JPH09293685A5 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH09293685A5 JPH09293685A5 JP1997059983A JP5998397A JPH09293685A5 JP H09293685 A5 JPH09293685 A5 JP H09293685A5 JP 1997059983 A JP1997059983 A JP 1997059983A JP 5998397 A JP5998397 A JP 5998397A JP H09293685 A5 JPH09293685 A5 JP H09293685A5
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- JP
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- wafer boat
- vertical wafer
- end plates
- boat according
- support
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5998397A JPH09293685A (ja) | 1996-02-28 | 1997-02-27 | 縦型ウエハボート |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6735796 | 1996-02-28 | ||
| JP8-67357 | 1996-02-28 | ||
| JP5998397A JPH09293685A (ja) | 1996-02-28 | 1997-02-27 | 縦型ウエハボート |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09293685A JPH09293685A (ja) | 1997-11-11 |
| JPH09293685A5 true JPH09293685A5 (enExample) | 2005-01-06 |
Family
ID=26401046
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5998397A Pending JPH09293685A (ja) | 1996-02-28 | 1997-02-27 | 縦型ウエハボート |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09293685A (enExample) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3264879B2 (ja) * | 1997-11-28 | 2002-03-11 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理システム、インターフェイス装置、および基板搬送方法 |
| US6811040B2 (en) * | 2001-07-16 | 2004-11-02 | Rohm And Haas Company | Wafer holding apparatus |
| KR20030087285A (ko) * | 2002-05-08 | 2003-11-14 | 동부전자 주식회사 | 반도체 공정 장비의 링형 보트 탑 커버 |
| JP2007329476A (ja) * | 2006-06-02 | 2007-12-20 | Rohm & Haas Electronic Materials Llc | フィレット半径結合部を有する装置 |
| TWI361469B (en) * | 2007-03-09 | 2012-04-01 | Rohm & Haas Elect Mat | Chemical vapor deposited silicon carbide articles |
| KR101035552B1 (ko) * | 2011-03-24 | 2011-05-23 | (주)상아프론테크 | 솔라웨이퍼 카세트 |
| JP2015070046A (ja) * | 2013-09-27 | 2015-04-13 | 株式会社日立国際電気 | 基板保持具 |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS492549B1 (enExample) * | 1968-12-14 | 1974-01-21 | ||
| JPH0770494B2 (ja) * | 1986-10-15 | 1995-07-31 | 東海高熱工業株式会社 | 半導体製造用ウエハ−ボ−トの製法 |
| JPH0777989B2 (ja) * | 1989-01-25 | 1995-08-23 | 同和鉱業株式会社 | セラミックスと金属の接合体の製造法 |
| JPH04300262A (ja) * | 1991-03-28 | 1992-10-23 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 炭化珪素質治具 |
| JP2815075B2 (ja) * | 1992-03-25 | 1998-10-27 | 日本碍子 株式会社 | セラミックス接合体及びその製造方法 |
| JP3348936B2 (ja) * | 1993-10-21 | 2002-11-20 | 東京エレクトロン株式会社 | 縦型熱処理装置 |
| JP2984169B2 (ja) * | 1993-06-16 | 1999-11-29 | 東芝セラミックス株式会社 | セラミックス接合用コンパウンド及びセラミック接合体 |
| JP3650423B2 (ja) * | 1994-09-30 | 2005-05-18 | 東芝セラミックス株式会社 | ウエハボート |
-
1997
- 1997-02-27 JP JP5998397A patent/JPH09293685A/ja active Pending
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