JPH09308219A - リニアモータ - Google Patents

リニアモータ

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Publication number
JPH09308219A
JPH09308219A JP8124444A JP12444496A JPH09308219A JP H09308219 A JPH09308219 A JP H09308219A JP 8124444 A JP8124444 A JP 8124444A JP 12444496 A JP12444496 A JP 12444496A JP H09308219 A JPH09308219 A JP H09308219A
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JP
Japan
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permanent magnet
stator
linear motor
permanent magnets
mover
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Application number
JP8124444A
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English (en)
Inventor
Ayanori Ishibashi
文徳 石橋
Takashi Nishizawa
隆志 西沢
Yoshinobu Nakamura
嘉伸 中村
Sadaaki Kobayashi
定章 小林
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は、コイルに対する制御の信頼性を高
くすると共に、推力リップルも少なくする。 【解決手段】 移動子14は、取付基板15に、コイル
13と対向するように複数の永久磁石16〜19を取着
して構成されている。固定子11にはホール素子20を
配設している。各永久磁石16〜19は、それぞれ単極
着磁を施した単一磁石からなる。これら永久磁石16〜
19において、移動方向で隣合う端部に、それぞれ、幅
狭な繋ぎ部16a,17a,17b,18a,18b,
19aを突出形成し、これら繋ぎ部16a,17a,1
7b,18a,18b,19aを相互に連接している。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、永久磁石形のリニ
アモータに関する。
【0002】
【発明が解決しようとする課題】従来より永久磁石形の
リニアモータとしては、直流ブラシレスモータ形のリニ
アモータが知られている。このものは、コイルを有する
固定子を備えると共に、この固定子と対向する位置に、
永久磁石を有する移動子を移動自在に備えた構成であ
る。そして、このものでは、固定子側に位置検出素子を
設け、この位置検出素子により移動子の磁極を検出して
移動子の位置を検出し、この位置検出に基づいてコイル
を通断電制御するようになっている。
【0003】このようなリニアモータの一例を図17お
よび図18に示す。固定子1は、長尺板状の固定子ヨー
ク2上に、複数のコイル3を並べて取付けることにより
構成されており、そして、この固定子1と対向する位置
に、移動子4を移動自在に設けている。この移動子4
は、取付基板を兼用する板状の移動子ヨーク5に、コイ
ル2と対向するように複数の永久磁石7を取着して構成
されている。さらに、固定子1には、位置検出素子たる
ホール素子8を配設していて、このホール素子8により
永久磁石7を検出してコイル3への通断電を切換え制御
するようにしている。
【0004】ところで、リニアモータにおいては、永久
磁石7の配置ピッチ(磁極ピッチ)が比較的大きい構成
とすることもあり、図17に示すように永久磁石7相互
が若干離間する。このような構成の場合には、ホール素
子8から出力される信号波形は、図18に示すように、
磁極間ではゼロレベル持続区間が存在する。このため、
コイル3の通断電制御が不安定となる場合があった。ま
た、推力リップルが発生する虞もあった。
【0005】本発明は上述の事情に鑑みてなされたもの
であり、その目的は、コイルに対する制御の信頼性が高
くなり、また推力リップルも少なくできるリニアモータ
を提供するにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は、コイルを有す
る固定子と、この固定子に対向した位置に移動可能に設
けられ複数の永久磁石を有する移動子と、固定子側に設
けられた位置検出素子とを備えたものにおいて、永久磁
石において移動方向で隣合う端部に幅狭な繋ぎ部を突出
形成し、この繋ぎ部を相互に連接したところに特徴を有
する。
【0007】この構成においては、永久磁石の隣合う端
部に幅狭な繋ぎ部を突出形成し、この繋ぎ部を相互に連
接しているから、磁極の境界部において磁束の過少領域
が少なくなり、もって、位置検出素子の出力がある時間
幅でゼロレベルとなるようなことがなくて、コイルに対
する制御が安定する。また、推力リップルも少なくな
る。
【0008】他の発明は、コイルを有する固定子と、こ
の固定子に対向した位置に移動可能に設けられ複数の矩
形状の永久磁石を有する移動子と、固定子側に設けられ
た位置検出素子とを備えたものにおいて、前記各永久磁
石が移動方向に対して斜めとなるように配置したところ
に特徴を有する。
【0009】この構成においては、複数の永久磁石が移
動方向に対して斜めとなるように配置されているから、
移動子の移動方向において隣合う磁極がラップし、もっ
て、磁極の境界部において磁束の過少領域が少なくな
り、よって、位置検出素子の出力がある時間幅でゼロレ
ベルとなるようなことがなく、コイルに対する制御が安
定する。また推力リップルも少なくなる。
【0010】さらに異なる発明は、コイルを有する固定
子と、この固定子に対向した位置に移動可能に設けられ
永久磁石素材に複数の磁極を形成した永久磁石を有する
移動子と、固定子側に設けられた位置検出素子とを備え
たものにおいて、前記各磁極の境界部に幅狭な繋ぎ部を
突出形成し、この繋ぎ部を相互に連接したところに特徴
を有する。
【0011】この構成においては、各磁極の境界部に幅
狭な繋ぎ部を突出形成し、この繋ぎ部を相互に連接して
いるから、磁極の境界部において磁束の過少領域が少な
くなり、もって、コイルに対する制御が安定し、また推
力リップルも少なくなる。さらに、永久磁石素材に複数
の磁極を形成しているから、永久磁石を単一磁極から構
成して多数配置する場合に比して、配置作業が簡単とな
る。
【0012】
【発明の実施の形態】以下、本発明の第1の実施例につ
き図1ないし図4を参照しながら説明する。固定子11
は、長尺板状の固定子ヨーク12上に、複数のコイル1
3を並べて取付けることにより構成されており、そし
て、この固定子11と対向する位置に、移動子14を移
動自在に設けている。この移動子14は、板状の取付基
板15に、コイル12と対向するように複数の永久磁石
16〜19を例えば接着にて取着して構成されている。
さらに、固定子11には、位置検出素子たるホール素子
20を配設していて、このホール素子20により永久磁
石16〜19を検出してコイル13への通断電を切換え
制御するようにしている。
【0013】上記各永久磁石16〜19は、例えばフェ
ライトからなる永久磁石素材にそれぞれ単極着磁を施し
た単一磁石からなり、この場合4個設けられている。そ
して、これら永久磁石16〜19において、移動方向で
隣合う端部(左側の永久磁石16では右端部、中間の永
久磁石17,18では両端部、右側の永久磁石19では
左端部)に、それぞれ、幅狭な繋ぎ部16a,17a,
17b,18a,18b,19aを突出形成し、これら
繋ぎ部16a,17a,17b,18a,18b,19
aを相互に連接している。
【0014】この構成においては、永久磁石16〜19
の隣合う端部に幅狭な繋ぎ部16a,17a,17b,
18a,18b,19aを突出形成し、この繋ぎ部16
a,17a,17b,18a,18b,19aを相互に
連接しているから、磁極の境界部において磁束の過少領
域が少なくなり、もって、図4から判るように、ホール
素子20の出力がある時間幅でゼロレベルとなるような
ことがなく、つまり、ゼロレベル持続区間がなく、コイ
ル12に対する制御の安定化を図ることができると共
に、推力リップルも少なくできる。
【0015】次に図5は本発明の第2の実施例を示して
おり、同図においては、次の点が第1の実施例と異な
る。すなわち、永久磁石31〜34は矩形状の単一磁石
からなり、これら永久磁石31〜34を移動方向に対し
て斜めとなるように配置している。
【0016】この第2の実施例によれば、移動子14の
移動方向において隣合う磁極がラップし、もって、磁極
の境界部において磁束の過少領域が少なくなり、もっ
て、第1の実施例と同様に、ホール素子20の出力にゼ
ロレベル持続区間がなく、コイル12に対する制御の安
定化を図ることができると共に、推力リップルも少なく
できる。
【0017】図6は本発明の第3の実施例を示してお
り、同図においては、第1の実施例と次の点が異なる。
すなわち、永久磁石16〜19をそれぞれ移動方向に対
して斜めに配置し且つその斜め状態で繋ぎ部16a,1
7a,17b,18a,18b,19aを相互に連接し
ている。この第3の実施例においては、各繋ぎ部16
a,17a,17b,18a,18b,19aで連接し
ていること、および各永久磁石16〜19が斜めとなっ
ていることによる相乗効果により、さらなる制御の安定
化および推力リップルの減少を図ることができる。
【0018】図7は本発明の第4の実施例を示してお
り、同図においては、上記第3の実施例と次の点が異な
る。すなわち、永久磁石16〜19における繋ぎ部16
a,17a,17b,18a,18b,19aを移動方
向に沿っていわゆるストレート形に形成している。この
第4の実施例においても、第3の実施例と同様の効果を
得ることができる。
【0019】図8は本発明の第5の実施例を示してお
り、同図においては、次の点が第1の実施例と異なる。
すなわち、永久磁石41は、例えば1個の永久磁石素材
41aに磁極42〜45を形成しており、この場合、各
磁極42〜45の境界部には幅狭な繋ぎ部42a,43
a,43b,44a,44b,45aを突出形成し、こ
の繋ぎ部42a,43a,43b,44a,44b,4
5aを相互に連接している。
【0020】この第5の実施例によれば、各磁極42〜
45の境界部に幅狭な繋ぎ部42a,43a,43b,
44a,44b,45aを突出形成し、この繋ぎ部42
a,43a,43b,44a,44b,45aを相互に
連接しているから、ホール素子20の出力にゼロレベル
持続区間がなく、コイル12に対する制御の安定化を図
ることができると共に、推力リップルも少なくできる。
さらに、この場合1個の永久磁石素材41aに複数の磁
極42〜45を形成しているから、永久磁石41を単一
磁極から構成して多数配置する場合に比して、永久磁石
41の配置作業が簡単となる。なお、この場合、2個も
しくはそれ以上の永久磁石素材にそれぞれ複数の磁極を
形成しても良い。
【0021】図9は本発明の第6の実施例を示してお
り、この実施例においては次の点が上述の第5の実施例
と異なる。すなわち、永久磁石41における磁極42〜
45および繋ぎ部42a,43a,43b,44a,4
4b,45aは、移動方向とほぼ直交する辺部が斜め状
に形成されている。この第6の実施例においては、永久
磁石41の配置作業を簡単化できることに加え、コイル
12に対する制御の安定化および推力リップルの減少に
さらに寄与できる。
【0022】図10は本発明の第7の実施例を示してお
り、この実施例においては、次の点が第1の実施例と異
なる。すなわち、永久磁石16〜19は、取付基板15
上に配置されて例えばレジンなどのプラスチックからな
るモールド材51によりモールドされている。この場
合、各永久磁石16〜19の表面にはモールド材51は
なく露出しており、従って、モールド材51は各永久磁
石16〜19の表面と面一である。
【0023】この第7の実施例においては、永久磁石1
6〜19が取付基板15から剥がれ難くなり、また、取
付基板15にモールド材51の板厚が加わり、移動子1
4全体の剛性が増し、移動時における吸引力の変動に対
して振動の発生を抑えることができると共に、移動子1
4を長くしても、移動子14全体が堅牢であるから、移
動子14の支持構造も簡素化できる。
【0024】図11は本発明の第8の実施例を示してお
り、この実施例においては、次の点が上述の第7の実施
例と異なる。すなわち、この第8の実施例においては、
永久磁石16〜19およびモールド材51の表面に例え
ば透明の被膜61を例えば塗装により形成し、もって永
久磁石16〜19およびモールド材51の表面を被覆し
ている。
【0025】この実施例によれば、永久磁石16〜19
が被膜61により被覆されているので、外部の飛散物が
永久磁石16〜19に直接当たることがなく、永久磁石
16〜19の破損を防止できる。また、永久磁石16〜
19に吸着された鉄粉などを除去するときに、永久磁石
16〜19が露出していると、永久磁石の素材面から鉄
粉などを拭き取りづらいが、本実施例では、被膜61上
からこれを拭き取ることになるので、これを除去しやす
くなる。特に、モールド材51により移動子14全体の
表面が平坦となっている移動子14に被膜61を被覆し
ているので、被膜61も平坦となり、この除去作業がさ
らに容易となる。
【0026】図12は本発明の第9の実施例を示してお
り、この実施例においては、次の点が第1の実施例と異
なる。この第9の実施例においては、移動子14を例え
ばアルミニウムや銅などの非鉄金属からなる長尺なカバ
ー部材71により被覆している。
【0027】この実施例によれば、永久磁石16〜19
がカバー部材71により被覆されているので、外部の飛
散物が永久磁石16〜19に直接当たることがなく、永
久磁石16〜19の破損を防止できる。また、永久磁石
16〜19に吸着された鉄粉などを除去するときに、カ
バー部材71上からこれを拭き取ることになるので、こ
れを除去しやすくなる。特に、カバー部材71は堅牢に
製作することが可能であるから、永久磁石16〜19の
保護強化が図られ、しかも、機械加工あるいは板材加工
などにより製作できるから、その表面を平坦とすること
が容易となり、上述の除去作業がさらに容易となる。な
お、カバー部材は、プラスチック製でも良く、あるい
は、永久磁石がエネルギー積が大きいネオジウム系の磁
石である場合には、0.01〜0.05mm厚さ程度の
非常に薄い鉄板を使用することもできる。
【0028】図13ないし図15は本発明の第10の実
施例を示しており、この実施例においては、次の点が第
1の実施例と異なる。すなわち、ヨークたる移動子ヨー
ク80にその移動方向に沿うように断面ほぼ楔形状の浅
い溝81を形成しており、永久磁石16〜19もほぼ楔
形状に形成している。つまり、永久磁石16〜19の移
動方向に沿う辺部端面(永久磁石18の端面に符号18
c,18d(図14参照)を付している)をこの溝81
の前記楔形状に合わせるべく傾斜面状に形成している。
そして、この永久磁石16〜19を溝81に挿入嵌合
し、適宜接着することにより移動子ヨーク80に埋設し
ている。この第10の実施例によれば、永久磁石16〜
19を、固定子11との間の吸引力に抗して確実に固定
することができる。
【0029】図16は、本発明の第11の実施例を示し
ており、この実施例においては、永久磁石16〜19と
移動子ヨーク80とを面一となるように形成し、この永
久磁石16〜19および移動子ヨーク80に被膜91を
形成した点が上述の第10の実施例と異なる。この第1
1の実施例においては、被膜91を塗布するについてこ
れを容易ならしめ得る。なお、この場合被膜でなく、カ
バー部材を設けるようにしてもよく、この場合カバー部
材を移動子14表面に隙間なく装着できるものである。
【0030】
【発明の効果】本発明は以上の説明から明らかなよう
に、次の効果を得ることができる。請求項1の発明によ
れば、永久磁石の隣合う端部に幅狭な繋ぎ部を突出形成
し、この繋ぎ部を相互に連接しているから、磁極の境界
部において位置検出素子の出力ゼロレベル持続期間を極
力なくすことができ、コイルに対する制御の安定化を図
ることができると共に、推力リップルの減少にも寄与で
きる。
【0031】請求項2の発明によれば、複数の永久磁石
が移動方向に対して斜めとなるように配置されているか
ら、移動子の移動方向において隣合う磁極がラップし、
もって、磁極の境界部において位置検出素子の出力ゼロ
レベル持続期間を極力なくすことができ、コイルに対す
る制御の安定化を図ることができると共に、推力リップ
ルの減少にも寄与できる。
【0032】請求項3の発明によれば、各磁極の境界部
に幅狭な繋ぎ部を突出形成し、この繋ぎ部を相互に連接
しているから、磁極の境界部において位置検出素子の出
力ゼロレベル持続期間を極力なくすことができ、コイル
に対する制御の安定化を図ることができると共に、推力
リップルの減少にも寄与でき、さらに、永久磁石素材に
複数の磁極を形成しているから、永久磁石を単一磁極か
ら構成して多数配置する場合に比して、配置作業が簡単
となる。
【0033】請求項4の発明によれば、永久磁石が移動
方向に対して斜めとなるように設けられているから、コ
イルに対する制御の安定化および推力リップルの減少に
一層寄与できる。請求項5の発明によれば、磁極および
繋ぎ部が移動方向に対して斜めとなるように設けられて
いるから、コイルに対する制御の安定化および推力リッ
プルの減少に一層寄与できる。
【0034】請求項6の発明によれば、永久磁石を取付
基板上にモールド材料によりモールドしたから、永久磁
石が取付基板から剥がれ難くなり、また、取付基板にモ
ールド材の板厚が加わり、移動子全体の剛性が増し、移
動時における吸引力の変動に対して振動の発生を抑える
ことができると共に、移動子を長くしても、移動子全体
が堅牢であるから、移動子の支持構造も簡素化できる。
請求項7の発明によれば、永久磁石を被膜により被覆し
たから、外部の飛散物が永久磁石に直接当たることを防
止でき、永久磁石の破損を防止できる。また、永久磁石
に吸着された鉄粉などを除去するときに、これを除去し
やすくなる。
【0035】請求項8の発明によれば、永久磁石をカバ
ー部材により被覆したから、外部の飛散物が永久磁石に
直接当たることを防止でき、永久磁石の破損を防止でき
る。また、永久磁石に吸着された鉄粉などを除去すると
きに、これを除去しやすくなる。さらに、カバー部材は
堅牢に製作することが可能であるから、永久磁石の保護
強化をさらに図ることができる。請求項9の発明によれ
ば、ヨークにほぼ楔形状の溝を形成し、永久磁石をほぼ
楔形状となるように形成し、この永久磁石をヨークの溝
に埋設したから、永久磁石を、固定子との間の吸引力に
抗して確実に固定することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例を示す要部の斜視図
【図2】移動子の下面図
【図3】永久磁石の斜視図
【図4】ホール素子の出力の波形図
【図5】本発明の第2の実施例を示す移動子の平面図
【図6】本発明の第3の実施例を示す移動子の平面図
【図7】本発明の第4の実施例を示す移動子の平面図
【図8】本発明の第5の実施例を示す移動子の平面図
【図9】本発明の第6の実施例を示す移動子の平面図
【図10】本発明の第7の実施例を示す移動子の斜視図
【図11】本発明の第8の実施例を示す移動子の斜視図
【図12】本発明の第9の実施例を示す移動子の斜視図
【図13】本発明の第10の実施例を示す移動子の平面
【図14】分解斜視図
【図15】縦断正面図
【図16】本発明の第11の実施例を示す移動子の縦断
正面図
【図17】従来例を示す要部の斜視図
【図18】ホール素子の出力の波形図
【符号の説明】
11は固定子、12は固定子ヨーク、13はコイル、1
4は移動子、15は取付基板、16〜19は永久磁石、
16a,17a,17b,18a,18b,19aは繋
ぎ部、20はホール素子(位置検出素子)、31〜34
は永久磁石、41は永久磁石、41aは永久磁石素材、
42〜45は磁極、42a,43a,43b,44a,
44b,45aは繋ぎ部、51はモールド材、61は被
膜、71はカバー部材、80は移動子ヨーク(ヨー
ク)、81は溝、91は被膜を示す。
フロントページの続き (72)発明者 小林 定章 三重県三重郡朝日町大字繩生2121番地株式 会社東芝三重工場内

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 コイルを有する固定子と、この固定子に
    対向した位置に移動可能に設けられ複数の永久磁石を有
    する移動子と、固定子側に設けられた位置検出素子とを
    備えたものにおいて、 永久磁石において移動方向で隣合う端部に幅狭な繋ぎ部
    を突出形成し、この繋ぎ部を相互に連接したことを特徴
    とするリニアモータ。
  2. 【請求項2】 コイルを有する固定子と、この固定子に
    対向した位置に移動可能に設けられ複数の矩形状の永久
    磁石を有する移動子と、固定子側に設けられた位置検出
    素子とを備えたものにおいて、 前記各永久磁石が移動方向に対して斜めとなるように配
    置したことを特徴とするリニアモータ。
  3. 【請求項3】 コイルを有する固定子と、この固定子に
    対向した位置に移動可能に設けられ永久磁石素材に複数
    の磁極を形成した永久磁石を有する移動子と、固定子側
    に設けられた位置検出素子とを備えたものにおいて、 前記各磁極の境界部に幅狭な繋ぎ部を突出形成し、この
    繋ぎ部を相互に連接したことを特徴とするリニアモー
    タ。
  4. 【請求項4】 永久磁石が移動方向に対して斜めとなる
    ように設けられていることを特徴とする請求項1記載の
    リニアモータ。
  5. 【請求項5】 磁極および繋ぎ部が移動方向に対して斜
    めとなるように設けられていることを特徴とする請求項
    3記載のリニアモータ。
  6. 【請求項6】 永久磁石を取付基板上にモールド材料に
    よりモールドしたことを特徴とする請求項1ないし3の
    いずれかに記載のリニアモータ。
  7. 【請求項7】 永久磁石を被膜により被覆したことを特
    徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載のリニアモ
    ータ。
  8. 【請求項8】 永久磁石をカバー部材により被覆したこ
    とを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載のリ
    ニアモータ。
  9. 【請求項9】 移動子はヨークを備え、このヨークにほ
    ぼ楔形状の溝を形成し、永久磁石をほぼ楔形状となるよ
    うに形成し、この永久磁石を前記ヨークの溝に埋設した
    ことを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の
    リニアモータ。
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003010784A (ja) * 2001-06-29 2003-01-14 Sumida Technologies Inc リニア振動モータ(1)
JP2009136136A (ja) * 2007-09-26 2009-06-18 Asml Netherlands Bv 合成キャリヤを有するローレンツアクチュエータを有するリソグラフィ装置
JP2009543536A (ja) * 2006-07-12 2009-12-03 メシエードウティ ソシエテ アノニム 電磁機械のための能動素子、上記能動素子を製作する方法、及び、上記能動素子を有する電磁機械
JP2010112976A (ja) * 2008-11-04 2010-05-20 Nikon Corp レンズ駆動装置、レンズ位置検出装置、及びそれらを用いた撮像装置
US20130049512A1 (en) * 2011-08-26 2013-02-28 Undustry-Academic Cooperation Foundation Of Kyungnam University Axial flux permanent magnet synchronous generator and motor

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003010784A (ja) * 2001-06-29 2003-01-14 Sumida Technologies Inc リニア振動モータ(1)
JP2009543536A (ja) * 2006-07-12 2009-12-03 メシエードウティ ソシエテ アノニム 電磁機械のための能動素子、上記能動素子を製作する方法、及び、上記能動素子を有する電磁機械
JP2009136136A (ja) * 2007-09-26 2009-06-18 Asml Netherlands Bv 合成キャリヤを有するローレンツアクチュエータを有するリソグラフィ装置
US8492935B2 (en) 2007-09-26 2013-07-23 Asml Netherlands B.V. Lithographic apparatus having a Lorentz actuator with a composite carrier
JP2010112976A (ja) * 2008-11-04 2010-05-20 Nikon Corp レンズ駆動装置、レンズ位置検出装置、及びそれらを用いた撮像装置
US20130049512A1 (en) * 2011-08-26 2013-02-28 Undustry-Academic Cooperation Foundation Of Kyungnam University Axial flux permanent magnet synchronous generator and motor

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