JPH09297054A - 光検出器 - Google Patents
光検出器Info
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Abstract
体の分光感度特性を変えずに安価な手段によって得る。 【解決手段】 入射光窓部8を有するキャップ7で光半
導体素子2を覆い、入射光窓部8を透過して光半導体素
子2への入射光量を検出する光検出器において、入射光
窓部8は入射光の波長の内の所定領域の波長の透過光量
を制御する材料で構成し、入射光窓部8の透過光によっ
て光半導体素子2の光電流出力値を制御することによ
り、光半導体素子2一個で複数センサの機能を兼ねるよ
うに構成する。
Description
制御したり、環境測定のために用いる可視光センサや赤
外線センサ等に用いられる光検出器に関する。
2−42390号公報または特開平6−122461号
公報で示されているように、図14に示すリード足10
1を具備したセラミックケース102内のエポキシ系樹
脂部103に所要の染料104を添加することによっ
て、半導体受光素子105の分光感度の最大値を、図1
5に示す、波長650nmから570nmに移し、最大
視感度波長に近づけるようにしたものとか、光の透過率
の異なるプレート(図示せず)を複数個作製し、光半導
体素子の分光感度特性のばらつき値に応じて前記プレー
トと組合わせることにより、光電流出力値のばらつきの
小さい光検出器を得るようにしたものがある。 また、
この他には、単に入射光量を光半導体素子の波長感度範
囲全体で検知し、その光量を検出するものとか、光半導
体素子の可視光の分光感度範囲またはある波長の分光感
度範囲をカットした光量を検出するものがある。すなわ
ち、たとえば、自動車等においては、空調制御に用いら
れる日射センサは、日射の熱エネルギーの変化を計るた
め、図12の分光感度特性をもつ400nm〜1200
nmの波長感度範囲の半導体素子を用いているが入射窓
部のガラスにおいて、可視光カット剤により400nm
〜700nmの波長範囲の光をカットして700nm〜
1200nmの日射量を検知して、その信号をオートエ
アコンの制御アンプに送り、また、オートライト制御装
置に用いられるライトセンサは、周囲の明るさの変化を
計るため図13の分光感度特性をもつ400nm〜12
00nmの波長感度範囲の光半導体素子で、400nm
〜1200nmの光量を検知して、その信号をライト制
御アンプに送る構成であり、エアコン分野とライト分野
で別々に2個のセンサを用いている。なお、オートライ
ト制御装置とは、人の感じる周囲の明るさに応じて、暗
くなると自動的に車輌のライトを自動的に灯し、明るく
なれば自動的にライトを消す装置のことである。
た従来の光検出器の構成では、エポキシ系樹脂部103
に添加物を加えて半導体受光素子105の分光感度を補
正するとか、同一入射光量に対する個々の光検出器の光
電流出力値のばらつきを単に小さくするというものであ
った。
光感度特性をもった光半導体素子をオートライトセンサ
に適用すると、人の眼には明るく見えない赤外光に感度
が強く、たとえば、自動車の車輌番号認識装置の光(9
00nmにピークをもつ赤外光ランプ)等に夜間動作
し、人には明るく見えず暗いのに、センサは反応し車輌
ライトを消してしまうという不具合があり、日射センサ
をオートライトセンサに兼用できないという課題があっ
た。また、光半導体素子の検出する分光感度特性を変え
るには、半導体素子のウエハー素材から変えたりプロセ
ス工程を変えることになり、標準品ではなく特殊品にな
り、小量生産においては非常なコスト高になるという課
題を有していた。
つの光半導体素子によって、たとえば日射センサとオー
トライトセンサのように、センサ機能を兼ねることので
きる光検出器を提供することを目的としている。
めに、本発明は、入射光量を検出する光半導体素子の受
光面側に入射光窓部を設け、この入射光窓部を入射光の
波長の内の所定領域の波長の透過光量を制御する材料で
構成し、前記入射光窓部の透過光によって前記光半導体
素子の光電流出力値を制御することにより、前記光半導
体素子一個で複数センサの機能を兼ねるようにしたもの
で、これにより、測定や用途によって技術的、コスト的
に困難な光半導体素子の分光感度特性を変えなくても、
入射光窓部に予め定めた分光透過率を有する材料を用い
るだけで、複数用途や機能を兼ねたセンサを一つの光検
出器で実現することができる。
は、入射光窓部を形成したキャップで光半導体素子を覆
い、前記入射光窓部を透過して前記光半導体素子への入
射光量を検出する光検出器において、前記入射光窓部を
入射光の波長の内の所定領域の波長の透過光量を制御す
る材料で構成し、前記入射光窓部の透過光によって前記
光半導体素子の光電流出力値を制御することにより、前
記光半導体素子一個で複数センサの機能を兼ねるように
したものであり、これによって機器等の光検出器の構成
が簡単になり、しかも安価に提供できる。
射光窓部を入射光の波長の内の略700nm以下と略9
00nm以上の波長の透過光量が制御される材料で構成
したものであり、これによって略700nmまでの可視
光域と900nm以上の赤外光域ので光半導体素子の感
度を抑制することができる。
記載の入射光窓部を用いることによって、光半導体素子
一個で日射用熱感知センサとオートライト用光感知セン
サを兼ねる構成にしたものであり、日射用とオートライ
ト用等二つ必要であったセンサを一つにできる。
ャップ全体を合成樹脂製のケース、すなわち、樹脂ケー
スにしたものである。
ャップに代えて光半導体素子を直接合成樹脂材によって
樹脂コートしたものである。
のキャップに代えて光半導体素子を直接合成樹脂材によ
って樹脂モールドしたものであり、これら請求項4〜6
記載の発明により、光検出器をより安価なものにするこ
とができる。
素子を樹脂コートして覆い、かつ前記光半導体素子を入
射光窓部を有するキャップまたは樹脂ケースで覆い、前
記入射光窓部または樹脂ケースと樹脂コート部を透過し
て前記光半導体素子への入射光量を検出する光検出器に
おいて、前記樹脂コート部を入射光の波長の内の所定領
域の波長の透過光量を制御する材料で構成し、前記樹脂
コート部の透過光によって前記光半導体素子の光電流出
力値を制御することにより、前記光半導体素子一個で複
数センサの機能を兼ねるようにしたものであり、これに
よって、樹脂コートされた光半導体素子を、キャップや
樹脂ケースで囲うことから、樹脂コートされた光半導体
素子を保護することができ、信頼性を向上することがで
きる。
7記載の樹脂コート部を入射光の波長の内の略700n
m以下と略900nm以上の波長の透過光量が制御され
る材料にしたものである。
記載の樹脂コート部を有する光半導体素子一個で日射用
熱感知センサとオートライト用光感知センサを兼ねる構
成にしたものである。
窓部を複数個の入射光透過部材で構成し、この入射光透
過部材を介して光半導体素子への入射光量を検出する光
検出器において、前記入射光透過部材の内の少なくとも
一つは、入射光の波長の内の所定領域の波長の透過光量
を制御する材料で構成し、前記入射光窓部の透過光によ
って前記光半導体素子の光電流出力値を制御することに
より、前記光半導体素子一個で複数センサの機能を兼ね
るようにしたものであり、これによって、入射光を分散
させることができ、分光感度を向上することができる。
10記載の入射光窓部を入射光の波長の内の略700n
m以下と略900nm以上の波長の透過光量が制御され
る材料で構成したものである。
11記載の入射光窓部を受光面側に用いることによっ
て、光半導体素子一個で日射用熱感知センサとオートラ
イト用光感知センサを兼ねる構成にしたものである。
体素子の表面を複数個の入射光透過部材で覆い、この入
射光透過部材を介して光半導体素子への入射光量を検出
する光検出器において、前記入射光透過部材の内の少な
くとも1つは、入射光の波長の内の所定領域の波長の透
過光量を制御する材料で構成し、前記入射光透過部材の
透過光によって前記光半導体素子の光電流出力値を制御
することにより、前記光半導体素子一個で複数センサの
機能を兼ねるようにしたものであり、請求項10記載の
発明同様分光感度を向上することができる。
13記載の発明の入射光透過部材を入射光の波長の内の
略700nm以下と略900nm以上の波長の透過光量
が制御される材料で構成したものでる。
14記載の入射光透過部材を有する光半導体素子一個で
日射用熱感知センサとオートライト用光感知センサを兼
ねる構成にしたものである。
説明する。
属ベース(以下ベースと略す)で、ベース1の略中心位
置には光半導体素子2が導電性接着剤等で取付けられて
いる。ベース1の光半導体素子2の近くには、ガラス3
を封入した貫通孔に、ハーメチックシール法によって一
方のリード足4を絶縁して取付け、リード足4の先端と
光半導体素子2とは金ワイヤ5等で接続している。ま
た、ベース1の下面には他方のリード足6が結合され、
またベース1の外周部には金属製のキャップ7が取付け
られ、キャップ7の天面に入射光窓部8が設けられてい
る。
分光透過率を制御するための材料を添加したガラス質の
ものや樹脂系のもので構成している。たとえば、入射光
窓部8の材料を、リン酸塩ガラスより鉄分を2重量%含
有するリン酸塩ガラスとすることにより、光半導体素子
2の入射光の分光感度特性を図2に示す曲線Aから曲線
Bの分光感度特性に変えることができる。すなわち、曲
線Aは日射センサ用光半導体素子の分光感度特性であ
り、曲線Aを曲線Bに変えることで400〜略700n
m近くまでの可視光と略900nm以上の赤外光の分光
感度を抑制することができる。
8を日射センサの特性をもつ光半導体2に適応すること
により、図2の曲線Bに示すように、オートライトセン
サとしては400nm〜700nmの光を従来のカット
でなく抑制しているだけであるため、自動車等の場合、
昼間はこの明るさによる感度(光電流出力)によって消
灯され、夜間はこの逆の作用とともに、夜間走行時にた
とえ車輌番号認識装置からの人工光(900nmにピー
クをもつ赤外光)を受光しても、略900nm以上の感
度を略1/10程度に抑制しているために消灯動作をさ
せることがない。また、日射センサとしては、この分光
感度特性によって太陽光の熱エネルギー大きさを充分検
知することができる。
出器の断面図であり、図3に示すように、前記キャップ
の全体を合成樹脂製の樹脂ケース9にしたもので、樹脂
ケース9は光半導体素子2への光の分光透過率を実施例
1と同様に制御する材料で構成している。また、図4は
さらにベースも単なる封止樹脂10とした他の例であ
り、これによって、部品の構成や成形性及び組立性が簡
単になる。
出器の断面図であり、図5に示すように、半導体素子2
を直接合成樹脂によって樹脂コートしたものであり、こ
の樹脂コート部11は光半導体素子2への光の分光透過
率を実施例1と同様に制御する材料で構成している。ま
た、図5はベースをさらに金属ケース12とした他の例
である。
断面図であり、実施例1のキャップと入射光窓部とベー
スをなくして、光半導体素子2を合成樹脂で樹脂モール
ドしたものであり、この樹脂モールド部13は光半導体
素子2への光の分光透過率を実施例1と同様に制御する
材料で構成している。
出器の断面図であり、実施例1、2の入射窓部または樹
脂ケースを、単に光をそのまま透過する材料の入射窓部
8aまたは樹脂ケース9aとし、かつ光半導体素子2表
面に直接樹脂コートしてこの樹脂コート14部を実施例
3と同様の分光透過率を制御する材料で構成したもので
ある。このため、樹脂コート14部は、図8、図9のよ
うに、常に入射窓部8aを有するキャップ7や樹脂ケー
ス9aによつて外部より保護される構成になる。
の断面図であり、実施例1の図1で示した入射光窓部
を、たとえば、ガラス、樹脂製のシート材及びコーティ
ング材等の複数の光透過部材15で構成し、その内の一
つの部材を光半導体素子2への光の分光透過率を実施例
1と同様に制御する材料で構成している。これにより、
入射光の分散性をよくすることができ、シャープな分光
感度特性が得られるため、出力幅の拡大、精度の向上を
図ることができる。
の断面図であり、実施例5の樹脂コート部14を、たと
えば、樹脂製のシート材およびコーティング材等の複数
の光透過部材16で構成し、その内の1つの部材を実施
例1と同様の光半導体素子2への光の分光透過率を制御
する材料で構成して、光透過部材16を保護しながら入
射光の分散性をよくするようにしている。
ば、入射光量を検出する光半導体素子の受光面側に入射
光窓部を設け、この入射光窓部を入射光の波長の内の所
定領域の波長の透過光量を制御する材料で構成し、前記
入射光窓部の透過光によって前記光半導体素子の光電流
出力値を制御することにより、前記光半導体素子一個で
複数センサの機能を兼ねるようにしたもので、これによ
り、測定や用途によって技術的、コスト的に困難な光半
導体素子の分光感度特性を変えなくても、入射光窓部に
予め定めた分光透過率を有する材料を用いるだけの簡単
な手段で、複数用途や機能を兼ねたセンサを一個の光半
導体素子によって実現することができる。
の略700nm以下と略900nm以上の波長の透過光
量が制御される材料で構成することにより、所定の可視
光域と赤外光域ので光半導体素子の感度を抑制すること
ができるとともに、この入射光窓部を用いることによっ
て、光半導体素子一個で日射用熱感知センサとオートラ
イト用光感知センサを兼ねる構成にでき、日射用とオー
トライト用等二つ必要であったセンサを一つにできるの
で、装着性、作業性が向上し、コスト的にも安価なもの
にできる。
率を制御する合成樹脂製のケースとしたり、その合成樹
脂材により光半導体素子を直接樹脂コートや樹脂モール
ドすることによって、光検出器をより安価なものにする
ことができる。
脂コートし、周囲を単に光を透過するキャップや樹脂ケ
ースで覆うことにより、樹脂コートされた光半導体素子
を保護することができ、光検出器としての経年変化の抑
制、信頼性の向上を図ることができる。
面を直接複数個の入射光透過部材で構成し、入射光透過
部材の内の少なくとも一つは、入射光の波長の内の所定
領域の波長の透過光量を制御する材料とすることによ
り、入射光の分散性をよくすることができ、光検出器と
しての出力幅の拡大と精度の向上を図ることができる。
のグラフ
特性を示すグラフ
分光感度特性を示すグラフ
Claims (15)
- 【請求項1】入射光窓部を有するキャップで光半導体素
子を覆い、前記入射光窓部を透過して前記光半導体素子
への入射光量を検出する光検出器において、前記入射光
窓部は入射光の波長の内の所定領域の波長の透過光量を
制御する材料で構成し、前記入射光窓部の透過光によっ
て前記光半導体素子の光電流出力値を制御することによ
り、前記光半導体素子一個で複数センサの機能を兼ねる
ようにした光検出器。 - 【請求項2】入射光窓部は入射光の波長の内の略700
nm以下と略900nm以上の波長の透過光量を制御す
る材料で構成した請求項1記載の光検出器。 - 【請求項3】光半導体素子一個で日射用熱感知センサと
オートライト用光感知センサを兼ねるようにした請求項
2記載の光検出器。 - 【請求項4】キャップ全体を一体の樹脂ケースにした請
求項1、2または3記載の光検出器。 - 【請求項5】キャップに代えて光半導体素子を樹脂コー
トして覆い、入射光窓部を樹脂コート部にした請求項
1、2または3記載の光検出器。 - 【請求項6】キャップに代えて光半導体素子を樹脂モー
ルドして覆い、入射光窓部を樹脂モールド部にした請求
項1、2または3記載の光検出器。 - 【請求項7】光半導体素子を樹脂コートして覆い、かつ
前記光半導体素子を入射光窓部を有するキャップまたは
樹脂ケースで覆い、前記入射光窓部または樹脂ケースと
樹脂コート部を透過して前記光半導体素子への入射光量
を検出する光検出器において、前記樹脂コート部は入射
光の波長の内の所定領域の波長の透過光量を制御する材
料で構成し、前記樹脂コート部の透過光によって前記光
半導体素子の光電流出力値を制御することにより、前記
光半導体素子一個で複数センサの機能を兼ねるようにし
た光検出器。 - 【請求項8】樹脂コート部は入射光の波長の内の略70
0nm以下と略900nm以上の波長の透過光量を制御
する材料で構成した請求項7記載の光検出器。 - 【請求項9】光半導体素子一個で日射用熱感知センサと
オートライト用光感知センサを兼ねるようにした請求項
8記載の光検出器。 - 【請求項10】入射光窓部を複数個の入射光透過部材で
構成し、この入射光透過部材を介して光半導体素子への
入射光量を検出する光検出器において、前記入射光透過
部材の内の少なくとも一つは、入射光の波長の内の所定
領域の波長の透過光量を制御する材料で構成し、前記入
射光窓部の透過光によって前記光半導体素子の光電流出
力値を制御することにより、前記光半導体素子一個で複
数センサの機能を兼ねるようにした光検出器。 - 【請求項11】入射光窓部は入射光の波長の内の略70
0nm以下と略900nm以上の波長の透過光量を制御
する材料で構成した請求項10記載の光検出器。 - 【請求項12】光半導体素子一個で日射用熱感知センサ
とオートライト用光感知センサを兼ねるようにした請求
項11記載の光検出器。 - 【請求項13】光半導体素子の表面を複数個の入射光透
過部材で覆い、この入射光透過部材を介して光半導体素
子への入射光量を検出する光検出器において、前記入射
光透過部材の内の少なくとも一つは、入射光の波長の内
の所定領域の波長の透過光量を制御する材料で構成し、
前記入射光透過部材の透過光によって前記光半導体素子
の光電流出力値を制御することにより、前記光半導体素
子一個で複数センサの機能を兼ねるようにした光検出
器。 - 【請求項14】入射光透過部材は入射光の波長の内の略
700nm以下と略900nm以上の波長の透過光量を
制御する材料で構成した請求項13記載の光検出器。 - 【請求項15】光半導体素子一個で日射用熱感知センサ
とオートライト用光感知センサを兼ねるようにした請求
項14記載の光検出器。
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