットガラスを溶融すること
で、図１（ｂ）のように排気管を固着することができ
る。

【００１６】排気管の管の長さやｄ１、ｄ２は、真空容
器の大きさや目的によって決められるが、通常用いられ
る管の長さは３ｃｍ〜２０ｃｍ、ｄ１は３ｍｍ〜６０ｍ
ｍ、ｄ１／ｄ２の比が１．１〜２０、好ましくは１．２
〜５である。

【００１７】排気管の形状および容器の嵌合部の形状
は、図１に限られるものではなく、排気管が容易に自立
するような形状であればよい。他の形状として、図２の
ように、排気管側に短い円筒状に突き出した形状の嵌合
部を設け、背面板側に、これと嵌合するざぐりを形成し
たもの；図３のように排気管側は図２と同様であるが、
背面板側の貫通孔６を大きくして嵌合部１０ｂを形成し
たもの；図４のように排気管側にざぐりを形成して嵌合
部１０ａとし、背面板側にもこれと合うように円筒状に
突き出した嵌合部１０ｂを形成したもの；図５のように
排気管側の形状は図１と同じであるが、排気管側の外周
を囲い込むように背面板側に円筒状に突き出した形状の
嵌合部を形成したものなどが挙げられる。

【００１８】図１〜図５に示した排気管は固着部側の端
の最大外径に至るまでなだらかに太くなっているが、こ
のようなものに限られるものではなく、例えば、図６〜
図８のようの外径が不連続的に大きくなるものでも使用
できる。

【００１９】本発明で用いられる排気管の材質として
は、フリットガラスを用いて背面板と固着することが可
能であれば使用できるが、熱膨張率も背面板の材料と同
程度のものが好ましく、ガラス、特にソーダ石灰ガラス
が好ましい。なお、背面板の材質としては、４２６合
金、ハステロイ等を用いることができるが、フリットガ
ラスとのマッチングの関係から、ソーダ石灰ガラスが特
に好ましい。

【００２０】本発明で用いられるガラスフリットは、４
００〜５００℃くらいの比較的低温で溶融して、排気管
と背面板を固着可能なものが好ましく、例えば、ＬＳ３
０８１、ＬＳ０２０６、ＬＳ７１０５（以上、日本電気
硝子社製）等を用いることができる。

【００２１】このような排気管の製作は、グラインダー
等による研削加工や、ガラスを軟化させて形状を整える
方法、あるいはこの両方を組み合わせて容易に行うこと
ができる。また、２つ以上の管を組み合わせたり、フリ
ットガラスを用いて形状を整えたりしても容易に製作す
ることができる。

【００２２】本発明の製造方法では、排気管を保持する
必要がないことから、ロボット等を使用して容易に自動
化することができる。例えば、図９のように貫通孔６の
位置を画像認識カメラ６００４で確認して、管配置ロボ
ット６００２を用いてトレー６００１上の排気管を固着
部に容易にセットすることができる。

【００２３】本願の異なる発明の１例は図１０（ａ）に
示すように、容器は背面板１、前面板２、枠３がフリッ
トガラス７、８により固着されて形成される。排気管４
の固着側端は、外周ほど背面板から離れるように外側に
テーパー部が作られており、固着時に溶融フリットガラ
スが図１０（ｂ）のように外側に逃げるようになり、管
の内部にはみ出すことがなく、また、はみ出したとして
も極めて小量である。

【００２４】ここでテーパー角度θを、排気管の固着部
端面を平面に押しつけたときに平面となす角度と定義す
ると、θ（この図では外向き）の範囲は、排気管の肉
厚、フリットガラスの必要量等を考慮して適宜決められ
るが、通常は１〜８０゜程度、好ましくは１０〜６０゜
程度である。

【００２５】この例では、排気管を背面板に取り付ける
例を示したが、枠や前面板に取り付けても良く、また、
取り付ける本数は、１本でも複数でもよいことは前の例
と同じである。

【００２６】排気管の形状は、図１０に限られるもので
はなく、固着面に溶融時にフリットガラスが逃げること
ができる傾斜が付いていればよく、図１１のように、内
側にテーパー部を設けてもよい。この場合は内側のテー
パーが溶融したフリットガラスの吸収空間として作用す
るので管の内径より内側にはみ出す量を少なくすること
ができる。このように内側向きのテーパーの場合もθ
は、通常は１〜８０゜程度、好ましくは１０〜６０゜程
度である。また、図１２のように固着面の内側および外
側の両方にテーパーを設けても良い。

【００２７】さらに、排気管の形状として、図１３〜図
１５に示すように、固着部にテーパー部だけでなくリン
グ状の水平部を設けると、固着部の端部が鋭角になら
ず、管の欠けやマイクロクラックの発生を少なくするこ
とができることや、固着時にフリットガラスを面で押さ
えつけることができるのでフリット中の気泡などを押し
つけ気密を高めるなど、真空容器としての信頼性を向上
できるので特に好ましい。水平部の幅は、排気管の肉
厚、フリットガラスの必要量等を考慮して適宜決められ
る。

【００２８】さらに排気管の形状として、図１６〜図１
８のように排気管の固着部側端が太くなっていても良
い。

【００２９】排気管４の固着面に曲面部を設けるとき
は、テーパー部を設ける場合と同じように、固着面との
間に、溶融フリットガラスが逃げることできる隙間がで
きるように曲面を設定する。このような排気管の１例と
して、図２２に示すような固着面の断面形状を円弧にし
たものや、楕円弧にしたものが挙げられる。また、図１
０〜図１８の固着面の角のみを曲面にしても良い。

【００３０】また、図１０〜図１８において、図１〜図
８に示したような嵌合する形状とすることもできる。

【００３１】以上説明した本発明で製造される真空容器
は、電子放出素子を使用する各種の平面型画像表示装置
やプラズマ画像表示装置に用いられる。電子放出素子と
しては、表面伝導型電子放出素子、ＦＥ型、ワイヤー状
の熱電子源などがある。

【００３２】次に本発明で製造される真空容器を使用す
る画像表示装置の１例を図１９および図２０に示す。前
面板８６、背面板８１および枠８２で真空容器８８が構
成されており、この図１９では排気管４が背面板に取り
付けられており、図２０では枠に取り付けられている。
排気管を真空排気ラインに接続し内部を１×１０^-5乃至
は１×１０^-7ｔｏｒｒ程度の真空度まで排気した後、排
気管の固着部に近い根本部分を加熱溶断・封止し、内部
が真空に維持される。さらに必要に応じ、ゲッターを真
空容器内に配置しておき、これを封止後にゲッターフラ
ッシュし、真空度の維持向上を図ることもできる。

【００３３】また、背面板の上に電子放出素子７４およ
び電子放出素子を駆動する信号を供給する配線７２およ
び７３が基板上に形成されており、一方、前面板は、ガ
ラス基板８３の内面に蛍光膜８４およびメタルバック８
５（電子加速電極）が形成されている。電子放出素子か
ら放出された電子は、メタルバックに印加された高電圧
で加速され、蛍光体に衝突し、蛍光体を発光させること
で画像が形成される。

【００３４】

【実施例】以下、実施例により本発明をさらに具体的に
説明する。 ［実施例１］図１は、画像表示装置の真空容器の製造例
であり、同図（ａ）および（ｂ）は画像表示装置の断面
を示したものである。１は面状に配置された前項で述べ
た表面伝導型電子放出素子（不図示）のある背面板、２
は蛍光体（不図示）が配置された前面板、３は枠、４は
管、５は焼成後のフリットガラス、６は背面板に設けら
れた貫通孔、７、８はフリットガラス９は管の固着部、
１０ａは管の嵌合部１０ｂは画像表示装置側の嵌合部で
あるところの背面板の嵌合部である。同図（ａ）は管の
固着前の状態、同図（ｂ）は管の固着後の状態を示し
た。

【００３５】同図（ａ）において、予め前面板２にフリ
ットガラス７にて固着してある枠３と該枠３の背面板１
との封着面に仮焼成したフリットガラス８の上に、背面
板１を裁置した状態の画像表示装置の各構成部材を準備
した。前面板２、背面板１、枠３および管４などの構成
部材はソーダ石灰ガラスを使用し、８のフリットガラス
は該構成部材との膨張係数の近いもので４１０℃付近が
作業温度（以下焼成温度という）である低融点封着ガラ
スを使用した。さらに、背面板側の管の固着部にはリン
グ状に事前に３８０℃付近で仮焼成されプリフォームさ
れたタプレットガラスを嵌合部１０ｂの段差部に配置
（不図示）した。このタプレットガラスも構成部材との
膨張係数の近いもので４１０℃付近が作業温度（以下焼
成温度という）である低融点封着ガラスを使用した。

【００３６】本発明の管４は、事前にソーダ石灰ガラス
のパイプで外径約１２ｍｍ、内径約９ｍｍを切断し、そ
の一方の端部を加熱熔解しながら肉厚を稼ぎ、外径を２
６ｍｍ位に拡げた後、管の固着部９として純水を供給し
ながらグラインダーによって管の中心軸に対してほぼ直
交した面になるように研摩し固着部を作製した。また、
管の嵌合部１０ａとしてグラインダーにて管の中心軸に
対し略平行な円筒状の面になるように、管の外周部を外
径が２４ｍｍになるように加工し嵌合部を作製したもの
を準備した。したがって本実施例では、管の固着部の外
径ｄ１が２４ｍｍ、管の固着部側とは反対側の外径ｄ２
は１２ｍｍで管の外径が連続的に拡大しており、嵌合部
を固着部の外周部に加工した管を用いた。

【００３７】また背面板は、厚さ５ｍｍのものに貫通孔
が約１０ｍｍのものを使用し、さらに嵌合部は段差状の
ざぐりを貫通孔の中心軸に対して同心の円柱状に加工し
たもので内径２５ｍｍ、深さ２ｍｍのものを事前に加工
し準備した。

【００３８】次に本発明の管の固着作業として、フリッ
トガラスとビヒクル（バインダ＋溶剤）を混合したもの
（以下「フリットペースト」と称す）を仮焼成しリング
状にプリフォームしたフリットガラスを、背面基板１上
の貫通孔６のまわりの嵌合部の段差状ざぐり部分に（不
図示）置いた。このプリフォームフリットガラスのサイ
ズは、後述するフリットガラスによる封着工程で管の内
側にフリットガラスが突出しないように、外径は嵌合部
１０ｂの内径よりやや小さく、内径は貫通孔より大き
く、本実施例においては、外径２４．５ｍｍ、内径１２
ｍｍ、厚さ０．５ｍｍのものを事前に加工したものを配
置した。

【００３９】つづいて、その上に管４を配置した。管の
嵌合部１０ａは、背面側の嵌合部１０ｂに対し、やや小
さいサィズに作製してあるため、管を配置することによ
って、背面板の嵌合部１０ｂに収まるようにセットされ
る。また、管の固着部の外周部は張り出した形状となっ
ているため、管の配置において倒れず自立している。

【００４０】この状態で全体をフリットの焼成温度まで
焼成したところ、管の固着部が溶融したフリットガラス
を押しつけ、温度を常温に戻すと同図（ｂ）の様な状態
で管が固着された。同時に、構造部材である背面板１と
前面板２が固着されている枠３も８のフリットガラスに
より封着され、画像表示装置の真空容器が完成した。

【００４１】このように管の固着部の外径が真空排気ラ
イン側より大きく、かつ、嵌合部を管および背面板の固
着部にもうけることにより、管の配置に際して、管を自
立させることが出来、管を所定の位置に配置することが
出来、さらに加熱により管を固着させても、管が倒れ
ず、位置ずれも起こさない画像表示装置を作製すること
ができた。

【００４２】また、この管の場合、固着部の面積が広い
ためフリットガラスの接着エリアが増大し、接合強度が
高くなった。さらに、外径が連続面であるため、管の真
空排気ライン側に横荷重をかけた場合、特定の部分に応
力が集中することを綬和する効果があるため、管の機械
的強度が増加した。

【００４３】［実施例２］図２は、本発明の第２の実施
例を示すものであり、実施例１で示した画像表示装置の
図１において管４と背面板１の貫通孔９の固着部近傍の
状態を示したものであり他の部分は図１と同様なため省
略した。図１とは管の嵌合部１０ａの形状と、これに伴
う背面板の嵌合部１０ｂのサィズのみ異なる。図２は図
１の（ａ）と同様、管の固着前の状態を示している。

【００４４】本発明で示す管４は、事前にソーダ石灰ガ
ラスのパイプで外径約１２ｍｍ、内径約９ｍｍを切断
し、その一方の端部を加熱熔解しながら肉厚を稼ぎ、外
径を２６ｍｍ位に拡げた後、管の固着部９として純水を
供給しながらグラインダーによって管の中心軸に対して
ほぽ直交した面になるように図２のように研摩し固着部
を作製し、また、管の嵌合部１０ａとして管の内径部近
傍を固着部より外部に凸状に張り出した部分の外径が、
管の中心軸に対して断面でみて平行に見えるような円筒
状の面になるように、グラィンダーにて加工したものを
準備した。嵌合部の外径サィズは１２ｍｍで凸状の張り
出し高さは１．８ｍｍになるように加工した。この張り
出し高さは後述の背面板の嵌合部の段差状ざぐりの深さ
より低くし、またフリットの接合代を考慮して隙間が生
ずるようなサィズに決めた。したがって本実施例では、
管の固着部の外径ｄ１が２６ｍｍ、管の固着部側とは反
対側の外径ｄ２は１２ｍｍで管の外径が連続的に拡大し
ており、嵌合部を凸状に加工した管を用いた。

【００４５】また背面板は、厚さ５ｍｍのものに貫通孔
が約９ｍｍのものを使用し、さらに嵌合部は段差状のざ
ぐりを貫通孔の中心軸に対して同心の円柱状に加工した
もので内径１３ｍｍ、深さ２ｍｍのものを事前に加工し
準備した。

【００４６】その他の画像表示装置の構成部材の準備お
よびフリットガラスや部材の材質は実施例１と同様であ
る。ただし、管の固着に使用したフリットガラスは、貫
通孔６のまわりの嵌合部の段差状のざぐり部分にリング
状にプリフォームしたフリットガラスを置くとともに、
管の外径が拡大している部分の固着部９と相対する背面
板の固着部には、事前にフリットペーストを塗布し仮焼
成した状態でフリットガラスを形成した背面板を準備し
た。この時のプリフォームフリットガラスのサイズは嵌
合部１０ｂの内径よりやや小さい外径で貫通孔より大き
い内径であり、本実施例においては、外径１２．５ｍ
ｍ、内径１０ｍｍ、厚さ０．５ｍｍのものを事前に加工
したものを配置した。その後の、本発明の管の固着作業
は実施例１と同様に行ない管の固着作業を完了した。

【００４７】このように管の固着部の外径が真空排気ラ
イン側より大きく、かつ、嵌合部をもつことにより、管
の配置に際して、管を自立させることが出来、管を所定
の位置に配置することが出来、さらに加熱により管を固
着させても、管が倒れず、位置ずれも起こさない画像表
示装置を作製することができた。

【００４８】また、この管は固着部の面積が広いためフ
リットガラスの接着エリアが増大し、接合強度が高くな
った。さらに、外径が連涜面であるため、管の固着され
た部分と反対側の先端部に横荷重をかけた場合、特定の
部分に応力が集中することを緩和する効果があるため、
管の機械的強度が増加した。

【００４９】［実施例３］図３は、本発明の管を用いた
第３の実施例を示すものであり、実施例１で示した画像
表示装置の図１において管４と背面板１の貫通孔９の固
着部近傍の状態を示したものであり他の部分は図１と同
様なため省略した。図１とは管の嵌合部１０ａの形状
と、背面板の嵌合部１０ｂの形状のみ異なる。図３は図
１の（ａ）と同様、管の固着前の状態を示している。

【００５０】本発明で示す管４は、事前にソーダ石灰ガ
ラスのパイプで外径約１２ｍｍ、内径約９ｍｍを切断
し、その一方の端部を加熱熔解しながら肉厚を稼ぎ、外
径を２６ｍｍ位に拡げた後、管の固着部９として純水を
供給しながらグラインダーによって管の中心軸に対して
ほぽ直交した面になるように図２のように研摩し固着部
を作製し、また、管の嵌合部１０ａとして管の内径部近
傍を固着部より外部に凸状に張り出した部分の外径が、
管の中心軸に対して断面でみて平行に見えるような円筒
状の面になるように、グラィンダーにて加工したものを
準備した。嵌合部の外径サイズは１２ｍｍで凸状の張り
出し高さは背面板の厚さを越えない位の高さになるよう
に加工した。したがって本実施例では、管の固着部の外
径ｄ１が２６ｍｍ、管の真空排気ライン側の外径ｄ２は
１２ｍｍで管の外径が連続的に拡大しており、嵌合部を
凸状に加工した管を用いた。

【００５１】また背面板は、厚さ５ｍｍのものに貫通孔
が１３ｍｍのものを事前に加工し準備した。この実施例
の場合、嵌合部の径は貫通孔の径と同等であり見た目の
差はない。その他の画像表示装置の構成部材の準備およ
びフリットガラスや部材の材質は実施例１と同様であ
る。ただし、管の固着に使用したフリットガラスは、管
の外径が拡大している部分の固着部９と相対する背面板
の固着部に、事前にフリットペーストを塗布し仮焼成し
た状態でフリットガラスを形成した背面板を準備した。
その後の、本発明の管の固着作業は実施例１と同様に行
ない管の固着作業を完了した。

【００５２】このように管の固着部の外径が真空排気ラ
イン側より大きく、かつ、嵌合部をもつことにより、管
の配置に際して、管を自立させることが出来、管を所定
の位置に配置することが出来、さらに加熱により管を固
着させても、管が倒れず、位置ずれも起こさない画像表
示装置を作製することができた。また、この管は固着部
の面積が広いためフリットガラスの接着エリアが増大
し、接合強度が高くなった。さらに、外径が連続面であ
るため、管の固着された部分と反対側の先端部に横荷重
をかけた場合、特定の部分に応力が集中することを綬和
する効果があるため、管の機械的強度が増加した。

【００５３】さらにまた、この場合、背面板側の嵌合部
が貫通孔と兼用されているため、背面板の加工が簡単で
あるという特徴がある。

【００５４】［実施例４］図４は、本発明の管を用いた
第４の実施例を示すものであり、実施例１で示した画像
表示装置の図１において管４と背面板１の貫通孔９の固
着部近傍の状態を示したものであり他の部分は図１と同
様なため省略した。図１とは管の嵌合部１０ａの形状
と、背面板の嵌合部１０ｂの形状のみ異なる。図４は図
１の（ａ）と同様、管の固着前の状態を示している。

【００５５】本発明で示す管４は、事前にソーダ石灰ガ
ラスのパイプで外径約１２ｍｍ、内径約９ｍｍを切断
し、その一方の端部を加熱熔解しながら肉厚を稼ぎ、外
径を２６ｍｍ位に拡げた後、管の固着部９として純水を
供給しながらグラインダーによって管の中心軸に対して
ほぽ直交した面になるように図２のように研摩し固着部
を作製し、また、管の嵌合部１０ａとして管の内径部近
傍を固着部より内部に凹状に入り込んだ部分の内形が、
管の中心軸に対して断面でみて平行に見えるような円筒
状の面になるように、グラインダーにて加工したものを
準備した。嵌合部の内径は１３ｍｍとした。したがって
本実施例では、管の固着部の外径ｄ１が２６ｍｍ、管の
真空排気ライン側の外径ｄ２は１２ｍｍで管の外径が連
続的に拡大しており、嵌合部を凹状に加工した管を用い
た。また、管の嵌合部１０ａの凹状の入り込み深さは
１．８ｍｍにした。これは、フリットガラスの接合代を
確保し、固着部が背面板と十分接合出来るようにするた
め、後述の背面板の嵌合部１０ｂの高さよりやや大きい
サイズとしたものである。

【００５６】また背面板は、厚さ５ｍｍのものに貫通孔
が約９ｍｍのものを使用し、さらに嵌合部は貫通孔の中
心軸に対して同心の円柱状に背面板の厚さより凸状に張
り出したもので、外径１２ｍｍ、高さ１．５ｍｍのもの
を事前に加工し準備した。

【００５７】その他の画像表示装置の構成部材の準備お
よびフリットガラスや部材の材質は実施例１と同様であ
る。ただし、管の固着に使用した７リットガラスは、管
の外径が拡大している部分の固着部９と相対する背面板
の固着部に、事前にフリットペーストを塗布し仮焼成し
た状態でフリットガラスを形成した背面板を準備した。
その後の、本発明の管の固着作業は実施例１と同様に行
ない管の固着作業を完了した。

【００５８】このように管の固着部の外径が真空排気ラ
イン側より大きく、かつ、嵌合部をもつことにより、管
の配置に際して、管を自立させることが出来、管を所定
の位置に配置することが出来、さらに加熱により管を固
着させても、管が倒れず、位置ずれも起こさない画像表
示装置を作製することができた。

【００５９】また、この管は固着部の面積が広いためフ
リットガラスの接着エリアが増大し、接合強度が高くな
った。さらに、外径が連続面であるため、管の固着され
た部分と反対側の先端部に横荷重をかけた場合、特定の
部分に応力が集中することを緩和する効果があるため、
管の機械的強度が増加した。

【００６０】［実施例５］図５は、本発明の管を用いた
第５の実施例を示すものであり、実施例１で示した画像
表示装置の図１において管４と背面板１の貫通孔９の固
着部近傍の状態を示したものであり他の部分は図１と同
様なため省略した。図１とは背面板の嵌合部１０ｂの形
状のみ異なる。図５は図１の（ａ）と同様、管の固着前
の状態を示している。

【００６１】本発明で示す管４は、実施例１で用いたも
のと同じであるため説明は省略する。背面板は、厚さ５
ｍｍのものに貫通孔が約１０ｍｍのものを使用し、さら
に嵌合部は貫通孔の中心軸に対して同心の円柱状に背面
板の厚さより凸状に張り出したもので、内径２３ｍｍ、
高さ２ｍｍのものを事前に加工し準備した。その他の画
像表示装置の構成部材の準備およびフリットガラスや部
材の材質は実施例１と同様である。その後の、本発明の
管の固着作業は実施例１と同様に行ない管の固着作業を
完了した。

【００６２】このように管の固着部の外径が真空排気ラ
イン側より大きく、かつ、嵌合部をもつことにより、管
の配置に際して、管を自立させることが出来、管を所定
の位置に配置することが出来、さらに加熱により管を固
着させても、管が倒れず、位置ずれも起こさない画像表
示装置を作製することができた。また、この管は固着部
の面積が広いためフリットガラスの接着エリアが増大
し、接合強度が高くなった。さらに、外径が連続面であ
るため、管の固着された部分と反対側の先端部に横荷重
をかけた場合、特定の部分に応力が集中することを緩和
する効果があるため、管の機械的強度が増加した。

【００６３】［実施例６］図６は、本発明の第６の実施
例を示すものである。図６（ａ）において、４は本発明
の管であり、１０ａは嵌合部、９は固着部である。この
管は、固着部近傍の外径ｄ１が、固着部と反対側の端部
の外径ｄ２より大きいもので、この管は作製の都合上、
管の外径が途中から段差状に拡大した管を使用した例で
ある。この管の作製は、事前にソーダ石灰ガラスのパイ
プで、外径１２ｍｍ（内径約９ｍｍ）の管を切断したも
のと、外径２４ｍｍで内径１３ｍｍの管を切断したもの
を準備し、図６（ｂ）のように２つの管を５のフリット
ガラスで加熱接合することにより、図６（ａ）のような
管を作製した。この時使用したフリットガラスは、後に
実施される管の固着においても熔解することのないよう
に、作業温度が４５０℃程度の高いもので、結晶質のフ
リットガラスを使用した。この管によれば、外径２４ｍ
ｍの管の外周部がそのまま嵌合部１０ａとして使用する
ことができる。

【００６４】この管を用いて、実施例１と同様に画像表
示装置の背面板に管を固着し組み立てることができる。
この方法は、実施例１で述べた管の形状が図６のように
変ったのみで、他は実施例１と同様な材料と部材を使用
し、同様な方法で管の固着作業を実施し完了したので説
明は省略する。

【００６５】このような管においても、管の固着部の外
径が真空排気ライン側より大きく、かつ、嵌合部をもつ
ことにより、管の配置に際して、管を自立させることが
出来、管を所定の位置に配置することが出来、さらに加
熱により管を固着させても、管が倒れず、位置ずれも起
こさない画像表示装置を作製することができた。また、
この管は固着部の面積が広いためフリットガラスの接着
エリアが増大し、接合強度が高くなった。

【００６６】さらに、この管は径の異なる部材の組み合
せで管が作製できるため、嵌合部の径の加工が不要で、
作製が容易であるという新たな効果があった。また、こ
の管を実施例５で示した背面板に使用したところ、同様
に固着出来た。

【００６７】［実施例７］図７は、本発明の第７の実施
例を示すもので、管の形状に関するものである。図７
（ａ）において、４は本発明の管であり、１０ａは嵌合
部、９は固着部である。この管は、固着部近傍の外径ｄ
１が、固着部と反対側の端部の外径ｄ２より大きいもの
で、この管は作製の都合上、管の外径が途中から段差状
に拡大した管を使用した例である。この管の作製は、事
前にソーダ石灰ガラスのパイプで、外径１２ｍｍ（内径
約９ｍｍ）の管を切断したものと、外径２４ｍｍで内径
１３ｍｍの管を切断したものを準備し、図７（ｂ）のよ
うに２つの管を、管の固着部９の部分から、内挿した管
が外側に凸状に張り出すように、５のフリットガラスで
加熱接合することにより、図７（ａ）のような管を作製
した。この時使用したフリットガラスは、後に実施され
る管の固着においても熔解することのないように、作業
温度が４５０℃程度の高いもので、結晶質のフリットガ
ラスを使用した。この管によれば、内挿した管の凸状の
張り出し部が外径１２ｍｍの嵌合部１０ａとして使用す
ることができる。本実施例では、凸状の張り出し高さは
１．８ｍｍとした。この管を用いて、実施例２と同様に
画像表示装置の背面板に管を固着し組み立てることがで
きる。この方法は、実施例２で述べた管の形状が図７の
ように変ったのみで、他は実施例２と同様な材料と部材
を使用し、同様な方法で管の固着作業を実施し完了した
ので説明は省略する。

【００６８】このような管においても、管の固着部の外
径が真空排気ライン側より大きく、かつ、嵌合部をもつ
ことにより、管の配置に際して、管を自立させることが
出来、管を所定の位置に配置することが出来、さらに加
熱により管を固着させても、管が倒れず、位置ずれも起
こさない画像表示装置を作製することができた。また、
この管は固着部の面積が広いためフリットガラスの接着
エリアが増大し、接合強度が高くなった。さらに、この
管は径の異なる部材の組み合せで管が作製できるため、
嵌合部の径の加工が不要で、作製が容易であるという新
たな効果があった。

【００６９】また、この管を実施例３で示した背面板に
使用したところ、本実施例と同様に作製出来た。この場
合、管の凸部の張り出し高さは１．８ｍｍにする必要は
なく、概ね背面板の厚さを越えない程度に作製したもの
を使用すればよい。

【００７０】このため、管の事前作製の接合精度がラフ
でよいため、作製が楽であるという新たな効果があっ
た。

【００７１】［実施例８］図８は、本発明の第８の実施
例を示すものである。図８（ａ）において、４は本発明
の管であり、１０ａは嵌合部、９は固着部である。この
管は、固着部近傍の外径ｄ１が、真空排気ライン側の端
部の外径ｄ２より大きいもので、この管は作製の都合
上、管の外径が途中から段差状に拡大した管を使用した
例である。この管の作製は、事前にソーダ石灰ガラスの
パイプで、外径１２ｍｍ（内径約９ｍｍ）の管を切断し
たものと、外径２４ｍｍで内径１３ｍｍの管を切断した
ものを準備し、図８（ｂ）のように２つの管を、管の固
着部９の部分から、内挿した管が内側に凹状に入り込ん
だように、５のフリットガラスで加熱接合することによ
り、図８（ａ）のような管を作製した。この時使用した
フリットガラスは、後に実施される管の固着においても
熔解することのないように、作業温度が４５０℃程度の
高いもので、結晶質のフリットガラスを使用した。この
管によれば、外部に配置した径の大きな管の内径部分が
内径１３ｍｍの嵌合部１０ａとして使用することができ
る。本実施例では、凹状の入り込んだ深さは、後述する
背面板の嵌合部の凸部の高さより大きくした。

【００７２】この管を用いて、実施例４と同様に画像表
示装置の背面板に管を固着し組み立てることができる。
この方法は、実施例４で述べた管の形状が図８のように
変ったのみで、他は実施例４と同様な材料と部材を使用
し、同様な方法で管の固着作業を実施し完了したので説
明は省略する。

【００７３】このような管においても、管の固着部の外
径が真空排気ライン側より大きく、かつ、嵌合部をもつ
ことにより、管の配置に際して、管を自立させることが
出来、管を所定の位置に配置することが出来、さらに加
熱により管を固着させても、管が倒れず、位置ずれも起
こさない画像表示装置を作製することができた。

【００７４】また、この管は固着部の面積が広いためフ
リットガラスの接着エリアが増大し、接合強度が高くな
った。さらに、この管は径の異なる部材の組み合せで管
が作製できるため、部の径の加工が不要で、作製が容易
であるという新たな効果があった。

【００７５】［実施例９］図９は、本発明の管を用いて
画像表示装置を作製する場合の大量生産における実施例
の一つである。図９において、１は貫通孔６と固着部９
ならびに嵌合部１０ｂをもつ背面板、４は嵌合部１０ａ
をもつ管、６００１はトレー、６００２は管配置ロボッ
ト、６００３は搬送装置、６００４は画像認識カメラで
ある。

【００７６】この状態において、予めフリットガラスが
貫通孔６付近の固着部９に配置された背面板１が搬送ベ
ルト６００３により順次搬送される。一方、トレー６０
０１上には組立用の管４が多数準備されている。つぎ
に、管配置ロボット６００２は、管４を保持し、搬送ベ
ルト６００３上の背面板１の嵌合部１０ｂに対して、画
像認識装置による貫通孔６付近の位置情報によって、管
４を背面板の嵌合部１０ｂに順次管を配置する。管４が
配置された背面板１は、その後、前面板および枠と組み
合わされて（不図示）、加熱により管の固着と画像表示
装置の封着を行なうことにより、画像表示装置を作製し
た。この時使用した画像表示装置の構成部材の材質並び
にフリットガラスは実施例１で示したものと同様なもの
を使用し作製したので説明は省略する。

【００７７】この組立方法によれば、本発明の管は、固
着部の外径が拡がっているために、管は固着部上で倒れ
ず、また嵌合部を管に有しているため、貫通孔側の嵌合
部とあいまって、管を所定の位置に配置することが簡単
に出来た。さらに、搬送ベルトによって次の封着工程
（加熱工程）に、管が倒れることなくさらに管が位置ズ
レすることなく進めることができた。さらにまた、加熱
の際、嵌合部の効果で位置ズレすることなく管を固着出
来た。

【００７８】［実施例１０］図１０は、本発明の管を用
いた画像表示装置の図であり、同図（ａ）および（ｂ）
は画像表示装置の断面を示したものである。１は面状に
配置された前項で述べた表面伝導型電子放出素子（不図
示）のある背面板、２は蛍光体（不図示）が配置された
前面板、３は枠、４は管、５は焼成後のフリットガラ
ス、６は背面板に設けられた貫通孔、７、８はフリット
ガラス９は管の固着部、１０は焼成前のフリットガラス
である。同図（ａ）は管の固着前の状態、同図（ｂ）は
管の固着後の状態を示した。

【００７９】同図（ａ）において、予め前面板２にフリ
ットガラス７にて固着してある枠３と該枠３の背面板１
との封着面に仮焼成したフリットガラス８の上に、面板
１を裁置した状態の画像表示装置の各構成部材を準備し
た。

【００８０】前記、前面板２、背面板１、枠３および管
４などの構成部材はソーダ石灰ガラスを使用し、８およ
び１０のフリットガラスは該構成部材との膨張係数の近
いもので４１０℃付近が作業温度（以下焼成温度とい
う）である低融点封看ガラスを使用した。

【００８１】本発明の管は、事前に所定の長さにソーダ
石灰ガラスのパイプを切断しその一方の端面をグライン
ダーで外側向きのテーパー角θが約１０〜５０゜程度に
なるように純水を供給しながらグラインダーによって研
摩しテーパーを設けたものを準備した。

【００８２】次に本発明の管の固着作業として、フリッ
トペーストを仮焼成しリング状にプリフォームした１０
のフリットガラスを、背面基板１上の貫通孔６のまわり
に置いた。その上に管４を配置した。管の内径は貫通孔
６の径とほぼ同等のものを使用した。この状態で全体を
フリットの焼成温度まで焼成することにより管の自重に
よって管の固着部が背面板のある方向へ溶融したフリッ
トガラスを押しつけかつ押し出しながら自然と降下し、
同図（ｂ）の様な状態になり管の固着作業を完了した。
同時に、構造部材である背面板１と前面板２が固着され
ている枠３も８のフリットガラスにより封着され、画像
表示装置の真空容器が完成した。

【００８３】このように管の固着部が管の外側に対して
テーパーを持つ本発明の管を使用したことにより、フリ
ットの内側へのはみ出しをほとんどなくすことができ
た。

【００８４】［実施例１１］この実施例を示す図１１で
は、実施例１０で示した画像表示装置の図１０において
管４と背面板１の貫通孔９の固着部近傍の状態を示した
ものであり他の部分は図１０と同様なため省略した。図
１０とは管の固着部の形状のみ異なる。図１１（ａ）は
管の固着前の状態、同図（ｂ）は管の固着後の状態を示
した。本実施例に示す管は、事前に所定の長さにソーダ
石灰ガラスのパイプを切断しその一方の端面を内側向き
のテーパー角θが約２０〜６０゜程度になるように純水
を供給しながらグラインダーによって研摩しテーパーを
設けたものを準備した。

【００８５】その他の画像表示装置の構成部材の準備お
よびフリットガラスや部材の材質は実施例１と同様であ
る。また、本発明の管の固着作業も実施例１と同様に行
ない管の固着作業を完了した。

【００８６】この際、フリットガラスの焼成によって溶
融したフリットガラスは、管の封着部のテーパー付近に
あるものは管の自重で押しつけられながら余分のフリッ
トガラスは管の内側に向かったテーパー部分がフリット
ガラスの溜り場として吸収部の役目を果たした。このた
め、管の固着部端と背面板の貫通孔の境界部より管や貫
通孔の内側部分へはみ出すフリットは同図（ｂ）で模式
的に示したようにほとんどなくなった。

【００８７】［実施例１２］図１２に本実施例を示すも
のであり、実施例１で示した画像表示装置の図１におい
て管４と背面板１の貫通孔９の固着部近傍の状態を示し
たものであり他の部分は図１０と同様なため省略した。
図１０とは管の固着部の形状のみ異なる。図１２（ａ）
は管の固着前の状態、同図（ｂ）は管の固着後の状態を
示した。

【００８８】本実施例で示す管は、事前に所定の長さに
ソーダ石灰ガラスのパイプを切断しその一方の端面を管
の外側と内側向きのテーパーを持つように純水を供給し
ながらグラインダーによって研摩しテーパーを設けたも
のを準備した。

【００８９】その他の画像表示装置の構成部材の準備お
よびフリットガラスや部材の材質は実施例１０と同様で
ある。また、本発明の管の固着作業も実施例１と同様に
行ない管の固着作業を完了した。

【００９０】この際、フリットガラスの焼成によって溶
融したフリットガラスは、管の封着部の外側のテーパー
付近にあるものは管の自重で押しつけられながら余分の
フリットガラスが管の外側に押し出された。また、管の
封着部の内側のテーパー付近にあるものは管の自重で押
しつけられながら余分のフリットガラスは管の内側に向
かったテーパー部分がフリットガラスの溜り場として吸
収部の役目を果たした。このため、管の固着部端と背面
板の貫通孔の境界部より管や貫通孔の内側部分へはみ出
すフリットは同図（ｂ）で模式的に示したようにほとん
どなくなった。

【００９１】［実施例１３］図１３は、本実施例を示す
ものであり、実施例１０で示した画像表示装置の図１０
において管４と背面板１の貫通孔９の固着部近傍の状態
を示したものであり他の部分は図１０と同様なため省略
した。図１０とは管の固着部の形状のみ異なる。図１３
（ａ）は管の固着前の状態、同図（ｂ）は管の固着後の
状態を示した。

【００９２】本実施例で示す管は、事前に所定の長さに
ソーダ石灰ガラスのパイプを切断しその一方の端面を外
側向きのテーパーとなるように純水を供給しながらグラ
インダーによって研摩しテーパーを設けたが、管に対し
て内側の端面（管の中心軸に対し略直交する面）の一部
はテーパー加工せずに残したものを準備した。

【００９３】その他の画像表示装置の構成部材の準備お
よびフリットガラスや部材の材質は実施例１０と同様で
ある。また、本発明の管の固着作業も実施例１と同様に
行ない管の固着作業を完了した。

【００９４】この際、フリットガラスの焼成によって溶
融したフリットガラスは、管の封着部の外側のテーパー
付近にあるものは管の自重で押しつけられながら余分の
フリットガラスが管の外側に押し出された。このため、
管の固着部端と背面板の貫通孔の境界部より管や貫通孔
の内側部分へはみ出すフリットは同図（ｂ）で模式的に
示したようにほとんどなくなった。さらに管の中心軸に
対して直交する面により固着時の荷重によってフリット
ガラスを面で押さえフリット中の気泡を押しつけ外側に
追いやり気密効果を高めることができた。

【００９５】［実施例１４］図１４は、本実施例を示す
ものであり、実施例１１で示した図１１において管の固
着部の形状のみ異なる。図１４（ａ）は管の固着前の状
態、同図（ｂ）は管の固着後の状態を示した。

【００９６】本実施例で示す管は、事前に所定の長さに
ソーダ石灰ガラスのパイプを切断しその一方の端面を内
側向きのテーパーになるように純水を供給しながらグラ
インダーによって研摩しテーパーを設けたが、管に対し
て外側の端面（管の中心軸に対し略直交する面）の一部
はテーパー加工せずに残したものを準備した。

【００９７】その他の画像表示装置の構成部材の準備お
よびフリットガラスや部材の材質は実施例１１と同様で
ある。また、本発明の管の固着作業も実施例１１と同様
に行ない管の固着作業を完了した。

【００９８】この際、フリットガラスの焼成によって溶
融したフリットガラスは、管の封着部のテーパー付近に
あるものは管の自重で押しつけられながら余分のフリッ
トガラスは管の内側に向かったテーパー部分がフリット
ガラスの溜り場として吸収部の役目を果たした。このた
め、管の固着部端と背面板の貫通孔の境界部より管や貰
通孔の内側部分へはみ出すフリットは同図（ｂ）で模式
的に示したようにほとんどなくなった。さらに管の中心
軸に対して直交する面により固着時の荷重によってフリ
ットガラスを面で押さえフリット中の気泡を押しつけ外
側に追いやり気密効果を高めることができた。

【００９９】［実施例１５］図１５は、本実施例を示す
ものであり、実施例１２で示した図１２において管の固
着部の形状のみ異なる。図１５（ａ）は管の固着前の状
態、同図（ｂ）は管の固着後の状態を示した。

【０１００】本実施例で示す管は、事前に所定の長さに
ソーダ石灰ガラスのパイプを切断しその一方の端面を外
側と内側向きのテーパーとなるように純水を供給しなが
らグラインダーによって研摩しテーパーを設けたが、管
に対して外側と内側のテーパーの間の端面（管の中心軸
に対し略直交する面）はテーパー加工せずに残したもの
を準備した。

【０１０１】その他の画像表示装置の構成部材の準備お
よびフリットガラスや部材の材質は実施例１２と同様で
ある。また、本発明の管の固着作業も実施例１２と同様
に行ない管の固着作業を完了した。

【０１０２】この際、フリットガラスの焼成によって溶
融したフリットガラスは、管の封着部の外側のテーパー
付近にあるものは管の自重で押しつけられながら余分の
フリットガラスが管の外側に押し出された。また、管の
封着部の内側のテーパー付近にあるものは管の自重で押
しつけられながら余分のフリットガスは管の内側に向か
ったテーパー部分がフリットガラスの溜り場として吸収
部の役目を果たした。このため、管の固着部端と背面板
の貫通孔の境界部より管や貫通孔の内側部分へはみ出す
フリットは同図（ｂ）で模式的に示したようにほとんど
なくなった。さらに管の中心軸に対して直交する外側と
内側のテーパーの間に設けた面により固着時の荷重によ
ってフリットガラスを面で押さえフリット中の気泡を押
しつけ外側に追いやり気密効果を高めることができた。

【０１０３】［実施例１６］図１６は本実施例を示す図
で、実施例１３で示した管と基本的に同じであるがバー
ナー等によって管を熔解しながら固着部の肉厚を徐々に
増やした後グラインダーによって同図のように成形する
ことによって固着部の肉厚を厚くした管の例である。管
のテーパーは外側向きのテーパー角θが約１０〜５０゜
程度になるように設け、また、管に対して内側の端面は
管の中心軸に対し略直交する平面に加工したものを準備
した。

【０１０４】この管を用いて実施例１３と同様な方法に
よって管を図１６（ｂ）のように画像表示装置に固着し
た。

【０１０５】この際、フリットガラスの焼成によって溶
融したフリットガラスは、管の封着部の外側のテーパー
によって余分のフリットガラスが管の外側に押し出され
た。このため、管の固着部端と背面板の貫通孔の境界部
より管や貫通孔の内側部分へはみ出すフリットは同図
（ｂ）で模式的に示したようにほとんどなくなった。さ
らに管の内側に設けた管の中心ｉＬ軸に対して直交する
面により固着時の荷重によってフリットガラスを面で押
さえフリット中の気泡を押しつけ気密効果を高めること
ができた。

【０１０６】このように管の固着部が管の外側に対して
テーパーをより多く持つ管を使用したことにより、フリ
ットの内側へのはみ出しをほとんどなくすとともに、固
着面積を広くしたことにより固着強度を増すことができ
た。

【０１０７】［実施例１７］図１７は本実施例を示す図
であり、管の形状として実施例１４で示した管と基本的
に同じであるがバーナー等によって管を熔解しながら固
着部の肉厚を徐々に増やした後グラインダーによって同
図のように成形することによって固着部の肉厚を厚くし
た管の例である。管のテーパーは、内側向きのテーパー
角θが約２０〜６０゜程度になるように設け、また、管
に対して外側の端面は管の中心軸に対し略直交する平面
に加工したものを準備した。

【０１０８】この管を用いて実施例１４と同様な方法に
よって管を図１７（ｂ）のように画像表示装置に固着し
た。

【０１０９】この際、フリットガラスの焼成によって溶
融したフリットガラスは、管の封着部のテーパー付近に
あるものは管の自重で押しつけられながら余分のフリッ
トガラスは管の内側に向かったテーパー部分がフリット
ガラスの溜り場として吸収部の役目を果たした。このた
め、管の固着部端と背面板の貫通孔の境界部より管や貰
通孔の内側部分へはみ出すフリットは同図（ｂ）で模式
的に示したようにほとんどなくなった。さらに管の外側
に設けた管の中心軸に対して直交する面により固着時の
荷重によってフリットガラスを面で押さえフリット中の
気泡を押しつけ気密効果を高めることができた。

【０１１０】このように管の固着部が管の内側に対して
テーパーをより多く持つ管を使用したことにより固着強
度を増すことができた。

【０１１１】［実施例１８］図１８は本実施例を示す図
であり、管の形状として実施例１５で示した管と基本的
に同じであるがバーナー等によって管を熔解しながら固
着部の肉厚を徐々に堵やした後グラインダーによって同
図のように成形することによって固着部の肉厚を厚くし
た管の例である。管の内側のテーパーは、内側向きテー
パー角θが約２０〜６０゜程度になるように設け、管の
外側のテーパーは外側向きテーパー角θが約１０〜５０
゜程度になるように設け、また、管に対して外側と内側
のテーパーの間の端面は管の中心軸に対し略直交する平
面に加工したものを準備した。

【０１１２】この管を用いて実施例１５と同様な方法に
よって管を図１８（ｂ）のように画像表示装置に固着し
た。

【０１１３】この際、フリットガラスの焼成によって溶
融したフリットガラスは、管の封着部の外側のテーパー
付近にあるものは管の目重で押しつけられながら余分の
フリットガラスが管の外側に押し出された。また、管の
封着部の内側のテーパー付近にあるものは管の自重で押
しつけられながら余分のフリットガラスは管の内側に向
かったテーパー部分がフリットガラスの溜り場として吸
収部の役目を果たした。このため、管の固着部端と背面
板の貫通孔の境界部より管や貫通孔の内側部分へはみ出
すフリットは同図（ｂ）で模式的に示したようにほとん
どなくなった。さらに管の中心軸に対して直交する外側
と内側のテーパーの間に設けた面により固着時の荷重に
よってフリットガラスを面で押さえフリット中の気泡を
押しつけ外側に追いやり気密効果を高めることができ
た。

【０１１４】このように管の固着部が管の外側および内
側に対してテーパーを持つとともに固着部の一部は管の
軸に対して略直交する部分も持っておりその直交部分は
管の外側と内側のテーパーの間の部分に設けた管を使用
したことによりフリットの内側へのはみ出しをほとんど
なくすことができた。さらに管の肉厚が厚いものを用い
ることにより固着部の固着面積が増え固着強度を増すこ
とができた。

【０１１５】

【発明の効果】本発明によれば、排気管の固着部側端の
外径を太くすることで、排気管が自立することができる
ので、排気管保持治具を必要とせずに排気管を固定でき
る。また、嵌合部を設けることで、容器の貫通孔と排気
管の位置ずれが起きることがない。このため、接合部の
内径が狭まり排気抵抗が大きくなり十分な排気ができな
かったり、排気工程に時間がかかったりすることがない
ので、信頼性が高く、製造工程を短縮し得る真空容器の
製造方法を提供できる。また、この方法によれば、保持
治具等を必要としないので、製造工程が簡略化されると
いう効果も達成される。

【０１１６】また、本願の別の発明によれば、排気管と
して、容器との固着面にテーパー部を設けた管を用いる
ことで、熔解したフリットガラスの逃げ場を設け、管の
内側にフリットガラスがはみ出すのを防ぐ。このため、
排気抵抗が大きくなり十分な排気ができなかったり、排
気工程に時間がかかったりすることがないので、信頼性
が高く、製造工程を短縮し得る真空容器の製造方法を提
供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の排気管および容器、並びに製造方法を
示す図である。

【図２】本発明の排気管および容器を示す図である。

【図３】本発明の排気管および容器を示す図である。

【図４】本発明の排気管および容器を示す図である。

【図５】本発明の排気管および容器を示す図である。

【図６】本発明の排気管を示す図である。

【図７】本発明の排気管を示す図である。

【図８】本発明の排気管を示す図である。

【図９】本発明の製造工程を示す図である。

【図１０】本発明の排気管および容器、並びに製造方法
を示す図である。

【図１１】本発明の排気管および容器を示す図である。

【図１２】本発明の排気管および容器を示す図である。

【図１３】本発明の排気管および容器を示す図である。

【図１４】本発明の排気管および容器を示す図である。

【図１５】本発明の排気管を示す図である。

【図１６】本発明の排気管を示す図である。

【図１７】本発明の排気管を示す図である。

【図１８】本発明の排気管を示す図である。

【図１９】本発明の画像形成装置を示す図である。

【図２０】本発明の画像形成装置を示す図である。

【図２１】従来の製造方法を示す図である。

【図２２】本発明の排気管を示す図である。

【符号の説明】

１ 背面板 ２ 前面板 ３ 枠 ４ 排気管（管） ５ フリットガラス ６ 貫通孔 ７、８ フリットガラス ９ 固着部 １０ａ 嵌合部（排気管側） １０ｂ 嵌合部（容器側） １１ フリットガラスのはみ出し ７１ 電子源基板 ７２ Ｘ方向配線 ７３ Ｙ方向配線 ７４ 表面伝導型電子放出素子 ８１ 背面板 ８２ 枠 ８３ ガラス基板 ８４ 蛍光膜 ８５ メタルバック ８６ 前面板 ８７ 高圧端子 ８８ 真空容器 ６００１ トレー ６００２ 管配置ロボット ６００３ 搬送ベルト ６００４ 画像認識カメラ

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 貫通孔を有する容器に真空排気用の管
   （以下、排気管という。）を固着して真空容器を製造す
   る方法において、 前記排気管として、固着部側の端の外径が他方の端に比
   べ太い管を用い、 かつ、該排気管と前記容器に、該排気管の移動を拘束す
   るような嵌合部を設け、 前記容器に前記排気管を自立させた後に、前記排気管と
   容器を固着することを特徴とする真空容器の製造方法。
2. 【請求項２】 貫通孔を有する容器に固着されて真空容
   器となる排気管であって、固着部側の端の外径が他方の
   端に比べ太いことを特徴とする排気管。
3. 【請求項３】 請求項２に記載の排気管が固着されて真
   空容器となる貫通孔を有する容器であって、該排気管の
   移動を拘束するような嵌合部を有することを特徴とする
   容器。
4. 【請求項４】 貫通孔を有する容器に排気管を固着して
   真空容器を製造する方法において、 前記排気管として、容器との固着面にテーパー部または
   曲面部を設けた管を用いて、前記容器に排気管を固着す
   ることを特徴とする真空容器の製造方法。
5. 【請求項５】 貫通孔を有する容器に固着されて真空容
   器となる排気管であって、容器との固着面にテーパー部
   または曲面部を設けたことを特徴とする排気管。
6. 【請求項６】 前記容器および排気管がガラス材料から
   製造されたものであり、該容器と排気管の固着にフリッ
   トガラスを用いたことを特徴とする請求項１または４に
   記載の真空容器の製造方法。
7. 【請求項７】 前記真空容器が、複数の電子放出素子が
   設けられた背面板と、蛍光膜を有する前面板を具備する
   画像形成装置であることを特徴とする請求項１または４
   に記載の真空容器の製造方法。