JPH09303288A

JPH09303288A - ターボ分子ポンプの翼

Info

Publication number: JPH09303288A
Application number: JP12143096A
Authority: JP
Inventors: Takahiko Uno; 登彦宇野
Original assignee: Daikin Industries Ltd
Current assignee: Daikin Industries Ltd
Priority date: 1996-05-16
Filing date: 1996-05-16
Publication date: 1997-11-25

Abstract

(57)【要約】【課題】羽根部を機械加工で削り出すことなく、した
がって羽根の枚数やその仰角に制約を受けることなく、
簡単,迅速かつ容易に製作できるターボ分子ポンプの翼
を提供する。【解決手段】ターボ分子ポンプの翼１は、内リング４
と外リング５と、周方向に互いに一定の間隔で上記内リ
ング４と外リング５の間を半径方向に延在する複数の羽
根部３からなる複数枚の翼エレメント２とから構成され
る。上記ターボ分子ポンプの翼１は、上記複数枚の翼エ
レメント２を各翼エレメント２の中心７が同一軸上に来
るように重ね合わせて、上記翼エレメント２の位相を周
方向にずらしている。重ね合わされらた複数の翼エレメ
ント２は、接着,かしめ,溶接等によって接合されてい
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ターボ分子ポンプ
の翼に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、ターボ分子ポンプの静翼として
は、例えば、図４に示すようなものがある(実開昭60−1
43192号公報)。

【０００３】図４(a)はターボ分子ポンプの静翼の平面
図であり、図４(b)は図４(a)のb−b線断面図である。図
４(a)に示すターボ分子ポンプの静翼１１は、一枚の板
材からなり、内リング部１２から複数の羽根部１３が放
射状に延びている。上記羽根部１３の周方向端部には仰
角を与える傾斜面１３aを形成している。そして、上記
静翼１１では、上記羽根部１３および傾斜面１３aを形
成するために、エンドミル等の加工用刃物を使用して、
機械加工により行っていた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】このように、上記従来
のターボ分子ポンプの静翼１１では、羽根部１３および
その傾斜面１３aを形成するために、エンドミル等の加
工用刃物による機械加工を行っているが、羽根部１３,
１３の間、特に羽根部１３,１３の基部１３b,１３bの間
が狭いため、加工用刃物が羽根部１３,１３の間に入り
にくく、羽根部１３の枚数や傾斜面１３aの大きさや角
度が制約されるという問題があった。

【０００５】さらに、上記羽根部１３をエンドミル等に
より機械加工しなければならないので、翼１１の加工に
時間を要して、コストが高くなるという問題もあった。

【０００６】そこで、本発明の目的は、羽根部をエンド
ミル等の機械加工で削り出すことなく、したがって羽根
の枚数やその仰角に制約を受けることなく、簡単,迅速
かつ容易に製作できるターボ分子ポンプの翼を提供する
ことにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１の発明のターボ分子ポンプの翼は、円板部
から複数の羽根部が径方向に延びると共に、上記複数の
羽根部は周方向に互いに一定間隔が空けられている薄板
からなる翼エレメントを複数枚備え、上記複数の翼エレ
メントを、円板部が重なり、かつ羽根部の位相が周方向
にずれるように重ね合わせて接合したことを特徴として
いる。

【０００８】請求項１の発明によれば、ターボ分子ポン
プの翼は、上記複数の薄板からなる翼エレメントの位相
を周方向にずらせて重ね合わせて接合して形成される。
このように、翼エレメントを重ねて接合するだけでよい
から、翼を作成するのに従来のごときエンドミル等によ
る機械加工が不要になる。したがって、羽根部の数や仰
角を与える傾斜面の大きさや角度の制約がなくなる上
に、翼を簡単,迅速かつ容易に製作できる。なお、翼エ
レメントは、たとえば金型プレス、放電加工、エッチン
グ等により製作される。翼エレメントの枚数を変えるこ
とによって翼の厚みを、また翼エレメントのずらす量を
変えることによって翼の仰角を任意に変えることができ
る。

【０００９】請求項２の発明のターボ分子ポンプの翼
は、上記翼エレメントの円板部が、中空円板部である内
リング部と外リング部とからなることを特徴としてい
る。

【００１０】請求項２の発明によれば、上記翼エレメン
トの羽根部が内リングと外リングとに両端支持されるの
で、羽根部が円板部に片持ち支持される翼に比較して、
翼の強度が向上する。

【００１１】請求項３の発明のターボ分子ポンプの翼
は、上記翼エレメントが、上記羽根部の周方向の縁に面
取りが施されていることを特徴としている。

【００１２】このように、羽根部の周方向の縁に面取り
が施されているので、積層された翼エレメントの羽根部
の周方向の端の仰角を与える部分は、段差が小さくな
り、滑らかになる。

【００１３】請求項４の発明によれば、上記翼エレメン
トが、同一形状であることを特徴としている。

【００１４】このように、上記翼エレメントが同一形状
であるので、翼エレメントの部品管理が容易になると共
に、単一の翼エレメントの生産となるので翼の製作コス
トが安くなる。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、本発明を図示の実施の形態
により詳細に説明する。

【００１６】図１(a)は、一実施の形態であるターボ分
子ポンプの静翼の一部を構成する一枚の薄板からなる翼
エレメント２を示す。図１(b)は図１(a)のb−b線断面図
であり、図１(c)は図１(a)のc−c線断面図である。

【００１７】図１(a)に示すように、上記翼エレメント
２は、複数の羽根部３が内リング４と外リング５とを連
結するように放射状に延びている。上記複数の羽根部３
は、周方向に互いに一定の角度間隔φを有する。上記羽
根部３,３の間の扇形のスリット６も同様に周方向に一
定角度間隔φを有する。上記内リング４と外リング５
は、同じ中心７を有する。上記翼エレメント２は、たと
えば、金型プレス、放電加工、エッチング等を用いて、
薄板(例えば、厚さ約０.２mm)から製作される。

【００１８】図２(a)は上記翼エレメント２を重ね合わ
せて接合してなるターボ分子ポンプの翼１の平面図であ
り、図２(b)は図２(a)のb−b線断面図である。

【００１９】図２(a)に示すように、上記複数の翼エレ
メント２を中心７が同一軸上に来るように重ね合わせる
と共に、上記翼エレメント２を羽根部３の位相を周方向
にずらして、仰角を与える部分８を形成している。な
お、各羽根部３の縁９の角度は、図２(b)に示すよう
に、略９０°であるから、重ねられた羽根部３の端部か
らなる仰角を与える部分８は階段状をなしている。しか
し、翼エレメント２の板厚を薄し、重ねる枚数を多くす
れば、この階段状の段差は小さくなり、この仰角を与え
る部分８は近似的に傾斜面と見なされる。

【００２０】このようにして、重ね合わされた複数の翼
エレメント２は、接着,かしめ,溶接等によって一体に接
合して、翼１を製作している。

【００２１】上記実施の形態では、上記翼エレメント２
は、羽根部３と内リング部４と外リング部５とからなっ
て、上記羽根部３の両端を内リング部４と外リング部５
とで両端支持しているから、翼エレメント２ひいては翼
１の強度を大きくすることができる。また、上記実施の
形態では、上記複数の翼エレメント２が全て同一形状で
あるから、翼エレメントの生産コストが安くなり、かつ
部品管理が容易になる。

【００２２】図３(a),(b),(c)は、図２(b)に示す羽根部
３の変形例を示す。図３(a)は、各翼エレメント２２の
羽根部２３が周方向両側において、一方は上側、他方は
下側に面取り２３a,２３bが施された翼の断面である。
この場合、羽根部２３に面取り２３a,２３bが施されて
いるので、重ねられた羽根部２３の仰角を与える部分は
滑らかなものとなっている。なお、この面取り２３a,２
３bは翼エレメント２２を重ね合わせる前に形成しても
よく、重ね合わせた後に形成してもよい。

【００２３】図３(b)では、翼エレメント３２の羽根部
３３の周方向の端面を全面に渡って所定の角度をなす傾
斜面３３aとなし、この傾斜面３３a,３３aが１つの面３
９をなすように滑らかに連なっている。この場合、上記
１つの面３９からなる仰角を与える部分は、極めて滑ら
かになる。

【００２４】上記傾斜面３３aは、羽根部３３,３３を重
ね合わせた後、ローラ等により、塑性変形させて形成し
てもよい。

【００２５】図３(c)は、重ねられた羽根部４３,５３,
６３,７３,８３が略流線形の断面を持つ翼の場合を示
す。この翼では、翼エレメント５２,６２,７２,８２の
羽根部５３,６３,７３,８３の幅と周方向の端面の傾斜
角度を連続的に変化させている。この羽根部５３,６３,
７３,８３の周方向の端面の加工は、翼エレメント４２,
５２,６２,７２,８２を重ね合わせた後に行ってもよ
く、重ね合わせる前に行ってもよい。

【００２６】図１では、内リング４と外リング５と羽根
部３とを備えた翼エレメント２を示したが、翼エレメン
トは、図示しないが、羽根部と内リングのみを備えたも
のでよく、また、羽根部と外リングのみを備えたもので
もよい。また、中実の円板から放射状に羽根部が延びる
翼エレメントを用いてもよい。

【００２７】また、図示しないが、重ね合わせる翼エレ
メントの円板部は同一形状でなくてもよく、たとえば重
ね合わされた円板部が流線形をなすようにしてもよい。

【００２８】また、本発明は静翼のみならず動翼にも適
用できる。

【００２９】

【発明の効果】以上より明らかなように、請求項１の発
明のターボ分子ポンプの翼は、円板部から複数の羽根部
が径方向に延びると共に、上記複数の羽根部は周方向に
互いに一定間隔が空けられている薄板からなる翼エレメ
ントを複数枚備え、上記複数の翼エレメントを、円板部
が重なり、かつ羽根部の位相が周方向にずれるように重
ね合わせて接合しているので、翼を作成するのにエンド
ミル等による機械加工が不要であって、羽根の枚数や仰
角に制約を受けることなく、翼を簡単,迅速かつ容易に
成形できる。また、重ね合わせる翼エレメントの枚数を
変えることによって、翼の厚みを、また翼エレメントの
ずらす量を変えることによって翼の仰角を任意に変える
ことができる。

【００３０】また、請求項２の発明では、請求項１に記
載のターボ分子ポンプの翼において、上記翼エレメント
の円板部が、中空円板である内リング部と外リング部と
からなり、翼エレメントの羽根部は内リングと外リング
とに両端支持されているので、片持ち支持された翼に比
較して、翼の強度が向上する。特に、本発明の翼エレメ
ントを重ね合わせる構造では、内リングと外リングを設
けると強度が増大するから望ましい。

【００３１】請求項３の発明では、請求項１または２に
記載のターボ分子ポンプの翼において、上記翼エレメン
トが、上記羽根部の周方向の縁に面取りが施されている
ので、積層された翼エレメントの仰角を与える部分が滑
らかになる。

【００３２】請求項４の発明では、請求項１乃至３のい
ずれか１つに記載のターボ分子ポンプの翼において、上
記翼エレメントが同一形状であるので、翼エレメントの
部品管理が容易になるとともに、単一翼エレメントの生
産となるので翼の製作コストが安価になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１(a)は本発明の実施の形態におけるター
ボ分子ポンプの翼を構成する翼エレメントの平面図であ
り、図１(b)は図１(a)のb−b線断面図であり、図１(c)
は図１(a)のc−c線断面図である。

【図２】図２(a)は本実施の形態におけるターボ分子
ポンプの翼の平面図であり、図２(b)は図２(a)のb-b線
断面図である。

【図３】図３(a),(b),(c)は、ターボ分子ポンプの翼
の羽根部変形例を示す。

【図４】図４(a)は従来例のターボ分子ポンプ翼の平
面図であり、図４(b)は図４(a)のb−b線断面図である。

【符号の説明】

１…翼、２,２２,３２,４２,５２,６２,７２,８２…
翼エレメント、３,２３,４３,５３,６３,７３,８３…羽
根部、４…内リング、５…外リング、６…スリッ
ト、７…中心。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】円板部(４,５)から複数の羽根部(３)が
径方向に延びると共に、上記複数の羽根部(３)は周方向
に互いに一定間隔が空けられている薄板からなる翼エレ
メント(２)を複数枚備え、上記複数の翼エレメント(２)
を、円板部(４,５)が重なり、かつ羽根部(３)の位相が
周方向にずれるように重ね合わせて接合したことを特徴
とするターボ分子ポンプの翼。
【請求項２】上記翼エレメント(２)の円板部は、中空
円板部である内リング部(４)と外リング部(５)とからな
ることを特徴とする請求項１に記載のターボ分子ポンプ
の翼。
【請求項３】上記翼エレメント(２)は、上記羽根部
(３)の周方向の縁(９)に面取りが施されていることを特
徴とする請求項１または２に記載のターボ分子ポンプの
翼。
【請求項４】上記翼エレメント(２)は、同一形状であ
ることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１つに記
載のターボ分子ポンプの翼。