JPH09304168A - 振動センサ−及び傾斜センサ− - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 簡易型のセンサ−であって、水平設置調整な
しで、全周方向の振動又は傾斜の検出を可能にする。ま
た静止時に傾斜する被検出物体の前記振動の検出を可能
にする。 【構成】 ケ−ス１の天井から全周方向に振動可能な第
１の振子で吊されるケ−ス３と、ケ−ス３の天井から全
周方向に振動可能な第２の振子で吊される球面或は狭面
なる光反射面を備えた光反射物体５と、ケ−ス３と光反
射物体５とが垂下静止時に光反射物体５の前記光反射面
に対向する位置に配したフォトリフレクタ−６と、フォ
トリフレクタ−６で得る光検出信号を伝送する伝送手段
とを備えて構成したことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、振動（震動）又は傾斜
を検出する振動センサ−、傾斜センサ−に関するもので
ある。

【０００２】

【従来の技術】従来、振動（又は震動、以下これを振動
とする）又は傾斜を検出する簡易型の振動センサ−、傾
斜センサ−としては、振動又は傾斜時に、振子で吊し又
は受座にのせたボ−ルの移動（振動又は転がり）による
スリットの透過光を検出してする方式のもの、受座にの
せたボ−ルの移動（転がり）による反射光の偏りを検出
してする方式のもの、受座にのせたボ−ルの移動（転が
り）による感触スイッチのスイッチ作動を検出してする
方式のもの、それにガラス管に入れた水銀の移動（転が
り）による電極のオン−オフを検出する方式のもの等が
公知である。

【０００３】しかし、前記ボ−ルの移動によるスリット
の透過光を検出してする方式のものは、スリット方向の
ボ−ルの移動に対しては該ボ−ルによって静止時と同様
にスリットを通す光を遮るために、全周方向での振動及
び傾斜の検出を困難にする。

【０００４】また、前記ボ−ルの移動による反射光の偏
りを検出してする方式のもの、それに感触スイッチのス
イッチ作動を検出してする方式のものは、両者ともに、
静止時にボ−ルの転がりを防ぐ（ボ−ルの静止を安定さ
せる）必要があって、ボ−ルを乗せる受座を深くしてい
るために、微小振動及び微小傾斜に対してはボ−ルの移
動がなく、したがって振動及び傾斜の検出感度を低くす
る。

【０００５】また、前記水銀の移動による電極のオン−
オフを検出する方式のものは、静止時に水銀の転がりを
防ぐ（水銀の静止を安定させる）必要があって、水銀を
ガラス管内の底に溜めているために、さらには水銀の電
極間での粘りもあって、微小振動及び微小傾斜に対して
は水銀の移動がなく、したがって上記方式のもの同様に
振動及び傾斜の検出感度を低くするとともに、水銀を使
うので公害上好ましくない。

【０００６】そこで、これ等の問題を解決するものとし
て、ケ−スの天井から全周方向に振動可能な振子で光反
射球を吊して、該光反射球の光反射面に対向する位置に
フォトリフレクタ−（反射型フォトセンサ−）を配し
て、前記ケ−スが振動又は傾斜を受けることによって生
じる前記光反射球と前記フォトリフレクタ−との対向面
のずれによる反射光の変化を検知して、振動及び傾斜を
検出する傾斜振動センサ−が考案されている（実公平５
−１９７６７号公報）。

【０００７】これによって該考案は、振動又は傾斜時に
おける前記対向面のずれによって生じる前記光反射球で
の反射光の反射角の変化が全周方向に対して同一にな
り、全周方向の振動及び傾斜の検出を容易にする。

【０００８】また、水平静止時における前記光反射球の
垂下静止を安定させるとともに、微小振動又は微小傾斜
時の前記対向面のずれをスム−ズにでき、かつ前記光反
射球の光反射面が球面であるために前記対向面のずれが
微小であっても前記光反射球での光の反射角の変化を大
きくでき、このために微小振動又は微小傾斜時の検出を
確実にして、振動及び傾斜の検出の感度を高くする。

【０００９】また、振動の検出感度の任意設定が前記光
反射球の径の大きさと前記フォトリフレクタ−の指向感
度とを選ぶことで、また静止時における水平設置調整が
フォトリフレクタ−の方向調整でもって、ともに容易に
実現できるなど、従来の技術にない効果を奏するもので
ある。

【００１０】しかし、該考案を含む上記した従来の技術
は、静止時に、傾斜する状態にあると、上記ボ−ル及び
上記水銀の移動、又は上記対向面のずれによって、それ
を検出してしまい、そのままでは振動の検出を不能にす
る。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】これらのことから、従
来の簡易型の振動、傾斜センサ−は、全周方向の振動の
検出を可能にするものであっても、静止時に、傾斜する
状態にあると、該傾斜を検出して、振動の検出ができな
いために、被検出物体への設置時の水平設置調整が不可
欠であって、また、たとえば自動車のように傾斜状態で
静止（停車）することが多い被検出物体では振動（発
進、移動）の検出が問題になる。

【００１２】また、振動の検出を高感度にするものにあ
っては特に、前記水平設置調整の正確さが要求され、該
調整を困難にする。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明は上記問題を解決
するために成されたもので、その第１の実施例では、ケ
−ス１の天井から全周方向に振動可能な第１の振子で吊
されるケ−ス３と、ケ−ス３の天井から全周方向に振動
可能な第２の振子で吊される球面或は狭面なる光反射面
を備えた光反射物体５と、ケ−ス３と光反射物体５とが
垂下静止時に光反射物体５の前記光反射面に対向する位
置に配したフォトリフレクタ−６と、フォトリフレクタ
−６で得る光検出信号を伝送する伝送手段とを備えて構
成したことを特徴とする。

【００１４】またその第２の実施例では、天板９から全
周方向に振動可能な第１の振子で吊されるケ−ス３と、
ケ−ス３の天井から全周方向に振動可能な第２の振子で
吊される球面或は狭面なる光反斜面を備えた光反射物体
５と、ケ−ス３と光反射物体５とが垂下静止時に光反射
物体５の前記光反射面に対向する位置に配したフォトリ
フレクタ−６と、フォトリフレクタ−６で得る光検出信
号を伝送する伝送手段とを備えて構成したことを特徴と
する。

【００１５】またその第３の実施例では、ケ−ス１の天
井又は天板９から全周方向に振動可能な第１の振子で吊
されるケ−ス３と、ケ−ス３の天井から全周方向に振動
可能な第２の振子で吊される球面或は狭面なる光反斜面
を備えた光反射物体５と、ケ−ス３と光反射物体５とが
垂下静止時に光反射物体５の前記光反射面に対向する位
置に配したフォトリフレクタ−６と、ケ−ス３と光反射
物体５とが垂下静止時に前記第１の振子を固定する固定
手段と、フォトリフレクタ−６で得る光検出信号を伝送
する伝送手段とを備えて構成したことを特徴とする。

【００１６】またその第４の実施例では、ケ−ス１の天
井又は天板９から全周方向に振動可能な第１の振子で吊
されるケ−ス３と、ケ−ス３の天井から全周方向に振動
可能な第２の振子で吊される球面なる光反射面を備えた
光反射物体５と、ケ−ス３と光反射物体５とが垂下静止
時に光反射物体５の前記光反射面に対向する位置であっ
て水平方向に同位の周囲方向に等間隔に複数個を配した
フォトリフレクタ−６と、ケ−ス３と光反射物体５とが
垂下静止時に前記第１の振子を固定する固定手段と、前
記フォトリフレクタ−６で得る光検出信号を伝送する伝
送手段とを備えて構成したことを特徴とする。

【００１７】

【作用】これによって第１及び第２の実施例では、被検
出物体に設置されるケ−ス１（又は天板９）が傾斜状態
にあっても、静止時においてはケ−ス３と光反射物体５
とは垂下静止して、光反射物体５の上記光反射面とフォ
トリフレクタ−６とは正確に対向してフォトリフレクタ
−６を構成する受光素子をオンにして、傾斜時の該傾斜
の検出をなくす。また振動時には該振動をケ−ス３及び
光反射物体５が受けて振動して、光反射物体５の上記光
反射面とフォトリフレクタ−６との対向面がずれて、前
記受光素子をオフにして、この時、全周方向の振動を検
出する。

【００１８】したがって、被検出物体への水平設置調整
を不要にして、被検出物体の全周方向の振動を可能に
し、またこれによってたとえば自動車のように傾斜した
状態で静止（駐車）する被検出物体の振動（発進、移
動）の検出を容易に可能にする。

【００１９】また、第３の実施例では、第１及び第２の
実施例同様に被検出物体への正確な水平設置調整を不要
にするといった作用を持ちながら、前記垂下静止時にお
ける上記第１の振子の固定によって光反射物体５が受け
る振動を第１及び第２の実施例に増して大きくして前記
振動の検出を高感度にし、また前記固定に際して被検出
物体の水平（傾斜角０度）の検出を正確にして、被検出
物体（前記第１の振子で固定されたケ−ス３）の傾斜の
正確な検出をも可能にする。

【００２０】また、第４の実施例では、第３の実施例同
様に被検出物体への正確な水平設置調整を不要にし、か
つ正確な傾斜検出を可能にするとともに、複数のフォト
リフレクタ−６による傾斜検出（検出信号）の相関関係
から正確な傾斜方向の検出を可能にする。

【００２１】

【実施例】以下、本発明の一実施例を図面を使って説明
する。図１は本発明の振動センサ−の一実施例における
第１の実施例の断面図である。同図より、ケ−ス１は被
検出物体に取り付けられるものであって、その天井から
は該天井を支持部にして吊下糸２でケ−ス３を吊して全
周方向に振動可能な第１の振子を構成する。

【００２２】またケ−ス３の天井からは、該天井を支持
部にして吊下糸４で光反射物体５を吊して、全周方向に
振動可能な第２の振子を構成する。

【００２３】またケ−ス３には垂下静止時における光反
射物体５の光反射面に対向する位置にフォトリフレクタ
−６を配して、さらにフォトリフレクタ−６にはケ−ス
１に配されるタ−ミナル７とこれに接続されるフレキシ
ブルリ−ド線８とによって結線して、フォトリフレクタ
−６への電源供給と、フォトリフレクタ−６の出力の取
り出しとをして、フォトリフレクタ−６で得る光検出信
号をタ−ミナル７へ伝送して出力するようにする。

【００２４】このような構成において、ケ−ス１が静止
時においては、ケ−ス３と光反射物体５とは垂下静止し
て、光反射物体５の光反射面とフォトリフレクタ−６と
が正確に対向して、フォトリフレクタ−６から出る光は
光反射物体５の光反射面で反射して戻されて、フォトリ
フレクタ−６を構成する受光素子をオンにして、該オン
信号（光検出信号）をフレキシブルリ−ド線８で伝送し
てタ−ミナル７へ出力する。

【００２５】また、ケ−ス１が振動時においては、ケ−
ス３と光反射物体５とは前記振動を受けて振動して、光
反射物体５の光反射面とフォトリフレクタ−６との対向
がずれて、フォトリフレクタ−６から出る光は光反射物
体５の光反射面で反射角が変えられて、前記受光素子を
オフにして、該オフ信号（光検出信号）をフレキシブル
リ−ド線８で伝送してタ−ミナル７へ出力して、この
時、ケ−ス１の全周方向の前記振動を検出する。

【００２６】さらに、より大きな振動時においては、フ
ォトリフレクタ−６から出る光は光反射物体５の光反射
面で反射角がさらに大きく変えられて、あるいは前記光
反射面に当たらず直進して、前記受光素子をオフにし
て、この時、全周方向の前記振動を検出する。

【００２７】次に、図２は第２の実施例の断面図であ
り、同図において、天板９は第１の実施例（図１）のケ
−ス１に代わるものであって、被検出物体であってもよ
く、その他の構成は第１の実施例のものと同じであっ
て、したがって振動の検出作動も同じある。

【００２８】図３は第１の実施例（図１）及び第２の実
施例（図２）においてケ−ス１又は天板９が傾斜状態に
ある時の状態を示す状態図である。同図より、ケ−ス１
又は天板９が傾斜状態にある時、静止時にはケ−ス３と
光反射物体５とが垂下静止するので、その時の光反射物
体５の光反射面とフォトリフレクタ−６とが正確に対向
して配設されるように設計されれば、フォトリフレクタ
−６を構成する受光素子のオンを確実にする。

【００２９】したがって、第１の実施例及び第２の実施
例は、傾斜時の傾斜の検出（フォトリフレクタ−６のオ
フ検出）がなく、しかもこの状態で振動を受けると該振
動をケ−ス３及び光反射物体５が受けて振動して、この
時、全周方向の前記振動を検出するので、被検出物体へ
の設置時における水平設置調整が不要になる。

【００３０】また静止時には前記受光素子のオン（静止
検出）を確実にし、さらに光反射物体５には球面体を用
いてその光反射面を球面としているため、光反射物体５
の微小振動時におけるフォトリフレクタ−６から出る光
の前記光反射面での反射角の変化を全周方向の振動に対
して同一にでき、また該球面の径を小く選べるので前記
微小振動時の前記反射角の変化を大きくして、前記微小
振動の検出を確実にすることから、ケ−ス１（又は天板
９）が受ける振動が減衰して光反射物体５へ伝達されて
も、該振動が体感振動以上になる通常の振動検出には十
分であって、この時、全周方向の該振動を検出する。

【００３１】なお、光反射物体５に、前記球面体（球
面）に代えて狭面体（狭面）を選んでもよく、この場
合、該狭面を円形（円狭面）にすることで、全周方向の
振動の検出感度を同一にでき、しかも該狭面をきわめて
小さく選べば、光反射物体５（狭面）が微小振動であっ
てもフォトリフレクタ−６から出る光は直進して、微小
振動の検出を確実にして、前記球面体（球面）と同様の
振動の検出をする。

【００３２】なお、たとえばケ−ス１の内壁面とケ−ス
３の外壁面との間隔を狭く選んで吊下糸２の最大振角を
適度に小さく選べば、本振動センサ−（ケ−ス１又は天
板９）が前記最大振角以上の傾斜時においては、吊下糸
２で吊されるケ−ス３は垂下せずに傾斜して、この時、
傾斜するケ−ス３に配されたフォトリフレクタ−６と垂
下する光反射物体５との対向面がずれて、前記傾斜を検
出するようにもなる。したがってこの場合、被検出物体
への水平設置時における本振動センサ−の最大傾斜角が
前記最大振角以内に設置調整されていれば、水平静止時
における傾斜検出はなく、上記した振動の検出を確実に
するとともに、前記最大振角以上の傾斜がある場合にお
いては該傾斜の検出を可能にして、傾斜センサ−として
の利用が可能になる。

【００３３】次に図４は第３の実施例の断面図である。
同図より、ケ−ス１は被検出物体に取り付けられるもの
であって、その天井からは該天井を支持部にして配され
るボ−ル受10でボ−ル12を受けてさらにボ−ル12に対さ
れるア−ム13でケ−ス３を吊して全周方向に振動可能な
第１の振子を構成して、ボ−ル受10にはボ−ル12の回転
を止めて固定するロックナット11を備えている。なおケ
−ス１は、上記第２の実施例（図２）と同様に天板９に
代えることができる。

【００３４】図５はロック機構を備えた前記第１の振子
の支持部の拡大斜視図である。同図より、ケ−ス１（又
は天板９）にその天井（又は天板９）で支えられるボ−
ル受10を配して、ボ−ル受10でボ−ル12を受けるボ−ル
ジョイント構造で構成している。さらにボ−ル受10に
は、その上部に切込14とねじ山15とが備えられていて、
ねじ山15にロックナット11を合わせてしめるとボ−ル受
10の内容積が小さくなってボ−ル12の回転を止めて固定
するよう構成している。

【００３５】また、ケ−ス３からフレキシブルリ−ド線
８までの構成のすべては上記第１の実施例又は第２の実
施例と同じである。このような構成において、ケ−ス１
が静止時においては、上記第１の実施例又は第２の実施
例と同様にして、ケ−ス３と光反射物体５とは垂下静止
して、フォトリフレクタ−６を構成する受光素子をオン
にして、該オン信号（光検出信号）をフレキシブルリ−
ド線８で伝送してタ−ミナル７へ出力する。

【００３６】また、この状態においてボ−ル受10をロッ
クナット11でしめてボ−ル12の回転を止めて固定すれ
ば、第１の振子が固定されて、ケ−ス３がケ−ス１（又
は天板９）に固定されて、ケ−ス１（又は天板９）が振
動時においてはケ−ス３がケ−ス１（又は天板９）と同
じ振動をして、該振動のすべてを光反射物体５へ伝達し
て、この時、全周方向の該振動を検出する。

【００３７】これらのことから、第３の実施例は、上記
第１の振子と第２の振子との２つの振子を使って、被検
出物体への設置には、被検出物体が静止時にロックナッ
ト11をゆるめて、ケ−ス３と光反射物体５とを垂下静止
させてからロックナット11でしめつけて第１の振子を固
定するので、被検出物体への設置時に自動的にしかも正
確にケ−ス３と光反射物体５とが垂下静止して固定され
て、被検出物体への設置時にする困難な水平設置調整を
不要にする。

【００３８】さらに設置時にする前記第１の振子の固定
に際してされる前記垂下は被検出物体の水平（傾斜角０
度）の検出を正確にするので光反射物体５とフォトリフ
レクタ−６とによる全周方向の振動の検出を高感度に設
計でき、かつ第１の振子の固定（ケ−ス３の固定）によ
って被検出物体の振動のすべてが光反射物体５へ伝達さ
れるので、困難な水平設置調整なしでありながら全周方
向の振動の検出感度をきわめて高くできる。

【００３９】また設置時にする前記第１の振子の固定に
際してされる前記垂下による被検出物体の水平（傾斜角
０度）の正確な検出は、被検出物体（被検出物体に固定
されたケ−ス３）の全周方向の傾斜の検出を正確にす
る。

【００４０】次に第４の実施例は、上記した第３の実施
例（図４、図５）で、光反射物体５は球面なる光反射面
を限定して用いて、フォトリフレクタ−６はケ−ス３と
光反射物体５とが垂下静止時に光反射物体５の前記光反
射面に対向する位置であって水平方向に同位の周囲方向
に等間隔に複数個を配して、さらには光反射物体５の径
を大きく、また複数個のフォトリフレクタ−６の指向感
度を広くとって、これらフォトリフレクタ−６をたとえ
ば光検出物体５が垂下静止時にその検出信号電圧値を中
心値にする前記位置に正三角状に配して、それ以外は上
記第３の実施例と同じ構成でする。

【００４１】このような構成において、ケ−ス１が静止
時には、上記第３の実施例と同様にして、ケ−ス３と光
反射物体５とは垂下静止して、この時の前記フォトリフ
レクタ−６の各検出信号電圧値は中心値にあて傾斜角０
度を検出する。

【００４２】また、この状態においてボ−ル受10をロッ
クナット11でしめてボ−ル12の回転を止めて固定すれ
ば、第１の振子が固定されて、ケ−ス３がケ−ス１（又
は天板９）に固定されて、ケ−ス１（又は天板９）が傾
斜時においてはケ−ス３がケ−ス１（又は天板９）と同
じに傾斜（この時、光反射物体５は垂下静止）して（光
反射物体５は垂下静止）、該傾斜に応じて光反射物体５
と前記フォトリフレクタ−６との対向面がずれて前記各
検出信号電圧値に変化が生て、該各検出信号電圧値の相
関関係から前記傾斜の傾斜角と傾斜方向とを検出し、こ
の時、全周方向の前記傾斜角と傾斜方向とを検出する。

【００４３】これらのことから、第４の実施例は、上記
第３の実施例と同様に被検出物体への設置時に自動的に
しかも正確にケ−ス３と光反射物体５とが垂下静止して
固定されて、被検出物体への設置時にする困難な水平設
置調整を不要にする。

【００４４】さらに設置時にする前記第１の振子の固定
に際してされる前記垂下は被検出物体の水平（傾斜角０
度）の検出を正確にするので全周方向の傾斜角及び傾斜
方向の検出を高精度に設計でき、かつ第１の振子の固定
（ケ−ス３の固定）によって被検出物体の傾斜がケ−ス
３の傾斜になるので、困難な水平設置調整なしでありな
がら全周方向の傾斜角及び傾斜方向の検出精度をきわめ
て高くできる。

【００４５】また設置時にする前記第１の振子の固定に
際してされる被検出物体の水平（傾斜角０度）の正確な
検出は、被検出物体（被検出物体に固定されたケ−ス
３）の全周方向の傾斜角及び傾斜方向の検出を正確にす
る。

【００４６】なお、第１の実施例〜第４の実施例でケ−
ス１及びケ−ス３は、たとえば円形あるいは３角形の柱
体あるいは錐体等であってもまたケ−スの枠を穴開枠に
してもよく、またタ−ミナル７とフレキシブルリ−ド線
８とはケ−ス３の振動及び傾斜を妨げないように配慮さ
れるものであればその配設位置をたとえば下部にするな
ど、他に選んでもよい。また光反射物体５の振動移動に
よるケ−ス３の内壁への衝撃を防ぐ目的で、ケ−ス３の
内壁にクッションを施し、あるいは吊下糸４にボ−ルジ
ョイント構造とするものではその最大振角を前記内壁に
当たらない角度に選ぶなど対策するとよい。

【００４７】また、上記第１の振子を構成する吊下糸
２、又は第２の振子を構成する吊下糸４には、たとえば
弾性金属線材の他に、つるまきばね等を使ってもよく、
さらにはその支持部をボ−ルジョイント構想とするもの
等を使ってしてもよく、また光反射物体５に球面なる光
反射面を用いるものについては、それが半円球面体であ
ってもよい。

【００４８】また、天板９は、被検出物体への設置に容
易なように、たとえば逆Ｌ型とするなどのものでもよ
く、さらには上記第１の振子の支持部をたとえば被検出
物体へネジ止めして直接設置できるように工夫してもよ
い。

【００４９】

【発明の効果】以上説明したように本発明は、上記構成
によって、第１の実施例及び第２の実施例は、第１の振
子と第２の振子との２つの振子を使ったことで、傾斜時
の傾斜の検出（フォトリフレクタ−６のオフ検出）がな
く、この状態で振動を受けると該振動を検出するので、
被検出物体への設置時に水平設置調整が不要になる。

【００５０】また静止時には静止検出を確実にし、さら
に光反射物体５には球面或は狭面なる光反射面を用いて
いるため、光反射物体５の微小振動に対してする光の反
射又は直進の変化を全周方向に同一にかつ大きくして、
該微小振動の検出を確実にするので、ケ−ス１（又は天
板９）が受ける振動が減衰して光反射物体５へ伝達され
ても、該振動の検出を十分にして、簡易で水平設置調整
が不要な全周方向の振動を検出する振動センサ−を実現
する。

【００５１】また傾斜時の傾斜の検出（フォトリフレク
タ−６のオフ検出）をなくして全周方向の振動を検出す
るので、たとえば自動車のように、傾斜した状態で静止
（駐車）する被検出物体の振動（発進、移動）の検出を
可能にする。

【００５２】第３の実施例は、上記第１の振子と第２の
振子との２つの振子を使って、被検出物体への設置には
第１の振子の固定を、ケ−ス３と光反射物体５とを垂下
静止させてからするので、被検出物体への設置時に自動
的にしかも正確にケ−ス３と光反射物体５とが垂下静止
して固定されて、被検出物体への設置時にする困難な水
平設置調整を不要にする。

【００５３】また設置時にする前記第１の振子の固定に
際してされる前記垂下は被検出物体の水平（傾斜角０
度）の検出を正確にするので全周方向の振動の検出を高
感度に設計でき、かつ第１の振子の固定（ケ−ス３の固
定）によって被検出物体が受ける振動のすべてが光反射
物体５へ伝達されるので、困難な水平設置調整なしであ
りながら全周方向の振動の検出感度をきわめて高くし
て、簡易で水平設置調整不要な高感度振動センサ−を実
現する。

【００５４】また簡易な構成と設置時にする前記第１の
振子の固定に際してされる前記垂下による被検出物体の
水平（傾斜角０度）の正確な検出とによって、簡易構成
でありながら被検出物体（被検出物体に固定されたケ−
ス３）の全周方向の傾斜の検出を正確にして、簡易で水
平設置調整が不要な高精度傾斜センサ−を実現する。

【００５５】第４の実施例は、上記第３の実施例と同様
に被検出物体への設置時に自動的にしかも正確にケ−ス
３と光反射物体５とが垂下静止して固定されるので、被
検出物体への設置時にする困難な水平設置調整を不要に
する。

【００５６】また設置時にする前記第１の振子の固定に
際してされる前記垂下は被検出物体の水平（傾斜角０
度）の検出を正確にするので全周方向の傾斜角及び傾斜
方向の検出を高精度に設計でき、かつ第１の振子の固定
（ケ−ス３の固定）によって被検出物体の傾斜がケ−ス
３の傾斜になるので、困難な水平設置調整なしでありな
がら全周方向の傾斜角及び傾斜方向の検出精度をきわめ
て高くできる。

【００５７】また簡易な構成と設置時にする前記第１の
振子の固定に際してされる被検出物体の水平（傾斜角０
度）の正確な検出とは、簡易構成でありながら被検出物
体（被検出物体に固定されたケ−ス３）の全周方向の傾
斜角及び傾斜方向の検出を正確にして、簡易で高精度な
傾斜角及び傾斜方向センサ−を実現する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例における第１の実施例の断面
図である。

【図２】第２の実施例の断面図である。

【図３】第１の実施例及び第２の実施例の傾斜時の状態
図である。

【図４】第３の実施例の断面図である。

【図５】第３の実施例の第１の振子の支持部の拡大斜視
図である。

【符合の説明】

１ ケ−ス ２ 吊下糸 ３ ケ−ス ４ 吊下糸 ５ 光反射物体 ６ フォトリフレクタ− ７ タ−ミナル ８ フレキシブルリ−ド線 ９ 天板 10 ボ−ル受 11 ロックナット 12 ボ−ル 13 ア−ム 14 切込 15 ねじ山

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ケ−ス１の天井から全周方向に振動可能
   な第１の振子で吊されるケ−ス３と、ケ−ス３の天井か
   ら全周方向に振動可能な第２の振子で吊される球面或は
   狭面なる光反射面を備えた光反射物体５と、ケ−ス３と
   光反射物体５とが垂下静止時に光反射物体５の前記光反
   射面に対向する位置に配したフォトリフレクタ−６と、
   フォトリフレクタ−６で得る光検出信号を伝送する伝送
   手段とを備えて構成したことを特徴とする振動センサ
   −。
2. 【請求項２】 天板９から全周方向に振動可能な第１の
   振子で吊されるケ−ス３と、ケ−ス３の天井から全周方
   向に振動可能な第２の振子で吊される球面或は狭面なる
   光反射面を備えた光反射物体５と、ケ−ス３と光反射物
   体５とが垂下静止時に光反射物体５の前記光反射面に対
   向する位置に配したフォトリフレクタ−６と、フォトリ
   フレクタ−６で得る光検出信号を伝送する伝送手段とを
   備えて構成したことを特徴とする振動センサ−。
3. 【請求項３】 ケ−ス１の天井又は天板９から全周方向
   に振動可能な第１の振子で吊されるケ−ス３と、ケ−ス
   ３の天井から全周方向に振動可能な第２の振子で吊され
   る球面或は狭面なる光反射面を備えた光反射物体５と、
   ケ−ス３と光反射物体５とが垂下静止時に光反射物体５
   の前記光反射面に対向する位置に配したフォトリフレク
   タ−６と、ケ−ス３と光反射物体５とが垂下静止時に前
   記第１の振子を固定する固定手段と、フォトリフレクタ
   −６で得る光検出信号を伝送する伝送手段とを備えて構
   成したことを特徴とする振動センサ−。
4. 【請求項４】 ケ−ス１の天井又は天板９から全周方向
   に振動可能な第１の振子で吊されるケ−ス３と、ケ−ス
   ３の天井から全周方向に振動可能な第２の振子で吊され
   る球面なる光反射面を備えた光反射物体５と、ケ−ス３
   と光反射物体５とが垂下静止時に光反射物体５の前記光
   反射面に対向する位置であって水平方向に同位の周囲方
   向に等間隔に複数個を配したフォトリフレクタ−６と、
   ケ−ス３と光反射物体５とが垂下静止時に前記第１の振
   子を固定する固定手段と、前記フォトリフレクタ−６で
   得る光検出信号を伝送する伝送手段とを備えて構成した
   ことを特徴とする傾斜センサ−。