JPH09309108A - ワイヤーソー用シームレスエンドレスワイヤー - Google Patents
ワイヤーソー用シームレスエンドレスワイヤーInfo
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- JPH09309108A JPH09309108A JP12802496A JP12802496A JPH09309108A JP H09309108 A JPH09309108 A JP H09309108A JP 12802496 A JP12802496 A JP 12802496A JP 12802496 A JP12802496 A JP 12802496A JP H09309108 A JPH09309108 A JP H09309108A
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B21—MECHANICAL METAL-WORKING WITHOUT ESSENTIALLY REMOVING MATERIAL; PUNCHING METAL
- B21B—ROLLING OF METAL
- B21B5/00—Extending closed shapes of metal bands by rolling
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B21—MECHANICAL METAL-WORKING WITHOUT ESSENTIALLY REMOVING MATERIAL; PUNCHING METAL
- B21B—ROLLING OF METAL
- B21B3/00—Rolling materials of special alloys so far as the composition of the alloy requires or permits special rolling methods or sequences ; Rolling of aluminium, copper, zinc or other non-ferrous metals
- B21B3/02—Rolling special iron alloys, e.g. stainless steel
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B21—MECHANICAL METAL-WORKING WITHOUT ESSENTIALLY REMOVING MATERIAL; PUNCHING METAL
- B21B—ROLLING OF METAL
- B21B45/00—Devices for surface or other treatment of work, specially combined with or arranged in, or specially adapted for use in connection with, metal-rolling mills
- B21B45/004—Heating the product
Abstract
(57)【要約】
【課題】 半導体ウェハ、ガラス、セラミックスなどを
切断するためのワイヤーソー用のワイヤーであって、断
線の原因となる接合部のない、シームレスエンドレスワ
イヤーを提供する。 【解決手段】 接合部のないリング状の材料から、圧延
または伸線加工により製造されていることを特徴とする
ワイヤーソー用シームレスエンドレスワイヤーであり、
必要に応じ該ワイヤーの表面に砥粒が固着されている。 【効果】 切断加工に際してワイヤーの交換作業回数を
減らし、ワイヤーカットの作業効率が向上する。ワイヤ
ーの全長にわたり均一な金属組織および強度を有するの
で、断線によるトラブルが著しく減少する。従来のワイ
ヤーよりも細径化できるため切断代が低減し、また従来
と同等の径であれば張力を大にして切断能率を向上させ
ることができる。
切断するためのワイヤーソー用のワイヤーであって、断
線の原因となる接合部のない、シームレスエンドレスワ
イヤーを提供する。 【解決手段】 接合部のないリング状の材料から、圧延
または伸線加工により製造されていることを特徴とする
ワイヤーソー用シームレスエンドレスワイヤーであり、
必要に応じ該ワイヤーの表面に砥粒が固着されている。 【効果】 切断加工に際してワイヤーの交換作業回数を
減らし、ワイヤーカットの作業効率が向上する。ワイヤ
ーの全長にわたり均一な金属組織および強度を有するの
で、断線によるトラブルが著しく減少する。従来のワイ
ヤーよりも細径化できるため切断代が低減し、また従来
と同等の径であれば張力を大にして切断能率を向上させ
ることができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウェハ、ガ
ラス、セラミックスなどを切断するためのワイヤーソー
用のワイヤーに関するものである。
ラス、セラミックスなどを切断するためのワイヤーソー
用のワイヤーに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】例えば、半導体ウェハの製造工程におけ
る単結晶インゴットのスライス手段として、ワイヤーソ
ーを用いる方法がある。この方法によると、多数枚のウ
ェハが同時切断により得られ、かつ切断時の取代が小さ
いので、特に大径のインゴットをスライス切断する際
に、より多くのウェハを得ることができ有利である。
る単結晶インゴットのスライス手段として、ワイヤーソ
ーを用いる方法がある。この方法によると、多数枚のウ
ェハが同時切断により得られ、かつ切断時の取代が小さ
いので、特に大径のインゴットをスライス切断する際
に、より多くのウェハを得ることができ有利である。
【０００３】従来のワイヤソーによるスライス切断法の
例を図５に示す。ワイヤー２１を複数のガイド棒２３に
掛け渡し、被切断材２２の切断ピッチに合わせた間隔で
多重に巻き付け、巻出しリール２４から巻き出しつつ、
巻取りリール２５で巻き取っている。この状態で、切刃
となる砥粒は、スラリーとして加工液とともに供給され
るか、あるいは電着などによりワイヤー２１に固着され
ており、被切断材２２をガイド棒２３の間に矢印のよう
に移動させて切断する。巻出しリール２４からワイヤー
２１の巻き出しが終わると、ワイヤー２１を交換しガイ
ド棒２３に巻き直す必要がある。
例を図５に示す。ワイヤー２１を複数のガイド棒２３に
掛け渡し、被切断材２２の切断ピッチに合わせた間隔で
多重に巻き付け、巻出しリール２４から巻き出しつつ、
巻取りリール２５で巻き取っている。この状態で、切刃
となる砥粒は、スラリーとして加工液とともに供給され
るか、あるいは電着などによりワイヤー２１に固着され
ており、被切断材２２をガイド棒２３の間に矢印のよう
に移動させて切断する。巻出しリール２４からワイヤー
２１の巻き出しが終わると、ワイヤー２１を交換しガイ
ド棒２３に巻き直す必要がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ワイヤーの交換作業に
は時間と労力を要するので、ワイヤーの両端を接合した
エンドレスワイヤーの使用例もある。しかし、接合部で
断線しやすく、断線すると切断作業を停止し、ワイヤー
の交換に多くの時間を割かざるを得ないという問題があ
った。
は時間と労力を要するので、ワイヤーの両端を接合した
エンドレスワイヤーの使用例もある。しかし、接合部で
断線しやすく、断線すると切断作業を停止し、ワイヤー
の交換に多くの時間を割かざるを得ないという問題があ
った。
【０００５】本発明は、半導体ウェハ、ガラス、セラミ
ックスなどを切断するためのワイヤーソー用エンドレス
ワイヤーであって、断線の原因となる接合部のない、シ
ームレスエンドレスワイヤーを提供することを目的とす
る。
ックスなどを切断するためのワイヤーソー用エンドレス
ワイヤーであって、断線の原因となる接合部のない、シ
ームレスエンドレスワイヤーを提供することを目的とす
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明は、接合部のないリング状の材料から、圧延ま
たは伸線加工により製造されていることを特徴とするワ
イヤーソー用シームレスエンドレスワイヤーである。そ
して、必要に応じ、該ワイヤーの表面に砥粒が固着され
ている。
の本発明は、接合部のないリング状の材料から、圧延ま
たは伸線加工により製造されていることを特徴とするワ
イヤーソー用シームレスエンドレスワイヤーである。そ
して、必要に応じ、該ワイヤーの表面に砥粒が固着され
ている。
【０００７】
【発明の実施の形態】本発明のエンドレスワイヤーは、
継ぎ目のないシームレスエンドレスワイヤーである。材
料としては、従来のワイヤーと同様、ピアノ線などを採
用することができる。本発明のワイヤーは継ぎ目がな
く、かつ、接合部のないリング状の材料から圧延または
伸線加工により製造されているので、全長にわたり一定
の高強度を有している。
継ぎ目のないシームレスエンドレスワイヤーである。材
料としては、従来のワイヤーと同様、ピアノ線などを採
用することができる。本発明のワイヤーは継ぎ目がな
く、かつ、接合部のないリング状の材料から圧延または
伸線加工により製造されているので、全長にわたり一定
の高強度を有している。
【０００８】また、本発明のワイヤーは、圧延加工にお
いては圧延ロールのカリバー形状により、伸線加工にお
いては割りダイスの形状により、ワイヤーの直径および
断面形状を定めることができる。断面形状としては、円
形、楕円形、三角形、四角形といった所望の形状に成形
することができる。また、圧延加工と伸線加工を組合わ
せた加工とすることもできる。
いては圧延ロールのカリバー形状により、伸線加工にお
いては割りダイスの形状により、ワイヤーの直径および
断面形状を定めることができる。断面形状としては、円
形、楕円形、三角形、四角形といった所望の形状に成形
することができる。また、圧延加工と伸線加工を組合わ
せた加工とすることもできる。
【０００９】本発明のシームレスエンドレスワイヤー
は、全長にわたり一定の高強度を有しているので、ワイ
ヤーソーとして切断作業に使用中、従来のエンドレスワ
イヤーのように継ぎ目で破断することがなく、断線頻度
が著しく減少する。そして、ワイヤーを細径化するがで
き、細径化により、被切断材の切断代減少という効果も
得られる。従来のワイヤーと同じ径のものは、張力を大
にすることが可能で切断能率が向上する。
は、全長にわたり一定の高強度を有しているので、ワイ
ヤーソーとして切断作業に使用中、従来のエンドレスワ
イヤーのように継ぎ目で破断することがなく、断線頻度
が著しく減少する。そして、ワイヤーを細径化するがで
き、細径化により、被切断材の切断代減少という効果も
得られる。従来のワイヤーと同じ径のものは、張力を大
にすることが可能で切断能率が向上する。
【００１０】ワイヤーソーを用いて切断加工するとき、
切刃となる砥粒は、スラリーとして加工液とともに供給
するか、あるいは電着などによりワイヤーに砥粒を固着
させる。切断方式としては、スラリーを供給しながら、
ワイヤーの表面に砥粒を付着させる遊離砥粒方式と、電
着法などによりワイヤーにあらかじめ砥粒を固着させる
固定砥粒方式がある。本発明のワイヤーはいずれにも使
用可能である。固定砥粒方式の場合の例を図１に示す。
図１は、断面が円形のワイヤー１の表面に、砥粒２を電
着法で固着したものである。砥粒としては、ダイヤモン
ド砥粒やＣＢＮ砥粒などを採用することができる。
切刃となる砥粒は、スラリーとして加工液とともに供給
するか、あるいは電着などによりワイヤーに砥粒を固着
させる。切断方式としては、スラリーを供給しながら、
ワイヤーの表面に砥粒を付着させる遊離砥粒方式と、電
着法などによりワイヤーにあらかじめ砥粒を固着させる
固定砥粒方式がある。本発明のワイヤーはいずれにも使
用可能である。固定砥粒方式の場合の例を図１に示す。
図１は、断面が円形のワイヤー１の表面に、砥粒２を電
着法で固着したものである。砥粒としては、ダイヤモン
ド砥粒やＣＢＮ砥粒などを採用することができる。
【００１１】つぎに、本発明のシームレスエンドレスワ
イヤーの製造法について例示する。まず、ピアノ線など
の高張力鋼からなる素材リングを製造し、図２（ａ）の
ように、該リング４を、誘導コイル５、圧延ロール６、
走行ローラー７、およびガイドローラー８からなる圧延
設備に装着する。なお、誘導コイル５は半割り型のもの
とし、素材リング４をコイル内に貫通させる。素材リン
グ４は、溶鋼の鋳造により、また、板材から切り出し、
あるいは管材を輪切りにする等の手段で製造することが
できる。
イヤーの製造法について例示する。まず、ピアノ線など
の高張力鋼からなる素材リングを製造し、図２（ａ）の
ように、該リング４を、誘導コイル５、圧延ロール６、
走行ローラー７、およびガイドローラー８からなる圧延
設備に装着する。なお、誘導コイル５は半割り型のもの
とし、素材リング４をコイル内に貫通させる。素材リン
グ４は、溶鋼の鋳造により、また、板材から切り出し、
あるいは管材を輪切りにする等の手段で製造することが
できる。
【００１２】図２（ａ）の圧延設備において、素材リン
グ４を、誘導コイル５により加熱した後、圧延ロール６
で圧延する。圧延による伸張分は、走行ローラー７を矢
印の方向に走行させることで吸収する。そして、走行ロ
ーラー７およびガイドローラー８により方向転換した未
圧延部をすべて圧延した状態で、１パスの圧延を完了し
中間リング３とする。また、圧延ロール６に、順次小径
となる複数のカリバーを形成しておき、中間リング３を
小径カリバーに順次移行させ、同様にして２パス以上の
圧延を行い、中間リング３のワイヤー径を細径化するこ
ともできる。また、圧延ロール６を組み替えて２パス以
上圧延することもできる。
グ４を、誘導コイル５により加熱した後、圧延ロール６
で圧延する。圧延による伸張分は、走行ローラー７を矢
印の方向に走行させることで吸収する。そして、走行ロ
ーラー７およびガイドローラー８により方向転換した未
圧延部をすべて圧延した状態で、１パスの圧延を完了し
中間リング３とする。また、圧延ロール６に、順次小径
となる複数のカリバーを形成しておき、中間リング３を
小径カリバーに順次移行させ、同様にして２パス以上の
圧延を行い、中間リング３のワイヤー径を細径化するこ
ともできる。また、圧延ロール６を組み替えて２パス以
上圧延することもできる。
【００１３】ワイヤー径の細径化により中間リング３は
長尺化するので、図２（ｂ）のように走行ローラー７を
奇数の複数個に組み替え、隣接する走行ローラー７を互
いに逆方向に走行させることで、圧延による伸張分を吸
収させることもできる。したがって、このような圧延設
備により製品サイズまで圧延することも可能である。た
だし、走行ローラー７の走行距離には限度があるので、
得られるシームレスエンドレスワイヤーの長さは数１０
０ｍ程度までに限られ、中間リングまでの製造に適して
いる。
長尺化するので、図２（ｂ）のように走行ローラー７を
奇数の複数個に組み替え、隣接する走行ローラー７を互
いに逆方向に走行させることで、圧延による伸張分を吸
収させることもできる。したがって、このような圧延設
備により製品サイズまで圧延することも可能である。た
だし、走行ローラー７の走行距離には限度があるので、
得られるシームレスエンドレスワイヤーの長さは数１０
０ｍ程度までに限られ、中間リングまでの製造に適して
いる。
【００１４】ついで、中間リング３を、図３のような、
誘導コイル５、連続圧延ロール９、ピンチローラー１
１，１２、レーイングコーン１３、集束機１４、および
ガイドローラー８からなる連続圧延設備に装着して、製
品サイズまで圧延する。連続圧延ロール９は、順次小径
のカリバーを有する複数のロールを配列してなり、１パ
スで製品サイズまで圧延できるが、最終ロール前に冷却
ノズル１０を設けて冷却し、必要に応じてさらにデスケ
ール処理を行い、冷間圧延仕上げとすることもできる。
誘導コイル５、連続圧延ロール９、ピンチローラー１
１，１２、レーイングコーン１３、集束機１４、および
ガイドローラー８からなる連続圧延設備に装着して、製
品サイズまで圧延する。連続圧延ロール９は、順次小径
のカリバーを有する複数のロールを配列してなり、１パ
スで製品サイズまで圧延できるが、最終ロール前に冷却
ノズル１０を設けて冷却し、必要に応じてさらにデスケ
ール処理を行い、冷間圧延仕上げとすることもできる。
【００１５】圧延後のエンドレスワイヤー１は、ピンチ
ローラー１１でレーイングコーン１３に導入し、螺旋状
に巻いて集束機１４に集束する。集束機１４の下部から
は、ピンチローラー１２により一定速度でエンドレスワ
イヤー１を引出し、ガイドローラー８で方向転換させ
て、未圧延部をすべて圧延し、全長を同一径にした状態
で圧延完了する。そして、ガイドローラー８、誘導コイ
ル５、連続圧延ロール９からエンドレスワイヤー１を取
外し、ピンチローラー１１でレーイングコーン１３に導
入して螺旋状に巻き、最後にピンチローラー１１，１
２、およびレーイングコーン１３から取外してコイル状
の製品とする。
ローラー１１でレーイングコーン１３に導入し、螺旋状
に巻いて集束機１４に集束する。集束機１４の下部から
は、ピンチローラー１２により一定速度でエンドレスワ
イヤー１を引出し、ガイドローラー８で方向転換させ
て、未圧延部をすべて圧延し、全長を同一径にした状態
で圧延完了する。そして、ガイドローラー８、誘導コイ
ル５、連続圧延ロール９からエンドレスワイヤー１を取
外し、ピンチローラー１１でレーイングコーン１３に導
入して螺旋状に巻き、最後にピンチローラー１１，１
２、およびレーイングコーン１３から取外してコイル状
の製品とする。
【００１６】なお、図３の設備においても、連続圧延ロ
ール９の各ロールに順次小径となる複数のカリバーを形
成しておき、１パス圧延後のエンドレスワイヤーを小径
カリバーに移行させ、２パス以上の圧延を行うこともで
きる。さらに、圧延ロールを組替えることもできる。
ール９の各ロールに順次小径となる複数のカリバーを形
成しておき、１パス圧延後のエンドレスワイヤーを小径
カリバーに移行させ、２パス以上の圧延を行うこともで
きる。さらに、圧延ロールを組替えることもできる。
【００１７】また、図４のように、中間リング３を、誘
導コイル５、割りダイス１５、テンションリール１６、
ピンチローラー１１，１２、レーイングコーン１３、集
束機１４、およびガイドローラー８からなる引抜き設備
に装着して、伸線加工することもできる。割りダイス１
５とテンションリール１６は、１対でもよく、図示のよ
うにタンデムに並べてもよい。なお、誘導コイル５を設
けず、冷間伸線を行うこともできる。また、熱間あるい
は温間伸線と冷間伸線を組合わせて行うこともできる。
導コイル５、割りダイス１５、テンションリール１６、
ピンチローラー１１，１２、レーイングコーン１３、集
束機１４、およびガイドローラー８からなる引抜き設備
に装着して、伸線加工することもできる。割りダイス１
５とテンションリール１６は、１対でもよく、図示のよ
うにタンデムに並べてもよい。なお、誘導コイル５を設
けず、冷間伸線を行うこともできる。また、熱間あるい
は温間伸線と冷間伸線を組合わせて行うこともできる。
【００１８】割りダイス１５に通したワイヤーは、テン
ションリール１６に巻いて伸線加工を行い、図３の例と
同様、ピンチローラー１１、レーイングコーン１３、集
束機１４により螺旋状に巻き、ピンチローラー１２で引
出し、ガイドローラー８で方向転換させ、未加工部をす
べて伸線加工して全長同一径とした後、同様にしてコイ
ル状の製品とする。さらに、図３と図４を組合わせた圧
延引抜き設備により、中間リングからシームレスエンド
レスワイヤーを製造することもできる。
ションリール１６に巻いて伸線加工を行い、図３の例と
同様、ピンチローラー１１、レーイングコーン１３、集
束機１４により螺旋状に巻き、ピンチローラー１２で引
出し、ガイドローラー８で方向転換させ、未加工部をす
べて伸線加工して全長同一径とした後、同様にしてコイ
ル状の製品とする。さらに、図３と図４を組合わせた圧
延引抜き設備により、中間リングからシームレスエンド
レスワイヤーを製造することもできる。
【００１９】以上述べた製造法は、素材リング、中間リ
ングを、ともに接合部のないリング状の材料としている
が、これらを接合した材料とすることもできる。すなわ
ち、通常のワイヤーの両端を突合わせ接合して素材リン
グ４とした後、図２のような圧延設備に装着するか、あ
るいは、該設備に通常のワイヤーを装着した後、両端を
突合わせ接合して素材リング４とし、ついで加熱および
圧延を行う。すると、突合わせ接合部の金属組織は他の
部位と同様または類似の組織となって、得られる中間リ
ング３は接合部のないリング状の材料となる。
ングを、ともに接合部のないリング状の材料としている
が、これらを接合した材料とすることもできる。すなわ
ち、通常のワイヤーの両端を突合わせ接合して素材リン
グ４とした後、図２のような圧延設備に装着するか、あ
るいは、該設備に通常のワイヤーを装着した後、両端を
突合わせ接合して素材リング４とし、ついで加熱および
圧延を行う。すると、突合わせ接合部の金属組織は他の
部位と同様または類似の組織となって、得られる中間リ
ング３は接合部のないリング状の材料となる。
【００２０】加熱および圧延は１回でもよく、必要に応
じ２パス以上繰り返すこともできる。そして、得られた
中間リング３を、上記のように、図３のような設備によ
り圧延し、または図４のような設備により伸線加工し、
あるいは図３と図４を組合わせた設備により圧延および
伸線加工して、シームレスエンドレスワイヤーを製造す
ることができる。
じ２パス以上繰り返すこともできる。そして、得られた
中間リング３を、上記のように、図３のような設備によ
り圧延し、または図４のような設備により伸線加工し、
あるいは図３と図４を組合わせた設備により圧延および
伸線加工して、シームレスエンドレスワイヤーを製造す
ることができる。
【００２１】また、通常のワイヤーの両端を突合わせ接
合して中間リング３とした後、図３のような圧延設備に
装着するか、あるいは、該設備に通常のワイヤーを装着
した後、両端を突合わせ接合して中間リング３とし、つ
いで加熱および圧延を行うこともできる。すると、突合
わせ接合部の金属組織は他の部位と同様または類似の組
織となって、接合部のないリング状の材料が得られる。
この場合も、加熱および圧延は１回でもよく、必要に応
じ繰り返してもよい。その際、連続圧延ロール９の適宜
ロール間に誘導コイル５を設置して１パスで行うことも
でき、また、各ロールに順次小径となる複数のカリバー
を形成しておき、２パス以上圧延することもできる。
合して中間リング３とした後、図３のような圧延設備に
装着するか、あるいは、該設備に通常のワイヤーを装着
した後、両端を突合わせ接合して中間リング３とし、つ
いで加熱および圧延を行うこともできる。すると、突合
わせ接合部の金属組織は他の部位と同様または類似の組
織となって、接合部のないリング状の材料が得られる。
この場合も、加熱および圧延は１回でもよく、必要に応
じ繰り返してもよい。その際、連続圧延ロール９の適宜
ロール間に誘導コイル５を設置して１パスで行うことも
でき、また、各ロールに順次小径となる複数のカリバー
を形成しておき、２パス以上圧延することもできる。
【００２２】このようにして得られた接合部のないリン
グ状の材料から、圧延または伸線加工により、本発明の
シームレスエンドレスワイヤーを製造することができ
る。図３のような圧延設備により製造する場合は、連続
圧延ロール９の少なくとも最終ロール前までに、被圧延
材を上記のような接合部のない状態とし、少なくとも最
終ロールでの圧延により製品のワイヤーとすればよい。
なお、２パス以上圧延するときは、少なくとも最終パス
の最終ロール前までに接合部のない状態とすればよい。
グ状の材料から、圧延または伸線加工により、本発明の
シームレスエンドレスワイヤーを製造することができ
る。図３のような圧延設備により製造する場合は、連続
圧延ロール９の少なくとも最終ロール前までに、被圧延
材を上記のような接合部のない状態とし、少なくとも最
終ロールでの圧延により製品のワイヤーとすればよい。
なお、２パス以上圧延するときは、少なくとも最終パス
の最終ロール前までに接合部のない状態とすればよい。
【００２３】また、図４のような引き抜き設備により本
発明のシームレスエンドレスワイヤーを製造する場合
は、図２または図３のような圧延設備で、上記のように
して得られた接合部のないリング状の材料を、中間リン
グ３とすることができる。さらに、図３と図４を組合わ
せた設備により圧延および伸線加工して製造することも
できる。
発明のシームレスエンドレスワイヤーを製造する場合
は、図２または図３のような圧延設備で、上記のように
して得られた接合部のないリング状の材料を、中間リン
グ３とすることができる。さらに、図３と図４を組合わ
せた設備により圧延および伸線加工して製造することも
できる。
【００２４】本発明ワイヤーの製造に際し、例えば厚さ
５mmの板から、断面が１辺５mmの正方形で直径１ｍの素
材リングを切り出し、図２のような圧延設備により中間
リングを製造すると、ワイヤー直径１mmの場合でリング
周長は１００ｍとなる。そして、図３あるいは図４のよ
うな設備でさらに圧延または伸線加工すると、ワイヤー
直径１００μｍの場合、全長１０kmのシームレスエンド
レスワイヤーが得られる。
５mmの板から、断面が１辺５mmの正方形で直径１ｍの素
材リングを切り出し、図２のような圧延設備により中間
リングを製造すると、ワイヤー直径１mmの場合でリング
周長は１００ｍとなる。そして、図３あるいは図４のよ
うな設備でさらに圧延または伸線加工すると、ワイヤー
直径１００μｍの場合、全長１０kmのシームレスエンド
レスワイヤーが得られる。
【００２５】
【発明の効果】本発明のワイヤーは、全長にわたり均一
な金属組織および強度を有するシームレスエンドレスワ
イヤーであり、半導体ウェハ、ガラス、セラミックスな
どの切断加工に際して、ワイヤー交換作業が不要とな
り、また断線によるトラブルが著しく減少する。そし
て、従来のようにワイヤーを１回で使い捨てにするので
はなく、遊離砥粒方式の場合はワイヤー径が所定値に摩
耗するまで、固定砥粒方式の場合は砥粒が摩耗して切断
抵抗が所定値を超えるまで、有効に繰り返し使用するこ
とが可能である。さらに、強度の低い接合部を持たない
ため、従来のエンドレスワイヤーよりも細径化すること
が可能で、被切断材の切断代が低減し、また従来と同等
の径であれば張力を大にして切断能率を向上させること
ができる。
な金属組織および強度を有するシームレスエンドレスワ
イヤーであり、半導体ウェハ、ガラス、セラミックスな
どの切断加工に際して、ワイヤー交換作業が不要とな
り、また断線によるトラブルが著しく減少する。そし
て、従来のようにワイヤーを１回で使い捨てにするので
はなく、遊離砥粒方式の場合はワイヤー径が所定値に摩
耗するまで、固定砥粒方式の場合は砥粒が摩耗して切断
抵抗が所定値を超えるまで、有効に繰り返し使用するこ
とが可能である。さらに、強度の低い接合部を持たない
ため、従来のエンドレスワイヤーよりも細径化すること
が可能で、被切断材の切断代が低減し、また従来と同等
の径であれば張力を大にして切断能率を向上させること
ができる。
【図１】本発明ワイヤーの例を示す断面図である。
【図２】本発明ワイヤーの製造法の例を示す説明図であ
る。
る。
【図３】本発明ワイヤーの製造法の別の例を示す説明図
である。
である。
【図４】本発明ワイヤーの製造法の別の例を示す説明図
である。
である。
【図５】従来のワイヤーソーの使用例を示す斜視図であ
る。
る。
１…エンドレスワイヤー ２…砥粒 ３…中間リング ４…素材リング ５…誘導コイル ６…圧延ロール ７…走行ローラー ８…ガイドローラー ９…連続圧延ロール １０…冷却ノズル １１，１２…ピンチローラー １３…レーイングコー
ン １４…集束機 １５…割りダイス １６…テンションリール ２１…ワイヤー ２２…被切断材 ２３…ガイド棒 ２４…巻出しリール ２５…巻取りリール
ン １４…集束機 １５…割りダイス １６…テンションリール ２１…ワイヤー ２２…被切断材 ２３…ガイド棒 ２４…巻出しリール ２５…巻取りリール
Claims (2)
- 【請求項１】 接合部のないリング状の材料から、圧延
または伸線加工により製造されていることを特徴とする
ワイヤーソー用シームレスエンドレスワイヤー。 - 【請求項２】 表面に砥粒が固着された請求項１記載の
ワイヤーソー用シームレスエンドレスワイヤー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12802496A JPH09309108A (ja) | 1996-05-23 | 1996-05-23 | ワイヤーソー用シームレスエンドレスワイヤー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12802496A JPH09309108A (ja) | 1996-05-23 | 1996-05-23 | ワイヤーソー用シームレスエンドレスワイヤー |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09309108A true JPH09309108A (ja) | 1997-12-02 |
Family
ID=14974612
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12802496A Withdrawn JPH09309108A (ja) | 1996-05-23 | 1996-05-23 | ワイヤーソー用シームレスエンドレスワイヤー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09309108A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102581383A (zh) * | 2012-03-12 | 2012-07-18 | 中国有色桂林矿产地质研究院有限公司 | 超硬磨料线锯、其制造方法以及其制造设备 |
| CN106945188A (zh) * | 2017-05-02 | 2017-07-14 | 上海理工大学 | 超硬磨料线锯的制造方法以及制造设备 |
-
1996
- 1996-05-23 JP JP12802496A patent/JPH09309108A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102581383A (zh) * | 2012-03-12 | 2012-07-18 | 中国有色桂林矿产地质研究院有限公司 | 超硬磨料线锯、其制造方法以及其制造设备 |
| CN106945188A (zh) * | 2017-05-02 | 2017-07-14 | 上海理工大学 | 超硬磨料线锯的制造方法以及制造设备 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20030805 |