JPH09309651A

JPH09309651A - シート状物の蛇行修正装置および蛇行修正方法

Info

Publication number: JPH09309651A
Application number: JP12498996A
Authority: JP
Inventors: Yoshihisa Higashida; 佳久東田; Toshio Yasuda; 登志夫安田
Original assignee: Toray Industries Inc
Current assignee: Toray Industries Inc
Priority date: 1996-05-20
Filing date: 1996-05-20
Publication date: 1997-12-02

Abstract

(57)【要約】【課題】真空雰囲気中で迅速な蛇行修正を行い走行シー
ト状物の安定搬送の実現と、また、真空雰囲気中に限ら
ず、シート状物幅が頻繁に変わるような場合の蛇行修正
装置として、容易に耳端部検出器の基準位置設定を行え
るシート状物の蛇行修正装置および蛇行修正方法を提供
する。【解決手段】シート状物巻出部と、該シート状物巻出部
から巻き出されたシート状物の耳端部を検出する耳端部
検出器と、該耳端部検出器の信号を処理する演算部と、
該演算部からの信号により作動するシート状物巻出部移
動手段とを備え、前記シート状物巻出部を、シート状物
巻出部スライド機構および巻出部ガイド機構を介して、
前記シート状物巻出部移動手段により、シート状物の蛇
行を修正する方向に可動させてシート状物の蛇行を修正
する装置において、真空チャンバー内に、前記シート状
物巻出部、耳端部検出器、シート状物巻出部スライド機
構、および巻出部ガイド機構を装設したことを特徴とす
るシート状物の蛇行修正装置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、大気圧から隔離さ
れた真空チャンバー内における真空雰囲気中での走行シ
ート状物の蛇行修正に好適なシート状物の蛇行修正装置
および蛇行修正方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来の走行シート状物の蛇行修正装置
は、走行シート状物の耳端部検出器と、該検出器の信号
を処理する演算部と共に、該演算部からの信号により作
動する巻出部移動手段があり、シート状物巻出部が前記
移動手段によりシート状物幅方向に摺動可能な巻出部ス
ライド機構と巻出部ガイド機構を装設し、該シート状物
巻出部がシート状物幅方向に摺動することにより、前記
シート状物巻出軸に装着されたシート状物原反をシート
状物幅方向に移動させ、所要の蛇行修正を行うように構
成されている。

【０００３】しかし、上記のように構成した従来の装置
の大部分は、大気圧雰囲気中で用いられている。例え
ば、一般的に製膜産業における製膜工程は、大気圧雰囲
気中にあり、製膜中にフィルムの蛇行が発生すれば、前
述装置で蛇行修正を行う。

【０００４】一方、真空蒸着装置に関してもフィルムの
蛇行があり、例えば、被蒸着フィルムが真空蒸着装置内
で走行中、蛇行が発生すれば、蛇行修正を行う必要があ
る。前述の製膜工程等の大気雰囲気中での蛇行修正装置
では、フィルム耳端部検出器として、一般的に空気式耳
端部検出器や電子回路内蔵型耳端部検出器等を用いてい
るが、これら検出器の真空雰囲気中での使用は極めて困
難である。例えば、空気式耳端部検出器では真空チャン
バー内に空気を導入することにより真空度の悪化を招
き、電子回路内蔵型耳端部検出器では回路内部の蓄熱等
による検出器の破損を招くという問題を有する。

【０００５】よって、従来の技術では、真空蒸着装置操
作者が蛇行量を目視で確認し、巻出部を蛇行量に相当す
る距離分を大気圧雰囲気中から手動でフィルム幅方向へ
移動し、蛇行を修正していた。しかし、真空チャンバー
内部という密閉された場所での蛇行量を把握することは
極めて困難であり、真空チャンバーの壁に設けられた小
窓からでは、シート状物との距離も離れており、かつ、
真空蒸着器操作者も他の作業に追われ常時、蛇行量を観
察しているわけにはいかなかった。

【０００６】よって、蛇行を確認しきれずにそのままシ
ート状物を巻取ってしまい、巻上がりシート状物の巻姿
不良による欠点につながり、また、異常に大きな蛇行発
生によるシート状物と真空蒸着装置との擦過からシート
状物切れにつながることもある。つまり、従来技術で
は、迅速な蛇行修正が不可能であり、フィルムの安定搬
送が困難であった。また、大気圧雰囲気中で用いる蛇行
修正装置に関して、シート状物幅が頻繁に変わるような
場合、その度に、装置操作者が耳端部検出器の設置場所
まで足を運びシート状物幅に対応した基準位置設定を手
動で行っていた。この時、耳端部検出器が駆動系近辺に
設置されていた場合、危険を伴い、かつ、手動で基準位
置設定を行うため、設定ミス等もあった。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記の問題
に鑑みてなされたもので、真空雰囲気中で迅速な蛇行修
正を行い走行シート状物の安定搬送の実現と、また、真
空雰囲気中に限らず、シート状物幅が頻繁に変わるよう
な場合の蛇行修正装置として、容易に耳端部検出器の基
準位置設定を行えるシート状物の蛇行修正装置および蛇
行修正方法を提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記課題を達成するた
め、本発明の蛇行修正装置は、シート状物巻出部と、該
シート状物巻出部から巻き出されたシート状物の耳端部
を検出する耳端部検出器と、該耳端部検出器の信号を処
理する演算部と、該演算部からの信号により作動するシ
ート状物巻出部移動手段とを備え、前記シート状物巻出
部を、シート状物巻出部スライド機構および巻出部ガイ
ド機構を介して、前記シート状物巻出部移動手段によ
り、シート状物の蛇行を修正する方向に可動させてシー
ト状物の蛇行を修正する装置において、真空チャンバー
内に、前記シート状物巻出部、耳端部検出器、シート状
物巻出部スライド機構、および巻出部ガイド機構を装設
したことを特徴とする。

【０００９】また、蛇行修正装置の機構として、シート
状物搬送工程中の搬送ローラを斜行回転させる機構を有
した蛇行修正装置であってもよい。

【００１０】すなわち、本発明のシート状物の蛇行修正
装置の他の実施態様は、走行するシート状物の耳端部を
検出する耳端部検出器と、該耳端部検出器からの信号を
処理する演算部と、前記シート状物の進行方向に対して
斜行回転可能な機構を有する搬送ローラと、前記演算部
からの信号により作動する搬送ローラ斜行回転手段を備
え、前記搬送ローラを、搬送ローラ斜行回転機構を介し
て、前記搬送ローラ斜行回転手段により、シート状物の
蛇行を修正する方向に可動させてシート状物の蛇行を修
正する装置において、真空チャンバー内に、耳端部検出
器、搬送ローラ、および搬送ローラ斜行回転機構を装設
したことを特徴とする。

【００１１】ここで、真空雰囲気というのは、大気圧以
下の雰囲気であれば、いかなる真空度であってもよい。

【００１２】上記のシート状物の蛇行修正装置におい
て、耳端部検出器をシート状物幅方向に摺動可能に装設
したものであることが好ましい。

【００１３】さらに本発明の他の実施態様は、シート状
物巻出部と、該シート状物巻出部から巻き出されたシー
ト状物の耳端部を検出する耳端部検出器と、該耳端部検
出器の信号を処理する演算部と、該演算部からの信号に
より作動するシート状物巻出部移動手段とを備え、前記
シート状物巻出部を、シート状物巻出部スライド機構お
よび巻出部ガイド機構を介して、前記シート状物巻出部
移動手段により、シート状物の蛇行を修正する方向に可
動させてシート状物の蛇行を修正する装置において、前
記耳端部検出器をシート状物幅方向に摺動可能に装設し
たことを特徴とするシート状物の蛇行修正装置である。

【００１４】さらにまた、本発明の他の実施態様は、走
行するシート状物の耳端部を検出する耳端部検出器と、
該耳端部検出器からの信号を処理する演算部と、前記シ
ート状物の進行方向に対して斜行回転可能な機構を有す
る搬送ローラと、前記演算部からの信号により作動する
搬送ローラ斜行回転手段を備え、前記搬送ローラを、搬
送ローラ斜行回転機構を介して、前記搬送ローラ斜行回
転手段により、シート状物の蛇行を修正する方向に可動
させてシート状物の蛇行を修正する装置において、前記
耳端部検出器をシート状物幅方向に摺動可能に装設した
ことを特徴とするシート状物の蛇行修正装置である。

【００１５】さらに、前記耳端部検出器は、耳端部検出
器ガイド機構および耳端部検出器スライド機構を介し
て、耳端部検出器移動手段により、シート状物幅方向に
摺動可能にされたものであることが好ましい。

【００１６】さらにまた、前記耳端部検出器が、耳端部
検出器ガイド機構と耳端部検出器スライド機構を有する
と共に、耳端部検出器移動手段が前記スライド機構に連
結され、かつ該検出器の現在位置を検出する手段と、検
出した現在位置を表示する表示手段を有することが好ま
しい。また、前記耳端部検出器を遠隔操作でシート状物
幅方向への移動することが可能であることが好ましい。

【００１７】前記耳端部検出器は、真空雰囲気中で破損
や故障等なく、また真空度を悪化させることなく作動す
る検出器であれば如何なるものであってもよいが、光フ
ァイバケーブルを信号の伝送路とした光電式検出器を用
いることがより好ましい。

【００１８】さらに、前記シート状物の蛇行量が大き
く、蛇行修正装置の修正範囲を越え、前記シート状物耳
端部が前記シート状物耳端部検出器と干渉しようとする
場合、該検出器をシート状物幅方向外側へ自動退避させ
ることが好ましい。

【００１９】本発明は、例えば連続式、または半連続式
真空蒸着装置内走行フィルムへ金属を蒸着する際に、該
フィルムが偏位蛇行するのを修正する装置であって、製
膜産業、真空加工産業等の各分野で利用されるものであ
る。

【００２０】

【発明の実施の形態】以下、本発明を図面に示す一実施
例に基づき詳細に説明する。

【００２１】図１は、本発明のシート状物蛇行修正装置
が組み込まれた真空蒸着装置の一実施例を模式的に示し
た概略斜視図である。

【００２２】図１において、真空チャンバー２の内部は
真空雰囲気中にあり、シート状物原反４が巻出軸１１に
装着されている。巻出軸１１は巻出部５に支承され、直
動ガイドなどの巻出部スライド機構６により、シート状
物幅方向の摺動が可能となっている。該巻出部スライド
機構６は、図の実施例においては直動ガイドを用いてい
る。

【００２３】また、巻出部５は、巻出部ガイド機構７に
連結され、巻出部ガイド機構延長軸の巻出部ガイド機構
端部９を摺動部シール８により、リーク無く大気圧雰囲
気中へ取り出している。さらに、該巻出部ガイド機構端
部９は、巻出部移動手段１０とベルトで共に連結されて
いる。

【００２４】図１においては、巻出部ガイド機構７とし
て、ボールネジを用い、巻出部移動手段１０としてモー
タを用い、該巻出部移動手段１０により巻出部ガイド機
構７を介して巻出部のシート状物原反の幅方向への移動
を実現している。

【００２５】以上は、真空雰囲気中での蛇行修正を可能
とする本発明の蛇行修正装置としての基本構成である
が、さらに好ましい構成としては、前記耳端部検出器
が、耳端部検出器ガイド機構および耳端部検出器スライ
ド機構を介して、耳端部検出器移動手段により、シート
状物幅方向に摺動可能にした蛇行修正装置にすることが
好ましい。以下、詳細を図２を用いて説明する。

【００２６】図２は、図１のＡ−Ａ矢視断面図である。
耳端部検出器１は、シート状物の耳端部位置を検出する
ためのものである。該耳端部検出器１は部材１９に取り
付けられている。部材１９は、耳端部検出器スライド機
構１６に取り付けられており、シート状物幅方向への摺
動が可能となっている。耳端部検出器スライド機構１６
は、図の実施例においては直動ガイドを用いている。

【００２７】また、耳端部検出器１をシート状物幅方向
へ移動させるための手段として、耳端部ガイド機構１５
を前記部材１９に取り付け、前記耳端部検出器ガイド機
構１５の延長軸の耳端部検出器ガイド機構軸端端部に耳
端部検出器移動手段１７をカップリング２０により共に
連結している。さらに、前記耳端部検出器１のシート状
物幅方向の現在位置を検出する検出手段１８は、耳端部
検出器移動手段１７とベルトにより連結されている。

【００２８】図２の実施例においては、耳端部検出器ガ
イド機構１５として、ボールネジを用い、耳端部検出器
移動手段１７としてモータを用い、耳端部検出器１の現
在位置検出手段１８として、アブソリュートエンコーダ
を用いており、該耳端部検出器移動手段１７により耳端
部検出器ガイド機構１５を介して耳端部検出器１をシー
ト状物原反の幅方向への移動を実現している。

【００２９】また、耳端部検出器１からの信号は、図１
に示すように、真空フランジ３を介して大気圧雰囲気中
へ取り出され、演算部１２へ送信される。真空チャンバ
ー２の外部には本蛇行修正装置の制御を行うための演算
部１２が設置されており、前記耳端部検出器１の現在位
置検出手段１８からの検出信号により、現在位置を表示
する現在位置表示手段１３と、耳端部検出器１をシート
状物幅方向へ移動するための押しボタン１４等が取り付
けられている。

【００３０】ここで、蛇行修正装置の機構としては、図
１の例に限定されるものではなく、例えば図４に示すフ
ィルム搬送工程中の搬送ローラを斜行回転させる機構の
ものであってもよい。また、巻取部をフィルム幅方向へ
移動させるものであってもよい。

【００３１】また、巻出部移動手段も特に限定されず、
シート状物原反４を任意の精度で動かし得るものであれ
ば如何なるものであってもよい。耳端部検出器移動手段
１７および耳端部検出器１も特に限定されず、真空雰囲
気中で任意の機能を発揮するものであれば如何なるもの
であってもよい。耳端部検出器現在位置検出手段１８も
真空雰囲気中で任意の機能を発揮するものであれば如何
なるものであってもよいが、絶対位置検出ができること
からアブソリュートエンコーダを用いるのが好ましい。

【００３２】次に、以上のように構成された蛇行修正装
置の作用を説明する。

【００３３】まず、耳端部検出器現在位置検出手段１８
からの検出結果に基づく現在位置表示手段１３により耳
端部検出器１の現在位置を確認しながら、演算部１２に
設けられた押しボタン１４を押すことにより、耳端部検
出器１がシート状物幅に対応した所定の基準位置へ移動
させる。この作用は、真空雰囲気中に限定されず、大気
圧雰囲気中でも同様である。また、真空雰囲気中で使用
する場合には、真空チャンバー２内部の真空度を悪化さ
せず、かつ蓄熱も最小限にでき、耳端部検出器１の破損
を防止できることから耳端部検出器１には、光ファイバ
ーケーブル２３を信号の伝送路として用いることがより
好ましい。

【００３４】そして、真空蒸着装置の運転を始め、シー
ト状物が走行し、蛇行が発生すると、耳端部検出器１
が、フィルム耳端部を検出し、その信号を大気圧雰囲気
中に設置されている演算部１２で演算処理し、その結果
を巻出部移動手段１０に送信し、巻出部ガイド機構７を
動作させ、巻出部５をシート状物幅方向へ移動させ、常
にシート状物の耳端部が所定の基準位置になるよう蛇行
量を修正する。ここで、一定時間経過しても蛇行が修正
されない場合、または、蛇行量が異常に大きく蛇行修正
装置の修正範囲を越え、シート状物の耳端部が耳端部検
出器１と干渉し、シート状物が該検出器と擦過して破れ
る危険が発生した場合は、演算部１２から危険信号を耳
端部検出器移動手段１７へ送信し、耳端部検出器１をフ
ィルム幅方向外側へ自動退避させるよう、制御を行う。
これら作用は、真空雰囲気中に限定されず、大気圧中で
も同様である図４および図５は、蛇行修正装置の機構と
して、シート状物搬送工程中の搬送ローラを斜行回転さ
せる機構を有した蛇行修正装置の例を示すもので、図４
は上面図、図５は側面図である。

【００３５】図４、図５において、シート状物の搬送ロ
ーラ２４Ａ、２４Ｂは、架台２５上でともに平行な位置
関係で装設されている。架台２５は斜行回転機構２６に
より支承されている。斜行回転手段２７は架台２５に連
結されており、前記演算部からの信号により、斜行回転
手段２７を作動させ、支点２８を中心に架台２５ごと搬
送ローラ２４Ａ、２４Ｂを斜行回転させ、蛇行修正を行
うものである。

【００３６】

【実施例】以下、真空雰囲気中で使用した実施例で説明
する。図１および図２において、真空チャンバー２の内
部の真空度は１×１０^-2〜１×１０^-4ｔｏｒｒであり、
シート状物原反４は透明フィルムである。巻出部スライ
ド機構６には、直動ガイドを用い、巻出部ガイド機構７
には、ボールねじを用いた。巻出部移動手段１０には、
モータを用い、巻出部ガイド機構端部９とベルトにて連
結した。耳端部検出器１には、透明フィルムを安定検出
するために散乱光透過型光ファイバセンサを用いた。ま
た、耳端部検出器スライド機構１６には、直動ガイドを
用い、耳端部検出器ガイド機構１５には、ボールねじを
用いた。耳端部検出器移動手段１７にはモータを用い、
カップリング２０にてボールねじと連結した。また、耳
端部検出器現在位置検出手段には、アブソリュートエン
コーダを用い、ベルトにて耳端部検出器移動手段１７の
モータと連結した。

【００３７】演算部１２上には、耳端部検出器１を大気
圧雰囲気中から遠隔操作を行うための押しボタン１４と
該検出器１のフィルム幅方向の現在位置表示手段１３と
してデジタル表示器が組み込まれている。

【００３８】図３は、図２のＢ−Ｂ矢視断面図である。
散乱光透過型光ファイバセンサは合計２つ用い、該光フ
ァイバセンサ１Ａと１ＢのＯＮ・ＯＦＦの組み合わせで
現在のフィルムの位置を判断し、フィルム耳端部片側を
常時検出している。このように、耳端部検出器をフィル
ム耳端部の片側にまとめることで光ファイバーケーブル
２３の引き回しを簡略化でき、またケーブルガイド２１
を用い、光ファイバケーブル２３の捩れ、切断を防止す
る構造にした。また、ジャバラ２２により摺動部である
直動ガイド１６とボールねじ１５を覆い、蒸発金属等の
付着による摺動不良を解消した。

【００３９】また、巻出部のシート状物幅方向移動速度
と移動量より決定した値として、前記光ファイバセンサ
１Ａと１Ｂが１０秒以上ＯＮの場合、蛇行修正が不可能
となり、フィルムと前記光ファイバセンサ１Ａ、１Ｂが
干渉すると判断させ、該光ファイバ１Ａ、１Ｂをフィル
ム幅方向外側へ自動退避するように設定した。

【００４０】上記のような装置構成にした結果、真空チ
ャンバー内部の真空度を悪化させることなく、かつ真空
チャンバー内部に導入した各構成要素の破損等なく、大
気圧雰囲気中で用いられる蛇行修正装置と同様の機能お
よび蛇行修正効果を発揮した。

【００４１】

【発明の効果】本発明の蛇行修正装置により、以下に述
べる優れた効果を奏する。

【００４２】（イ）大気圧から隔離された真空チャンバ
ー内へ耳端部検出器および巻出部ガイド機構と巻出部ス
ライド機構を装設するので、真空雰囲気中で使用するこ
とができ、例えば真空蒸着装置内走行フィルムの蛇行を
迅速に修正し、該フィルムの安定搬送を行える。

【００４３】（ロ）前記耳端部検出器に、光ファイバケ
ーブルを信号の伝送路とした光電式検出器を用いるの
で、真空チャンバー内部の真空度を悪化させることな
く、また、蓄熱等による故障や破損なくシート状物の耳
端部を安定検出することが可能となる。

【００４４】（ハ）耳端部検出器が遠隔操作でシート状
物幅方向への移動が可能であり、かつ、耳端部検出器の
フィルム幅方向現在位置の表示手段を併せ持つことによ
り、例えば、真空蒸着装置において、真空チャンバー内
部の所定の真空度まで減圧を行うのに３０分〜４０分程
度要するわけであるが、減圧後でも、また、減圧中であ
っても、外部（大気圧雰囲気中）から該耳端部検出器の
位置設定を行える。さらには、真空雰囲気中に限定され
ず大気圧雰囲気中で、シート状物が走行している最中、
耳端部検出器の位置を移動させる必要が生じた場合や、
シート状物幅の変更が頻繁にある場合であっても遠隔操
作により容易に該耳端部検出器の位置設定を行える。こ
れにより、生産装置の運転サイクルが早まり、生産性向
上に貢献できる。

【００４５】（ニ）シート状物の蛇行量が大きく、蛇行
修正装置の修正範囲を越え、該シート状物耳端部が前記
シート状物耳端部検出器と干渉しようとする場合、該検
出器を前記シート状物幅方向外側へ自動退避させる機構
を有するので、該検出器と前記シート状物との干渉がな
くなり、シート状物および、前記検出器の破損を防止す
ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のシート状物蛇行修正装置が組み込まれ
た真空蒸着装置の一実施例を模式的に示した概略斜視図
である。

【図２】図１のＡ−Ａ矢視断面図である。

【図３】図２のＢ−Ｂ矢視断面図である。

【図４】本発明のシート状物蛇行修正装置の他の実施態
様の一例を模式的に示した概略上面図である。

【図５】図４に示す装置の側面図である。

【符号の説明】

１：耳端部検出器１Ａ、１Ｂ：耳端部検出器２：真空チャンバー３：真空フランジ４：シート状物原反５：巻出部６：巻出部スライド機構７：巻出部ガイド機構８：摺動部シール９：巻出部ガイド機構端部１０：巻出部移動手段１１：巻出軸１２：演算部１３：現在位置表示手段１４：押しボタン１５：耳端部検出器ガイド機構１６：耳端部検出器スライド機構１７：耳端部検出器移動手段１８：耳端部検出器現在位置検出手段１９：部材２０：カップリング２１：ケーブルガイド２２：ジャバラ２３：光ファイバーケーブル２４Ａ，２４Ｂ：搬送ローラ２５：架台２６：斜行回転機構２７：斜行回転手段２８：支点

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】シート状物巻出部と、該シート状物巻出部
から巻き出されたシート状物の耳端部を検出する耳端部
検出器と、該耳端部検出器の信号を処理する演算部と、
該演算部からの信号により作動するシート状物巻出部移
動手段とを備え、前記シート状物巻出部を、シート状物
巻出部スライド機構および巻出部ガイド機構を介して、
前記シート状物巻出部移動手段により、シート状物の蛇
行を修正する方向に可動させてシート状物の蛇行を修正
する装置において、真空チャンバー内に、前記シート状
物巻出部、耳端部検出器、シート状物巻出部スライド機
構、および巻出部ガイド機構を装設したことを特徴とす
るシート状物の蛇行修正装置。
【請求項２】走行するシート状物の耳端部を検出する耳
端部検出器と、該耳端部検出器からの信号を処理する演
算部と、前記シート状物の進行方向に対して斜行回転可
能な機構を有する搬送ローラと、前記演算部からの信号
により作動する搬送ローラ斜行回転手段を備え、前記搬
送ローラを、搬送ローラ斜行回転機構を介して、前記搬
送ローラ斜行回転手段により、シート状物の蛇行を修正
する方向に可動させてシート状物の蛇行を修正する装置
において、真空チャンバー内に、耳端部検出器、搬送ロ
ーラ、および搬送ローラ斜行回転機構を装設したことを
特徴とするシート状物の蛇行修正装置。
【請求項３】耳端部検出器をシート状物幅方向に摺動可
能に装設したことを特徴とする請求項１または２に記載
のシート状物の蛇行修正装置。
【請求項４】シート状物巻出部と、該シート状物巻出部
から巻き出されたシート状物の耳端部を検出する耳端部
検出器と、該耳端部検出器の信号を処理する演算部と、
該演算部からの信号により作動するシート状物巻出部移
動手段とを備え、前記シート状物巻出部を、シート状物
巻出部スライド機構および巻出部ガイド機構を介して、
前記シート状物巻出部移動手段により、シート状物の蛇
行を修正する方向に可動させてシート状物の蛇行を修正
する装置において、前記耳端部検出器をシート状物幅方
向に摺動可能に装設したことを特徴とするシート状物の
蛇行修正装置。
【請求項５】走行するシート状物の耳端部を検出する耳
端部検出器と、該耳端部検出器からの信号を処理する演
算部と、前記シート状物の進行方向に対して斜行回転可
能な機構を有する搬送ローラと、前記演算部からの信号
により作動する搬送ローラ斜行回転手段を備え、前記搬
送ローラを、搬送ローラ斜行回転機構を介して、前記搬
送ローラ斜行回転手段により、シート状物の蛇行を修正
する方向に可動させてシート状物の蛇行を修正する装置
において、前記耳端部検出器をシート状物幅方向に摺動
可能に装設したことを特徴とするシート状物の蛇行修正
装置。
【請求項６】前記耳端部検出器が、耳端部検出器ガイド
機構および耳端部検出器スライド機構を介して、耳端部
検出器移動手段により、シート状物幅方向に摺動可能に
したことを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の
シート状物の蛇行修正装置。
【請求項７】耳端部検出器のシート状物幅方向の現在位
置を検出する検出手段と、検出した現在位置を表示する
表示手段を有することを特徴とする請求項１〜６のいず
れかに記載のシート状物の蛇行修正装置。
【請求項８】耳端部検出器に、光ファイバケーブルを信
号の伝送路とした光電式検出器を用いることを特徴とす
る請求項１〜７のいずれかに記載の蛇行修正装置。
【請求項９】耳端部検出器を、前記シート状物の幅方向
外側の退避位置に摺動可能にしたことを特徴とする請求
項１〜８のいずれかに記載のシート状物の蛇行修正装
置。
【請求項１０】走行するシート状物の耳端部位置を検出
する耳端部検出器による検出結果に基づいて、シート状
物を、該シート状物の蛇行を修正する方向に可動させて
シート状物の蛇行を修正する方法において、前記耳端部
検出器を遠隔操作でシート状物幅方向へ移動させるよう
にしたことを特徴とするシート状物の蛇行修正方法。
【請求項１１】前記シート状物の蛇行量が大きい場合
に、耳端部検出器を前記シート状物の幅方向外側へ自動
退避させることを特徴とする請求項１０記載のシート状
物の蛇行修正方法。